JP4613325B2 - 窒化物単結晶の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
2 誘導加熱コイル
3 加熱炉本体
4 黒鉛るつぼ
5 雰囲気ガス流入口
6 雰囲気ガス排出口
7 種子結晶
9 原料
10 回転式サセプター
11 回転軸
12 初期成長面
13 カバー
Claims (4)
- 加熱炉内の原料るつぼ内に収容した窒化物単結晶用の原料を加熱して昇華させ、昇華させた原料を、当該加熱炉内に設けられ、サセプターにて支持されている種子結晶上に析出させて単結晶を成長させる窒化物単結晶の製造方法であって、
前記加熱炉内のサセプターに設けられた回転手段にて、前記原料の昇華開始初期の段階では当該サセプターの前記種子結晶を設けていない面が前記原料るつぼ側を向く位置に回転させ、
前記原料の昇華が定常状態に移行したときに前記回転手段にて前記サセプターを回転させて前記種子結晶の面が前記原料るつぼ側を向くように回転させ、当該種子結晶上に昇華させた原料を析出させることを特徴とする窒化物単結晶の製造方法。 - 前記サセプターが三角柱以上の多面体であり、当該サセプターの少なくとも1側面を前記種子結晶の設けていない面とすることを特徴とする請求項1に記載の窒化物単結晶の製造方法。
- 加熱炉内の原料るつぼ内に収容した窒化物単結晶用の原料を加熱して昇華させ、昇華させた原料を、当該加熱炉内に設けられ、サセプターにて支持されている種子結晶上に析出させて単結晶を成長させる窒化物単結晶の製造装置であって、
前記原料の昇華開始初期の段階では当該サセプターの前記種子結晶を設けていない面が前記原料るつぼ側を向く位置に回転させ、前記原料の昇華が定常状態に移行したときに前記サセプターを回転させて前記種子結晶の面が前記原料るつぼ側を向くように回転させるための回転手段を備えたことを特徴とする窒化物単結晶の製造装置。 - 前記サセプターが三角柱以上の多面柱体であり、当該サセプターの少なくとも1側面を前記種子結晶の設けていない面としたことを特徴とする請求項3に記載の窒化物単結晶の製造装置。
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