JP4680469B2 - 誘電体磁器組成物及びそれを用いた誘電体共振器 - Google Patents
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Description
本発明は、高周波領域での誘電特性に優れ、特に、無負荷品質係数(以下、「Qu」と表す。)が大きく、且つそのばらつきが小さい誘電体磁器組成物及びそれを用いた誘電体共振器に関する。本発明の誘電体磁器組成物は、高周波領域において使用される誘電体フィルタや多層回路基板などとして利用することができる。
背景技術
高周波領域において使用することができる誘電体磁器組成物として、BaO−ZnO−Ta2O5系の組成物が知られている。このような高周波領域で使用される誘電体磁器組成物には、
▲1▼誘電率(以下、「εr」と表す。)が高いこと、
▲2▼共振周波数(以下、「f0」と表す。)の温度係数(以下、「τf」と表す。)の絶対値が小さいこと、及び
▲3▼高周波領域でのQuが大きいこと、
が要求されている。
BaO−ZnO−Ta2O5系の誘電体磁器組成物は、Ba(Zn1/3Ta2/3)O3の組成式で表される複合ペロブスカイト型の結晶構造を有する酸化物であり、一般にBZTと略称されている。このBZT系の誘電体磁器組成物は、Quが大きい等、優れた誘電特性を有する。しかし、近年、使用される周波数領域がマイクロ波領域から準ミリ波領域へと更に高くなってきており、より大きいQuを有する誘電体磁器組成物が必要とされている。
特開平11−71173号公報には、Ba(Zn1/3Ta2/3)O3の組成式で表される酸化物に、K成分及びTa成分を含有させることによって、より優れた誘電特性を有する誘電体磁器組成物が得られることが記載されている。そして、この特定の成分により、誘電特性を向上させることができるが、そのQuが必ずしも安定せず、ばらつくことがあり、より誘電特性のばらつきの少ない誘電体磁器組成物の提供が望まれている。
本発明は、上記の問題点を解決するものであり、Ba、Zn及びTaを含む酸化物からなる主成分において、各元素の量比を特定し、且つ主成分以外のK成分とTa成分との量比を限定するとともに、それらの質量比をも特定することにより、大きなQuが安定して得られる誘電体磁器組成物及びそれを用いた誘電体共振器を提供することを目的とする。
発明の開示
本発明の誘電体磁器組成物は、Ba、Zn及びTaを含み、各々の酸化物とした場合の組成割合をxBaO−yZnO−(1/2)zTa2O5(但し、x、y及びzはモル比を表わし、x+y+z=1である。)により表した場合に、上記x、y及びzが、第1図において、点A(x=0.503、y=0.152、z=0.345)、点B(x=0.497、y=0.158、z=0.345)、点C(x=0.503、y=0.162、z=0.335)及び点D(x=0.497、y=0.168、z=0.335)を結んで形成される四角形の領域内にある(但し、辺AB、辺BD、辺DC及び辺CAを含む。)主成分と、該主成分を100質量部とした場合に、K2O換算で0.2〜1.6質量部のKと、Ta2O5換算で0.7〜8質量部のTaと、を含有し、上記Kと上記Taとの質量比が0.185〜0.4であることを特徴とする。
また、本発明の誘電体共振器は、上記に示す本発明の誘電体磁器組成物からなることを特徴とする。
本発明の誘電体磁器組成物において、主成分である上記「xBaO−yZnO−(1/2)zTa2O5」は複合ペロブスカイト型の結晶構造を有する酸化物である。また、Baの一部はKによって置換されており、ペロブスカイト型の結晶構造を有すると推定される。
この主成分において、x、y及びzのうちのいずれかが上限を越え、或いは下限未満である場合は、優れたεr及びτfを有し、Quの平均値も大きいが、そのばらつきが大きく、安定した誘電特性を有する誘電体磁器組成物とすることができない。また、x、y及びzのうちの2以上が上限を越え、或いは下限未満である場合は、εr及びτfは低下しないが、Quは、その平均値が低下する傾向にあり、且つそのばらつきも大きくなる。一方、上記x、y及びzが点A’(x=0.503、y=0.154、z=0.343)、点B’(x=0.497、y=0.160、z=0.343)、点C’(x=0.503、y=0.161、z=0.336)及び点D’(x=0.497、y=0.167、z=0.336)を結んで形成される四角形の領域内にある(但し、辺A’B’、辺B’D’、辺D’C’及び辺C’A’を含む。)ものとすると、優れたεr及びτfを維持し、Quの平均値を更に大きくすると共に、そのばらつきを更に小さくして、安定した誘電特性を有する誘電体磁器組成物とすることができるので好ましい。
また、上記主成分を100質量部とした場合に、主成分以外に含有される上記「K」と上記「Ta」において、K2Oに換算したK及びTa2O5に換算したTa、特にKが下限未満であると、焼結させることが容易ではなく、焼結体が得られないこともある。また、K及びTaが上限を越える場合は、Quが大きく低下し、そのばらつきも大きくなる。
また、KとTaとの質量比が上限を越え、或いは下限未満である場合は、Quが大きく低下し、そのばらつきがより大きくなる。一方、上記Kと上記Taとの質量比を好ましくは0.25〜0.35、更に好ましくは0.25〜0.30とすることにより、優れたεr及びτfを維持し、Quの平均値を更に大きくすると共に、そのばらつきを更に小さくして、安定した誘電特性を有する誘電体磁器組成物とすることができるので好ましい。
K及び主成分に含まれるTa以外のTaは、KpTaOqで表されるペロブスカイト型の結晶混構造を有する酸化物を形成している。このKpTaOqのKは主成分のBaの位置に、Taは主成分のZn又はTaの位置に配されているものと推定される。そして、本発明の誘電体磁器組成物は、主成分と、その一部に形成されたKpTaOqからなるペロブスカイト型の結晶構造とからなり、全体として複合ペロブスカイト型の結晶構造を有しているものと推定される。更に、主成分において、Zn及びTaのうちの少なくとも一方は、Mg、Zr、Ga、Ni、Nb、Sn及びY等の希土類などの元素により、その一部が置換されていてもよい。これらの元素はZn又はTaとの置換が容易であって、ペロブスカイト型の結晶構造が維持され、優れた誘電特性が損なわれることはない。また、Baの一部がSrにより置換された場合、Q値はそのままでτfを変化させることができる。
本発明の誘電体磁器組成物は、Ba、Zn、Ta又はKの酸化物若しくは加熱によって酸化物となるBa、Zn、Ta又はKの酸化物以外の化合物を混合し、成形した後、1300〜1700℃で焼成し、製造することができる。また、上記の必須の金属元素の酸化物等の他、Mg、Zr、Ga、Ni、Nb、Sn及びY等の希土類などのうちの少なくとも1種の元素の酸化物等を配合することもできる。それによって、主成分に含まれるZn及びTaの少なくとも一方の一部が、上記の元素のうちの少なくとも1種によって置換された誘電体磁器組成物とすることができる。
焼成温度が1300℃未満では、十分に緻密化された焼結体とすることができず、Quが十分に向上しないことがある。一方、焼成温度が1700℃を越える場合は、カリウムイオンが揮散し易く、焼結体の表面が多孔質となって、Quが十分に向上しない傾向にある。この焼成温度は1350〜1650℃、特に、1400〜1650℃であることが好ましい。また、緻密化のためには焼成温度を1500℃以上、特に1550℃以上とすることが好ましい。尚、焼成時間は限定されず、1〜8時間、特に2〜6時間とすることができる。焼成雰囲気は大気雰囲気等の酸化雰囲気、或いは少量の水素を含む還元雰囲気とすることができる。
更に、焼成の後、焼成温度を50〜250℃程度下回る温度範囲において、酸化雰囲気下、12時間以上熱処理することによって、より均質な優れた誘電特性を有する誘電体磁器組成物とすることもできる。この熱処理温度が高すぎる場合は、粒成長により粗大粒子が生成し易くなり、均質な焼結体とすることができないことがある。一方、この熱処理温度が低すぎる場合は、結晶構造が長周期の超格子構造とならず、Quが十分に向上しない傾向にある。この熱処理温度は、焼成温度を70〜200℃、特に70〜170℃、更には80〜150℃下回る温度範囲とすることが好ましい。例えば、熱処理温度を焼成温度より100℃程度低い温度とすることにより、超格子構造を有する誘電体磁器組成物を容易に得ることができる。
熱処理の雰囲気は大気雰囲気等の酸化雰囲気とすることができる。大気雰囲気は特別な操作、装置等を必要としないため好ましい。しかし、この酸化雰囲気における酸素の分圧を大気よりも高くすることによって、より優れたQuを有する誘電体磁器組成物とすることができる。そのため、誘電特性の観点からは、より酸素分圧の高い酸化雰囲気とすることが好ましい。また、熱処理時間は12〜20時間とすることが好ましい。熱処理時間が短かすぎると、超格子構造とすることが容易ではなく、Quが十分に向上しないことがある。一方、この熱処理時間を15時間以上、特に18時間以上とすれば、所期の効果が十分に得られる。この熱処理時間は24時間で十分であり、更に長時間とする必要はない。
本発明の誘電体磁器組成物は優れた誘電特性を有しており、そのτfは−15〜+15ppm/℃、特に−10〜+10ppm/℃、更には−5〜+5ppm/℃とすることができる。更に、直径16mm、高さ8mmの試験片として平行導体板型誘電体共振器法(TE011モード)により、測定周波数4〜6GHzにおいて測定したQuと測定周波数の積が25000〜30000GHzとすることができる。また、Qu×f0(測定周波数)のばらつきが非常に小さく、後記の計算式によって算出される標準偏差σn−1は700以下、特に500以下、更には300以下とすることができる。
本発明の誘電体共振器は、本発明の誘電体磁器組成物からなることを特徴とするものであり、優れた誘電特性を有する。具体的には、共振周波数1900MHzにおける反射法により測定したQuが40000以上とすることができる。
尚、本発明の誘電体磁器組成物において、BaがKにより置換されることによりQuが向上する理由は明らかではないが、複合ペロブスカイト型の結晶構造を有する主成分に、同じくペロブスカイト型の結晶構造を有するKpTaOqが固溶し、誘電体磁器組成物の結晶構造が長周期の超格子構造となることが一因であると推測される。また、組成が不定であるKpTaOqが共存した場合は、空孔が規則的に配列し、超格子構造が形成され、更には空孔が存在することにより、焼成過程におけるイオン、元素等が容易に移動し、緻密化が促進されるものと考えられる。そのため、従来、緻密化のためには長時間焼成、超高速昇温焼成等を必要としたこの種の誘電体磁器組成物を容易に緻密化させることができる。
発明の実施するための最良の形態
以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。
実験例1〜26
(1)誘電体磁器組成物の製造
表1に記載の実験例1〜26の組成となるように市販のBaCO3、ZnO、Ta2O5及びK2CO3粉末を秤量した。その後、これらの粉末を樹脂製ポットに投入し、樹脂ボールを用いて乾式粉砕し、混合粉末を得た。尚、表1における量比はすべて酸化物換算である。
次いで、混合粉末を1100℃で2時間仮焼し、この仮焼粉末と、有機バインダであるポリビニルアルコール及び水とを、樹脂製ポットに投入し、樹脂ボールを用いて粉砕した後、スプレードライヤ法により乾燥し、造粒した。次いで、この造粒粉を直径19mm、高さ11mmの円柱状に圧縮成形し、誘電特性を測定するための試験片として用いる成形体とした。また、実験例1、4、5、12及び24の組成について、同様にして外径38mm、内径21mm、高さ21mmの円筒状の共振器の形状を有する成形体とした。その後、これらの各成形体を1650℃で8時間保持し、試験片として用いる焼結体、及び共振器の形状を有する焼結体を得た。
(2)誘電特性の評価
(1)において得られた試験片として用いる焼結体の表面を研磨し、直径16mm、高さ8mmの試験片とした。この試験片を使用し、平行導体板型誘電体共振器法(TE011モード)により、測定周波数4〜6GHzにおいて、εr、Qu及びτf(温度範囲:25〜80℃)を測定した。結果を表1に併記する。また、共振器の形状を有する焼結体の表面を、共振周波数が1900MHzの共振器となるように研磨し、反射法によりQuを測定した。結果を表2に示す。
共振周波数が1900MHzの共振器のQuの測定は、第2図に示す試験体を用いて行った。第2図において、共振器1は、アルミナ基焼結体などからなる支持台2の一端にエポキシ樹脂系接着剤等によって接合されている。3は接着剤層である。また、一体となった共振器1と支持台2とは、両端面が密閉された円筒状の金属容器4の内部に収納され、支持台2の他端は金属容器4の底面4aの中央部にPTTFによって接合され、固定されている。5は固定部である。
また、表1におけるQu×f0及び表2におけるQuの標準偏差σn−1を以下の式(1)及び式(2)により算出し、ばらつきを評価した。
σn−1=V1/2 (1)
V=s/(n−1) (2)
但し、Vは分散であり、sは偏差の2乗和である。また、試験片の個数nは30個である。
表1の結果によれば、本発明に含まれる実験例2〜7、実験例9〜10及び実験例17〜20では、εrは28〜29と安定しており、τfは−4〜+7ppm/℃であって非常に優れている。また、Qu×f0は27675〜29700GHzと大きく、且つσn−1も最大で652であり、ばらつきも小さいことが分かる。一方、zが範囲外である実験例1及びxが範囲外である実験例8では、Quのばらつきが非常に大きくなっている。更に、x及びzが(実験例11ではyも)範囲外である実験例11〜16では、Quが低下する傾向にあり、且つそのばらつきも大きい。また、K2Oに換算したK、Ta2O5に換算したTa或いはそれらの質量比が範囲外である実験例21〜26では、焼結することができない場合もあり、Quは更に低下し、そのばらつきも大きいことが分かる。
表2の結果によれば、本発明に含まれる実験例4〜5では、Quは44700及び45500と大きく、且つσn−1も410と447であり、ばらつきも小さいことが分かる。一方、zが範囲外である実験例1では、Quが低下する傾向にあり、ばらつきも大きくなっている。また、x及びzが範囲外である実験例12でも、Quが低下する傾向にあり、且つそのばらつきも非常に大きい。更に、Ta2O5に換算したTa及びK2Oに換算したKとTa2O5に換算したTaとの質量比が範囲外である実験例24では、Quが更に低下していることが分かる。
尚、本発明においては、上記の具体的な実施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができる。例えば、BaO、K2Oとなる原料として前記のBaCO3、K2CO3以外にも、Ba或いはKの過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いることもできる。同様に他の元素についても、酸化物ばかりではなく、加熱により酸化物となる種々の化合物を用いることができる。
産業上の利用可能性
本発明の誘電体磁器組成物によれば、εrが比較的高く、τfの絶対値が小さく、且つQu×f0が大きく、且つそのばらつきが小さい誘電体磁器組成物とすることができる。また、本発明の誘電体共振器によれば、本発明の優れた誘電特性を有する誘電体磁器組成物を使用することにより、優れた性能の誘電体共振器とすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の誘電体磁器組成物の主成分を構成する3成分の組成図である。
第2図は、本発明の誘電体磁器組成物からなる本発明の誘電体共振器のQuを測定した試験体を示す説明図である。
Claims (6)
- Ba、Zn及びTaを含み、各々の酸化物とした場合の組成割合をxBaO−yZnO−(1/2)zTa2O5(但し、x、y及びzはモル比を表わし、x+y+z=1である。)により表した場合に、上記x、y及びzが、第1図において、点A(x=0.503、y=0.152、z=0.345)、点B(x=0.497、y=0.158、z=0.345)、点C(x=0.503、y=0.162、z=0.335)及び点D(x=0.497、y=0.168、z=0.335)を結んで形成される四角形の領域内にある(但し、辺AB、辺BD、辺DC及び辺CAを含む。)主成分と、該主成分を100質量部とした場合に、K2O換算で0.2〜1.6質量部のKと、Ta2O5換算で0.7〜8質量部のTaと、を含有し、上記Kと上記Taとの質量比が0.185〜0.4であることを特徴とする誘電体磁器組成物。
- 上記Kと上記Taとの質量比が0.25〜0.35である請求項1記載の誘電体磁器組成物。
- 直径16mm、高さ8mmの試験片として平行導体板型誘電体共振器法(TE011モード)により、測定周波数4〜6GHzにおいて測定した無負荷品質係数と測定周波数の積が25000〜30000GHzである請求項1又は2記載の誘電体磁器組成物。
- xBaO−yZnO−(1/2)zTa2O5(但し、x、y及びzはモル比を表わし、x+y+z=1である。)により表した場合に、上記x、y及びzが、第1図において、点A’(x=0.503、y=0.154、z=0.343)、点B’(x=0.497、y=0.160、z=0.343)、点C’(x=0.503、y=0.161、z=0.336)及び点D’(x=0.497、y=0.167、z=0.336)を結んで形成される四角形の領域内にある(但し、辺A’B’、辺B’D’、辺D’C’及び辺C’A’を含む。)主成分と、該主成分を100質量部とした場合に、K2O換算で0.2〜1.6質量部のKと、Ta2O5換算で0.7〜8質量部のTaと、を含有し、上記Kと上記Taとの質量比が0.185〜0.4であることを特徴とする誘電体磁器組成物。
- xBaO−yZnO−(1/2)zTa2O5(但し、x、y及びzはモル比を表わし、x+y+z=1である。)により表した場合に、上記x、y及びzが、第1図において、点A(x=0.503、y=0.152、z=0.345)、点B(x=0.497、y=0.158、z=0.345)、点C(x=0.503、y=0.162、z=0.335)及び点D(x=0.497、y=0.168、z=0.335)を結んで形成される四角形の領域内にある(但し、辺AB、辺BD、辺DC及び辺CAを含む。)主成分と、該主成分を100質量部とした場合に、K2O換算で0.2〜1.6質量部のKと、Ta2O5換算で0.7〜8質量部のTaと、を含有し、上記Kと上記Taとの質量比が0.185〜0.4である誘電体磁器組成物からなることを特徴とする誘電体共振器。
- 共振周波数1900MHzにおける反射法により測定した無負荷品質係数が40000以上である請求項5記載の誘電体共振器。
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