JP4636354B2 - リニアモータおよびそれを備えたテーブル送り装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械の送り機構や半導体製造装置の位置決め装置に利用されるリニアモータおよびそれを備えたテーブル送り装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、工作機の送り機構や半導体製造装置の位置決め装置に用いられると共に電機子を可動子に、界磁極を固定子として、電機子を界磁極の長手方向に沿って相対的に走行させるムービングコイル形リニアモータは図6のようになっている。なお、図6は従来のリニアモータの正断面図である。図において、31はリニアモータ、32は電機子、33はコア、34は電機子取付板、35は永久磁石、36は界磁ヨーク、37は電機子コイル、38は取付ボルト、39は冷媒通路、40はモールド樹脂である。このような構成において、コ字状断面を有する界磁ヨーク36上の長手方向(紙面と垂直方向)に沿って交互に極性が異なるように複数の永久磁石35が配置されており、界磁ヨーク36と永久磁石35とで固定子を構成している。この永久磁石35と磁気的空隙を介して対向して電磁鋼板を永久磁石35の高さ方向に積層してなるコア33が設けられている。コア33は、そのスロット内部に電機子コイル37を巻装して周囲をモールド樹脂40で固着しており、コア33と電機子コイル37とで可動子を構成している。コア33および電機子取付板34は、電機子取付板34に設けた雌ねじ部(不図示)に取付ボルト38をねじ込んで締結されている。また、電機子32には電機子コイル37に対向する位置に冷媒通路39が設けられており、冷媒通路39との間をモールド樹脂40により固着し、電機子32と冷媒通路39とで一体構造の冷却ユニットを構成している。なお、電機子取付板34は、テーブル(不図示)を介してリニアガイド(不図示)により支持され、リニアガイドを用いてリニアモータをテーブルの長手方向(紙面と垂直方向)に沿って摺動するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術では以下の問題があった。
(1)リニアモータ31の推力を上げるために、図示しない電源から電機子コイル37に駆動電流を供給し続けると、電機子コイル37の内部抵抗の増大により温度が上昇して発熱量が増加する。このため、電機子コイル37からの発熱は冷媒通路39側へ伝熱し、冷媒の強制対流による熱伝達で熱交換される。その一方で、コア33は鉄損の増大により温度が上昇して発熱量が増大する。コア33からの発熱は電機子取付板34を介して電機子取付板34の上部に固定されるテーブル(不図示)に伝熱するが、コア33からテーブル側を経由して外部へ放出する熱は自然対流による熱伝達によるところが大きく、強制対流熱伝達に比べると冷却能力が小さいため、コア33およびテーブルの熱変形を生じさせるという問題があった。特にコア33の長手方向に沿う反りが大きい。また、テーブルへの伝熱に伴う熱変形は、リニアガイドや検出器(何れも不図示)に悪影響を与え、位置決め精度の誤差を生じることから、高精度位置決めに支障をきたす原因となっていた。
(2)電機子コイル37の温度上昇の影響に伴って、例えば、電機子コイル37自体が絶縁劣化を生じると、電機子32の交換に応じて、冷却ユニットの交換も必要になる、また、電機子コイル37の周囲を覆っている樹脂モールド40が熱変形を起こした際、その熱変形による破損の影響に伴って、冷媒通路39から冷媒(液体)が漏れたりすると、冷却ユニットの交換に応じて、電機子32の交換も必要になる、したがって、電機子32と冷却ユニットは一体構造のため、何れか一方が損傷した場合は全てを新製する必要があり、リニアモータ本体のコストがかかっていた。
(3)上述のように電機子32が液冷の冷却ユニットを備えて可動子を構成する場合、外部に設置されるポンプ(不図示)および該ポンプと接続するための配管(不図示)が必要となり、構成が複雑でメンテナンスもかかる上、周辺機器を含めた設計・製造上のコストがかかっていた。本発明では、上記問題を解決するためになされたものであり、低コストで、メンテナンスが不要で、電機子の冷却性能を向上できるリニアモータおよびそれを備えたテーブル送り装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、請求項1の本発明は、交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークよりなる固定子と、前記界磁ヨークの長手方向に沿って前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共にコアに電機子コイルを巻装した電機子よりなる可動子と、を備えたリニアモータにおいて、前記電機子の上部の長手方向に沿って配設された前記電機子を取り付けるための電機子取付板と、前記電機子取付板の両側に断熱板を介して取り付けた負荷を搭載するためのテーブルと、前記テーブルとの間に空間を介して設けられ、かつ前記電機子取付板と前記テーブルの間に挟み込むように設けられたブロック状の高熱伝導部材で形成されると共に、前記固定子または前記可動子より生じる熱を外部に放熱できるよう熱交換する冷却ユニットと、を備えており、前記冷却ユニットの内部には複数のヒートパイプが設けられると共に、前記ヒートパイプの放熱側が配置される外周面にフィンを有するヒートシンクが設けられたものである。
請求項2の本発明は、請求項1記載のリニアモータの冷却装置において、前記ヒートパイプは、一方の受熱部を前記電機子の長手方向の中央部側に、他方の放熱部を前記電機子の長手方向の端部側となるように配置されたものである。
請求項3の本発明は、請求項1または2に記載のリニアモータの冷却装置において、前記ヒートパイプは、前記電機子コイルと相対して向き合う位置に配設されたものである。
請求項4の本発明は、請求項1に記載のリニアモータの冷却装置において、前記冷却ユニットを、前記電機子取付板に対して自在に取り外しできるよう、締結用の取付ボルトにより固定したものである。
請求項5の本発明は、請求項1に記載のリニアモータの冷却装置において、前記ヒートシンクの放熱側にファンモータを設けたものである。
請求項6の本発明は、請求項1または4に記載のリニアモータの冷却装置において、前記冷却ユニットを、内部に蛇行した中空状の細管を多数並べた構造を有する薄型のシート状ヒートパイプで構成したものである。
請求項7の本発明は、請求項1に記載のリニアモータの冷却装置において、前記コアは、分割された複数のコアブロックを順次に並べて嵌合連結したものである。
請求項8の本発明は、請求項1〜7までの何れか1項に記載のリニアモータを、テーブルを介してリニアガイドにより支持すると共に、該リニアモータを駆動することで該テーブルの長手方向に沿って位置決めを行うようにしたテーブル送り装置を特徴としたものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図1は本発明の第1の実施例を示すリニアモータであって、図2の矢視B方向から見た正面図である。図2は図1におけるリニアモータの電機子を矢視A方向から見た側面図であって。その内部を透視したものである。1はリニアモータ、2は電機子、3はコア、4は電機子取付板、5は永久磁石、6は界磁ヨーク、7は電機子コイル、8は取付ボルト、9は固定ベース、10は冷却ユニット、11はヒートパイプ、12は断熱板、13はヒートシンク、14はテーブル、15、16は取付ボルトである。それから17はモータリード線と外部電源等を接続するコネクタである。なお、コア3および電機子コイル7とよりなる電機子2を可動子に、永久磁石5および界磁ヨーク6よりなる界磁極を固定子として電機子2を走行させるといったリニアモータの基本的な構成は従来技術と同じである。本発明の構成は以下のとおりである。図において、リニアモータ1の電機子2の上部には、長手方向に向かって電機子2を取り付けるための電機子取付板4が配設され、電機子取付板4の両側に負荷を搭載するためのテーブル14が樹脂等でできた断熱板12を介して取り付けられている。電機子取付板4およびテーブル14は、電機子取付板4に設けた雌ねじ部(不図示)に締結用の取付ボルト15をねじ込んで固定される。また、コア3および電機子取付板4は、電機子取付板4に設けた雌ねじ部(不図示)に取付ボルト8をねじ込んで固定されている。そして、冷却ユニット10は、電機子取付板4に対して自在に取り外しできるように構成されている。すなわち、冷却ユニット10と電機子取付板4は、冷却ユニット10に設けた通し孔(不図示)側に締結用となる取付ボルト16を通した後、電機子取付板4に設けた雌ねじ部(不図示)に向かって取付ボルト16をねじ込んで固定される。この冷却ユニット10は、テーブル14との間に空間Sを介して設けられ、かつ、電機子取付板4とテーブル14の間に挟み込むように設けられたブロック状の高熱伝導部材で形成されている。冷却ユニット10の内部には複数のヒートパイプ11が設けられると共に、このヒートパイプ11は、一方の受熱部を電機子2の長手方向の中央部側に、他方の放熱部を電機子2の長手方向の端部側となるように配置されている。また、ヒートパイプ11は、リニアモータ1の正面から見ると、電機子コイル7とちょうど相対して向き合う位置に配設されている。さらに、冷却ユニット10におけるヒートパイプ11の放熱側が配置される外周面にフィンを有するヒートシンク13が設けられ、取付ボルト16により固定されている。ここで、電機子取付板4と冷却ユニット10の間には、電機子2からの熱伝達を冷却ユニット10に効率よく行うことができるよう、シリコングリース等が塗布されている。
【0006】
次に、リニアモータの冷却装置の動作を説明する。上記構成において、図示しない電源から駆動電流を電機子コイル7に供給すると、電機子2が一定推力を発生すると共に、電機子コイル7およびコア3は発熱を起こす。電機子コイル7およびコア3で発生した熱は、電機子取付板4を経由して冷却ユニット10のヒートパイプ11の受熱部に伝わり、この受熱部で熱を吸収すると激しい核沸騰を発生する。核沸騰の断続による圧力波が振動波となってヒートパイプ11内部に封入された作動液に振動を引き起こし、作動液の振動によりヒートパイプ11の放熱部に大量の熱が伝わる。そして、ヒートパイプ11の放熱部に伝熱した熱は冷却ユニット10の放熱面側に設けたヒートシンク13に伝わる。この電機子部2で発生した熱がヒートパイプ11、ヒートシンク13によって取り去られ、熱交換される。電機子コイル7の温度上昇が抑制されることで、電機子取付板4と熱絶縁されたテーブル14側へ一切伝熱されるとなく、テーブル14への伝熱、熱変形を抑制できる。
【0007】
したがって、本発明は、電機子2の上部の長手方向に沿って配設された電機子2を取り付けるための電機子取付板4と、電機子取付板4の両側に断熱板12を介して取り付けた負荷を搭載するためのテーブル14とを備え、冷却ユニット10がテーブル14との間に空間Sを介して設けられ、かつ、電機子取付板4とテーブル14の間に挟み込むように設けられたブロック状の高熱伝導部材で形成され、冷却ユニット10の内部に複数のヒートパイプ11を設け、ヒートパイプ11の放熱側が配置される外周面にフィンを有するヒートシンク13を設ける構成にしたので、冷却ユニット10が熱絶縁されたテーブル14と直接接触せず、電機子取付板4と直接接触した構造を取ることで、電機子で生じた発熱を冷却ユニット10側のみ伝熱することができる。その結果、テーブル14への伝熱に伴う熱変形をなくし、リニアガイドや検出器等の位置決め精度の誤差に影響を及ぼすこともなくなり、高精度位置決め可能なリニアモータを提供することができる。また、ヒートパイプ11は、一方の受熱部を電機子2の長手方向の中央部側に、他方の放熱部を電機子2の長手方向の端部側となるように配置した構成にしたので、例えば、可動子を高推力で移動させる場合に発生する電機子部2の熱を、電機子2の端部に設けたヒートパイプ11とヒートシンク13によって、電機子2の中央部側から端部側へ効率的に除去することができる。その結果、電機子のコア部3の長手方向における反りを防ぎ、熱変形を抑制することができる。また、ヒートパイプ11は、電機子コイル7と相対して向き合う位置に配設されたので、電機子コイル7とヒートパイプ11との伝熱経路を最短の距離にすることで、電機子コイル7とヒートパイプ11間の熱抵抗を小さくし、熱伝達を上げることができ、効率よく冷却することができる。また、冷却ユニット10を、電機子2を取り付ける電機子取付板4に対して取付ボルト16により取り外し自在にできる構成にしたので、電機子2と冷却ユニット10の何れか一方が損傷した場合でもリニアモータ電機子全てを新製することなく、電機子2、テーブル14の組立、分解に手間とコストがかからなくなることから、リニアモータ本体を低コストに抑えることができる。そして、従来、周辺機器と配管等の接続の際に生じたメンテナンスの煩わしさ等も一切不要にすることができ、周辺機器を含めた設計・製造上のコストも抑えることができる。
【0008】
次に本発明の第2の実施例を説明する。図3は本発明の第2の実施例を示すリニアモータであって、図4の矢視D方向から見た正面図である。図4は図3におけるリニアモータの電機子を矢視C方向から見た側面図である。図において、18はヒートシンク、19はファンモータ、20はケーシングである。第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、ヒートシンク18の放熱側には、フィン部を覆うようにファンモータ19を設け、強制的に冷却を行なうようにしたものである。ファンモータ19はケーシング20に取り付けられている。なお、動作については、第1の実施例と同じなので、説明を省略する。第2の実施例は、ヒートシンク18にファンモータ19を設けることで、冷却ユニット10からヒートシンク18側に伝熱された熱がファンモータ19の排気により外部に向かって強制的に放熱され、より効果的に冷却効果を高めることができる。
【0009】
次に、本発明の第3の実施例を説明する。図5は本発明の第3の実施例を示すシート状ヒートパイプの全体斜視図であり、内部を透視したものである。第3実施例が第1および第2の実施例と異なる点は、第1および第2の実施例の図1〜図4で示した冷却ユニットの代わりに薄型で折り曲げ自在のシート状ヒートパイプが設けられている点である。シート状ヒートパイプの内部構造を図5に示して具体的に以下説明する。なお、該シート状ヒートパイプをリニアモータに組み込んだ図示は省略する。シート状ヒートパイプ21は、熱伝導の良い金属製の薄板部材の内部に蛇行した中空状の細管21Aが多数並ぶ構造とし、フロン等の液相作動液と気相作動液からなる二相の作動液が細管21Aに封入されたものである。シート状ヒートパイプ21を電機子に固着する際は、シート状ヒートパイプ21の受熱部21Bを電機子の表面に接触させ、放熱部21Cの一部をヒートシンクに接触させるようにする。このようにして第3の実施例は、冷却ユニットを、内部に蛇行した中空状の細管21Aを多数並べた構造とするシート状ヒートパイプ21としたので、小型の割には熱伝導率が極めて高く、熱の移動を迅速に行うことができ、第1、第2実施例に比べて冷却効果を向上することができる。なお、本実施例では、電機子コイルの両側に永久磁石を配置した磁束貫通型構造のリニアモータの例を用いて説明したが、電機子コイルの片側に永久磁石を配置する、いわゆるギャップ対向型構造のリニアモータにおいても、同様に本発明に適用することができる。また、電機子のコアは、分割された複数のコアブロックを順次に並べて嵌合連結したものとしても構わず、ユーザからリニアモータの長ストローク化の要求があった際に電機子に分割コアを採用することで、電機子およびテーブルの長さ、取付位置に応じて冷却ユニットおよびヒートシンクを所望の位置に取り付けることが可能となり、リニアモータの設計仕様に影響されることなく冷却装置の設置性向上することができる。
【0010】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明は以下の効果がある。
(1)第1の実施例において、電機子の上部の長手方向に沿って配設された電機子を取り付けるための電機子取付板と、電機子取付板の両側に断熱板を介して取り付けた負荷を搭載するためのテーブルとを備え、冷却ユニットがテーブルとの間に空間を介して設けられ、かつ、電機子取付板とテーブルの間に挟み込むように設けられたブロック状の高熱伝導部材で形成され、冷却ユニットの内部に複数のヒートパイプを設け、ヒートパイプの放熱側が配置される外周面にフィンを有するヒートシンクを設ける構成にしたので、冷却ユニットが熱絶縁されたテーブルと直接接触せず、電機子取付板と直接接触した構造を取ることで、電機子で生じた発熱を冷却ユニット側のみ伝熱することができる。その結果、テーブルへの伝熱に伴う熱変形をなくし、リニアガイドや検出器等の位置決め精度の誤差に影響を及ぼすこともなくなり、高精度位置決め可能なリニアモータを提供することができる。また、ヒートパイプは、一方の受熱部を電機子の長手方向の中央部側に、他方の放熱部を電機子の長手方向の端部側となるように配置した構成にしたので、例えば、可動子を高推力で移動させる場合に発生する電機子部の熱を、電機子の端部に設けたヒートパイプとヒートシンクによって、電機子の中央部側から端部側へ効率的に除去することができる。その結果、電機子のコア部の長手方向の反りを防ぎ、熱変形を抑制することができる。また、ヒートパイプは、電機子コイルと相対して向き合う位置に配設されたので、電機子コイルとヒートパイプとの伝熱経路を最短の距離にすることで、電機子コイルとヒートパイプ間の熱抵抗を小さくし、熱伝達を上げることができ、効率よく冷却することができる。また、冷却ユニットを、電機子を取り付ける電機子取付板に対して取付ボルトにより取り外し自在にできる構成にしたので、電機子と冷却ユニットの何れか一方が損傷した場合でもリニアモータ電機子全てを新製することなく、電機子、テーブルの組立、分解に手間とコストがかからなくなることから、リニアモータ本体を低コストに抑えることができる。そして、従来、周辺機器と配管等の接続の際に生じたメンテナンスの煩わしさ等も一切不要にすることができ、周辺機器を含めた設計・製造上のコストも抑えることができる。
(2)第2の実施例において、ヒートシンクにファンモータを設けることで、冷却ユニットからヒートシンク側に伝熱された熱がファンモータの排気により外部に向かって強制的に放熱され、より効果的に冷却効果を高めることができる。
(3)第3の実施例において、冷却ユニットを、内部に蛇行した中空状の細管を多数並べた構造とするシート状ヒートパイプとしたので、小型の割には熱伝導率が極めて高く、熱の移動を迅速に行うことができ、第1、第2実施例に比べて冷却効果を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すリニアモータであって、図2の矢視B方向から見た正面図である。
【図2】図1におけるリニアモータの電機子を矢視A方向から見た側面図である。
【図3】本発明の第2の実施例を示すリニアモータであって、図4の矢視D方向から見た正面図である。
【図4】図3におけるリニアモータの電機子を矢視C方向から見た側面図である。
【図5】本発明の第3の実施例を示すシート状ヒートパイプの全体斜視図であり、内部を透視したものである。
【図6】従来技術を示すリニアモータの正断面図である。
【符号の説明】
1:リニアモータ
2:電機子
3:コア
4:電機子取付板
5:永久磁石
6:界磁ヨーク
7:電機子コイル
8:取付ボルト
9:固定ベース
10:冷却ユニット
11:ヒートパイプ
12:断熱板
13:ヒートシンク
14:テーブル
15、16:取付ボルト
17;コネクタ
18;ヒートシンク
19;ファンモータ
20;ケーシング
21:シート状ヒートパイプ
21A:細管
21B:受熱部
21C:放熱部
S:空間
Claims (8)
- 交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークよりなる固定子と、前記界磁ヨークの長手方向に沿って前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共にコアに電機子コイルを巻装した電機子よりなる可動子と、を備えたリニアモータにおいて、
前記電機子の上部の長手方向に沿って配設された前記電機子を取り付けるための電機子取付板と、
前記電機子取付板の両側に断熱板を介して取り付けた負荷を搭載するためのテーブルと、
前記テーブルとの間に空間を介して設けられ、かつ前記電機子取付板と前記テーブルの間に挟み込むように設けられたブロック状の高熱伝導部材で形成されると共に、前記固定子または前記可動子より生じる熱を外部に放熱できるよう熱交換する冷却ユニットと、
を備えており、
前記冷却ユニットの内部には複数のヒートパイプが設けられると共に、前記ヒートパイプの放熱側が配置される外周面にフィンを有するヒートシンクが設けられていることを特徴とするリニアモータ。 - 前記ヒートパイプは、一方の受熱部を前記電機子の長手方向の中央部側に、他方の放熱部を前記電機子の長手方向の端部側となるように配置されたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 前記ヒートパイプは、前記電機子コイルと相対して向き合う位置に配設されたことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
- 前記冷却ユニットを、前記電機子取付板に対して自在に取り外しできるよう、締結用の取付ボルトにより固定したことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 前記ヒートシンクの放熱側に、ファンモータを設けたことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 前記冷却ユニットを、内部に蛇行した中空状の細管を多数並べた構造を有する薄型のシート状ヒートパイプで構成したことを特徴とする請求項1または4に記載のリニアモータ。
- 前記コアは、分割された複数のコアブロックを順次に並べて嵌合連結したものであることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 請求項1〜7までの何れか1項に記載のリニアモータを、テーブルを介してリニアガイドにより支持すると共に、該リニアモータを駆動することで該テーブルの長手方向に沿って位置決めを行うようにしたことを特徴とするテーブル送り装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9825508B2 (en) | 2012-03-26 | 2017-11-21 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Linear motor device |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4811550B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2011-11-09 | 株式会社安川電機 | リニアモータ電機子およびリニアモータ |
JP3891545B2 (ja) * | 2001-07-10 | 2007-03-14 | キヤノン株式会社 | リニアモータ |
JP4105586B2 (ja) * | 2003-05-14 | 2008-06-25 | ヤマハ発動機株式会社 | リニアモータ式単軸ロボット |
JP2006033910A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置 |
KR100826823B1 (ko) * | 2004-07-12 | 2008-05-02 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 리니어 모터 및 이 리니어 모터를 이용한 스테이지장치 |
CN101010860B (zh) | 2004-07-25 | 2010-12-08 | Ts高频加热处理株式会社 | 直线或曲线移动式电动机及其散热器 |
DE102004056212A1 (de) * | 2004-11-22 | 2006-06-01 | Siemens Ag | Elektrische Maschine mit einem rotatorischen und einem linearen Aktuator |
JP2007089245A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Yaskawa Electric Corp | 平面サーボモータ |
FR2900287B1 (fr) * | 2006-04-20 | 2008-11-07 | Sidel Participations | Support pour un moteur electrique lineaire comportant des moyens de compensation thermique |
JP5355105B2 (ja) * | 2009-01-20 | 2013-11-27 | 富士機械製造株式会社 | 直線駆動装置および電子回路部品装着機 |
JP5426180B2 (ja) * | 2009-01-20 | 2014-02-26 | 富士機械製造株式会社 | リニアモータ |
KR101445862B1 (ko) * | 2013-08-01 | 2014-09-30 | 미래산업 주식회사 | 리니어모터용 가동자 및 이를 포함하는 리니어모터 |
JP6386042B2 (ja) * | 2014-06-13 | 2018-09-05 | 株式会社Fuji | リニアモータ |
US10709047B2 (en) | 2015-01-19 | 2020-07-07 | Fuji Corporation | Component mounting device head unit |
JP6482401B2 (ja) * | 2015-06-19 | 2019-03-13 | 住友重機械工業株式会社 | リニアモータの冷却ユニット |
WO2017169908A1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 住友重機械工業株式会社 | リニアモータ、ボイスコイルモータ、ステージ装置 |
TWI713284B (zh) * | 2019-05-16 | 2020-12-11 | 大銀微系統股份有限公司 | 線性馬達動子及所結合平台間之冷卻機構 |
KR102124357B1 (ko) * | 2019-05-28 | 2020-06-22 | 하이윈 마이크로시스템 코포레이션 | 리니어 모터 가동자 및 그 결합 플랫폼 사이의 냉각 기구 |
CN115549396A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-12-30 | 广东畅能达科技发展有限公司 | 一种基于超薄均热板的直线电机液冷散热结构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6005310A (en) * | 1997-10-02 | 1999-12-21 | Mfm Technology, Inc. | Brushless linear motor slider |
JP2000050613A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Shicoh Eng Co Ltd | リニアモータ |
JP2000228860A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータの冷却装置 |
-
2001
- 2001-02-06 JP JP2001029399A patent/JP4636354B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-02-04 WO PCT/JP2002/000898 patent/WO2002063749A1/ja active Application Filing
- 2002-02-06 TW TW091102088A patent/TW552765B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6005310A (en) * | 1997-10-02 | 1999-12-21 | Mfm Technology, Inc. | Brushless linear motor slider |
JP2000050613A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Shicoh Eng Co Ltd | リニアモータ |
JP2000228860A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータの冷却装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9825508B2 (en) | 2012-03-26 | 2017-11-21 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Linear motor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2002063749A1 (fr) | 2002-08-15 |
JP2002238238A (ja) | 2002-08-23 |
TW552765B (en) | 2003-09-11 |
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