JP4624787B2 - ホール素子を備える磁界センサ - Google Patents
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Claims (8)
- ホール素子(1)を備えた磁界センサであって、前記ホール素子(1)は第1コンタクト(4)、第2コンタクト(5)、第3コンタクト(6)及び第4コンタクト(7)を備え、前記第1コンタクト(4)、前記第2コンタクト(5)、前記第3コンタクト(6)及び前記第4コンタクト(7)は、この順番で、第2の導電型の基板(3)に埋め込まれた第1の導電型のウェル(2)の表面の一直線(8)上かつ前記ウェル(2)内に配置され、前記4つのコンタクト(4〜7)のうち、前記第2及び第3コンタクトは、2つの内側コンタクト(5、6)であり、前記第1及び第4コンタクトは、2つの外側コンタクト(4、7)であり、前記ホール素子(1)を通過して流れる電流を供給及び放出するための、前記内側コンタクト(5、6)の一方と前記外側コンタクト(4、7)の一方とは、隣り合ったコンタクトでなく、前記内側コンタクト(5、6)の他方と前記外側コンタクト(4、7)の他方とは、ホール電圧を取り出すためのコンタクトであり、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4)と前記第2コンタクト(5)との間の距離は、前記第3コンタクト(6)と前記第4コンタクト(7)との間の距離に等しく、
前記第1コンタクト(4)と前記第2コンタクト(5)との間に広がる抵抗値をR 1 、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)との間に広がる抵抗値をR 2 、前記第3コンタクト(6)と前記第4コンタクト(7)との間に広がる抵抗値をR 3 として、R 1 =R 2 =R 3 が成り立つように、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)との間の距離が選ばれ、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)との間に広がる抵抗値をR 4 として、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)とを接続する抵抗の抵抗値R 5 が、R 1 =R 2 =R 3 =R 4 ||R 5 が成り立つように選ばれることを特徴とする磁界センサ。 - 前記抵抗が、第1の導電型のウェルによって形成されていることを特徴とする請求項1に記載の磁界センサ。
- 第5コンタクト(12)が、前記ホール素子(1)の前記ウェル(2)において、前記ホール素子(1)の前記第1コンタクト(4)の隣かつ前記ウェル(2)の縁に面する側に配置され、前記第5コンタクト(12)は導電経路(13)によって前記第4コンタクト(7)に接続され、第1コンタクト(4)と第5コンタクト(12)との間の抵抗値はR 5 であることを特徴とする請求項1に記載の磁界センサ。
- 第5コンタクト(12)が、前記ホール素子(1)の前記ウェル(2)において、前記ホール素子(1)の前記第1コンタクト(4)の隣かつ前記ウェル(2)の縁に面する側に配置され、第6コンタクト(14)が、前記ホール素子(1)の前記ウェル(2)において、前記ホール素子(1)の前記第4コンタクト(7)の隣かつ前記ウェル(2)の縁に面する側に配置され、前記第5コンタクト(12)は導電経路(13)によって前記第6コンタクト(14)に接続され、第1コンタクト(4)と第5コンタクト(12)との間の抵抗値はR 5 /2であり、第6コンタクト(14)と第4コンタクト(7)との間の抵抗値はR 5 /2であることを特徴とする請求項1に記載の磁界センサ。
- 前記ウェル(2)から電気的に絶縁されている少なくとも1つの電極(15;16;17)が、2つのコンタクト(4〜7)の間に配置されていることを特徴とする請求項1〜4に記載の磁界センサ。
- 前記コンタクト(4〜7)が、第2の導電型の基板(3)に埋め込まれた第1の導電型のウェル(2)の表面に配置されるとともに、前記2つの内側コンタクト(5、6)の間の領域における前記ウェル(2)のドーピングが、内側コンタクト(5;6)と外側コンタクト(4;7)との間の領域における前記ウェル(2)のドーピングと相違していることを特徴とする請求項1〜4に記載の磁界センサ。
- 第1ホール素子(1)及び第2ホール素子(1’)を備える磁界センサであって、
前記第1ホール素子(1)は第1コンタクト(4)、第2コンタクト(5)、第3コンタクト(6)及び第4コンタクト(7)を備え、前記第1コンタクト(4)、前記第2コンタクト(5)、前記第3コンタクト(6)及び前記第4コンタクト(7)は、この順番で、第2の導電型の基板(3)に埋め込まれた第1の導電型の第1ウェル(2)の表面の第1直線(8)上かつ前記第1ウェル(2)内に配置され、前記4つのコンタクト(4〜7)のうち、前記第2及び第3コンタクトは、2つの内側コンタクト(5、6)であり、前記第1及び第4コンタクトは、2つの外側コンタクト(4、7)であり、前記第1ホール素子(1)を通過して流れる電流を供給及び放出するための、前記内側コンタクト(5、6)の一方と前記外側コンタクト(4、7)の一方とは、隣り合ったコンタクトでなく、前記内側コンタクト(5、6)の他方と前記外側コンタクト(4、7)の他方とは、第1ホール電圧を取り出すためのコンタクトであり、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4)と前記第2コンタクト(5)との間の距離は、前記第3コンタクト(6)と前記第4コンタクト(7)との間の距離に等しく、前記第1コンタクト(4)と前記第2コンタクト(5)との間に広がる抵抗値をR 1 、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)との間に広がる抵抗値をR 2 、前記第3コンタクト(6)と前記第4コンタクト(7)との間に広がる抵抗値をR 3 として、R 1 =R 2 =R 3 が成り立つように、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)との間の距離が選ばれ、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)との間に広がる抵抗値をR 4 として、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)とを接続する第1抵抗の抵抗値R 5 が、R 1 =R 2 =R 3 =R 4 ||R 5 が成り立つように選ばれ、
前記第2ホール素子(1’)は第1コンタクト(4’)、第2コンタクト(5’)、第3コンタクト(6’)及び第4コンタクト(7’)を備え、前記第1コンタクト(4’)、前記第2コンタクト(5’)、前記第3コンタクト(6’)及び前記第4コンタクト(7’)は、この順番で、第2の導電型の基板(3)に埋め込まれた第1の導電型の第2ウェル(2)の表面の第2直線上かつ前記第2ウェル(2)内に配置され、前記4つのコンタクト(4’〜7’)のうち、前記第2及び第3コンタクトは、2つの内側コンタクト(5’、6’)であり、前記第1及び第4コンタクトは、2つの外側コンタクト(4’、7’)であり、前記第2ホール素子(1’)を通過して流れる電流を供給及び放出するための、前記内側コンタクト(5’、6’)の一方と前記外側コンタクト(4’、7’)の一方とは、隣り合ったコンタクトでなく、前記内側コンタクト(5’、6’)の他方と前記外側コンタクト(4’、7’)の他方とは、第2ホール電圧を取り出すためのコンタクトであり、前記第2コンタクト(5’)と前記第3コンタクト(6’)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4’)と前記第4コンタクト(7’)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4’)と前記第2コンタクト(5’)との間の距離は、前記第3コンタクト(6’)と前記第4コンタクト(7’)との間の距離に等しく、前記第1コンタクト(4’)と前記第2コンタクト(5’)との間に広がる抵抗値をR 1 ’、前記第2コンタクト(5’)と前記第3コンタクト(6’)との間に広がる抵抗値をR 2 ’、前記第3コンタクト(6’)と前記第4コンタクト(7’)との間に広がる抵抗値をR 3 ’として、R 1 ’=R 2 ’=R 3 ’が成り立つように、前記第2コンタクト(5’)と前記第3コンタクト(6’)との間の距離が選ばれ、前記第1コンタクト(4’)と前記第4コンタクト(7’)との間に広がる抵抗値をR 4 ’として、前記第1コンタクト(4’)と前記第4コンタクト(7’)とを接続する第2抵抗の抵抗値R 5 ’が、R 1 ’=R 2 ’=R 3 ’=R 4 ’||R 5 ’が成り立つように選ばれ、
前記第1直線及び前記第2直線は平行であり、
前記第1ホール素子の前記第1コンタクト(4)が前記第2ホール素子の前記第4コンタクト(7’)に接続され、前記第1ホール素子の前記第2コンタクト(5)が前記第2ホール素子の前記第1コンタクト(4’)に接続され、前記第1ホール素子の前記第3コンタクト(6)が前記第2ホール素子の前記第2コンタクト(5’)に接続され、前記第1ホール素子の前記第4コンタクト(7)が前記第2ホール素子の前記第3コンタクト(6’)に接続されることを特徴とする磁界センサ。 - 第1ホール素子(1)及び第2ホール素子(1’)を備える磁界センサであって、
前記第1ホール素子(1)は第1コンタクト(4)、第2コンタクト(5)、第3コンタクト(6)及び第4コンタクト(7)を備え、前記第1コンタクト(4)、前記第2コンタクト(5)、前記第3コンタクト(6)及び前記第4コンタクト(7)は、この順番で、第2の導電型の基板(3)に埋め込まれた第1の導電型の第1ウェル(2)の表面の第1直線(8)上かつ前記第1ウェル(2)内に配置され、前記4つのコンタクト(4〜7)のうち、前記第2及び第3コンタクトは、2つの内側コンタクト(5、6)であり、前記第1及び第4コンタクトは、2つの外側コンタクト(4、7)であり、前記第1ホール素子(1)を通過して流れる電流を供給及び放出するための、前記内側コンタクト(5、6)の一方と前記外側コンタクト(4、7)の一方とは、隣り合ったコンタクトでなく、前記内側コンタクト(5、6)の他方と前記外側コンタクト(4、7)の他方とは、第1ホール電圧を取り出すためのコンタクトであり、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4)と前記第2コンタクト(5)との間の距離は、前記第3コンタクト(6)と前記第4コンタクト(7)との間の距離に等しく、前記第1コンタクト(4)と前記第2コンタクト(5)との間に広がる抵抗値をR 1 、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)との間に広がる抵抗値をR 2 、前記第3コンタクト(6)と前記第4コンタクト(7)との間に広がる抵抗値をR 3 として、R 1 =R 2 =R 3 が成り立つように、前記第2コンタクト(5)と前記第3コンタクト(6)との間の距離が選ばれ、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)との間に広がる抵抗値をR 4 として、前記第1コンタクト(4)と前記第4コンタクト(7)とを接続する第1抵抗の抵抗値R 5 が、R 1 =R 2 =R 3 =R 4 ||R 5 が成り立つように選ばれ、
前記第2ホール素子(1’)は第1コンタクト(4’)、第2コンタクト(5’)、第3コンタクト(6’)及び第4コンタクト(7’)を備え、前記第1コンタクト(4’)、前記第2コンタクト(5’)、前記第3コンタクト(6’)及び前記第4コンタクト(7’)は、この順番で、第2の導電型の基板(3)に埋め込まれた第1の導電型の第2ウェル(2)の表面の第2直線上かつ前記第2ウェル(2)内に配置され、前記4つのコンタクト(4’〜7’)のうち、前記第2及び第3コンタクトは、2つの内側コンタクト(5’、6’)であり、前記第1及び第4コンタクトは、2つの外側コンタクト(4’、7’)であり、前記第2ホール素子(1’)を通過して流れる電流を供給及び放出するための、前記内側コンタクト(5’、6’)の一方と前記外側コンタクト(4’、7’)の一方とは、隣り合ったコンタクトでなく、前記内側コンタクト(5’、6’)の他方と前記外側コンタクト(4’、7’)の他方とは、第2ホール電圧を取り出すためのコンタクトであり、前記第2コンタクト(5’)と前記第3コンタクト(6’)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4’)と前記第4コンタクト(7’)は同じ幅を有し、前記第1コンタクト(4’)と前記第2コンタクト(5’)との間の距離は、前記第3コンタクト(6’)と前記第4コンタクト(7’)との間の距離に等しく、前記第1コンタクト(4’)と前記第2コンタクト(5’)との間に広がる抵抗値をR 1 ’、前記第2コンタクト(5’)と前記第3コンタクト(6’)との間に広がる抵抗値をR 2 ’、前記第3コンタクト(6’)と前記第4コンタクト(7’)との間に広がる抵抗値をR 3 ’として、R 1 ’=R 2 ’=R 3 ’が成り立つように、前記第2コンタクト(5’)と前記第3コンタクト(6’)との間の距離が選ばれ、前記第1コンタクト(4’)と前記第4コンタクト(7’)との間に広がる抵抗値をR 4 ’として、前記第1コンタクト(4’)と前記第4コンタクト(7’)とを接続する第2抵抗の抵抗値R 5 ’が、R 1 ’=R 2 ’=R 3 ’=R 4 ’||R 5 ’が成り立つように選ばれ、
前記第1直線及び前記第2直線は平行であり、
前記第1ホール素子の前記第1コンタクト(4)が前記第2ホール素子の前記第2コンタクト(5’)に接続され、前記第1ホール素子の前記第2コンタクト(5)が前記第2ホール素子の前記第3コンタクト(6’)に接続され、前記第1ホール素子の前記第3コンタクト(6)が前記第2ホール素子の前記第4コンタクト(7’)に接続され、前記第1ホール素子の前記第4コンタクト(7)が前記第2ホール素子の前記第1コンタクト(4’)に接続されることを特徴とする磁界センサ。
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