JP2006153703A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガスセンサのセンサ素子10において、活性ロウ材は、卑金属からなる各電極パッド部118,119および232の表面との濡れ性のみならず、アルミナを主体とする絶縁層51および第2基層123の表面との濡れ性も高い。よって、活性ロウ材層250を、電極パッド部118,119および232の表面と、その周辺の絶縁層51の表面及び第2基層123の表面とに設けることができる。これにより、電極パッド部118,119と絶縁層51の表面との接触部分にできる隙間や、電極パッド部232と第2基層123の表面との接触部分にできる隙間を覆うことができ、その隙間から酸素や水がセンサ素子10内に侵入するのを防止できる。
【選択図】 図2
Description
・試験区1:ロウ材・・・Pd:Ag=5:95w%のもの
・試験区2:活性ロウ材・・・試験区1のロウ材に、Tiが1.0w%となるように添加したもの。
そして、各試験区のセンサ素子10において、検出素子12側の絶縁層51の先端部表面に設けられた電極パッド部118,119の上を跨ぐようにして、略正方形に固形化したシート状のロウ材270又は活性ロウ材280をそれぞれ載置し、以下の条件で焼成をおこなった。
○焼成条件・・・水素炉で400℃/1時間で昇温し、1125℃に到達した時に、15分保って、その後冷却する。
そして、焼成した後のセンサ素子10において、各試験区の絶縁層51の表面上に載置されたロウ材270又は活性ロウ材280の状態を検討し、濡れ性の程度について比較をおこなった。次に、比較確認試験の結果について説明する。
10 センサ素子
12 検出素子
14 ヒータ素子
51 絶縁層
118 電極パッド部
119 電極パッド部
121 発熱抵抗体
123 第2基層
133 導体リード部
134 導体リード部
211 端部
213 リード部
232 電極パッド部
250 活性ロウ材層
Claims (4)
- 少なくとも一方の表面が、アルミナを主成分とするアルミナ層により構成された基体であって、当該基体の内部に設けられた配線と、前記アルミナ層の表面に設けられ、前記配線と電気的に接続する電極部とを備える前記基体を有するガスセンサにおいて、
前記電極部は卑金属からなり、
前記電極部及びその周辺の前記アルミナ層には、活性ロウ材が塗布されていることを特徴とするガスセンサ。 - 前記活性ロウ材は、Au−Ag、Pd−Au、又はPd−Agを主体とし、Ti,Cr,Zr,Nb,Alのうち少なくとも1種以上含有することを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記活性ロウ材には、Ptが含有されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ。
- 前記電極部である卑金属とは、W、Mo、Mnのうち1種又は2種であることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のガスセンサ。
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