JP4614747B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4614747B2 JP4614747B2 JP2004346536A JP2004346536A JP4614747B2 JP 4614747 B2 JP4614747 B2 JP 4614747B2 JP 2004346536 A JP2004346536 A JP 2004346536A JP 2004346536 A JP2004346536 A JP 2004346536A JP 4614747 B2 JP4614747 B2 JP 4614747B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- laser
- energy density
- surface layer
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
日経マイクロデバイセズ 2004年11月号 第50〜57頁、「20年ぶりにアニール技術を刷新 光源置き換え、極浅接合を形成」
(a)半導体基板の表層部に不純物を注入する工程と、
(b)前記不純物の注入された領域に、前記半導体基板の表層部が溶融しない条件で、かつ、1番目のレーザパルスの入射から2番目のレーザパルスの入射までの遅延時間が100ns以上1000ns以下となり、かつ1番目のレーザパルスの入射によって加熱された前記半導体基板の表層部の温度が、該表層部の温度上昇幅の50%分低下するよりも前に、2番目のレーザパルスが入射する条件で、パルス幅が100ns〜200nsの範囲内の少なくとも2つのレーザパルスを含むパルスレーザビームを入射させ、注入されている不純物を活性化させる工程と
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
(a)表層部がアモルファス化されている半導体基板の該表層部に不純物が添加された試料を準備する工程と、
(b)前記試料に、該試料の表面の同一箇所に少なくとも2つのレーザパルスを含むパルスレーザビームを照射して不純物を活性化させる処理を、パルスエネルギ密度の条件を変えて行う工程と、
(c)前記工程bで得られた試料の表層部のシート抵抗を測定する工程と、
(d)横軸にパルスエネルギ密度、縦軸に試料表層部のシート抵抗をプロットしたグラフにおいて、パルスエネルギ密度の増加に伴って、シート抵抗の低下の傾きが一旦緩やかになり、再度急峻になり始める点のパルスエネルギ密度を求め、上限値とする工程と、
(e)前記工程dで求められた上限値以下の範囲から、半導体装置製造用のパルスエネルギ密度の値を選択する工程と
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
2 レジスト膜
3 アモルファス領域
4 不純物注入領域
5 レーザビーム
6 ビーム入射領域
10 プロセスチャンバ
11 XYステージ
13 窓
21 第1のパルスレーザ光源
22 第2のパルスレーザ光源
23、24 可変減衰器
25 1/2波長板
26、31 折り返しミラー
27 偏光ビームスプリッタ
28 高速シャッタ
29 ビームエキスパンダ
30 ホモジナイザ
32 マスク
33 集光レンズ
40 制御装置
Claims (6)
- (a)半導体基板の表層部に不純物を注入する工程と、
(b)前記不純物の注入された領域に、前記半導体基板の表層部が溶融しない条件で、かつ、1番目のレーザパルスの入射から2番目のレーザパルスの入射までの遅延時間が100ns以上1000ns以下となり、かつ1番目のレーザパルスの入射によって加熱された前記半導体基板の表層部の温度が、該表層部の温度上昇幅の50%分低下するよりも前に、2番目のレーザパルスが入射する条件で、パルス幅が100ns〜200nsの範囲内の少なくとも2つのレーザパルスを含むパルスレーザビームを入射させ、注入されている不純物を活性化させる工程と
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記工程aの前に、前記半導体基板の表層部をアモルファス化させる工程を含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の表層部がシリコンで形成されており、前記工程bで照射されるパルスレーザビームの波長が400nm〜650nmである請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程bにおいて照射される1番目のレーザパルスの入射から2番目のレーザパルスの入射までの遅延時間が、1番目のレーザパルスのパルス幅以上である請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- (a)表層部がアモルファス化されている半導体基板の該表層部に不純物が添加された試料を準備する工程と、
(b)前記試料に、該試料の表面の同一箇所に少なくとも2つのレーザパルスを含むパルスレーザビームを照射して不純物を活性化させる処理を、パルスエネルギ密度の条件を変えて行う工程と、
(c)前記工程bで得られた試料の表層部のシート抵抗を測定する工程と、
(d)横軸にパルスエネルギ密度、縦軸に試料表層部のシート抵抗をプロットしたグラフにおいて、パルスエネルギ密度の増加に伴って、シート抵抗の低下の傾きが一旦緩やかになり、再度急峻になり始める点のパルスエネルギ密度を求め、上限値とする工程と、
(e)前記工程dで求められた上限値以下の範囲から、半導体装置製造用のパルスエネルギ密度の値を選択する工程と
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記工程dが、さらに、シート抵抗が許容値となるパルスエネルギ密度を求め、下限値とする工程を含み、
前記工程eにおいて、前記工程dで求められた下限値以上の範囲から、前記半導体装置製造用のパルスエネルギ密度の値を選択する請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346536A JP4614747B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346536A JP4614747B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006156784A JP2006156784A (ja) | 2006-06-15 |
JP4614747B2 true JP4614747B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=36634666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004346536A Active JP4614747B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4614747B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008270243A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体デバイスの製造方法 |
JP5178046B2 (ja) * | 2007-05-01 | 2013-04-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP5299950B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2013-09-25 | 株式会社日本製鋼所 | 半導体製造方法 |
JP5500573B2 (ja) * | 2009-05-19 | 2014-05-21 | 株式会社日本製鋼所 | 半導体不純物の活性化方法 |
US8592309B2 (en) * | 2009-11-06 | 2013-11-26 | Ultratech, Inc. | Laser spike annealing for GaN LEDs |
US8658451B2 (en) | 2009-11-06 | 2014-02-25 | Ultratech, Inc. | Activating GaN LEDs by laser spike annealing and flash annealing |
JP5203348B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2013-06-05 | 株式会社日本製鋼所 | 半導体基板の製造方法および半導体基板製造装置 |
TW201310551A (zh) * | 2011-07-29 | 2013-03-01 | Applied Materials Inc | 熱處理基材的方法 |
JP6004932B2 (ja) * | 2012-12-18 | 2016-10-12 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ装置 |
JP5865303B2 (ja) | 2013-07-12 | 2016-02-17 | アイシン精機株式会社 | レーザ処理装置、およびレーザ処理方法 |
JP6910742B2 (ja) * | 2016-04-27 | 2021-07-28 | 住友重機械工業株式会社 | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 |
JP7428481B2 (ja) | 2019-06-07 | 2024-02-06 | 住友重機械工業株式会社 | レーザアニール方法及びレーザ制御装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05206053A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 結晶損傷除去装置 |
JPH0963974A (ja) * | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Rikagaku Kenkyusho | 半導体基板中へのドーピング層の形成方法 |
JPH10275781A (ja) * | 1992-10-21 | 1998-10-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー処理方法 |
JP2000277448A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Ion Kogaku Kenkyusho:Kk | 結晶材料の製造方法および半導体素子 |
JP2001057345A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Toshiba Corp | レーザプロセス及びレーザプロセス装置 |
JP2003528462A (ja) * | 2000-03-17 | 2003-09-24 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | レーザーアニーリングおよび急速熱アニーリングにより極めて浅い接合を形成する方法 |
JP2004152888A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 半導体装置の製造方法及びレーザアニーリング装置 |
JP2005136218A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 不純物活性化方法及びレーザ照射装置 |
-
2004
- 2004-11-30 JP JP2004346536A patent/JP4614747B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05206053A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 結晶損傷除去装置 |
JPH10275781A (ja) * | 1992-10-21 | 1998-10-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー処理方法 |
JPH0963974A (ja) * | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Rikagaku Kenkyusho | 半導体基板中へのドーピング層の形成方法 |
JP2000277448A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Ion Kogaku Kenkyusho:Kk | 結晶材料の製造方法および半導体素子 |
JP2001057345A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Toshiba Corp | レーザプロセス及びレーザプロセス装置 |
JP2003528462A (ja) * | 2000-03-17 | 2003-09-24 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | レーザーアニーリングおよび急速熱アニーリングにより極めて浅い接合を形成する方法 |
JP2004152888A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 半導体装置の製造方法及びレーザアニーリング装置 |
JP2005136218A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 不純物活性化方法及びレーザ照射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006156784A (ja) | 2006-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7943534B2 (en) | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device manufacturing system | |
JP6245678B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006344909A (ja) | レーザ照射装置及び半導体装置の製造方法 | |
TWI497600B (zh) | 用於積體電路製造之具有減少圖案密度效應的超快速雷射退火 | |
JP4614747B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5455598B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5105984B2 (ja) | ビーム照射装置、及び、レーザアニール方法 | |
JPH04365316A (ja) | 多結晶半導体層のアニール方法 | |
JP6910742B2 (ja) | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 | |
US9302348B2 (en) | Ultrafast laser annealing with reduced pattern density effects in integrated circuit fabrication | |
EP2674968B1 (en) | Semiconductor device manufacturing method and laser annealing apparatus | |
JP2002198322A (ja) | 熱処理方法及びその装置 | |
TWI360882B (ja) | ||
JP5246716B2 (ja) | 半導体基板の製造方法及びレーザアニール装置 | |
JP2013058610A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN112038224B (zh) | 一种退火方法及装置 | |
JP6000015B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5555245B2 (ja) | プライミングおよび光束によって板状体の層を加熱するための方法および装置 | |
JP2012134228A (ja) | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 | |
JP2015115401A (ja) | レーザアニール方法およびレーザアニール装置 | |
JP4307817B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6338512B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及びレーザアニール装置 | |
JP2014195004A (ja) | 半導体素子の製造方法及び半導体素子の製造装置 | |
JP6497903B2 (ja) | レーザアニール装置 | |
JP2008306210A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101019 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4614747 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |