JP4671752B2 - 熱電対 - Google Patents

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温度測定用の熱電対に関する。
一般に熱電対を高温雰囲気に置いて温度測定する場合、酸化又は還元等により熱電対金属表面の劣化が進むことから、より太い熱電対線、又はより厚い熱電対線を使用する必要があった。又従来の測温部は熱電対金属のままであり、一般に光沢があり赤外線エネルギーを反射し吸収しない。
なお、特許文献1や2には、熱電対素子が直列に接続された直列型熱電対の熱電対素子の接点同士が電気的に短絡することを防止する目的で、熱電対素面をほうろう等で被覆することが記載されている。
又、特許文献3には、先端部が箔状のごく薄い熱電対が記載されている。
特開平09−74228号公報 特開平08−219464号公報 特開平05−332844号公報
前記の通り、高温雰囲気中での温度測定ではより太いあるいはより厚い熱電対線を使用する必要があることから、測温部の熱容量が大となり、測定応答速度が低下、測定精度が低くなるという問題点があった。更に先端部が箔状のごく薄い熱電対を特に耐熱性テープなどで熱電対測温部を検体に接して固定する場合、熱電対測温部と検体との間にわずかであるがすき間があくが、光沢状の熱電対では赤外線エネルギーを反射し吸収できないため熱電対測温部の測定応答速度が低下、測定精度が低くなるという問題があった。
温部を含む先端部が箔状で、その両面が光沢を有する、むき出しの熱電対金属の片面のみを直接黒体加工する。
温部を含む先端部が箔状で、その両面が光沢を有する、むき出しの熱電対金属の片面のみを直接黒体加工することにより、特に耐熱性テープなどで熱電対測温部を検体に接して固定する場合、熱電対測温部と検体との間にわずかであるがすき間があくが、黒体加工面を検体面に接することで検体から放射される赤外線エネルギーを吸収でき、一方熱電対のもう片側は従来通り鏡面状であり大気側に位置するが放射率が低いことから赤外線エネルギーの放射は少なく熱電対測温部の温度上昇が早くなる。
極薄熱電対の片面のみが直接黒体で被覆されていることから、特に耐熱性テープなどで熱電対測温部を検体に固定する場合、熱電対測温部と検体との間にわずかであるがすき間があくが、黒体加工面を検体面に接することで検体から放出される赤外線エネルギーを容易に吸収でき、一方熱電対のもう片側は従来通り鏡面状であり大気側に位置するが放射率が低いことから赤外線エネルギーの放射は少なく熱電対測温部の温度上昇が早くなり、より高速応答可能であり、高い測定精度を維持できる。
図1は極細熱電対線を使った比較例を示す。図1(a)は先端が極細熱電対線となっている外観を示す。1は直径100μm以上の+側熱電対元線、1′は直径12から50μmの+側極細熱電対線、2は直径100μm以上の−側熱電対元線、2′は直径12から50μmの−側極細熱電対線、3は被覆部、4は測温部をしめす。図1(b)から図1(d)は図1(a)の極細熱電対線1′の断面斜視図を示す。図1(b)は、極細熱電対線5の上にほうろう6を被覆した比較例である。図1(c)は極細熱電対線5の上に貴金属めっき7即ち金、白金、ロジウムめっきのいずれかを被覆した比較例である。図1(d)は、極細熱電対線5の上に耐熱性塗料8で被覆した比較例である。なお、黒体機能を持つ耐熱性塗料を使うこともできる。ここでは先端が極細形状の熱電対線の場合について説明したが、先端が以下に述べる極薄形状の熱電対が、本特許に含まれる。
図2は極薄熱電対を使った例を示す。図2(a)は先端が極薄熱電対線となっている外観を示す。9は厚さ10から100μmの箔状の+側極薄熱電対線、10は厚さ10から100μmの箔状の−側極薄熱電対線で11は厚さ10から100μmの箔状の測温部を示す。図2(b)から図2(f)は図2(a)の極薄熱電対線9の断面斜視図を示す。図2(b)は箔状の極薄熱電対12の上にホウロウ6を被覆した比較例である。図2(c)は箔状の極薄熱電対12の上に貴金属めっき7即ち金、白金、ロジウムめっきのいずれかを被覆した比較例である。図2(d)は、本発明により、箔状の極薄熱電対12の片面のみに黒体13を直接被覆した実施例である。黒体機能を持つ耐熱性塗料で黒体13を形成することもできる。図2(e)は箔状の極薄熱電対12の上にほうろう6で被覆した後、更に片面のみに黒体13を被覆した比較例である。図2(f)は箔状の極薄熱電対12の上に貴金属めっき7即ち金、白金、ロジウムめっきのいずれかを被覆した後、更に片面のみに黒体13を被覆した比較例である。
微細熱電対線へ応用した例の斜視図 極薄熱電対線へ応用した例の斜視図
1 +側熱電対元線
2 −側熱電対元線
3 被覆部
4 測温部
5 極細熱電対線
6 ほうろう
7 貴金属めっき
8 耐熱性塗料
9 箔状の+側極薄熱電対線
10 箔状の−側極薄熱電対線
11 箔状の測温部
12 極薄熱電対
13 黒体

Claims (1)

  1. 測温部を含む先端部が箔状で、その両面が光沢を有する、むき出しの熱電対金属の片面のみを直接黒体加工したことを特徴とする熱電対。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5145005B2 (ja) * 2007-10-09 2013-02-13 Dowaサーモテック株式会社 プラズマ処理炉及びプラズマ処理炉の被処理体の温度測定方法
KR102285334B1 (ko) * 2019-11-26 2021-08-03 한국산업기술대학교산학협력단 재료의 물성 측정 장치 및 방법
CN111304560B (zh) * 2020-02-27 2021-12-03 亚创环能科技集团有限公司 一种纤维空腔辐射元件及其制作方法

Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5821829U (ja) * 1981-08-03 1983-02-10 池袋琺瑯工業株式会社 グラスライニング測温装置
JPS59145935A (ja) * 1983-01-13 1984-08-21 Nippon Ferrite Ltd 応答性の良い熱電対
US4735661A (en) * 1986-11-10 1988-04-05 Omega Engineering, Inc. Rapid response, removably affixable thermocouple
JPH01224630A (ja) * 1988-03-04 1989-09-07 Nippon Steel Corp 長尺サーモパイルとその製造法
JPH02165025A (ja) * 1988-12-20 1990-06-26 New Japan Radio Co Ltd サーモパイル
JPH03258066A (ja) * 1990-03-07 1991-11-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Pb帯域減衰型音声ガイダンス処理方法
JPH05332844A (ja) * 1992-06-01 1993-12-17 Konica Corp 画像形成装置用温度センサ
JPH0666643A (ja) * 1992-08-20 1994-03-11 Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk 温度検出器付き基板
JPH0694157A (ja) * 1991-06-25 1994-04-05 Ikebukuro Horo Kogyo Kk 温度センサー付フラッシュ弁
JPH06258149A (ja) * 1991-07-04 1994-09-16 Ulvac Japan Ltd 薄膜型熱電対素子
JPH0684331U (ja) * 1993-05-18 1994-12-02 石川島播磨重工業株式会社 熱電対
JPH07181085A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 測温接点が絶縁被覆された熱電対及びその製造方法
JPH08219464A (ja) * 1995-02-08 1996-08-30 Paloma Ind Ltd 直列型熱電対
JPH0974228A (ja) * 1995-09-01 1997-03-18 Paloma Ind Ltd 直列型熱電対
JPH1151781A (ja) * 1997-08-05 1999-02-26 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd エアコン用温度検出具
JPH11258066A (ja) * 1998-03-12 1999-09-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 温度測定システム
JPH11337413A (ja) * 1998-05-26 1999-12-10 Sukegawa Electric Co Ltd 非接触温度測定装置及び温度測定方法
JP2000155055A (ja) * 1998-11-20 2000-06-06 Toshiba Corp 温度検出器および温度検出システム
JP2003240644A (ja) * 2002-02-13 2003-08-27 Yoshinobu Abe 極薄熱電対

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5821829U (ja) * 1981-08-03 1983-02-10 池袋琺瑯工業株式会社 グラスライニング測温装置
JPS59145935A (ja) * 1983-01-13 1984-08-21 Nippon Ferrite Ltd 応答性の良い熱電対
US4735661A (en) * 1986-11-10 1988-04-05 Omega Engineering, Inc. Rapid response, removably affixable thermocouple
JPH01224630A (ja) * 1988-03-04 1989-09-07 Nippon Steel Corp 長尺サーモパイルとその製造法
JPH02165025A (ja) * 1988-12-20 1990-06-26 New Japan Radio Co Ltd サーモパイル
JPH03258066A (ja) * 1990-03-07 1991-11-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Pb帯域減衰型音声ガイダンス処理方法
JPH0694157A (ja) * 1991-06-25 1994-04-05 Ikebukuro Horo Kogyo Kk 温度センサー付フラッシュ弁
JPH06258149A (ja) * 1991-07-04 1994-09-16 Ulvac Japan Ltd 薄膜型熱電対素子
JPH05332844A (ja) * 1992-06-01 1993-12-17 Konica Corp 画像形成装置用温度センサ
JPH0666643A (ja) * 1992-08-20 1994-03-11 Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk 温度検出器付き基板
JPH0684331U (ja) * 1993-05-18 1994-12-02 石川島播磨重工業株式会社 熱電対
JPH07181085A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 測温接点が絶縁被覆された熱電対及びその製造方法
JPH08219464A (ja) * 1995-02-08 1996-08-30 Paloma Ind Ltd 直列型熱電対
JPH0974228A (ja) * 1995-09-01 1997-03-18 Paloma Ind Ltd 直列型熱電対
JPH1151781A (ja) * 1997-08-05 1999-02-26 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd エアコン用温度検出具
JPH11258066A (ja) * 1998-03-12 1999-09-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 温度測定システム
JPH11337413A (ja) * 1998-05-26 1999-12-10 Sukegawa Electric Co Ltd 非接触温度測定装置及び温度測定方法
JP2000155055A (ja) * 1998-11-20 2000-06-06 Toshiba Corp 温度検出器および温度検出システム
JP2003240644A (ja) * 2002-02-13 2003-08-27 Yoshinobu Abe 極薄熱電対

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