JP4671770B2 - 磁場計測装置 - Google Patents
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Description
(2)また、特許文献2では計測部近傍に高透磁率材料を配置することにより、外部の磁気信号を遮蔽するが、本来の目的である計測信号そのものを歪めてしまう問題点があった。特に、高透磁率材料付近のセンサーからの信号は高透磁率磁性体へ曲げられるため、多数のセンサーを用いた磁場分布測定を行う場合や、分布から信号源推定を行う場合、2次元分布パターンの変化や、位置推定の誤差を生じる問題があった。
(1)特に第1の磁気遮蔽装置が両端開放している円筒形の場合、センサーは主磁気遮蔽装置の円筒軸に対して略垂直方向磁場を計測する方向に配置される。そのとき、主磁気遮蔽円筒の長さが円筒径の2倍以下のような形状の場合、円筒開口端から侵入する円筒軸に垂直な成分は十分に遮蔽することができない。そこで、第1の磁気遮蔽筒の筒軸に対して第2の磁気遮蔽筒の筒軸が垂直方向となる配置で、センサーを覆うことにより侵入する磁場を磁気遮蔽する。第2の磁気遮蔽筒は径の異なる複数の筒を同軸上に組み合わせて使用することも可能である。
(2)また、計測対象から発生する磁気成分は第2の磁気遮蔽筒が近接しているため、第2の磁気遮蔽筒軸に近づくにつれて、第2の磁気遮蔽筒を構成している高透磁率磁性体方向へ曲げられる。特に、計測センサーが配置される計測面が第2の磁気遮蔽筒の開口部端部より筒内側に配置される場合、第2の磁気遮蔽筒壁に近い周辺部センサーの計測磁場は、第2の磁気遮蔽筒がない場合に比べて大きくゆがめられる。そのため、計測された磁場からの等高線図を生成や、その分布図から信号源位置を推定した場合、第2の磁気筒遮蔽がない場合のパターン分布と異なるパターンが得られ、実際の電流源位置とずれた場所に推定されてしまう問題が生じる。そこで、前記第2の磁気遮蔽筒により歪められた前記磁気センサーにより得られた信号を補正する演算手段を設けて、例えば、その歪められた磁場分布を各センサーの第2の磁気遮蔽筒中心からの距離を第2の磁気遮蔽筒半径で正規化した値と計測対象側の第2の磁気遮蔽筒開口端面とセンサー配置面との距離、第2の磁場筒の磁性体の厚みや形状、透磁率などで決められる係数などを用い、実際に検出した垂直成分である信号量から第2の磁気遮蔽筒が無い場合の垂直成分磁場信号量を数値補正する。数値補正に使用する係数はシミュレーションにより算出、または、実際の装置構成から実験値により決定する。
Bz = Bz'×(α+e(−(1−ds)×β)) ・・・ (数1)
(数1)においてeは自然対数の底とする。α、βは第2の磁場遮蔽装置3の大きさ、磁性体の比透磁率、磁性体の厚さ、第2の磁気遮蔽装置3の計測対象側の開口端から、センサー計測面までの距離dhなどによって決まる値で、その決定には数値シミュレーションや実際に作製した第2の磁場遮蔽装置3の外部磁場に対する内部磁場分布を計測することにより決定する。シミュレーション及び実測方法は第2の磁気遮蔽装置の中心軸中央に、直径10から50mm程度の磁場発生コイル32を第2の磁気遮蔽装置3の計測面端部から10から100mm程度離した距離に配置して、第2の磁気遮蔽装置3内部の磁場分布を計算もしくは計測する。前記計算もしくは計測した結果と、第2の磁気遮蔽装置3がない場合の磁場分布の計算もしくは計測した値を用い(数1)におけるα、βを決定する。
Bz1=Bz’×(α1×ds2+β1×ds+γ1)
…(数2)
Bz2=Bz’×(α2×ds2+β2×ds+γ2)
…(数3)
Bz3=Bz’×(α3×ds2+β3×ds+γ3)
…(数4)
(数2)(数3)(数4)において、それぞれα1、β1、γ1、α2、β2、γ2、α3、β3、γ3は第2の磁場遮蔽装置3の大きさ、磁性体の比透磁率、磁性体の厚さ、第2の磁気遮蔽装置3の計測対象側の開口端から、センサー計測面までの距離dhなどによって決まる値で、その決定には数値シミュレーションや実際に作製した第2の磁場遮蔽装置3の外部磁場に対する内部磁場分布を計測することにより決定する。シミュレーション及び実測方法は第2の磁気遮蔽装置の中心軸中央に、直径10から50mm程度の磁場発生コイル32を第2の磁気遮蔽装置3の計測面端部から10から100mm程度離した距離に配置して、第2の磁気遮蔽装置3内部の磁場分布を計算もしくは計測する。前記計算もしくは計測した結果と、第2の磁気遮蔽装置3がない場合の磁場分布の計算もしくは計測した値を用い(数2)(数3)(数4)におけるα1、β1、γ1、α2、β2、γ2、α3、β3、γ3を決定する。実施例3ではdrの領域を3つに分けているが、いくつに分けても同様に補正することが可能である。一般的には2から4が適当である。さらに補正式はセンサー5で計測した磁場の値をBz’にdsの2次関数を掛け合せて補正しているが、多次関数でも可能である。一般的には2から3次関数が適当である。補正領域を複数に領域分けすることの利点としては補正近似の精度が向上する。
Claims (10)
- 両端が開放の筒型に形成された第1の磁気遮蔽装置と、
磁場検出方向が前記第1の磁気遮蔽装置の筒軸方向と略直交するよう配置され、前記第1の磁気遮蔽装置内に配置された単数もしくは複数の磁気センサーと、
両端もしくは、計測対象物に近いほうの1方向が開放の筒型に形成され、筒軸方向が前記磁場検出方向と略平行で、前記第1の磁気遮蔽装置内に配置され、筒内部に前記磁気センサーが配置される第2の磁気遮蔽装置と、
前記第2の磁気遮蔽装置により歪められた前記磁気センサーにより得られた信号を補正する演算手段とを有することを特徴とする磁場計測装置。 - 両端が開放の円筒型に形成され、前記円筒の長さが前記円筒直径の2倍よりも短い第1の磁気遮蔽装置と、
磁場検出方向が前記第1の磁気遮蔽装置の筒軸方向と略直交するよう配置され、前記第1の磁気遮蔽装置内に配置された単数もしくは複数の磁気センサーと、
両端もしくは、計測対象物に近いほうの1方向が開放の筒型に形成され、筒軸方向が前記磁場検出方向と略平行で、前記第1の磁気遮蔽装置内に配置され、筒内部に前記磁気センサーが配置される第2の磁気遮蔽装置と、
前記第2の磁気遮蔽装置により歪められた前記磁気センサーにより得られた信号を補正する演算手段とを有することを特徴とする磁場計測装置。 - 前記第2の磁気遮蔽装置は断面が円もしくは正多角形の筒型形状であることを特徴とする請求項1または2記載の磁場計測装置。
- 前記演算手段は前記磁気センサーにより得られた信号に、前記磁気センサーの位置により決まる関数を掛け合わせることにより補正を行うことを特徴とする請求項1記載の磁場計測装置。
- 前記演算手段は、前記第2の磁気遮蔽装置内の領域毎に異なる補正演算を施すことを特徴とする請求項1記載の磁場計測装置。
- 前記磁気センサーは、前記磁気センサーの開口端の位置が前記第2の磁気遮蔽装置の開口端から前記第2の遮蔽装置の内側に向かって10mm〜50mmの位置となるような位置に配置されることを特徴とする請求項1または2記載の磁場計測装置。
- 前記第2の磁気遮蔽装置の中心軸の位置を0、筒壁の位置を1として正規化したとき、
前記磁気センサーは、0から0.9の範囲内に配置されることを特徴とする請求項1または2記載の磁場計測装置。 - 前記第1、第2の磁気遮蔽装置は、高透磁率材料からなることを特徴とする請求項1または2記載の磁場計測装置。
- 前記高透磁率材料はパーマロイおよびミューメタルであることを特徴とする請求項8記載の磁場計測装置。
- 前記第1の磁気遮蔽装置は円筒型であり、前記円筒の長さが前記円筒直径の2倍よりも短いことを特徴とする請求項1記載の磁場計測装置。
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