JP2005039959A - 吸引力相殺形リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【課題】 リニアモータをXY軸方向の平面内を移動するXYステージに適用した場合に、移動方向によらず冷却性能の優れた吸引力相殺形リニアモータを提供する。
【解決手段】 吸引力相殺形のリニアモータの可動子7は、ピンフィン31を有するヒートシンク30を設けることでフィン表面積が大きくなり、モータの移動方向によらず、モータを効果的に冷却できる。また、ピンフィン31の上部に冷却風を導入する冷却ファン12を設けると共に、ピンフィン31の上端近傍の外周にピンフィン31の上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバー13を設けることで、リニアモータ停止時にも大きな放熱を得ることができる。また、冷却ファン12を取り付けた場合、ピンフィン31にカバー13を取り付けることによりピンフィン31の上端からの冷却風の漏れがなくなり、効果的な冷却を行うことができる。
【選択図】 図3
【解決手段】 吸引力相殺形のリニアモータの可動子7は、ピンフィン31を有するヒートシンク30を設けることでフィン表面積が大きくなり、モータの移動方向によらず、モータを効果的に冷却できる。また、ピンフィン31の上部に冷却風を導入する冷却ファン12を設けると共に、ピンフィン31の上端近傍の外周にピンフィン31の上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバー13を設けることで、リニアモータ停止時にも大きな放熱を得ることができる。また、冷却ファン12を取り付けた場合、ピンフィン31にカバー13を取り付けることによりピンフィン31の上端からの冷却風の漏れがなくなり、効果的な冷却を行うことができる。
【選択図】 図3
Description
本発明は、工作機械の送り機構や半導体製造装置の位置決め装置に利用される吸引力相殺形リニアモータに関し、特にコア付リニアモータの冷却装置に関する。
従来、工作機の送り機構や半導体製造装置の位置決め装置に用いられると共に電機子の両側に界磁を配置した吸引力相殺形のリニアモータは図5のようになっている。なお、図5は従来の吸引力相殺形リニアモータの正断面図である(例えば、特許文献1参照)。
特開2000―37070号公報(明細書第3頁〜4頁、第1図)
図5において、1はリニアモータ、2はリニアガイド、3は固定台、4は固定子、5は界磁ヨーク、6は永久磁石、7は可動子、8は電機子コイル、9はコア、9Aはスロット、9Bは貫通穴、10はテーブル、10aは雌ねじ部、11ボルトである。
このような構成において、界磁ヨーク5上の長手方向(紙面と垂直方向)に沿って、交互に極性が異なるように複数の永久磁石6が隣り合わせに並べて配置されており、界磁ヨーク5と永久磁石6とで固定子4を構成しており、固定子4は固定台3上に二つ設けられている。この2つの固定子4の間に永久磁石6の磁石列と磁気的空隙を介して対向して電磁鋼板を永久磁石6の高さ方向に積層してなるコア9が設けられている。コア9は、そのスロット9A内部に電機子コイル8を巻装して周囲をモールド樹脂で固着しており、コア9と電機子コイル8とで可動子7を構成している。また、コア9の上にはテーブル10が設けられている。コア9とテーブル10の取り付けは、コア9の雌ねじ部10Aにボルト11を通した後、テーブル10の雌ねじ部10A にボルト11をねじ込んで締結されている。そして、テーブル10はガイドレール2Aとスライダ2Bからなるリニアガイド2により支持され、固定台3に設けたガイドレール2A上をテーブル10に設けたスライダ2Bがテーブル10の長手方向(紙面と垂直方向)に沿って摺動するようになっている。
このような構成において、界磁ヨーク5上の長手方向(紙面と垂直方向)に沿って、交互に極性が異なるように複数の永久磁石6が隣り合わせに並べて配置されており、界磁ヨーク5と永久磁石6とで固定子4を構成しており、固定子4は固定台3上に二つ設けられている。この2つの固定子4の間に永久磁石6の磁石列と磁気的空隙を介して対向して電磁鋼板を永久磁石6の高さ方向に積層してなるコア9が設けられている。コア9は、そのスロット9A内部に電機子コイル8を巻装して周囲をモールド樹脂で固着しており、コア9と電機子コイル8とで可動子7を構成している。また、コア9の上にはテーブル10が設けられている。コア9とテーブル10の取り付けは、コア9の雌ねじ部10Aにボルト11を通した後、テーブル10の雌ねじ部10A にボルト11をねじ込んで締結されている。そして、テーブル10はガイドレール2Aとスライダ2Bからなるリニアガイド2により支持され、固定台3に設けたガイドレール2A上をテーブル10に設けたスライダ2Bがテーブル10の長手方向(紙面と垂直方向)に沿って摺動するようになっている。
上記の吸引力相殺形のリニアモータにおいて、可動子に電機子が装備された場合は電機子コイルから発生される熱を考慮して、可動子の過熱を割けるため冷却対策が講じられていた。冷却対策の一例として、例えば、図6および図7に示すものがある。なお、図6は従来のリニアモータ可動子の側面図である。図7は図6を矢視A方向から見たリニアモータ可動子の平面図である。
図6および図7において、電機子コイル8から発生される熱をテーブル10を介して外部に放熱させるため、テーブル10の移動方向に沿って平行に配置された複数の平形フィン21を有したヒートシンク20が設けられたものとなっている。このように構成されたリニアモータ1は、ヒートシンク20を用いてテーブル10に密着させ放熱表面積を大きくすることで冷却効果を高めている。また、可動子7が移動方向に移動することで空冷効果も得ることができる(例えば、特許文献2参照)。
特開2001−69745号公報(明細書第3頁〜4頁、第1図)
図6および図7において、電機子コイル8から発生される熱をテーブル10を介して外部に放熱させるため、テーブル10の移動方向に沿って平行に配置された複数の平形フィン21を有したヒートシンク20が設けられたものとなっている。このように構成されたリニアモータ1は、ヒートシンク20を用いてテーブル10に密着させ放熱表面積を大きくすることで冷却効果を高めている。また、可動子7が移動方向に移動することで空冷効果も得ることができる(例えば、特許文献2参照)。
従来の吸引力相殺形リニアモータはフィンの形状が平形状であるため、リニアモータがフィンの長手方向に移動する場合にはモータの発熱に対して大きな冷却効果を得ることができる。しかしながら、図8のXYステージの例に示すように、例えばリニアモータを、XY軸方向の平面内を移動し、ウエハの位置決めを行うためのXYステージに適用した場合は、リニアモータ101、102が、フィンの長手方向と直交する向きに移動した場合にはフィンの長手方向に移動する場合と比べると小さな冷却効果しか望めず、リニアモータ101、102を充分に冷却することが難しいという問題があった。また、モータの冷却が不十分であると、テーブルの熱変形が生じてリニアガイドや検出器(何れも不図示)に悪影響を与え、位置決め精度の誤差を生じることから、高精度位置決めに支障をきたす原因となっていた。
本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、リニアモータをXY軸方向の平面内を移動するXYステージに適用した場合にモータの移動方向によらず、冷却性能の優れた吸引力相殺形リニアモータを提供することを目的とするものである。
本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、リニアモータをXY軸方向の平面内を移動するXYステージに適用した場合にモータの移動方向によらず、冷却性能の優れた吸引力相殺形リニアモータを提供することを目的とするものである。
上記問題を解決するため、請求項1の発明は、界磁ヨーク上に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置してなる2つの固定子と、前記2つの固定子の間に前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共に電機子コイルを巻装した電機子よりなる可動子とを備えた吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記可動子の上部に前記可動子または前記固定子より生じる熱を外部に放熱するように複数本のピンフィンを設けたものであることを特徴としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ピンフィンの上部に冷却風を導入する冷却ファンを設けたことを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項2記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ピンフィンの上端近傍の外周に、前記ピンフィンの上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバーを設けたことをを特徴としている。
請求項4の発明は、請求項1記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ピンフィンの前端または後端の近傍に、冷却風を導入する冷却ファンを設け、前記ピンフィンと前記冷却ファンとの距離が冷却ファンの中心部で長く、外側で短いことを特徴とするとしている。
請求項5の発明は、請求項1、2、3または4の何れか1項に記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ヒートシンクと前記可動子の間に高熱伝導性のグリースを塗布したことを特徴としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ピンフィンの上部に冷却風を導入する冷却ファンを設けたことを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項2記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ピンフィンの上端近傍の外周に、前記ピンフィンの上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバーを設けたことをを特徴としている。
請求項4の発明は、請求項1記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ピンフィンの前端または後端の近傍に、冷却風を導入する冷却ファンを設け、前記ピンフィンと前記冷却ファンとの距離が冷却ファンの中心部で長く、外側で短いことを特徴とするとしている。
請求項5の発明は、請求項1、2、3または4の何れか1項に記載の吸引力相殺形リニアモータにおいて、前記ヒートシンクと前記可動子の間に高熱伝導性のグリースを塗布したことを特徴としている。
本発明によれば次のような効果がある。
(1)ヒートシンクのフィン形状を平形からピンに変えることで、フィン表面積が大きくなると共に、モータの移動方向によらず、モータを効果的に冷却することができる。
(2)フィンの上部に冷却ファンを取り付けることでモータ停止時にも大きな放熱を得ることができる。
(3)冷却ファンを取り付けた場合フィンにカバーを取り付けることにより、ピンフィンの上端からの冷却風の漏れがなくなり効果的な冷却を行うことができる。
(4)ピンフィンの冷却ファンとの距離が冷却ファンの中心部で長く、外側で短い構成にすることで、冷却ファンにより発生された冷却風が冷却ファンからの距離が短い外側のピンフィン群によって、内側に導かれ.中央部のピンフィン群に多く流れるようになるため、より効率よく冷却することができる。
(5)可動子の一部を構成するテーブルとヒートシンクの間にシリコングリース等を塗布することで接触熱伝達が上がり、冷却効果を向上させることができる。
(1)ヒートシンクのフィン形状を平形からピンに変えることで、フィン表面積が大きくなると共に、モータの移動方向によらず、モータを効果的に冷却することができる。
(2)フィンの上部に冷却ファンを取り付けることでモータ停止時にも大きな放熱を得ることができる。
(3)冷却ファンを取り付けた場合フィンにカバーを取り付けることにより、ピンフィンの上端からの冷却風の漏れがなくなり効果的な冷却を行うことができる。
(4)ピンフィンの冷却ファンとの距離が冷却ファンの中心部で長く、外側で短い構成にすることで、冷却ファンにより発生された冷却風が冷却ファンからの距離が短い外側のピンフィン群によって、内側に導かれ.中央部のピンフィン群に多く流れるようになるため、より効率よく冷却することができる。
(5)可動子の一部を構成するテーブルとヒートシンクの間にシリコングリース等を塗布することで接触熱伝達が上がり、冷却効果を向上させることができる。
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図1は本発明の第1の実施例を示すリニアモータの可動子の側面図、図2は図1を矢視A方向から見たリニアモータ可動子の平面図である。なお、電機子を可動子に、界磁を固定子とするリニアモータの基本的な構成は従来技術と同じであり、本発明の構成要素が従来技術と異なる点のみ説明する。
図において、30はヒートシンク、31はピンフィンである。
本発明の特徴は以下の通りである。
すなわち、可動子7の上部に可動子7、固定子4より生じる熱を外部に放熱するように複数本のピンフィン31を有するヒートシンク30を設けた点である。
図において、30はヒートシンク、31はピンフィンである。
本発明の特徴は以下の通りである。
すなわち、可動子7の上部に可動子7、固定子4より生じる熱を外部に放熱するように複数本のピンフィン31を有するヒートシンク30を設けた点である。
次に、リニアモータ1の冷却装置の動作を説明する。
上記構成において、図示しない電源から駆動電流を電機子コイル8に供給すると、可動子7が一定推力を発生すると共に、電機子コイル8およびコア9は発熱を起こす。電機子コイル8およびコア9で発生した熱は、テーブル10を経由してヒートシンク30のピンフィン31に伝わり、発熱はピンフィン31からの自然対流によって取り去られ、外気と熱交換される。このように電機子コイル8の温度上昇が抑制されることで、テーブル10への伝熱による熱変形を抑制できる。
したがって、第1実施例はヒートシンク30のフィン形状がピン形状を有することから、フィン表面積が大きくなると共に、リニアモータをXY軸方向の平面内を移動するXYステージに適用した場合に、リニアモータの移動方向によらず、モータを効果的に冷却することができる。
上記構成において、図示しない電源から駆動電流を電機子コイル8に供給すると、可動子7が一定推力を発生すると共に、電機子コイル8およびコア9は発熱を起こす。電機子コイル8およびコア9で発生した熱は、テーブル10を経由してヒートシンク30のピンフィン31に伝わり、発熱はピンフィン31からの自然対流によって取り去られ、外気と熱交換される。このように電機子コイル8の温度上昇が抑制されることで、テーブル10への伝熱による熱変形を抑制できる。
したがって、第1実施例はヒートシンク30のフィン形状がピン形状を有することから、フィン表面積が大きくなると共に、リニアモータをXY軸方向の平面内を移動するXYステージに適用した場合に、リニアモータの移動方向によらず、モータを効果的に冷却することができる。
図3は本発明の第2の実施例を示すリニアモータの可動子の側面図である。
図において、12は冷却ファンである。
第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、ピンフィン31の上部に冷却風を導入する冷却ファン12を設け、ピンフィン31の上端近傍の外周にピンフィン31の上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバー13を設けた点である。なお、ファンの取付方向を逆にしてファン上部から外気を吸い込み、下側のピンフィンの方向に吐き出させるといった冷却風の導入方向を変更するようにしても構わない。
したがって、第2実施例はピンフィン31の上部に冷却ファン12を取り付けることでリニアモータ停止時にも大きな放熱を得ることができる。また、冷却ファン12を取り付けた場合、ピンフィン31にカバー13を取り付けることによりピンフィン31の上端からの冷却風の漏れがなくなり、効果的な冷却を行うことができる。
図において、12は冷却ファンである。
第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、ピンフィン31の上部に冷却風を導入する冷却ファン12を設け、ピンフィン31の上端近傍の外周にピンフィン31の上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバー13を設けた点である。なお、ファンの取付方向を逆にしてファン上部から外気を吸い込み、下側のピンフィンの方向に吐き出させるといった冷却風の導入方向を変更するようにしても構わない。
したがって、第2実施例はピンフィン31の上部に冷却ファン12を取り付けることでリニアモータ停止時にも大きな放熱を得ることができる。また、冷却ファン12を取り付けた場合、ピンフィン31にカバー13を取り付けることによりピンフィン31の上端からの冷却風の漏れがなくなり、効果的な冷却を行うことができる。
図4は本発明の第3の実施例を示すリニアモータの可動子の平面図である。
第3の実施例が第2の実施例と異なる点は、ピンフィン31の前端または後端の近傍に、冷却風を導入する冷却ファン14を設け、ピンフィン31と冷却ファン14との距離が冷却ファン14の中心部で長く、外側で短くした点である。
したがって、第3実施例はピンフィン31の前端または後端の近傍に冷却風を導入する冷却ファン14を設け、ピンフィン31と冷却ファン14との距離が冷却ファン14の中心部で長く、外側で短い構成にしたので、各放熱フィンの通風抵抗による冷却ファンへの風圧が減り、冷却ファンにより発生された冷却風が冷却ファンからの距離が短い外側の放熱フィンによって、内側に導かれ.中央部の放熱フィンに多く流れるようになる。これにより発熱体により近く、温度が高い中央部の放熱フィンをより効率よく冷却することができる。
なお、可動子の一部を構成するテーブルとヒートシンクの間には、電機子からの熱伝達をヒートシンクに効率よく行うことができるよう、高熱伝導性のシリコングリース等を塗布すると、接触熱伝達が上がるため冷却効果を向上させることができる。
第3の実施例が第2の実施例と異なる点は、ピンフィン31の前端または後端の近傍に、冷却風を導入する冷却ファン14を設け、ピンフィン31と冷却ファン14との距離が冷却ファン14の中心部で長く、外側で短くした点である。
したがって、第3実施例はピンフィン31の前端または後端の近傍に冷却風を導入する冷却ファン14を設け、ピンフィン31と冷却ファン14との距離が冷却ファン14の中心部で長く、外側で短い構成にしたので、各放熱フィンの通風抵抗による冷却ファンへの風圧が減り、冷却ファンにより発生された冷却風が冷却ファンからの距離が短い外側の放熱フィンによって、内側に導かれ.中央部の放熱フィンに多く流れるようになる。これにより発熱体により近く、温度が高い中央部の放熱フィンをより効率よく冷却することができる。
なお、可動子の一部を構成するテーブルとヒートシンクの間には、電機子からの熱伝達をヒートシンクに効率よく行うことができるよう、高熱伝導性のシリコングリース等を塗布すると、接触熱伝達が上がるため冷却効果を向上させることができる。
1 リニアモータ
2 リニアガイド
3 固定台
4 固定子(界磁部)
5 界磁ヨーク
6 永久磁石
7 可動子(電機子部)
8 電機子コイル
9 コア
9A スロット、
9B 貫通穴
10 テーブル
10A 雌ねじ部
11 ボルト
12 冷却ファン
13 カバー
14 冷却ファン
20、30 ヒートシンク
21、31 ピンフィン
2 リニアガイド
3 固定台
4 固定子(界磁部)
5 界磁ヨーク
6 永久磁石
7 可動子(電機子部)
8 電機子コイル
9 コア
9A スロット、
9B 貫通穴
10 テーブル
10A 雌ねじ部
11 ボルト
12 冷却ファン
13 カバー
14 冷却ファン
20、30 ヒートシンク
21、31 ピンフィン
Claims (5)
- 界磁ヨーク上に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置してなる2つの固定子と、前記2つの固定子の間に前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共に電機子コイルを巻装した電機子よりなる可動子とを備えた吸引力相殺形リニアモータにおいて、
前記可動子の上部に前記可動子または前記固定子より生じる熱を外部に放熱するように複数本のピンフィンを設けたものであることを特徴とする吸引力相殺形リニアモータ。 - 前記ピンフィンの上部に冷却風を導入する冷却ファンを設けたことを特徴とする請求項1記載の吸引力相殺形リニアモータ。
- 前記ピンフィンの上端近傍の外周に、前記ピンフィンの上端からの冷却風の漏れを防ぐためのカバーを設けたことを特徴とする請求項2記載の吸引力相殺形リニアモータ。
- 前記ピンフィンの前端または後端の近傍に、冷却風を導入する冷却ファンを設け、前記ピンフィンと前記冷却ファンとの距離が冷却ファンの中心部で長く、外側で短いことを特徴とする請求項1記載の吸引力相殺形リニアモータ。
- 前記ヒートシンクと可動子の間に高熱伝導性のグリースを塗布したことを特徴とする請求項1、2、3または4の何れか1項に記載の吸引力相殺形リニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003276089A JP2005039959A (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 吸引力相殺形リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003276089A JP2005039959A (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 吸引力相殺形リニアモータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005039959A true JP2005039959A (ja) | 2005-02-10 |
Family
ID=34212519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003276089A Pending JP2005039959A (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 吸引力相殺形リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005039959A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099952A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Kenji Nakamura | シート類包装体ヒートシール装置 |
JP2014177308A (ja) * | 2014-05-16 | 2014-09-25 | Kenji Nakamura | シート類包装体ヒートシール装置 |
-
2003
- 2003-07-17 JP JP2003276089A patent/JP2005039959A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010099952A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Kenji Nakamura | シート類包装体ヒートシール装置 |
JP2014177308A (ja) * | 2014-05-16 | 2014-09-25 | Kenji Nakamura | シート類包装体ヒートシール装置 |
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