JP4673447B2 - 有機elディスプレイおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
[2]前記照射するレーザ光の波長は、400nm以下である、[1]に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
[3]前記カラーフィルタを除去するステップと、前記透明対向電極を破壊するステッ
プとは、同一ステップである、[1]または[2]に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
[4]前記カラーフィルタを除去するステップと、前記透明対向電極を破壊するステップとは、異なるステップであり、前記カラーフィルタの除去は、前記カラーフィルタのうち前記欠陥部上の領域へのレーザ光の照射により行われる、[1]または[2]に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
[5]前記カラーフィルタを除去するステップにおいて、前記カラーフィルタに貫通痕を形成する、[1]〜[4]のいずれかに記載の有機ELディスプレイの製造方法。
[6]前記カラーフィルタを除去するステップにおいて、前記カラーフィルタを薄くする、[1]〜[4]のいずれかに記載の有機ELディスプレイの製造方法。
[7]前記レーザ光の照射により、前記保護層内に微小な気泡を形成する、[1]〜[6]のいずれかに記載の有機ELディスプレイの製造方法。
[8]基板と、前記基板上にマトリクス状に配置された有機EL素子を有する有機ELディスプレイであって、前記有機EL素子のそれぞれは、前記基板上に配置された画素電極、前記画素電極上に配置された有機層、前記有機層上に配置された透明対向電極、前記透明対向電極上に配置された保護層および前記保護層上に配置されたカラーフィルタを有し、少なくとも一つの前記有機EL素子は、前記有機層に欠陥部を有し、前記透明対向電極のうち、前記欠陥部上の領域は破壊されており、前記カラーフィルタのうち前記欠陥部上の領域は除去されている、有機ELディスプレイ。
本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、1)有機ELパネルを準備する第1ステップ、2)有機ELパネルを構成する有機EL素子内の有機層における欠陥部を検出する第2ステップ、3)透明対向電極のうち欠陥部上の領域に、カラーフィルタを通してレーザ光を照射し、照射した領域の透明対向電極を破壊する第3ステップを有する。以下それぞれのステップについて詳細に説明する。
と、透明対向電極上に配置された保護層と、保護層上に配置されたカラーフィルタと、を有する。
防止され、欠陥部が非発光領域となるが、有機EL素子としての機能は修復される。
フィルタ除去ステップと第3ステップとが同一ステップである場合、透明対向電極に照射するレーザ光はカラーフィルタを透過しない波長を有することが好ましい。フィルタ除去ステップと第3ステップとが同一ステップである場合、透明対向電極に照射されるレーザ光の一部がカラーフィルタにも吸収される必要があるからである。
フィルタ除去ステップと第3ステップとが異なるステップである場合、i)レーザ光を照射する領域の透明対向電極上にカラーフィルタがある場合(実施の形態3参照)と、ii)レーザ光を照射する領域の透明対向電極上にカラーフィルタがない場合(実施の形態2参照)とで、レーザ光の波長がさらに異なる。例えばi)フィルタ除去ステップの前に第3ステップを行う場合であるか、またはフィルタ除去ステップでカラーフィルタを薄くした後に、第3ステップを行う場合には、レーザ光を照射する領域の透明対向電極上にカラーフィルタがある。一方、ii)例えば、フィルタ除去ステップでカラーフィルタに貫通痕を形成した後に、第3ステップを行う場合には、レーザ光を照射する領域の透明対向電極上にカラーフィルタがない。
レーザ光を照射する領域の透明対向電極上にカラーフィルタがある場合、レーザ光はカラーフィルタに影響を与えずに、透明対向電極を破壊することが求められることから、カラーフィルタを透過する波長を有することが好ましい。したがって、欠陥部上のカラーフィルタが赤色の場合、レーザ光の波長を、600nm以上に設定し;欠陥部上のカラーフィルタが緑色の場合、レーザ光の波長を、480〜580nmまたは790nm以上に設
定し;欠陥部上のカラーフィルタが青色の場合、レーザ光の波長を、430〜500nmまたは850nm以上に設定すればよい。
レーザ光を照射する領域の透明対向電極上にカラーフィルタがない場合、レーザ光がカラーフィルタに与える影響を考慮しなくてよいため、レーザ光の波長を任意に設定することができる。レーザ光の波長は、有機層に与える影響が少ない、400nm以下に設定することが好ましい。
また、欠陥部上のカラーフィルタを除去することから、非発光領域の輝度が上昇し、有機ELディスプレイにおける輝度ムラを低減することができる。
本発明の有機ELディスプレイは、上述した本発明の有機ELディスプレイの製造方法によって製造された有機ELディスプレイである。本発明の有機ELディスプレイは、トップエミッション型であり、基板および基板上にマトリクス状に配置された有機EL素子を有する。
また画素電極は、コンタクトホールを通してTFTのソース電極またはドレイン電極に接続されていてもよい。
、ITOやIZOなどが含まれる。透明対向電極の厚さは約100nmである。本発明の有機ELディスプレイでは、透明対向電極のうち、有機層の欠陥部上の領域が選択的に破壊されていることを特徴とする。
実施の形態1では、第3ステップとカラーフィルタを除去するステップ(フィルタ除去ステップ)が同一ステップである例について説明する。
示す図である。
実施の形態1では、第3ステップとフィルタ除去ステップとが同一ステップである例について説明した。実施の形態2では、第3ステップとフィルタ除去ステップとが異なるステップである例について説明する。
実施の形態1および実施の形態2では、レーザ光を照射した箇所のカラーフィルタを完全に除去し、カラーフィルタに貫通痕を形成する例について説明した。実施の形態3では、レーザ光を照射した箇所のカラーフィルタを完全に除去しない例について説明する。
実施の形態4では、レーザ光32またはUV光を照射すると微小な気泡が発生する材料を保護層に用いた例について説明する。
有機EL素子の準備
図8に示されたような、ガラス基板16上に画素電極15、正孔注入層17、正孔輸送層18、有機発光層14、電子輸送層19および厚さ100nmの透明対向電極13(ITO)を積層した有機EL素子を準備した。さらに、準備した有機EL素子上に、ガラス
板20および赤、緑または青のカラーフィルタ11を配置し、カラーフィルタの色が異なる3種類の有機EL素子を準備した。カラーフィルタ11の材料はカラーレジストであり、カラーフィルタの厚さは、1μmとした。
準備したそれぞれの有機EL素子の透明対向電極に、波長が1064nmのレーザ光をレーザの照射エネルギ密度0.42〜4.5J/cm2で照射し、波長532nmのレーザ光をレーザの照射エネルギ密度0.06〜0.71J/cm2で照射し、波長355nmのレーザ光をレーザの照射エネルギ密度0.05〜0.41J/cm2で照射した。レーザ装置にはAGT−2000RT(YAGレーザ、株式会社AGT製)を用いた。レーザ光の透明対向電極上における照射面積口は20μmとし、パルス幅を3〜5n秒とした。また、レーザ照射はシングルショットで行った。
有機EL素子の準備
図8に示されたような、ガラス基板16上に画素電極15、正孔注入層17、正孔輸送層18、有機発光層14、電子輸送層19および厚さ100nmの透明対向電極13(ITO)を積層した、有機EL素子を準備した。本実施例では有機EL素子にカラーフィルタを積層しなかった。
準備した有機EL素子の透明対向電極に、波長が1064nmのレーザ光をレーザの照射エネルギ密度0.42〜4.5J/cm2で照射し、波長532nmのレーザ光をレーザの照射エネルギ密度0.06〜0.71J/cm2で照射し、波長355nmのレーザ光をレーザの照射エネルギ密度0.05〜0.41J/cm2で照射した。レーザ装置にはAGT−2000RT(YAGレーザ、株式会社AGT製)を用いた。レーザ光の透明対向電極上における照射面積口は20μmとし、パルス幅3n〜5n秒とした。また、レーザ照射はシングルショットで行った。
波長532nmおよび1064nmのレーザ光は、透明対向電極(ITO)の下地層である有機層にもダメージを与えた。一方、波長355nmのレーザ光は、透明対向電極を破壊するが、下地層の有機層には、ダメージを与えなかった。これは、レーザ光を照射する透明対向電極上にカラーフィルタがない場合、YAGレーザの第3高調波のレーザ光を用いることが好ましいことを示す。
11 カラーフィルタ
12 保護層
13 透明対向電極
14 有機層
15 画素電極
16 基板
17 正孔注入層
18 正孔輸送層
19 電子輸送層
20 ガラス板
21 異物
31 レーザ光源
32 レーザ光
33 スリット
34 集束レンズ
35 貫通痕
36 透明対向電極破壊部
40 カラーフィルタの薄い領域
41 気泡
100 有機EL素子
101 欠陥部
200 レーザ装置
Claims (14)
- 基板と、前記基板上にマトリクス状に配置された有機EL素子を有する有機ELパネルを準備するステップであって、前記有機EL素子のそれぞれは、前記基板上に配置された画素電極、前記画素電極上に配置された有機層、前記有機層上に配置された透明対向電極、前記透明対向電極上に配置された保護層および前記保護層上に配置されたカラーフィルタを有し、
前記有機EL素子内の前記有機層に存在する欠陥部を検出するステップ、
前記透明対向電極のうち、前記欠陥部上の領域に、前記カラーフィルタを通してレーザ光を照射し、前記領域の透明対向電極を破壊するステップ、および
前記カラーフィルタのうち、前記欠陥部上の領域を除去するステップ、
を有する有機ELディスプレイの製造方法。 - 前記照射するレーザ光の波長は、400nm以下である、請求項1に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記カラーフィルタを除去するステップと、前記透明対向電極を破壊するステップとは、同一ステップである、請求項1に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記除去されるカラーフィルタは赤色であり、前記透明対向電極に照射する前記レーザ光の波長は、600nm未満である、請求項3に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記除去されるカラーフィルタは緑色であり、前記透明対向電極に照射する前記レーザ光の波長は、480nm未満または580nm超790nm未満である、請求項3に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記除去されるカラーフィルタは青色であり、前記透明対向電極に照射する前記レーザ光の波長は、430nm未満または500nm超850nm未満である、請求項3に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記カラーフィルタを除去するステップと、前記透明対向電極を破壊するステップとは、異なるステップであり、前記カラーフィルタの除去は、前記カラーフィルタのうち前記欠陥部上の領域へのレーザ光の照射により行われる、請求項1に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記除去されるカラーフィルタは赤色であり、前記透明対向電極に照射する前記レーザ光の波長は、600nm以上である、請求項7に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記除去されるカラーフィルタは緑色であり、前記透明対向電極に照射する前記レーザ光の波長は、480nm〜580nmまたは790nm以上である、請求項7に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記除去されるカラーフィルタは青色であり、前記透明対向電極に照射する前記レーザ光の波長は、430nm〜500nmまたは850nm以上である、請求項7に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記カラーフィルタを除去するステップにおいて、前記カラーフィルタに貫通痕を形成する、請求項1に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記カラーフィルタを除去するステップにおいて、前記カラーフィルタを薄くする、請求項1に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記レーザ光の照射により、前記保護層内に微小な気泡を形成する、請求項1に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 基板と、前記基板上にマトリクス状に配置された有機EL素子を有する有機ELディスプレイであって、前記有機EL素子のそれぞれは、前記基板上に配置された画素電極、前記画素電極上に配置された有機層、前記有機層上に配置された透明対向電極、前記透明対向電極上に配置された保護層および前記保護層上に配置されたカラーフィルタを有し、
少なくとも一つの前記有機EL素子は、前記有機層に欠陥部を有し、
前記透明対向電極のうち、前記欠陥部上の領域は破壊されており、前記カラーフィルタのうち前記欠陥部上の領域は除去されている、有機ELディスプレイ。
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