JP4596660B2 - 搬送装置および加熱装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物の下方両側を支持してこの被処理物を搬送する搬送装置およびそれを備えた加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の搬送装置としては、例えば図９に示す構成が知られている。
【０００３】
この図９に示す搬送装置1aは、被処理物としてのプリント基板Ｐの対向する下方両側を、突起部分を有する一対の搬送体としての搬送チェーン2a,2bでそれぞれ支え、このプリント基板Ｐを搬送する。これら一対の搬送チェーン2a,2bは、互いに並列に配設された一対のレール体3a,3bによりそれぞれ支持されている。
【０００４】
また、これら一対の搬送チェーン2a,2b間における幅方向の中間域の例えば中央には、これら一対の搬送チェーン2a,2bにて搬送するプリント基板Ｐの反りを防止する反り防止チェーン４が取り付けられている。この反り防止チェーン４は、一対の搬送チェーン2a,2bにより搬送されるプリント基板Ｐの下面略中央域を、このプリント基板Ｐが搬送される方向に沿って支持する。
【０００５】
ところが、この搬送装置1aを、リフロー装置や硬化炉装置などの加熱装置に用いた場合には、一対の搬送チェーン2a,2b、およびこれら一対の搬送チェーン2a,2bを支持しガイドするレール体3a,3bそれぞれの熱容量が大きいため、これら一対の搬送チェーン2a,2bで搬送するプリント基板Ｐを加熱する際に、これら一対の搬送チェーン2a,2bで支持するプリント基板Ｐの下面両側近傍の温度が上がりにくくいので、このプリント基板Ｐの加熱効率が良くない。
【０００６】
さらに、この搬送装置1aを、搬送中のプリント基板の下面を熱風で加熱する加熱装置に用いた場合には、反り防止チェーン４がプリント基板Ｐへの熱風の到達を阻害してしまう。このため、この反り防止チェーン４により支持されるプリント基板Ｐの一部の温度が上昇しにくい。
【０００７】
そして、この加熱装置で加熱するプリント基板Ｐに、特に環境問題に即して普及しつつある無鉛はんだを使用した場合には、一般的な無鉛はんだの融点が錫鉛共結はんだと比べ高いことにより、プリント基板Ｐ自体の耐熱温度との差が小さくなってしまう。このため、このプリント基板Ｐを、このプリント基板Ｐの耐熱温度以下、かつ無鉛はんだの融点以上の温度に加熱するためには、このプリント基板Ｐをより高精度に加熱しなければならない。
【０００８】
この場合、錫鉛共結はんだに比べプリント基板Ｐをより高温に加熱しなければならないので、このプリント基板Ｐの反りが大きくなり、反り防止チェーン４がさらに必要となることが多いが、この反り防止チェーン４を多く用いることにより、プリント基板Ｐの加熱効率が良くない。
【０００９】
また、この搬送装置1aを、搬送されるプリント基板Ｐの下方に加熱ユニットを設けたリフロー装置に取り付けた場合には、このリフロー装置に反り防止チェーン４を取り付けたことにより、加熱にとって最適な位置にヒータや整流板などを設置することが困難となる。このため、この反り防止チェーン４を取り付けたことにより生じるこのリフロー装置の加熱効率の低下が防止しにくい。
【００１０】
さらに、この搬送装置1aを、窒素ガスを炉内に満たした低酸素濃度雰囲気の中ではんだ付けする窒素リフロー装置に取り付けた場合には、このリフロー装置の加熱炉の入口から出口までプリント基板Ｐを支持する反り防止チェーン４を取り付けることにより、この加熱炉の入口および出口の開口面積を大きくしなければならない。このため、この加熱炉内を一定の雰囲気に保つために必要な窒素量が大幅に増加してしまい、このリフロー装置のランニングコストが上がる。
【００１１】
また、この種の搬送装置としては、例えば図１０に示す構成が知られている。
【００１２】
この図１０に示す搬送装置1bは、上述の図９に示す搬送装置1aの反り防止チェーン４をチェーンではなく線条体としてのワイヤ体５に置換したものである。そして、このワイヤ体５は、一対の搬送チェーン2a,2bにて搬送されるプリント基板Ｐの下面略中央域を支持し、このプリント基板Ｐの反りを防止する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この搬送装置1bの一対の搬送チェーン2a,2bにて搬送されるプリント基板Ｐの反りの発生をワイヤ体５で防止するためには、このワイヤ体５でプリント基板Ｐを十分に支持しなければならない。よって、このワイヤ体５に比較的大きな張力を与えなけばならない。
【００１４】
このため、このワイヤ体５に大きな張力を与えることにより、このワイヤ体５の劣化が激しくなり、このワイヤ体５の寿命が短くなってしまう。また、このワイヤ体に大きな張力を与えるためには、このワイヤ体をある程度太くしなければならないので、このワイヤ体を細くすることが容易でないという問題を有している。
【００１５】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、搬送時に生じる被処理物の反りを防止する線条体を細くできる搬送装置およびそれを備えた加熱装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の搬送装置は、被処理物の下方両側を支持してこの被処理物を搬送する一対の搬送体と、これら一対の搬送体間でこれら一対の搬送体に沿って配設され、これら一対の搬送体による前記被処理物の搬送方向に沿った線条体保持部が上端に形成され垂直方向に面方向を有する板状体と、この板状体の線条体保持部に摺動可能に配設され、前記一対の搬送体と同期して移動し、これら一対の搬送体による前記被処理物の搬送時にこの被処理物の下方を支持する線条体とを具備しているものである。
【００１７】
そして、この構成では、被処理物の下方両側を支持させてこの被処理物を一対の搬送体で搬送する際に、板状体の上端の線条体保持部に摺動可能に配設した線条体がこの被処理物の下方を支持する。また、この線条体は、一対の搬送体と同期してこれら一対の搬送体の搬送方向に向けて移動する。この結果、一対の搬送体により搬送される被処理物の搬送時に生じる反りが線条体により防止される。よって、一対の搬送体により搬送される被処理物に生じる反りを防止する線条体を、板状体の線条体保持部に摺動可能に配設したことにより、移動時の線条体を板状体の線条体保持部が保持し続ける。このため、この線条体に大きな張力を与える必要がなくなるので、この線条体を細くすることが可能となる。この結果、この線条体を細くすることにより、一対の搬送体により搬送される被処理物を支持する面積が少なくなる。
【００１８】
請求項２記載の搬送装置は、請求項１記載の搬送装置において、一対の搬送体間における幅方向に向けて板状体を進退可能に移動させる幅調整機構を具備しているものである。
【００１９】
そして、この構成では、一対の搬送体間における幅方向に向けて幅調整機構で進退可能に板状体を移動させることが可能となる。このため、幅寸法の異なる被処理物を搬送する際に、この被処理物の幅方向における所望する位置を支持するように板状体を移動できる。よって、所定の寸法より幅寸法が小さい被処理物に生じる搬送時の反りをより確実に防止可能となるとともに、被処理物の形状などの変更に応じて微調整が可能となる。
【００２０】
請求項３記載の搬送装置は、請求項１または２記載の搬送装置において、板状体および線条体を一体に上下方向に向けて進退可能に移動させる高さ調整機構を具備しているものである。
【００２１】
そして、この構成では、高さ調整機構により板状体および線条体を一体に上下方向に向けて進退可能に移動させることが可能となるので、一対の搬送体により搬送される被処理物に対する線条体の支持加減が調整可能となる。
【００２２】
請求項４記載の搬送装置は、請求項１ないし３いずれか記載の搬送装置において、一対の搬送体による被搬送物の搬送方向に向けて板状体に張力を与える板引張機構を具備しているものである。
【００２３】
そして、この構成では、一対の搬送体による被搬送物の搬送方向に向けて板引張機構により板状体に張力を与えることにより、この板状体における被処理物の搬送方向に向かう強度が向上する。この結果、薄い板状体であっても、この板状体の線条体保持部に配設した線条体に必要以上に大きな張力を与えることなく、この線条体で、一対の搬送体により搬送される被処理物を、この被処理物の搬送方向に向けてより確実に支持できる。よって、板状体を薄くすることが可能になるとともに、線条体を細くすることが可能となる。このため、搬送される被処理物への線条体の支持面積を少なくできる。
【００２４】
請求項５記載の搬送装置は、請求項１ないし４いずれか記載の搬送装置において、線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止する線引張機構を具備しているものである。
【００２５】
そして、この構成では、線引張機構で線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止することにより、線条体保持部での線条体の保持が確実になる。よって、この線条体による搬送時における被処理物の支持がより確実になる。
【００２６】
請求項６記載の加熱装置は、内部に搬送された被処理物を加熱する加熱炉と、この加熱炉内にて前記被処理物を搬送する請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置とを具備しているものである。
【００２７】
そして、この構成では、請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置により被処理物を加熱炉内にて搬送する際に、板状体の上端の線条体保持部に摺動可能に配設した線条体がこの被処理物の下方を支持する。この結果、移動時の線条体を板状体の線条体保持部が保持し続けるので、線条体に必要以上に大きな張力を与える必要がなくなる。よって、この紐体を細くすることが可能となるから、この線条体を細くすることにより、一対の搬送体により搬送される被処理物を支持する面積が少なくなる。このため、線条体の熱容量が少なくなるので、この被処理物が加熱炉内で効率良く加熱可能となる。そして、反り防止された被処理物の全面を均一に加熱処理できる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送装置の一実施の形態の構成を図１ないし図８を参照して説明する。
【００２９】
図１ないし図８において、11は搬送装置で、この搬送装置11は、例えばこの搬送装置11にて搬送する被処理物としてのワークであるプリント基板Ｓを加熱するリフロー装置や硬化炉装置などの加熱装置12に取り付けられている。このプリント基板Ｓは、電子部品を搭載した面実装型である。また、加熱装置12は、図２に示すように、内部を通過するプリント基板Ｓを加熱する炉体としての加熱炉13を備えている。
【００３０】
この加熱炉13内には、酸素防止用の不活性ガス、例えば窒素ガスが注入されており、電子部品の金属面や、はんだ付け面の酸化によるはんだ付け不良が防止される。
【００３１】
さらに、この加熱炉13内には、搬送装置11にて搬送されるプリント基板Ｓの上面および下面それぞれを加熱する加熱手段としてのヒータユニット14が配設されている。これらヒータユニット14は、搬送装置11の搬送方向における上方および下方それぞれに水平方向に沿って並設されている。
【００３２】
また、搬送装置11は、プリント基板Ｓが加熱炉13内を通過するように設置されている。そして、この搬送装置11は、図３に示すように、プリント基板Ｓの下面両側を支持して、このプリント基板Ｓを搬送する一対の搬送体としてのコンベアである搬送チェーン21a,21bを備えている。これら一対の搬送チェーン21a,21bは、互いに平行に並設されている。また、これら一対の搬送チェーン21a,21b個々は、無端状に形成されている。さらに、これら一対の搬送チェーン21a,21bの往路面は、水平に配設されている。また、これら一対の搬送チェーン21a,21bは、プリント基板Ｓの下面を水平方向に沿って保持する。
【００３３】
さらに、これら一対の搬送チェーン21a,21bの互いに相対する側には、これら一対の搬送チェーン21a,21bでプリント基板Ｓを搬送する際に、このプリント基板Ｓの下面両側を支持してガイドする複数の係止爪部としてのチェーンピン22a,22bが突出している。これら複数のチェーンピン22a,22bは、各搬送チェーン21a,21bのリンクプレートを屈曲可能に連結する軸体23a,23bを延長してそれぞれ形成されている。
【００３４】
また、一方の搬送チェーン21aは、図３に示すように、固定された固定レール24にて摺動可能に支持およびガイドされている。そして、他方の搬送チェーン21bは、これら一対の搬送チェーン21a,21b間における幅方向に向けて進退可能に移動する可動レール25にて摺動可能に支持およびガイドされている。
【００３５】
さらに、これら一対の搬送チェーン21a,21b間には、鉛直方向に面方向を有する細長板状の板状体としての反り防止板であるテンションビーム31がこれら一対の搬送チェーン21a,21bに沿って平行に設置されている。このテンションビーム31の搬送方向における両側端には、下方に向けて突出した接続片32a,32bがそれぞれ形成されている。これら接続片32a,32bは、垂直方向に面方向を有する平板状の取付部材としてのブラケット33a,33bに取り付けられている。
【００３６】
また、テンションビーム31の上端面は水平に形成されており、この上端面には、図４および図５に示すように、縦断面凹溝状の線条体保持部としてのガイド部である保持溝部34が半円形に設けられている。この保持溝部34は、一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送方向に沿って形成されている。また、この保持溝部34には、一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送時にこのプリント基板Ｓの下方略中央域を搬送方向に沿って支持し、搬送時におけるこのプリント基板Ｓの反りを防止する線条体としてのワイヤ体35が摺動可能に配設されている。このワイヤ体35は、図示しないモータにより回転されるプーリに巻回されたベルト体により一対の搬送チェーン21a,21bと同期して互いに等しい速度で移動する無端体である。
【００３７】
ここで、このワイヤ体35は、このワイヤ体35自体の破断強度より遥かに低く、一対の搬送チェーン21a,21bにて搬送されるプリント基板Ｓとともに移動させることができる張力で、加熱炉13の入口から出口まで張られている。
【００３８】
そして、テンションビーム31の接続片32a,32bがそれぞれ接続されたブラケット33a,33bには、このテンションビーム31を一対の搬送チェーン21a,21b間における幅方向に向けて進退可能に移動させる幅調整機構としての位置決め機構41a,41bがそれぞれ取り付けられている。これら位置決め機構41a,41bは、周方向に向けて回動させることにより、テンションビーム31およびワイヤ体35を一対の搬送チェーン21a,21bに対する幅方向に向けて進退可能に移動させる調整ねじ42a,42bをそれぞれ備えている。
【００３９】
これら調整ねじ42a,42bの外周面には、図３および図４に示すように、ねじ溝43a,43bが螺刻されている。また、これら調整ねじ42a,42bは、水平に配設されてブラケット33a,33bに螺合されており、この調整ねじ42a,42bを周方向に向けて同期させて回動させることにより、一対の搬送チェーン21a,21bの幅方向に向けて各ブラケット33a,33bを同期させて移動する。
【００４０】
また、これら調整ねじ42a,42bの上方および下方には、これら調整ねじ42a,42bの回動により各ブラケット33a,33bを移動させる際に、これらブラケット33a,33bを支持してガイドするガイドロッド44a,44bがそれぞれ取り付けられている。これらガイドロッド44a,44bは、一対の搬送チェーン21a,21bの幅方向に向けて水平に配設されて、各ブラケット33a,33bに挿通されている。
【００４１】
さらに、各調整ねじ42a,42bは、これら調整ねじ42a,42bを同期させて回動させる幅調連動手段45にそれぞれ機械的に接続されている。この幅調連動手段45は、各調整ねじ42a,42bの一端それぞれに取り付けた傘歯車46が、シャフト体47の上端に取り付けた傘歯車48にそれぞれ噛合し、これらのシャフト体47の下端に取り付けた傘歯車49が、連動軸50の両端に取り付けられた傘歯車50a,50bにそれぞれ噛合することにより形成されている。
【００４２】
ここで、各位置決め機構41a,41bの各ガイドロッド44a,44bの支持部分には各ブラケット33a,33bとの間に適当なクリアランスが設けられている。この結果、テンションビーム31に張力を与えた状態であっても、これらガイドロッド44a,44b自体はテンションビーム31に与えた張力を支えることはない。そして、テンションビーム31に与えた張力は、各ブラケット33a,33bと位置決め機構41a,41bの各調整ねじ42a,42bとが接触することにより保たれている。
【００４３】
そして、各ブラケット33a,33bの下端には、テンションビーム31およびワイヤ体35を一体に上下方向に向けて移動させる、すなわち昇降させることにより、ワイヤ体35の上端部としての往路面の高さ位置を調整する高さ調整機構としての位置調整ユニットである上下動機構51a,51bがそれぞれ取り付けられている。これら上下動機構51a,51bは、空圧または油圧などの流体圧シリンダにより形成されている。
【００４４】
これら上下動機構51a,51bは、流体圧シリンダに供給される流体の流量が等しくなるように調整すれば、同期させて作動させることができ、ワイヤ体35の往路面を水平にした状態で、テンションビーム31およびワイヤ体35を一体に昇降させる。
【００４５】
また、図６に示すように、テンションビーム31の搬送始端側に位置する接続片32aの外側下端には、一対の搬送チェーン21a,21bによる搬送方向に向けて、このテンションビーム31に張力を与えるための係合爪部53が一体的に形成されている。この係合爪部53は、下方に向けて突出し、側面に円弧状の突起53aを有している。また、この係合爪部53には、軸方向を水平方向に向けてブラケット33aに取り付けられた付勢手段としての張力付与手段である第１のスプリング54の一端が係合し、この第１のスプリング54の他端は、ブラケット33aに係合している。この第１のスプリング54は、係合爪部53を、搬送始端側に向けて付勢することにより、テンションビーム31に水平方向へと向かう最小限の張力を与える。
【００４６】
そして、この第１のスプリング54の下方には、一対の搬送チェーン21a,21bにてプリント基板Ｓを搬送する際に、これら一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送方向、すなわち水平方向に向けてテンションビーム31に張力を与える板引張機構61が取り付けられている。この板引張機構61は、ブラケット33aに取り付けられており、空圧または油圧などの流体圧シリンダなどであるアクチュエータ62を備えている。
【００４７】
このアクチュエータ62は、一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送の際に作動して、テンションビーム31に、例えば４００Ｎ程度の張力を与える。そして、非搬送時は、第１のスプリング54の復元力のみでテンションビーム31に張力を与える。
【００４８】
また、アクチュエータ62の作動ロッド先端には、ナックル63が設けられている。このナックル63には、テンションビーム31に張力を与える細長板状の支持部材としてのテンションアーム64の基端が回動可能に軸支されている。このテンションアーム64の長手方向における中間近傍は、支点となる軸体65によりブラケット33bに回転可能に軸支されている。さらに、一対の搬送チェーン21a,21bによる搬送始端側に位置するこのテンションアーム64の先端側部には、係合爪部53の突起53aに係合する切欠凹部66が切り欠き形成されている。
【００４９】
この結果、アクチュエータ62のナックル63が突出することにより、図６にて二点鎖線で示すように、テンションアーム64の切欠凹部66が搬送始端側に向けて移動するので、テンションビーム31に水平方向へと向かう張力を与える。ここで、板引張機構61は、常時テンションビーム31の降伏点以下の応力で大きな張力を与えることにより、加熱炉13の入口から出口まで、プリント基板Ｓの反り防止に支障が出るようなこのテンションビーム31の中央部の垂れ下がりが生じないようにする。
【００５０】
ここで、板引張機構61のアクチュエータ62は、流体圧シリンダであるから、加熱炉13内での加熱により生じるテンションビーム31の熱膨張を吸収するとともに、ストローク全域で等しい力を発生する。このため、熱膨張によるテンションビーム31の張力低下は生じない。また、テンションビーム31に張力を与えるために第１のスプリング54とは別に強力なスプリングの弾性復元力を使うことも考えられるが、熱膨張による変位で張力が低下するため、好ましくない。
【００５１】
さらに、このアクチュエータ62は、空気圧などが任意に増減可能であり、位置決め機構41a,41bによりテンションビーム31を幅方向に位置決め調整する際、または上下動機構51a,51bによりワイヤ体35の往路面を一対の搬送チェーン21a,21bのチェーンピン22a,22bより下方に移動させる高さ方向における位置決め調整の際には、このアクチュエータ62の空気圧を減じ、またはこの空気圧を開放することによりテンションビーム31の張力を緩めることによってなめらかな位置調整ができる。
【００５２】
そして、図１に示すように、テンションビーム31の水平方向における両側外方には、このテンションビーム31の保持溝部34に保持されたワイヤ体35を、一対の搬送チェーン21a,21bによる搬送方向に向けて回動させる回転体としてのプーリ71a,71bが、ブラケット33a,33bにそれぞれ回転可能に取り付けられている。また、これらプーリ71a,71bは、これらプーリ71a,71bに巻装されたワイヤ体35の往路面が水平となるようにブラケット33a,33bに回転自在にそれぞれ軸支されている。
【００５３】
さらに、搬送終端側に位置するプーリ71bの同心状にプーリ71cが取り付けられている。このプーリ71cには、このプーリ71cを回動させることにより、プーリ71bに巻装されたワイヤ体35を回動させるワイヤ駆動部としての駆動ベルト72が巻回されている。この駆動ベルト72は、ブラケット33bに軸支された駆動プーリ73に巻装されている。また、この駆動プーリ73とプーリ71cとの間に巻装された駆動ベルト72の内側には、この駆動ベルト72の弛みを防止するテンションローラ74が取り付けられている。このテンションローラ74は、ブラケット33bに回転可能に取り付けられている。
【００５４】
また、図７および図８に示すように、搬送終端側に位置にするプーリ71bの下方には、このプーリ71bに巻装されたワイヤ体35に張力を与え、このワイヤ体35の弛みを防止する線引張機構81が取り付けられている。この線引張機構81は、搬送終端側に位置するブラケット33bに取り付けられている。また、この線引張機構81は、プーリ71bの下方に回転可能に配設されたテンションローラ82を備えている。このテンションローラ82は、細長板状の軸支板である揺動板83の中間部に挿通された軸体84にて回転可能に軸支されている。
【００５５】
そして、この揺動板83の軸体84の一端は、ブラケット33bに形成された上下方向に長手方向を有する長穴85に摺動可能に挿入されている。また、この揺動板83の基端は、軸体87によりブラケット33bに回動可能に軸支されている。さらに、この揺動板83の先端には、上下方向に軸方向を有する付勢手段としての張力付与手段である第２のスプリング86の上端が係合し、この第２のスプリング86の下端は、ブラケット33bに係合している。
【００５６】
この結果、第２のスプリング86の収縮方向の復元力により、揺動板83の軸体84が長穴85内で下方に向けて付勢され、この軸体84に回転可能に取り付けられたテンションローラ82が下方に向けて付勢されるので、このテンションローラ82に巻装されたワイヤ体35の弛みを防止できる。
【００５７】
また、図６および図７に示すように、各プーリ71a,71bそれぞれの搬送方向に沿った内側には、ワイヤ体35の復路面の高さ位置を調整する調整プーリ88a,88bがそれぞれ取り付けられている。これら調整プーリ88a,88bには、ブラケット33a,33bそれぞれに軸支される回転中心軸89a,89bを上下動調整するための偏心機構がそれぞれ設けられている。また、これら調整プーリ88a,88bは、上側外周面にワイヤ体35がそれぞれ巻装されている。さらに、これら調整プーリ88a,88bは、図示しない調整手段により互いに同期して回動調整されて、ワイヤ体35の戻り部分である復路面の高さ位置を水平に昇降させる。
【００５８】
次に、上記一実施の形態の作用を説明する。
【００５９】
まず、プリント基板Ｓの底面両側を一対の搬送チェーン21a,21bのチェーンピン22a,22bそれぞれで支持できるように、可動レール25を幅方向の適宜な位置へと移動する。
【００６０】
次いで、これら一対の搬送チェーン21a,21bでプリント基板Ｓを搬送した際に、ワイヤ体35にてこのプリント基板Ｓの底部を支持できるように、各位置決め機構41a,41bそれぞれの調整ねじ42a,42bを連動させて回動させることによりテンションビーム31を幅方向における適宜な位置に移動するとともに、各上下動機構51a,51bにてこのテンションビーム31の高さ位置を調整する。
【００６１】
この後、板引張機構61のアクチュエータ62のナックル63を突出させることにより、テンションアーム64の切欠凹部66を搬送始端側に向けて移動させてテンションビーム31に張力を与えるとともに、線引張機構81の揺動板83の先端をスプリング86により下方に向けて付勢してテンションローラ82を下方に向けて移動させることにより、ワイヤ体35に張力を与える。
【００６２】
このとき、ワイヤ体35の復路面の高さ位置を調整する場合には、各調整プーリ88a,88bを同期させて回動させる。
【００６３】
そして、一対の搬送チェーン21a,21bおよびワイヤ体35をモータにより同期させて等速で移動するように回行駆動しながら、これら一対の搬送チェーン21a,21bの搬入端部間にプリント基板Ｓを設置する。すると、これら一対の搬送チェーン21a,21bによりこのプリント基板Ｓが加熱炉13内へと搬送される。
【００６４】
このとき、このプリント基板Ｓの下面がワイヤ体35に支持されつつ、このプリント基板Ｓが加熱炉13内を搬送される。
【００６５】
また、一対の搬送チェーン21a,21bにて搬送されるプリント基板Ｓをワイヤ体35で支持しない場合には、上下動機構51a,51bにてテンションビーム31を下方へと移動させるとともに、位置決め機構41a,41bによりテンションビーム31を固定レール24の方向へ幅寄せ移動して、ワイヤ体35を固定レール24から突出するチェーンピン22aの下側に待避させる。さらに、板引張機構61のアクチュエータ62のナックル63を後退させてテンションビーム31に付加された張力を解除する。この結果、一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓに何ら影響を与えないようにできる。
【００６６】
このとき、第１のスプリング54の復元力によりテンションビーム31に適度な張力が与えられるとともに、第２のスプリング86の復元力によりワイヤ体35に適度な張力が与えられる。
【００６７】
上述したように、上記一実施の形態によれば、一対の搬送チェーン21a,21bにてプリント基板Ｓを搬送する際に、これら一対の搬送チェーン21a,21bと同期して移動するワイヤ体35がこのプリント基板Ｓの底面を支持するので、これら一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓの搬送時に生じる反りを防止できるとともに、プリント基板Ｓに対しワイヤ体35が相対的に摺動することによりこのプリント基板Ｓに摩擦が生じることなく、この摩擦によるプリント基板Ｓの破損を防止できる。
【００６８】
また、板引張機構61のアクチュエータ62のナックル63を突出させることにより、テンションビーム31に搬送方向に沿った強力な張力を与えることができ、このテンションビーム31における搬送方向に沿った方向の強度を向上できる。
【００６９】
この結果、薄いテンションビーム31であっても、このテンションビーム31の保持溝部34に配設した細いワイヤ体35に余り大きな張力を与えることなく、プリント基板Ｓをこのワイヤ体35で搬送方向に沿ってより確実に支持できるから、このテンションビーム31をより薄くできる。
【００７０】
さらに、ワイヤ体35を、テンションビーム31の上端に搬送方向に沿って形成した保持溝部34に摺動可能に配設したことにより、この保持溝部34により移動時のワイヤ体35を保持でき、このワイヤ体35が保持溝部35から逸脱することを防止できる。
【００７１】
このため、このワイヤ体35に張力を与える線引張機構81は、大きな張力を与える必要がなくなるので、このワイヤ体35を細くできる。
【００７２】
これらの結果、これらテンションビーム31およびワイヤ体35を薄くおよび細くすることにより、プリント基板Ｓへのワイヤ体35による支持面積を少なくできるとともに、これらテンションビーム31およびワイヤ体35の熱容量を少なくできるから、搬送中のプリント基板Ｓの全域を加熱炉13内でより均一に加熱できる。
【００７３】
すなわち、一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓの反りを防止するために加熱炉13内に設けるものは、テンションビーム31およびワイヤ体35のみとなり、これらテンションビーム31およびワイヤ体35の熱容量は、一対の搬送チェーン21a,21b、固定レール24および可動レール25の合計と比較して非常に小さく、周辺に与える熱影響も同時に小さい。
【００７４】
よって、ワイヤ体35が外部から加熱炉13内に移動したとき、短時間でプリント基板Ｓの温度まで上昇するので、加熱炉13内でプリント基板Ｓを加熱する際に、このプリント基板Ｓにワイヤ体35が接触する部分の温度低下が起きにくくなるので、特に高精度な加熱温度制御を必要とする鉛フリーはんだによるはんだ付けの際にも未溶融などの問題を起きにくくできる。
【００７５】
さらに、窒素ガスの注入で炉内雰囲気の酸素濃度を低く保ちながらはんだ付けする加熱炉13、すなわち窒素リフロー装置においては、窒素ガスの流出を極力少なくする必要がある。従来のように搬送されるプリント基板Ｓの反りを図示しない反り防止チェーンで防止する場合には、この反り防止チェーンを使用しないときに固定レールの下方に待避移動させる必要があり、その待避移動スペースを確保するために、加熱炉13の開口部を大きくしなければならず、一定の低酸素濃度を保つために供給すべき窒素ガス量を増加させなければならないが、幅寸法の小さいテンションビーム31およびワイヤ体35を用いることにより、これらテンションビーム31およびワイヤ体35を搬送チェーン21aのチェーンピン22aの下方に待避させるだけで良く、固定レール24の下方まで待避移動させる必要がないから、その分、加熱炉13の開口部を小さくすることができ、窒素ガスの流出を抑えることができる。
【００７６】
また、ワイヤ体35のみでプリント基板Ｓの反りを防止する場合には、より大きな張力をこのワイヤ体35に与えなければならない。このため、このワイヤ体35の寿命が短くなるとともに、このワイヤ体35の径寸法をある程度太くしない限り十分な張力を掛けてプリント基板Ｓを支持することができないので、プリント基板Ｓへの接触幅が比較的広くなってしまうが、このワイヤ体35をテンションビーム31で保持することにより、ワイヤ体35の幅寸法を小さくできる。
【００７７】
すなわち、プリント基板Ｓを支持するために必要な強い張力は、幅が狭く搬送方向に細長い断面を持つテンションビーム31が受け持つので、プリント基板Ｓに対する接触幅を狭くしたままテンションビーム31に十分な張力を与えることができ、その分、このワイヤ体35には駆動用の弱い張力のみを与えれば済むため、このワイヤ体35の寿命を大幅に延長できる。よって、この搬送装置11によれば、プリント基板Ｓへの熱影響を小さくできる。
【００７８】
そして、位置決め機構41a,41bの各調整ねじ42a,42bを同期させて回動させることにより、テンションアーム31およびワイヤ体35を幅方向に向けて移動できる。よって、一対の搬送チェーン21a,21b間における最大幅寸法より小さい幅寸法のプリント基板Ｓを搬送する際に、これらプリント基板Ｓの幅方向における所望する位置を支持するようにテンションビーム31およびワイヤ体35を連動して移動できる。
【００７９】
このため、一対の搬送チェーン21a,21b間における最大幅寸法より幅狭なプリント基板Ｓであれば、このプリント基板Ｓに生じる搬送時の反りをより確実に防止できる幅方向位置にテンションビーム31およびワイヤ体35を移動調整できるとともに、搬送するプリント基板Ｓの形状などの変更に応じて微調整ができる。
【００８０】
さらに、各上下動機構51a,51bによりテンションビーム31およびワイヤ体35を一体に上下方向に向けて移動できるため、一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓに対するワイヤ体35の支持加減を調整できるとともに、不使用時のテンションビーム31およびワイヤ体35は、固定レール24から突出するチェーンピン22aの下側へ待避させることもできる。
【００８１】
また、線引張機構81のテンションローラ82を第２のスプリング86で付勢してワイヤ体35に張力を与えることにより、このワイヤ体35の弛みを防止できる。この結果、テンションビーム31の保持溝部34によるワイヤ体35の保持をより確実にできるから、このワイヤ体35による搬送時におけるプリント基板Ｓの支持をより確実にできる。
【００８２】
さらに、テンションビーム31、ワイヤ体35、板引張機構61および線引張機構81それぞれをブラケット33a,33bに取り付けたことにより、これらブラケット33a,33bのみを位置決め機構41a,41bおよび上下動機構51a,51bにより幅方向および上下方向に移動させるだけで、テンションビーム31およびワイヤ体35の幅方向における位置決めおよび高さ位置を一体に調整できる。この結果、これら位置決め機構41a,41bおよび上下動機構51a,51bの構成を簡略化できる。
【００８３】
なお、上記一実施の形態では、加熱装置12の加熱炉13の入口からこの加熱炉13の出口へとプリント基板Ｓを搬送する搬送装置11について説明したが、加熱炉13を通過させる以外の目的であってもこの搬送装置11を用いることができるとともに、プリント基板Ｓ以外のワークでもこの搬送装置11で搬送できる。
【００８４】
【発明の効果】
請求項１記載の搬送装置によれば、一対の搬送体により搬送される被処理物に生じる反りを防止する線条体を、板体の線条体保持部に摺動可能に配設したことにより、この線条体に大きな張力を与える必要がなくなりこの線条体を細くできるから、この線条体を細くすることによりこの線条体による被処理物を支持する面積を少なくできる。
【００８５】
請求項２記載の搬送装置によれば、請求項１記載の搬送装置の効果に加え、幅寸法の異なる被処理物を搬送する場合でも、この被処理物の幅方向における所望する位置を支持するように板状体を移動させことができるので、これら幅寸法の異なる被処理物それぞれに生じる搬送時の反りを効率良く防止できるとともに、被処理物の形状などの変更に応じて微調整ができる。
【００８６】
請求項３記載の搬送装置によれば、請求項１または２記載の搬送装置の効果に加え、高さ調整機構により板状体および線条体を一体に上下方向に向けて移動させることができるので、一対の搬送体により搬送される被処理物に対する線条体の支持加減を調整できる。
【００８７】
請求項４記載の搬送装置によれば、請求項１ないし３いずれか記載の搬送装置の効果に加え、板引張機構で板状体に張力を与えることにより、この板状体の搬送方向に向かう強度が向上するので、薄い板状体であっても、この板状体の線条体保持部に配設した線条体に余り張力を与えることなく、この線条体で一対の搬送体により搬送される被処理物をこの被処理物の搬送方向に向けてより確実に支持できるから、板状体を薄くできるとともに、線条体を細くでき、搬送される被処理物への線条体の支持面積を少なくできる。
【００８８】
請求項５記載の搬送装置によれば、請求項１ないし４いずれか記載の搬送装置の効果に加え、線引張機構で線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止することにより、線条体保持部での線条体の保持を確実できるから、この線条体による搬送時における被処理物の支持をより確実にできる。
【００８９】
請求項６記載の加熱装置によれば、請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置で被処理物を加熱炉内に搬送する際に、この被処理物の下方を板状体の上端の線条体保持部に配設した線条体が支持し、移動時のこの線条体を線条体保持部が保持するので、線条体に大きな張力を与える必要がなくなるから、この紐体を細くでき、この線条体を細くすることにより、一対の搬送体により搬送される被処理物を支持する面積を少なくできるため、線条体の熱容量が少なくなり、この被処理物を加熱炉内で効率良く加熱できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の搬送装置の一実施の形態の一部を示す正面図である。
【図２】同上搬送装置を用いた加熱装置を示す説明図である。
【図３】同上搬送装置の一部を示す側面図である。
【図４】同上搬送装置の一部を示す正面図である。
【図５】同上搬送装置のテンションビームおよびワイヤ体の一部を示す断面図である。
【図６】同上搬送装置の一部を示す側面図である。
【図７】同上搬送装置の一部を示す側面図である。
【図８】同上搬送装置の一部を示す正面図である。
【図９】従来の搬送装置を示す説明図である。
【図１０】他の従来の搬送装置を示す説明図である。
【符号の説明】
11 搬送装置
12 加熱装置
13 加熱炉
21a,21b 搬送体としての搬送チェーン
31 板状体としてのテンションビーム
34 線条体保持部としての保持溝部
35 線条体としてのワイヤ体
41a,41b 幅調整機構としての位置決め機構
51a,51b 高さ調整機構としての上下動機構
61 板引張機構
81 線引張機構
Ｓ 被処理物としてのプリント基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物の下方両側を支持してこの被処理物を搬送する搬送装置およびそれを備えた加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の搬送装置としては、例えば図９に示す構成が知られている。
【０００３】
この図９に示す搬送装置1aは、被処理物としてのプリント基板Ｐの対向する下方両側を、突起部分を有する一対の搬送体としての搬送チェーン2a,2bでそれぞれ支え、このプリント基板Ｐを搬送する。これら一対の搬送チェーン2a,2bは、互いに並列に配設された一対のレール体3a,3bによりそれぞれ支持されている。
【０００４】
また、これら一対の搬送チェーン2a,2b間における幅方向の中間域の例えば中央には、これら一対の搬送チェーン2a,2bにて搬送するプリント基板Ｐの反りを防止する反り防止チェーン４が取り付けられている。この反り防止チェーン４は、一対の搬送チェーン2a,2bにより搬送されるプリント基板Ｐの下面略中央域を、このプリント基板Ｐが搬送される方向に沿って支持する。
【０００５】
ところが、この搬送装置1aを、リフロー装置や硬化炉装置などの加熱装置に用いた場合には、一対の搬送チェーン2a,2b、およびこれら一対の搬送チェーン2a,2bを支持しガイドするレール体3a,3bそれぞれの熱容量が大きいため、これら一対の搬送チェーン2a,2bで搬送するプリント基板Ｐを加熱する際に、これら一対の搬送チェーン2a,2bで支持するプリント基板Ｐの下面両側近傍の温度が上がりにくくいので、このプリント基板Ｐの加熱効率が良くない。
【０００６】
さらに、この搬送装置1aを、搬送中のプリント基板の下面を熱風で加熱する加熱装置に用いた場合には、反り防止チェーン４がプリント基板Ｐへの熱風の到達を阻害してしまう。このため、この反り防止チェーン４により支持されるプリント基板Ｐの一部の温度が上昇しにくい。
【０００７】
そして、この加熱装置で加熱するプリント基板Ｐに、特に環境問題に即して普及しつつある無鉛はんだを使用した場合には、一般的な無鉛はんだの融点が錫鉛共結はんだと比べ高いことにより、プリント基板Ｐ自体の耐熱温度との差が小さくなってしまう。このため、このプリント基板Ｐを、このプリント基板Ｐの耐熱温度以下、かつ無鉛はんだの融点以上の温度に加熱するためには、このプリント基板Ｐをより高精度に加熱しなければならない。
【０００８】
この場合、錫鉛共結はんだに比べプリント基板Ｐをより高温に加熱しなければならないので、このプリント基板Ｐの反りが大きくなり、反り防止チェーン４がさらに必要となることが多いが、この反り防止チェーン４を多く用いることにより、プリント基板Ｐの加熱効率が良くない。
【０００９】
また、この搬送装置1aを、搬送されるプリント基板Ｐの下方に加熱ユニットを設けたリフロー装置に取り付けた場合には、このリフロー装置に反り防止チェーン４を取り付けたことにより、加熱にとって最適な位置にヒータや整流板などを設置することが困難となる。このため、この反り防止チェーン４を取り付けたことにより生じるこのリフロー装置の加熱効率の低下が防止しにくい。
【００１０】
さらに、この搬送装置1aを、窒素ガスを炉内に満たした低酸素濃度雰囲気の中ではんだ付けする窒素リフロー装置に取り付けた場合には、このリフロー装置の加熱炉の入口から出口までプリント基板Ｐを支持する反り防止チェーン４を取り付けることにより、この加熱炉の入口および出口の開口面積を大きくしなければならない。このため、この加熱炉内を一定の雰囲気に保つために必要な窒素量が大幅に増加してしまい、このリフロー装置のランニングコストが上がる。
【００１１】
また、この種の搬送装置としては、例えば図１０に示す構成が知られている。
【００１２】
この図１０に示す搬送装置1bは、上述の図９に示す搬送装置1aの反り防止チェーン４をチェーンではなく線条体としてのワイヤ体５に置換したものである。そして、このワイヤ体５は、一対の搬送チェーン2a,2bにて搬送されるプリント基板Ｐの下面略中央域を支持し、このプリント基板Ｐの反りを防止する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この搬送装置1bの一対の搬送チェーン2a,2bにて搬送されるプリント基板Ｐの反りの発生をワイヤ体５で防止するためには、このワイヤ体５でプリント基板Ｐを十分に支持しなければならない。よって、このワイヤ体５に比較的大きな張力を与えなけばならない。
【００１４】
このため、このワイヤ体５に大きな張力を与えることにより、このワイヤ体５の劣化が激しくなり、このワイヤ体５の寿命が短くなってしまう。また、このワイヤ体に大きな張力を与えるためには、このワイヤ体をある程度太くしなければならないので、このワイヤ体を細くすることが容易でないという問題を有している。
【００１５】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、搬送時に生じる被処理物の反りを防止する線条体を細くできる搬送装置およびそれを備えた加熱装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の搬送装置は、被処理物の下方両側を支持してこの被処理物を搬送する一対の搬送体と、これら一対の搬送体間でこれら一対の搬送体に沿って配設され、これら一対の搬送体による前記被処理物の搬送方向に沿った線条体保持部が上端に形成され垂直方向に面方向を有する板状体と、この板状体の線条体保持部に摺動可能に配設され、前記一対の搬送体と同期して移動し、これら一対の搬送体による前記被処理物の搬送時にこの被処理物の下方を支持する線条体とを具備しているものである。
【００１７】
そして、この構成では、被処理物の下方両側を支持させてこの被処理物を一対の搬送体で搬送する際に、板状体の上端の線条体保持部に摺動可能に配設した線条体がこの被処理物の下方を支持する。また、この線条体は、一対の搬送体と同期してこれら一対の搬送体の搬送方向に向けて移動する。この結果、一対の搬送体により搬送される被処理物の搬送時に生じる反りが線条体により防止される。よって、一対の搬送体により搬送される被処理物に生じる反りを防止する線条体を、板状体の線条体保持部に摺動可能に配設したことにより、移動時の線条体を板状体の線条体保持部が保持し続ける。このため、この線条体に大きな張力を与える必要がなくなるので、この線条体を細くすることが可能となる。この結果、この線条体を細くすることにより、一対の搬送体により搬送される被処理物を支持する面積が少なくなる。
【００１８】
請求項２記載の搬送装置は、請求項１記載の搬送装置において、一対の搬送体間における幅方向に向けて板状体を進退可能に移動させる幅調整機構を具備しているものである。
【００１９】
そして、この構成では、一対の搬送体間における幅方向に向けて幅調整機構で進退可能に板状体を移動させることが可能となる。このため、幅寸法の異なる被処理物を搬送する際に、この被処理物の幅方向における所望する位置を支持するように板状体を移動できる。よって、所定の寸法より幅寸法が小さい被処理物に生じる搬送時の反りをより確実に防止可能となるとともに、被処理物の形状などの変更に応じて微調整が可能となる。
【００２０】
請求項３記載の搬送装置は、請求項１または２記載の搬送装置において、板状体および線条体を一体に上下方向に向けて進退可能に移動させる高さ調整機構を具備しているものである。
【００２１】
そして、この構成では、高さ調整機構により板状体および線条体を一体に上下方向に向けて進退可能に移動させることが可能となるので、一対の搬送体により搬送される被処理物に対する線条体の支持加減が調整可能となる。
【００２２】
請求項４記載の搬送装置は、請求項１ないし３いずれか記載の搬送装置において、一対の搬送体による被搬送物の搬送方向に向けて板状体に張力を与える板引張機構を具備しているものである。
【００２３】
そして、この構成では、一対の搬送体による被搬送物の搬送方向に向けて板引張機構により板状体に張力を与えることにより、この板状体における被処理物の搬送方向に向かう強度が向上する。この結果、薄い板状体であっても、この板状体の線条体保持部に配設した線条体に必要以上に大きな張力を与えることなく、この線条体で、一対の搬送体により搬送される被処理物を、この被処理物の搬送方向に向けてより確実に支持できる。よって、板状体を薄くすることが可能になるとともに、線条体を細くすることが可能となる。このため、搬送される被処理物への線条体の支持面積を少なくできる。
【００２４】
請求項５記載の搬送装置は、請求項１ないし４いずれか記載の搬送装置において、線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止する線引張機構を具備しているものである。
【００２５】
そして、この構成では、線引張機構で線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止することにより、線条体保持部での線条体の保持が確実になる。よって、この線条体による搬送時における被処理物の支持がより確実になる。
【００２６】
請求項６記載の加熱装置は、内部に搬送された被処理物を加熱する加熱炉と、この加熱炉内にて前記被処理物を搬送する請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置とを具備しているものである。
【００２７】
そして、この構成では、請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置により被処理物を加熱炉内にて搬送する際に、板状体の上端の線条体保持部に摺動可能に配設した線条体がこの被処理物の下方を支持する。この結果、移動時の線条体を板状体の線条体保持部が保持し続けるので、線条体に必要以上に大きな張力を与える必要がなくなる。よって、この紐体を細くすることが可能となるから、この線条体を細くすることにより、一対の搬送体により搬送される被処理物を支持する面積が少なくなる。このため、線条体の熱容量が少なくなるので、この被処理物が加熱炉内で効率良く加熱可能となる。そして、反り防止された被処理物の全面を均一に加熱処理できる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送装置の一実施の形態の構成を図１ないし図８を参照して説明する。
【００２９】
図１ないし図８において、11は搬送装置で、この搬送装置11は、例えばこの搬送装置11にて搬送する被処理物としてのワークであるプリント基板Ｓを加熱するリフロー装置や硬化炉装置などの加熱装置12に取り付けられている。このプリント基板Ｓは、電子部品を搭載した面実装型である。また、加熱装置12は、図２に示すように、内部を通過するプリント基板Ｓを加熱する炉体としての加熱炉13を備えている。
【００３０】
この加熱炉13内には、酸素防止用の不活性ガス、例えば窒素ガスが注入されており、電子部品の金属面や、はんだ付け面の酸化によるはんだ付け不良が防止される。
【００３１】
さらに、この加熱炉13内には、搬送装置11にて搬送されるプリント基板Ｓの上面および下面それぞれを加熱する加熱手段としてのヒータユニット14が配設されている。これらヒータユニット14は、搬送装置11の搬送方向における上方および下方それぞれに水平方向に沿って並設されている。
【００３２】
また、搬送装置11は、プリント基板Ｓが加熱炉13内を通過するように設置されている。そして、この搬送装置11は、図３に示すように、プリント基板Ｓの下面両側を支持して、このプリント基板Ｓを搬送する一対の搬送体としてのコンベアである搬送チェーン21a,21bを備えている。これら一対の搬送チェーン21a,21bは、互いに平行に並設されている。また、これら一対の搬送チェーン21a,21b個々は、無端状に形成されている。さらに、これら一対の搬送チェーン21a,21bの往路面は、水平に配設されている。また、これら一対の搬送チェーン21a,21bは、プリント基板Ｓの下面を水平方向に沿って保持する。
【００３３】
さらに、これら一対の搬送チェーン21a,21bの互いに相対する側には、これら一対の搬送チェーン21a,21bでプリント基板Ｓを搬送する際に、このプリント基板Ｓの下面両側を支持してガイドする複数の係止爪部としてのチェーンピン22a,22bが突出している。これら複数のチェーンピン22a,22bは、各搬送チェーン21a,21bのリンクプレートを屈曲可能に連結する軸体23a,23bを延長してそれぞれ形成されている。
【００３４】
また、一方の搬送チェーン21aは、図３に示すように、固定された固定レール24にて摺動可能に支持およびガイドされている。そして、他方の搬送チェーン21bは、これら一対の搬送チェーン21a,21b間における幅方向に向けて進退可能に移動する可動レール25にて摺動可能に支持およびガイドされている。
【００３５】
さらに、これら一対の搬送チェーン21a,21b間には、鉛直方向に面方向を有する細長板状の板状体としての反り防止板であるテンションビーム31がこれら一対の搬送チェーン21a,21bに沿って平行に設置されている。このテンションビーム31の搬送方向における両側端には、下方に向けて突出した接続片32a,32bがそれぞれ形成されている。これら接続片32a,32bは、垂直方向に面方向を有する平板状の取付部材としてのブラケット33a,33bに取り付けられている。
【００３６】
また、テンションビーム31の上端面は水平に形成されており、この上端面には、図４および図５に示すように、縦断面凹溝状の線条体保持部としてのガイド部である保持溝部34が半円形に設けられている。この保持溝部34は、一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送方向に沿って形成されている。また、この保持溝部34には、一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送時にこのプリント基板Ｓの下方略中央域を搬送方向に沿って支持し、搬送時におけるこのプリント基板Ｓの反りを防止する線条体としてのワイヤ体35が摺動可能に配設されている。このワイヤ体35は、図示しないモータにより回転されるプーリに巻回されたベルト体により一対の搬送チェーン21a,21bと同期して互いに等しい速度で移動する無端体である。
【００３７】
ここで、このワイヤ体35は、このワイヤ体35自体の破断強度より遥かに低く、一対の搬送チェーン21a,21bにて搬送されるプリント基板Ｓとともに移動させることができる張力で、加熱炉13の入口から出口まで張られている。
【００３８】
そして、テンションビーム31の接続片32a,32bがそれぞれ接続されたブラケット33a,33bには、このテンションビーム31を一対の搬送チェーン21a,21b間における幅方向に向けて進退可能に移動させる幅調整機構としての位置決め機構41a,41bがそれぞれ取り付けられている。これら位置決め機構41a,41bは、周方向に向けて回動させることにより、テンションビーム31およびワイヤ体35を一対の搬送チェーン21a,21bに対する幅方向に向けて進退可能に移動させる調整ねじ42a,42bをそれぞれ備えている。
【００３９】
これら調整ねじ42a,42bの外周面には、図３および図４に示すように、ねじ溝43a,43bが螺刻されている。また、これら調整ねじ42a,42bは、水平に配設されてブラケット33a,33bに螺合されており、この調整ねじ42a,42bを周方向に向けて同期させて回動させることにより、一対の搬送チェーン21a,21bの幅方向に向けて各ブラケット33a,33bを同期させて移動する。
【００４０】
また、これら調整ねじ42a,42bの上方および下方には、これら調整ねじ42a,42bの回動により各ブラケット33a,33bを移動させる際に、これらブラケット33a,33bを支持してガイドするガイドロッド44a,44bがそれぞれ取り付けられている。これらガイドロッド44a,44bは、一対の搬送チェーン21a,21bの幅方向に向けて水平に配設されて、各ブラケット33a,33bに挿通されている。
【００４１】
さらに、各調整ねじ42a,42bは、これら調整ねじ42a,42bを同期させて回動させる幅調連動手段45にそれぞれ機械的に接続されている。この幅調連動手段45は、各調整ねじ42a,42bの一端それぞれに取り付けた傘歯車46が、シャフト体47の上端に取り付けた傘歯車48にそれぞれ噛合し、これらのシャフト体47の下端に取り付けた傘歯車49が、連動軸50の両端に取り付けられた傘歯車50a,50bにそれぞれ噛合することにより形成されている。
【００４２】
ここで、各位置決め機構41a,41bの各ガイドロッド44a,44bの支持部分には各ブラケット33a,33bとの間に適当なクリアランスが設けられている。この結果、テンションビーム31に張力を与えた状態であっても、これらガイドロッド44a,44b自体はテンションビーム31に与えた張力を支えることはない。そして、テンションビーム31に与えた張力は、各ブラケット33a,33bと位置決め機構41a,41bの各調整ねじ42a,42bとが接触することにより保たれている。
【００４３】
そして、各ブラケット33a,33bの下端には、テンションビーム31およびワイヤ体35を一体に上下方向に向けて移動させる、すなわち昇降させることにより、ワイヤ体35の上端部としての往路面の高さ位置を調整する高さ調整機構としての位置調整ユニットである上下動機構51a,51bがそれぞれ取り付けられている。これら上下動機構51a,51bは、空圧または油圧などの流体圧シリンダにより形成されている。
【００４４】
これら上下動機構51a,51bは、流体圧シリンダに供給される流体の流量が等しくなるように調整すれば、同期させて作動させることができ、ワイヤ体35の往路面を水平にした状態で、テンションビーム31およびワイヤ体35を一体に昇降させる。
【００４５】
また、図６に示すように、テンションビーム31の搬送始端側に位置する接続片32aの外側下端には、一対の搬送チェーン21a,21bによる搬送方向に向けて、このテンションビーム31に張力を与えるための係合爪部53が一体的に形成されている。この係合爪部53は、下方に向けて突出し、側面に円弧状の突起53aを有している。また、この係合爪部53には、軸方向を水平方向に向けてブラケット33aに取り付けられた付勢手段としての張力付与手段である第１のスプリング54の一端が係合し、この第１のスプリング54の他端は、ブラケット33aに係合している。この第１のスプリング54は、係合爪部53を、搬送始端側に向けて付勢することにより、テンションビーム31に水平方向へと向かう最小限の張力を与える。
【００４６】
そして、この第１のスプリング54の下方には、一対の搬送チェーン21a,21bにてプリント基板Ｓを搬送する際に、これら一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送方向、すなわち水平方向に向けてテンションビーム31に張力を与える板引張機構61が取り付けられている。この板引張機構61は、ブラケット33aに取り付けられており、空圧または油圧などの流体圧シリンダなどであるアクチュエータ62を備えている。
【００４７】
このアクチュエータ62は、一対の搬送チェーン21a,21bによるプリント基板Ｓの搬送の際に作動して、テンションビーム31に、例えば４００Ｎ程度の張力を与える。そして、非搬送時は、第１のスプリング54の復元力のみでテンションビーム31に張力を与える。
【００４８】
また、アクチュエータ62の作動ロッド先端には、ナックル63が設けられている。このナックル63には、テンションビーム31に張力を与える細長板状の支持部材としてのテンションアーム64の基端が回動可能に軸支されている。このテンションアーム64の長手方向における中間近傍は、支点となる軸体65によりブラケット33bに回転可能に軸支されている。さらに、一対の搬送チェーン21a,21bによる搬送始端側に位置するこのテンションアーム64の先端側部には、係合爪部53の突起53aに係合する切欠凹部66が切り欠き形成されている。
【００４９】
この結果、アクチュエータ62のナックル63が突出することにより、図６にて二点鎖線で示すように、テンションアーム64の切欠凹部66が搬送始端側に向けて移動するので、テンションビーム31に水平方向へと向かう張力を与える。ここで、板引張機構61は、常時テンションビーム31の降伏点以下の応力で大きな張力を与えることにより、加熱炉13の入口から出口まで、プリント基板Ｓの反り防止に支障が出るようなこのテンションビーム31の中央部の垂れ下がりが生じないようにする。
【００５０】
ここで、板引張機構61のアクチュエータ62は、流体圧シリンダであるから、加熱炉13内での加熱により生じるテンションビーム31の熱膨張を吸収するとともに、ストローク全域で等しい力を発生する。このため、熱膨張によるテンションビーム31の張力低下は生じない。また、テンションビーム31に張力を与えるために第１のスプリング54とは別に強力なスプリングの弾性復元力を使うことも考えられるが、熱膨張による変位で張力が低下するため、好ましくない。
【００５１】
さらに、このアクチュエータ62は、空気圧などが任意に増減可能であり、位置決め機構41a,41bによりテンションビーム31を幅方向に位置決め調整する際、または上下動機構51a,51bによりワイヤ体35の往路面を一対の搬送チェーン21a,21bのチェーンピン22a,22bより下方に移動させる高さ方向における位置決め調整の際には、このアクチュエータ62の空気圧を減じ、またはこの空気圧を開放することによりテンションビーム31の張力を緩めることによってなめらかな位置調整ができる。
【００５２】
そして、図１に示すように、テンションビーム31の水平方向における両側外方には、このテンションビーム31の保持溝部34に保持されたワイヤ体35を、一対の搬送チェーン21a,21bによる搬送方向に向けて回動させる回転体としてのプーリ71a,71bが、ブラケット33a,33bにそれぞれ回転可能に取り付けられている。また、これらプーリ71a,71bは、これらプーリ71a,71bに巻装されたワイヤ体35の往路面が水平となるようにブラケット33a,33bに回転自在にそれぞれ軸支されている。
【００５３】
さらに、搬送終端側に位置するプーリ71bの同心状にプーリ71cが取り付けられている。このプーリ71cには、このプーリ71cを回動させることにより、プーリ71bに巻装されたワイヤ体35を回動させるワイヤ駆動部としての駆動ベルト72が巻回されている。この駆動ベルト72は、ブラケット33bに軸支された駆動プーリ73に巻装されている。また、この駆動プーリ73とプーリ71cとの間に巻装された駆動ベルト72の内側には、この駆動ベルト72の弛みを防止するテンションローラ74が取り付けられている。このテンションローラ74は、ブラケット33bに回転可能に取り付けられている。
【００５４】
また、図７および図８に示すように、搬送終端側に位置にするプーリ71bの下方には、このプーリ71bに巻装されたワイヤ体35に張力を与え、このワイヤ体35の弛みを防止する線引張機構81が取り付けられている。この線引張機構81は、搬送終端側に位置するブラケット33bに取り付けられている。また、この線引張機構81は、プーリ71bの下方に回転可能に配設されたテンションローラ82を備えている。このテンションローラ82は、細長板状の軸支板である揺動板83の中間部に挿通された軸体84にて回転可能に軸支されている。
【００５５】
そして、この揺動板83の軸体84の一端は、ブラケット33bに形成された上下方向に長手方向を有する長穴85に摺動可能に挿入されている。また、この揺動板83の基端は、軸体87によりブラケット33bに回動可能に軸支されている。さらに、この揺動板83の先端には、上下方向に軸方向を有する付勢手段としての張力付与手段である第２のスプリング86の上端が係合し、この第２のスプリング86の下端は、ブラケット33bに係合している。
【００５６】
この結果、第２のスプリング86の収縮方向の復元力により、揺動板83の軸体84が長穴85内で下方に向けて付勢され、この軸体84に回転可能に取り付けられたテンションローラ82が下方に向けて付勢されるので、このテンションローラ82に巻装されたワイヤ体35の弛みを防止できる。
【００５７】
また、図６および図７に示すように、各プーリ71a,71bそれぞれの搬送方向に沿った内側には、ワイヤ体35の復路面の高さ位置を調整する調整プーリ88a,88bがそれぞれ取り付けられている。これら調整プーリ88a,88bには、ブラケット33a,33bそれぞれに軸支される回転中心軸89a,89bを上下動調整するための偏心機構がそれぞれ設けられている。また、これら調整プーリ88a,88bは、上側外周面にワイヤ体35がそれぞれ巻装されている。さらに、これら調整プーリ88a,88bは、図示しない調整手段により互いに同期して回動調整されて、ワイヤ体35の戻り部分である復路面の高さ位置を水平に昇降させる。
【００５８】
次に、上記一実施の形態の作用を説明する。
【００５９】
まず、プリント基板Ｓの底面両側を一対の搬送チェーン21a,21bのチェーンピン22a,22bそれぞれで支持できるように、可動レール25を幅方向の適宜な位置へと移動する。
【００６０】
次いで、これら一対の搬送チェーン21a,21bでプリント基板Ｓを搬送した際に、ワイヤ体35にてこのプリント基板Ｓの底部を支持できるように、各位置決め機構41a,41bそれぞれの調整ねじ42a,42bを連動させて回動させることによりテンションビーム31を幅方向における適宜な位置に移動するとともに、各上下動機構51a,51bにてこのテンションビーム31の高さ位置を調整する。
【００６１】
この後、板引張機構61のアクチュエータ62のナックル63を突出させることにより、テンションアーム64の切欠凹部66を搬送始端側に向けて移動させてテンションビーム31に張力を与えるとともに、線引張機構81の揺動板83の先端をスプリング86により下方に向けて付勢してテンションローラ82を下方に向けて移動させることにより、ワイヤ体35に張力を与える。
【００６２】
このとき、ワイヤ体35の復路面の高さ位置を調整する場合には、各調整プーリ88a,88bを同期させて回動させる。
【００６３】
そして、一対の搬送チェーン21a,21bおよびワイヤ体35をモータにより同期させて等速で移動するように回行駆動しながら、これら一対の搬送チェーン21a,21bの搬入端部間にプリント基板Ｓを設置する。すると、これら一対の搬送チェーン21a,21bによりこのプリント基板Ｓが加熱炉13内へと搬送される。
【００６４】
このとき、このプリント基板Ｓの下面がワイヤ体35に支持されつつ、このプリント基板Ｓが加熱炉13内を搬送される。
【００６５】
また、一対の搬送チェーン21a,21bにて搬送されるプリント基板Ｓをワイヤ体35で支持しない場合には、上下動機構51a,51bにてテンションビーム31を下方へと移動させるとともに、位置決め機構41a,41bによりテンションビーム31を固定レール24の方向へ幅寄せ移動して、ワイヤ体35を固定レール24から突出するチェーンピン22aの下側に待避させる。さらに、板引張機構61のアクチュエータ62のナックル63を後退させてテンションビーム31に付加された張力を解除する。この結果、一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓに何ら影響を与えないようにできる。
【００６６】
このとき、第１のスプリング54の復元力によりテンションビーム31に適度な張力が与えられるとともに、第２のスプリング86の復元力によりワイヤ体35に適度な張力が与えられる。
【００６７】
上述したように、上記一実施の形態によれば、一対の搬送チェーン21a,21bにてプリント基板Ｓを搬送する際に、これら一対の搬送チェーン21a,21bと同期して移動するワイヤ体35がこのプリント基板Ｓの底面を支持するので、これら一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓの搬送時に生じる反りを防止できるとともに、プリント基板Ｓに対しワイヤ体35が相対的に摺動することによりこのプリント基板Ｓに摩擦が生じることなく、この摩擦によるプリント基板Ｓの破損を防止できる。
【００６８】
また、板引張機構61のアクチュエータ62のナックル63を突出させることにより、テンションビーム31に搬送方向に沿った強力な張力を与えることができ、このテンションビーム31における搬送方向に沿った方向の強度を向上できる。
【００６９】
この結果、薄いテンションビーム31であっても、このテンションビーム31の保持溝部34に配設した細いワイヤ体35に余り大きな張力を与えることなく、プリント基板Ｓをこのワイヤ体35で搬送方向に沿ってより確実に支持できるから、このテンションビーム31をより薄くできる。
【００７０】
さらに、ワイヤ体35を、テンションビーム31の上端に搬送方向に沿って形成した保持溝部34に摺動可能に配設したことにより、この保持溝部34により移動時のワイヤ体35を保持でき、このワイヤ体35が保持溝部35から逸脱することを防止できる。
【００７１】
このため、このワイヤ体35に張力を与える線引張機構81は、大きな張力を与える必要がなくなるので、このワイヤ体35を細くできる。
【００７２】
これらの結果、これらテンションビーム31およびワイヤ体35を薄くおよび細くすることにより、プリント基板Ｓへのワイヤ体35による支持面積を少なくできるとともに、これらテンションビーム31およびワイヤ体35の熱容量を少なくできるから、搬送中のプリント基板Ｓの全域を加熱炉13内でより均一に加熱できる。
【００７３】
すなわち、一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓの反りを防止するために加熱炉13内に設けるものは、テンションビーム31およびワイヤ体35のみとなり、これらテンションビーム31およびワイヤ体35の熱容量は、一対の搬送チェーン21a,21b、固定レール24および可動レール25の合計と比較して非常に小さく、周辺に与える熱影響も同時に小さい。
【００７４】
よって、ワイヤ体35が外部から加熱炉13内に移動したとき、短時間でプリント基板Ｓの温度まで上昇するので、加熱炉13内でプリント基板Ｓを加熱する際に、このプリント基板Ｓにワイヤ体35が接触する部分の温度低下が起きにくくなるので、特に高精度な加熱温度制御を必要とする鉛フリーはんだによるはんだ付けの際にも未溶融などの問題を起きにくくできる。
【００７５】
さらに、窒素ガスの注入で炉内雰囲気の酸素濃度を低く保ちながらはんだ付けする加熱炉13、すなわち窒素リフロー装置においては、窒素ガスの流出を極力少なくする必要がある。従来のように搬送されるプリント基板Ｓの反りを図示しない反り防止チェーンで防止する場合には、この反り防止チェーンを使用しないときに固定レールの下方に待避移動させる必要があり、その待避移動スペースを確保するために、加熱炉13の開口部を大きくしなければならず、一定の低酸素濃度を保つために供給すべき窒素ガス量を増加させなければならないが、幅寸法の小さいテンションビーム31およびワイヤ体35を用いることにより、これらテンションビーム31およびワイヤ体35を搬送チェーン21aのチェーンピン22aの下方に待避させるだけで良く、固定レール24の下方まで待避移動させる必要がないから、その分、加熱炉13の開口部を小さくすることができ、窒素ガスの流出を抑えることができる。
【００７６】
また、ワイヤ体35のみでプリント基板Ｓの反りを防止する場合には、より大きな張力をこのワイヤ体35に与えなければならない。このため、このワイヤ体35の寿命が短くなるとともに、このワイヤ体35の径寸法をある程度太くしない限り十分な張力を掛けてプリント基板Ｓを支持することができないので、プリント基板Ｓへの接触幅が比較的広くなってしまうが、このワイヤ体35をテンションビーム31で保持することにより、ワイヤ体35の幅寸法を小さくできる。
【００７７】
すなわち、プリント基板Ｓを支持するために必要な強い張力は、幅が狭く搬送方向に細長い断面を持つテンションビーム31が受け持つので、プリント基板Ｓに対する接触幅を狭くしたままテンションビーム31に十分な張力を与えることができ、その分、このワイヤ体35には駆動用の弱い張力のみを与えれば済むため、このワイヤ体35の寿命を大幅に延長できる。よって、この搬送装置11によれば、プリント基板Ｓへの熱影響を小さくできる。
【００７８】
そして、位置決め機構41a,41bの各調整ねじ42a,42bを同期させて回動させることにより、テンションアーム31およびワイヤ体35を幅方向に向けて移動できる。よって、一対の搬送チェーン21a,21b間における最大幅寸法より小さい幅寸法のプリント基板Ｓを搬送する際に、これらプリント基板Ｓの幅方向における所望する位置を支持するようにテンションビーム31およびワイヤ体35を連動して移動できる。
【００７９】
このため、一対の搬送チェーン21a,21b間における最大幅寸法より幅狭なプリント基板Ｓであれば、このプリント基板Ｓに生じる搬送時の反りをより確実に防止できる幅方向位置にテンションビーム31およびワイヤ体35を移動調整できるとともに、搬送するプリント基板Ｓの形状などの変更に応じて微調整ができる。
【００８０】
さらに、各上下動機構51a,51bによりテンションビーム31およびワイヤ体35を一体に上下方向に向けて移動できるため、一対の搬送チェーン21a,21bにより搬送されるプリント基板Ｓに対するワイヤ体35の支持加減を調整できるとともに、不使用時のテンションビーム31およびワイヤ体35は、固定レール24から突出するチェーンピン22aの下側へ待避させることもできる。
【００８１】
また、線引張機構81のテンションローラ82を第２のスプリング86で付勢してワイヤ体35に張力を与えることにより、このワイヤ体35の弛みを防止できる。この結果、テンションビーム31の保持溝部34によるワイヤ体35の保持をより確実にできるから、このワイヤ体35による搬送時におけるプリント基板Ｓの支持をより確実にできる。
【００８２】
さらに、テンションビーム31、ワイヤ体35、板引張機構61および線引張機構81それぞれをブラケット33a,33bに取り付けたことにより、これらブラケット33a,33bのみを位置決め機構41a,41bおよび上下動機構51a,51bにより幅方向および上下方向に移動させるだけで、テンションビーム31およびワイヤ体35の幅方向における位置決めおよび高さ位置を一体に調整できる。この結果、これら位置決め機構41a,41bおよび上下動機構51a,51bの構成を簡略化できる。
【００８３】
なお、上記一実施の形態では、加熱装置12の加熱炉13の入口からこの加熱炉13の出口へとプリント基板Ｓを搬送する搬送装置11について説明したが、加熱炉13を通過させる以外の目的であってもこの搬送装置11を用いることができるとともに、プリント基板Ｓ以外のワークでもこの搬送装置11で搬送できる。
【００８４】
【発明の効果】
請求項１記載の搬送装置によれば、一対の搬送体により搬送される被処理物に生じる反りを防止する線条体を、板体の線条体保持部に摺動可能に配設したことにより、この線条体に大きな張力を与える必要がなくなりこの線条体を細くできるから、この線条体を細くすることによりこの線条体による被処理物を支持する面積を少なくできる。
【００８５】
請求項２記載の搬送装置によれば、請求項１記載の搬送装置の効果に加え、幅寸法の異なる被処理物を搬送する場合でも、この被処理物の幅方向における所望する位置を支持するように板状体を移動させことができるので、これら幅寸法の異なる被処理物それぞれに生じる搬送時の反りを効率良く防止できるとともに、被処理物の形状などの変更に応じて微調整ができる。
【００８６】
請求項３記載の搬送装置によれば、請求項１または２記載の搬送装置の効果に加え、高さ調整機構により板状体および線条体を一体に上下方向に向けて移動させることができるので、一対の搬送体により搬送される被処理物に対する線条体の支持加減を調整できる。
【００８７】
請求項４記載の搬送装置によれば、請求項１ないし３いずれか記載の搬送装置の効果に加え、板引張機構で板状体に張力を与えることにより、この板状体の搬送方向に向かう強度が向上するので、薄い板状体であっても、この板状体の線条体保持部に配設した線条体に余り張力を与えることなく、この線条体で一対の搬送体により搬送される被処理物をこの被処理物の搬送方向に向けてより確実に支持できるから、板状体を薄くできるとともに、線条体を細くでき、搬送される被処理物への線条体の支持面積を少なくできる。
【００８８】
請求項５記載の搬送装置によれば、請求項１ないし４いずれか記載の搬送装置の効果に加え、線引張機構で線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止することにより、線条体保持部での線条体の保持を確実できるから、この線条体による搬送時における被処理物の支持をより確実にできる。
【００８９】
請求項６記載の加熱装置によれば、請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置で被処理物を加熱炉内に搬送する際に、この被処理物の下方を板状体の上端の線条体保持部に配設した線条体が支持し、移動時のこの線条体を線条体保持部が保持するので、線条体に大きな張力を与える必要がなくなるから、この紐体を細くでき、この線条体を細くすることにより、一対の搬送体により搬送される被処理物を支持する面積を少なくできるため、線条体の熱容量が少なくなり、この被処理物を加熱炉内で効率良く加熱できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の搬送装置の一実施の形態の一部を示す正面図である。
【図２】同上搬送装置を用いた加熱装置を示す説明図である。
【図３】同上搬送装置の一部を示す側面図である。
【図４】同上搬送装置の一部を示す正面図である。
【図５】同上搬送装置のテンションビームおよびワイヤ体の一部を示す断面図である。
【図６】同上搬送装置の一部を示す側面図である。
【図７】同上搬送装置の一部を示す側面図である。
【図８】同上搬送装置の一部を示す正面図である。
【図９】従来の搬送装置を示す説明図である。
【図１０】他の従来の搬送装置を示す説明図である。
【符号の説明】
11 搬送装置
12 加熱装置
13 加熱炉
21a,21b 搬送体としての搬送チェーン
31 板状体としてのテンションビーム
34 線条体保持部としての保持溝部
35 線条体としてのワイヤ体
41a,41b 幅調整機構としての位置決め機構
51a,51b 高さ調整機構としての上下動機構
61 板引張機構
81 線引張機構
Ｓ 被処理物としてのプリント基板
Claims (6)
- 被処理物の下方両側を支持してこの被処理物を搬送する一対の搬送体と、
これら一対の搬送体間でこれら一対の搬送体に沿って配設され、これら一対の搬送体による前記被処理物の搬送方向に沿った線条体保持部が上端に形成され垂直方向に面方向を有する板状体と、
この板状体の線条体保持部に摺動可能に配設され、前記一対の搬送体と同期して移動し、これら一対の搬送体による前記被処理物の搬送時にこの被処理物の下方を支持する線条体と
を具備していることを特徴とした搬送装置。 - 一対の搬送体間における幅方向に向けて板状体を進退可能に移動させる幅調整機構を具備している
ことを特徴とした請求項１記載の搬送装置。 - 板状体および線条体を一体に上下方向に向けて進退可能に移動させる高さ調整機構を具備している
ことを特徴とした請求項１または２記載の搬送装置。 - 一対の搬送体による被搬送物の搬送方向に向けて板状体に張力を与える板引張機構を具備している
ことを特徴とした請求項１ないし３いずれか記載の搬送装置。 - 線条体に張力を与え、この線条体の弛みを防止する線引張機構を具備している
ことを特徴とした請求項1ないし４いずれか記載の搬送装置。 - 内部に搬送された被処理物を加熱する加熱炉と、
この加熱炉内にて前記被処理物を搬送する請求項１ないし５いずれか記載の搬送装置と
を具備していることを特徴とした加熱装置。
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