JP2007001736A - 搬送コンベヤ、搬送加熱装置、および搬送コンベヤシステム - Google Patents

Abstract

【課題】基板等の被処理物が搬送途上で加熱工程に付されても熱遮蔽を生じ易い部材の介在を排除し且つ被処理物の熱変形を有効に抑制し得る搬送コンベヤ等を提供すること。
【解決手段】搬送対象物である基板等の被処理物Ｗを個別に支持して搬送する一対の搬送機構２，３を備えている。各搬送機構２，３は、同期移動する搬送移送体（搬送チェーン）１１，１２を有し、その対向側面にそれぞれ複数の支持部材１１Ｅ，１２Ｅを備え、この支持部材１１Ｅ，１２Ｅで被処理物Ｗをその左右の端部で個別に支持しつつ搬送する。更に、各搬送移送体（搬送チェーン）１１，１２に、被処理物Ｗの各端部を支持部材１１Ｅ，１２Ｅと共に保持する保持機構３１，４１を、複数装備した。これにより、被処理物Ｗの熱変形や移動中における振動等によって生じる被処理物Ｗの部分的な損傷は、前述した保持機構によって保持されることから有効に抑制される。
【選択図】
図１

Description

本発明は、被処理物用の搬送コンベヤ、搬送加熱装置、および搬送システムに係り、特に、基板等の被処理物を、その両端部を支持しながら所定箇所まで搬送するに必要な搬送コンベヤ、搬送加熱装置、および搬送コンベヤシステムに関する。

被処理物用の搬送装置としては、例えばプリント基板等（以下「基板」という）の被処理物をリフロー装置側へ移送するための搬送コンベヤが比較的多く知られている。これらの搬送コンベヤは、これに所定の加熱手段を組み込むことにより、基板上の一部又は多数箇所の回路接続箇所に付されたハンダを短時間に加熱して当該各回路接続を完了させることができ、同時に高精度に且つ連続的にハンダ作業が実行されることから、近時にあっては比較的多く採用されている。

一方、搬送コンベヤを用いての基板（被処理物）の加熱処理にあっては、基板の熱変形等が生じやすい。この場合の熱変形は、例えば全体加熱の場合には、重量の関係で基板中央部の下方へ向かう湾曲変形が多いことから、これを防止するために従来より種々の技術的な手法が試みられている（例えば特許文献１，２参照）。
特開２００２−２９９８１２公報 特開２００３−１７９３４３公報

しかしながら、前述した特許文献１，２に示す従来例にあっては、それぞれ初期の目的を達成し得るものの、中央部の下面部分に装備した反り防止機構によって熱吸収および熱遮蔽が生じる。かかる現象は、通常のハンダによる場合には悪影響は低いが無鉛ハンダにあっては融点が高いことから、基板（被処理物）上に加熱ムラが生じる。この影響を回避するためには加熱時間を長くすればよいが、基板上の電子部品の耐熱性も考慮すると、短時間に迅速に加熱処理することが重要とされている。このため、基板全体の均一加熱に対して支障を来すような障害は僅かな障害であっても出来るだけ排除する必要がある。

本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、基板等の被処理物が搬送途上で加熱工程に付されても熱吸収および熱遮蔽を生じ易い部材の介在を排除して且つ被処理物の熱変形を有効に抑制し得る搬送コンベヤ、搬送加熱装置、および搬送コンベヤシステムを提供することを、その目的とする。

上記目的を達成するため、本発明にかかる搬送コンベヤでは、所定間隔を隔てて配設され搬送対象物である被処理物を個別に支持しつつ搬送する一対の搬送機構を備えている。この各搬送機構は、同期して併走移動する搬送移送体を有し、その対向側面にそれぞれ突設された複数の支持部材を備え、この複数の支持部材で前述した被処理物をその進行方向に向かって左右の端部で個別に支持しつつ搬送するように構成されている。更に、各搬送機構の搬送移送体には、前述した被処理物の各端部の一部を前述した支持部材と共に保持する保持機構が、それぞれ所定間隔を隔てて複数個装備されている（請求項１）。

このため、被処理物は、その両端部が各搬送移送体の複数の支持部材に支持されつつ当該搬送移送体によって搬送される。そして、この間、当該被処理物はその上面および下面が空間に露出されていることから、例えば当該被処理物に対する加熱工程や除塵工程等を円滑に且つ効率よく実行する事ができる。又、この発明では、各搬送機構の相互間には前述した従来例の場合と異なり何らの熱遮蔽部材が存在しないことから、例えば加熱処理等にあっては、被処理物を全体的に均一な加熱状態を設定するこができる。更に、被処理物の熱変形や移動中における振動等によって生じる被処理物の変形や部分的な損傷は、前述した保持機構によって保持されることから有効に抑制されるようになっている。

ここで、前述した複数の各支持部材を棒状の支持部材により構成すると共に、この各棒状支持部材を前記各搬送機構が備えている搬送移送体の対向面側に当該搬送機構に沿って等間隔に配設してもよい（請求項２）。このようにすると、被処理物の載置位置が前後方向にずれが生じても、有効に支持し搬送することができる点で都合がよい。

又、前述した一対の各搬送機構を、それぞれ搬送移送体としてのエンドレス型の搬送チェーンと、この搬送チェーンを走行駆動するチェーン駆動手段と、前記搬送チェーンの走行状態を維持し且つ案内する複数のガイドチェーン車と、前述した搬送チェーンによる被処理物の搬送領域に装備された搬送チェーン用のガイドレールとを備えた構成としてもよい（請求項３）。このようにすると、装置全体を堅牢にして且つ耐久性および耐熱性の高い状態に維持することができ、搬送動作を安定して円滑に実行することができ、大型化も可能となるという利点がある。

更に、前記エンドレス型の搬送チェーンを、ローラチェーンを横二列に併設して成る二列型のローラチェーンにより構成し、その内側に位置するローラチェーンに前記保持機構を装備するようにしてもよい（請求項４）。このようにすると、一対の各搬送機構の搬送能力および耐久性をより一層高めることができる。

前述した保持機構については、前述した支持部材の基幹部側（例えばチェーン側）を回動支点として当該支持部材の先端部に向けて起伏回動自在に装備され且つその先端部が前述した支持部材の先端部に向けて曲折された押さえ部材と、この押さえ部材を起伏回動自在に保持する連結プレートと、この連結プレートに装備され前記押さえ部材を通常は伏した状態に設定してこれを維持する押さえバネとを備えた構成としてもよい（請求項５）。

このようにすると、装備箇所にあっては例えば連結プレートを搬送チェーンのリンク部材に代えて組み込むことができ、これにより保持機構の小型化が可能となり、支持部材と協同して被処理物の左側又は右側の端部を挟持しやすい形態を単純な構造で形成することができる。

前述した各保持機構の押さえ部材に対して起立動作を付勢する動作付勢機構を、前記各保持機構に個別に対応して前述した搬送移送体に装備すると共に、この動作付勢機構を作動させる作動カムを、各搬送機構の被処理物用搬入端および被処理物用搬出端にそれぞれ装備してもよい（請求項６）。この場合、作動カムを、前述した各搬送機構の被処理物用搬送領域の被処理物用搬入端および被処理物用搬出端に装備されたガイドチェーン車に同軸で且つ一体的に装備してもよい（請求項７）。このようにすると、被処理物の搬送に際しては、その搬入から搬出に至る全工程で連続運転が可能となり、被処理物の搬送処理能力を一段と高めることができる。

又、前述した動作付勢機構を、その一端部が前述した支持部材の基幹部に回転自在に保持され他端部が鉤状に形成された回動起立部材をもって構成し、この回動起立部材はその一端部の外周囲が半円状に形成され且つこの半円状の外周部分に前記作動カムが当接してこれに回転動作を付勢する構造とし、この一端部の回転動作と共に回動する当該回動起立部材の他端部で前述した保持機構の押さえ部材に起立動作を付勢するように構成してもよい（請求項８）。

このようにすると、搬送移送体（搬送チェーン）が走行して保持機構および動作付勢機構が作動カムの装備箇所に移動してくると、前述した被処理物の搬入及び搬出領域では保持機構の押さえ部材が伏した状態（支持部材上の被処理物を挟持した状態）から起立した状態に設定され、これによって被処理物が挟持された状態から開放されて前述した被処理物の搬入および搬出が実行される。

更に、上述した複数の各保持機構については、押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部を前述した支持部材側に常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構とした（請求項９）。この場合、複数の各保持機構を、前述した一対の各搬送機構の内の何れか一方のみに装備してもよい（請求項１０）。このようにすると、被処理物が熱変形し易い部材によって構成されていても、かかる変形を有効に抑制するこができる。

前述した一対の各搬送機構に装備される複数の保持機構の内、被処理物の搬送方向の先端部に対応する箇所の両側端部の少なくとも一方の側端部には、前述した押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部を支持部材に常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構を装備し、他方の側端部には、前述した押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部上面との間に隙間を有するように構成してなる隙間有り保持機構を装備するように構成してもよい（請求項１１）。このようにすると、熱変形等で大きく湾曲する被処理物に対しては各部を緩やかに押さえておくことにより、冷却後に内部歪みが残りやすい部材に対してはこれを有効に低減させることができて都合がよい。

又、前述した一対の各搬送移送体の相互間を、所定のピッチ間隔で棒状連結部材にて連結してもよい（請求項１２）。又この棒状連結部材は、対向位置にある支持部材を相互に連結する形態をもって装備してもよい（請求項１３）。このようにすると、一対の各搬送機構の進行移動に際して有効に同期をとることができ、被処理物が支持されて走行される場合に生じる面の微小蛇行およびこれに起因して生じる微小振動等の発生を有効に抑制することができ、更には被処理物全体がその周囲下方でほぼ均一に支持されるように構成し得るので、熱風加熱等に際しても被処理物を円滑に搬送することができ、熱処理に伴う変形を全体的に有効に抑制し得るという利点がある。

更に、前述した一対の各搬送機構には、当該各搬送機構の一部をなす搬送移送体としての搬送チェーンを常時洗浄する洗浄機構を個別に併設するように構成してもよい（請求項１４）。このようにすると、被処理物用として装備した保持機構の起伏回動を長期間にわたって円滑に作動させることができ、各搬送チェーンの全体的な円滑動作およびその耐久性を著しく高めることがきる。

ここで、前述した洗浄機構に、当該洗浄機構の洗浄液を冷却する洗浄液冷却手段を装備してもよい（請求項１５）。又、前述した洗浄機構の入力段に、洗浄前の搬送移送体（搬送チェーン）を冷却する移送体冷却手段（搬送チェーン冷却手段）を設けてもよい（請求項１６）。これにより、経時的に上昇する冷却液の温度上昇を押さえてその蒸発を有効に抑制するこができ、装置全体の耐久性を高めることができる。

又、前述した洗浄機構の出力段に、洗浄後の搬送移送体（搬送チェーン）に付された洗浄液を液切りする（乾燥する）液切り部を併設してもよい（請求項１７）。このようにすると、周囲空間から飛来する塵埃の付着を有効に回避し得ると共に、被処理物（基板）に水滴が付着するのを予め有効に回避することができる。

又、本発明にかかる搬送加熱装置は、前述した搬送コンベヤに被処理物用の加熱手段を組み合わせたもので、前述した搬送コンベヤの一対の各搬送機構の被処理物用搬入端から被処理物用搬出端に至る途上に、被処理物用加熱手段を装備する、という構成とした（請求項１８）。ここで、前述した被処理物用加熱手段は、被処理物の上面と下面の両方を同時に加熱する両面加熱方式のものとしてもよい（請求項１９）。このようにしても、前述した搬送コンベヤの有する利点を有効に生かすことができ、当該被処理物の搬送加熱工程を有効に実行することができ、被処理物を搬送しながら加熱処理しても、前述した保持機構が有効に機能して反りや変形の少ない状態を維持することが可能となる。

又、本発明にかかる搬送コンベヤシステムでは、所定間隔を隔てて配設され搬送対象物である被処理物をその左右の両端部で個別に支持しつつ搬送する一対の搬送機構と、この各搬送機構が備え且つ併走移動する搬送移送体の対向側面にそれぞれ突設され前記被処理物の各端部を支持する構造の複数の支持部材とを備えた搬送コンベヤを有する。この搬送コンベヤの一対の搬送機構に対応して、前述した被処理物を所定のタイミングで送り込む被処理物搬入装置が併設され、更に、この被処理物搬入装置には前記被処理物の搬入のタイミングを自在に設定する搬入調整機構が併設されている。

そして、前述した一対の搬送機構の何れか一方の搬送機構には、棒状連結部材が被処理物搬入領域に近づいたことを検出する連結部材検出センサを装備すると共に、この連結部材検出センサからの情報に基づいて作動し前記搬入調整機構を駆動制御して前記被処理物の最適な搬入のタイミングを設定する搬入タイミング演算制御部を備える、という構成を採用した（請求項２０）。

このため、搬送コンベヤに対する被処理物の搬入および搬出を連続的に且つ迅速に実行することができ、多量の被処理物であってもその搬送および搬送中の加熱処理を連続して円滑に実行することができる。又、被処理物の搬入のタイミングを設定しこれに合わせて搬入および搬出を実行するようにしたので、被処理物相互間の衝突事故等が回避され損傷事故等がなくなり、良好な品質を維持しながら多量の被処理物を円滑に搬送し又は連続して加熱処理をなし得るという利点がある。

ここで、前述した搬入調整機構は、前述した被処理物搬入装置を介して送り込まれる被処理物の搬入を一時的に係止して当該搬入のタイミングを調整する搬入調整機能を有し、前述した搬入タイミング演算制御部は、連結部材検出センサから出力される棒状棒連結部材の接近情報に基づいて作動し当該棒状連結部材が被処理物を受けとめる位置までの移動時間を演算する移動時間演算機能と、この演算された時間に合わせて前記被処理物を前記搬送機構に送り込むように前述した搬入調整機構による係止解除の動作タイミングを設定する解除動作設定機能とを備えた構成としてもよい（請求項２１）。

このようにすると、被処理物の搬入および搬出の能率を具体的に設定することができ、被処理物の性質に応じた搬送速度若しくは加熱時間の設定等を必要に応じて予め自在に設定することができ、作業工程の円滑化および高能率化を実行することが出来る。

本発明は上述したように構成され機能するので、これによると、被処理物はその搬送過程において上面および下面が空間に露出されており且つ各搬送機構の相互間には前述した従来例の場合と異なり何らの熱遮蔽部材が存在しないことから、加熱処理等にあっては、被処理物を全体的に均一な加熱状態を設定するこができ、更に、搬送中における被処理物は複数の保持機構によって隙間なく或いは所定の隙間をもって保持されることから、当該被処理物の熱変形や移動中における振動等による被処理物の変形や部分的な損傷は、これを有効に抑制することができるという従来にない優れた搬送コンベヤ、搬送加熱装置、及び搬送コンベヤシステムを提供することができる。

以下、本発明の最良の実施形態を、図面に従って説明する。
この実施形態は、被処理物としてのプリント配線された回路基板（以下、単に「基板」という）Ｗの全体を搬送しながら一様に加熱して当該基板Ｗ上の回路に付されたハンダを一斉に溶融し電子部品等をハンダ付するシステムについて、本発明を実施した場合を例示するものである。

〈全体的な構成〉
図１乃至図４において、符号１は搬送コンベヤを示す。この搬送コンベヤ１は、被処理物である基板Ｗを、その左右の両端部を個別に支持しつつ搬送する一対の搬送機構２，３を備えている。この各搬送機構２，３は、相互に同期して移動する搬送移送体を備え、この搬送移送体の対向側面にそれぞれ突設され前述した被処理物である基板Ｗを（その各端部を）個別に支持する構造の複数の支持部材１１Ｅ，１２Ｅを備えている。

この搬送コンベヤ１の中央部には、前述した搬送機構２，３の被処理物搬送領域を間に配して、その上下の空間領域に加熱手段４が配設されている（図４参照）。即ち、この加熱手段４は、搬送中の基板Ｗを加熱して当該基板Ｗの所定の回路に付されたハンダを一斉に溶融し、これによって組み込まれた電子部品等を同時に且つ均一にハンダ付をするためのものである。この場合、加熱手段４の作動中にあっては、上述した搬送コンベヤ１は被処理物である基板Ｗを有効に保持しつつこれを円滑に搬送するためのものである。

この場合、この図４における上述した搬送コンベヤ１は、搬送加熱装置用の搬送コンベヤとして機能することとなる。ここで、この図４では、加熱手段４としては、被処理物搬送領域の搬送移送体部分を挟んで上下に分けて装備した場合、即ち、搬送される被処理物の上面と下面の両方を同時に加熱する両面加熱方式のものを例示したが、上面側だけの片面加熱方式のものであってもよい。

図４において、符号７は搬送コンベヤ１に基板Ｗを搬入するための被処理物搬入装置を示し、符号８は搬送コンベヤ１から搬出される基板Ｗを外部へ送り出すための被処理物搬出装置を示す。そして、搬送コンベヤシステムは、この搬送コンベヤ１に搬入装置７（又は搬入装置７と搬出装置８）を併設することによって構成されている。これにより、搬送コンベヤ１に対する基板Ｗの搬入／搬出作業を連続的に且つ迅速に実行することができ、多量の基板Ｗであっても充分にこれに対応することができ、加熱工程にあっては搬送中の基板Ｗ上のハンダの加熱処理を迅速に且つ連続して実行することが可能となる。

前述したように、各搬送機構２，３が備えている搬送移送体の相互に対向する側面には、図１に示すように、相互間に位置する空間領域に向けて前述した基板Ｗの進行方向の左右の端部を下方から支持するための同一形状の複数の支持部材１１Ｅ，１１Ｅ，１１Ｅ・・・，１２Ｅ，１２Ｅ，１２Ｅ・・・が、その側端面全体にわたって所定間隔を隔てて突設装備されている。又、この各支持部材１１Ｅ又は１２Ｅと協同して前述した基板（被処理物）Ｗの左右の各端部を保持する複数の保持機構３１，４１が、前述した各搬送機構２，３上に所定間隔をおいてそれぞれ装備されている（図１〜図３参照）。これにより、例えば、基板（被処理物）Ｗの熱変形や移動中における振動等によって生じる部分的な損傷等は、当該保持機構３１，４１に保持されることから、予めこれを有効に回避することができる。

前述した一対の各搬送機構２，３は、図１乃至図４に示すように、本実施形態ではそれぞれエンドレス型のチェーン機構によって構成されている。これを更に詳述すると、各搬送機構２，３は、所定間隔Ｓ_０（図１参照）を隔てて配設され搬送対象物である基板Ｗの左右の両端部を下方から個別に支持した状態で当該基板Ｗを搬送する搬送移送体としてのエンドレス型の搬送チェーン１１，１２と、この搬送チェーン１１，１２を走行駆動するチェーン駆動手段１３と、前述した搬送チェーン１１（又は１２）の走行状態を維持し且つ案内する複数のガイドチェーン車（スポロケット車）１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，・・・（１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，・・・）とを備えている。チェーン駆動手段１３としては実際には速度制御可能な駆動モータが使用されている。

搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２としては、本実施形態では２列一体型のローラチェーンが使用されている（図１乃至図３参照）。即ち、一方の搬送チェーン１１は、並列に連結されてなーラチェーン１１Ａ，１１Ｂによって構成されている。又、他方の搬送チェーン１２は、並列に連結されてなるローラチェーン１２Ａ，１２Ｂによって構成されている。符号１３Ａ，１３Ｂは、チェーン駆動手段１３に所定間隔を隔てて直結された２列用の原動チェーン車（スポロケット車）を示す。更に、この原動チェーン車１３Ａ，１３Ｂは、前述したチェーン駆動手段１３と共に搬送チェーン１１，１２の下流側（被処理物搬出側）に、当該各搬送チェーン１１，１２に対応して装備されている。このため、一対の各搬送機構２，３の搬送能力をより一層高めることができ、装置全体を堅牢にして且つ耐久性および耐熱性の高い状態に維持することができ、基板Ｗの搬送動作を安定して円滑に実行することができ、大型化も可能となるという利点が有る。

前述したガイドチェーン車（二連のスポロケット車）１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，・・・としては、図４に示すように、本実施形態では各搬送チェーン１１，１２に対応してそれぞれ１０個のガイドチェーン車１４ａ〜１４ｊ，１５ａ〜１５ｊ，が前述した搬送コンベヤ１の装置本体１Ａに装備されている。この内、搬送チェーン１１（又は１２）の被処理物搬出側（図４の左側）には、前述した原動チェーン車１３Ａ（又は１３Ｂ）に近接してその前後に５個のガイドチェーン車１４ａ〜１４ｃ，１４ｉ，１４ｊ（又は１５ａ〜１５ｃ，１５ｉ，１５ｊ）が装備されている。又、搬送チェーン１１（又は１２）の被処理物搬入側（図４の右側）には、同じく５個のガイドチェーン車１４ｄ〜１４ｈ（又は１５ｄ〜１５ｈ）が装備されている。

この内、基板（被処理物）Ｗを搬送する領域（図４の上端部を走行する搬送チェーン１１，１２部分）には、上流側（図４の右端部）にはガイドチェーン車１４ｈ，１５ｈが、下流側にはガイドチェーン車１４ｉ，１５ｉが、それぞれ配設され、これによって基板（被処理物）Ｗを搬送する領域が特定されている。符号１６，１７は、この基板Ｗを搬送する領域に前述した搬送チェーン１１，１２に対応して個別に装備されたコンベアレールを示す。

又、上流側である被処理物搬入側に装備されたガイドチェーン車１４ｄ〜１４ｈ（又は１５ｄ〜１５ｈ）の内、ガイドチェーン車１４ｅ及び１４ｇ（又は１５ｅ及び１５ｇ）が下方から上方に向かう直線状走行路から内側に入り込んで装備され、これによって各搬送チェーン１１（１２）には適度の張力が設定されるようになっている。

同時に、搬送チェーン１１（又は１２）の走行抵抗の内、ガイドチェーン車１４ａ（又は１５ａ）からガイドチェーン車１４ｈ（又は１５ｈ）に至る領域の走行抵抗が、ガイドチェーン車１４ｉ（又は１５ｉ）から原動チェーン車１３Ｂ（又は１３Ａ）に至る領域の走行抵抗よりも（搬送チェーン１１，１２のジグザグ走行によって）幾分大きくなるように設定され、これによって、基板（被処理物）Ｗを搬送する領域（ガイドチェーン車１４ｈ（１５ｈ）からガイドチェーン車１４ｉ（１４ｉ）に至る領域）を走行する搬送チェーン１１，１２部分に、適度の張力が印加されるようになっている。このため、被処理物である基板Ｗの搬送領域では、搬送チェーン１１，１２の弛み等が無くなり、基板Ｗは常に同一条件で円滑に搬送されるようになっている。

〈搬送チェーンについて〉
エンドレス型の搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２としては、前述したように、それぞれ二列一体型のローラチェーン１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂが使用されている（図１〜図３参照）。この図１〜図３において、符号１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂはリンクプレートを示す。又、符号１１ｅはリンクプレート１１ａ，１１ｂを連結するためのチェーンピンとして機能する支軸を示す。この支軸１１ｅは、後述するように、搬送チェーン１２側に向けて延設（突設）され、その延設部（突設部）が基板支持用の支持部材１１Ｅとして機能するように構成されている。同様に、符号１２ｅはリンクプレート１２ａ，１２ｂを連結するチェーンピンとして機能する支軸を示す。そして、この支軸１２ｅも、後述するように搬送チェーン１１側に向けて延設（突設）され、その延設部（突設部）が基板支持用の支持部材１２Ｅとして機能するように構成されている。更に、符号１１ｒ，１２ｒはローラチェーン１１，１２のローラを示す。このローラ１１ｒ，１２ｒと支軸１１ｅ，１２ｅとの間には、実際にはそれぞれブシュ（図示せず）が介装されている。

このように、二列一体型をもって構成されたローラチェーンから成る搬送チェーン１１，１２は、それぞれ所定間隔を隔てて同軸上に一体的に組み込まれた原動チェーン車（スポロケット車）１３Ａ，１３Ｂに付勢され同時に複数のガイドチェーン車１４ａ〜１４ｊ，１５ａ〜１５ｊ，にそれぞれ案内されて、安定した状態で同期走行し得るようになっている。

又、各搬送チェーン１１，１２には、その装備された状態の対向側面に、前述した基板支持用の棒状の支持部材１１Ｅ，１２Ｅが等間隔に複数装備されている。この各棒状の支持部材１１Ｅ，１２Ｅは、実際には各搬送チェーン１１，１２の前述した支軸１１ｅ又は１２ｅが、それぞれ他方の搬送チェーン１１又は１２に向けて延設（突設）された状態で装備されている。そして、この複数の各支軸１１ｅ又は１２ｅには、本実施例ではその一つ置きに位置決め用の鍔状部材１１ｓ，１２ｓがそれぞれ装備されている。この鍔状部材１１ｓ，１２ｓは、支軸１１ｅ又は１２ｅの突出部分の中央部分に直交した状態で固着装備され、前述した基板（被処理物）Ｗが載置された場合の左右の位置を設定する位置決め機能と、後述する保持機構３１，４１（および１３１，１４１）が備えている押さえ部材３２，４２（および１３２，１４２）・・の作動休止時に機能する押さえ部材保持機能とを兼ね備えている。

そして、前述した基板（被処理物）Ｗは、この複数の棒状支持部材１１Ｅ，１２Ｅによって左右の各端部の複数箇所が下方から支持された状態で、図４の右方向から左方向に搬送されるようになっている。ここで、前述した一対の各搬送機構２，３の主要部をなす各搬送チェーン１１，１２は、その配置間隔Ｓ_０が基板（被処理物）Ｗの大きさに合わせて予め設定されている（図１参照）。ここで、符号Ｓ_１は基板（被処理物）Ｗを載置し保持する領域の幅（間隔）を示す。この保持領域の幅Ｓ_１は、基板（被処理物）Ｗの幅寸法よりも大きい寸法に設定されている。このため、基板（被処理物）Ｗは、左右から突出された複数の棒状の支持部材１１Ｅ，１２Ｅ上に前述した鍔状部材１１ｓ，１２ｓに案内されて円滑に載置することができ、その後は当該複数の棒状支持部材１１Ｅ，１２Ｅによって有効に支持され同時に鍔状部材１１ｓ，１２ｓによって横方向の移動が規制され、離脱することなく円滑に搬送されるようになっている。又、基板（被処理物）Ｗが前後方向にずれて配置されても、常に同一条件で有効に支持されることとなり、かかる点においても安定して且つ円滑に搬送されることとなる。図１乃至図４において、矢印Ａは搬送チェーン１１，１２の走行方向を示す。

又、図１において、符号９０は前述した搬送チェーン１１，１２を同一走行面内において連結すると共に基板（被処理物）Ｗを支持するための棒状連結部材を示す。この棒状連結部材９０は、搬送チェーン１１，１２の進行方向に沿って且つ所定のピッチをもって配設され、当該配設箇所では、各搬送チェーン１１，１２を構成するローラチェーンの各支軸１１ｅ，１２ｅから突設された棒状支持部材１１Ｅ，１２Ｅの相互間を橋渡しする形態をもって、一体的に連結されている。これによって、各搬送チェーン１１，１２の同期走行中の微小蛇行若しくは振動等が有効に抑制され、基板Ｗをより安定した状態で円滑に搬送することが可能となっている。

〈コンベアレールについて〉
コンベアレール１６，１７は、前述したように２列のローラチェーンから成る各搬送チェーン１１，１２が図４の上端部を右方から左方へ走行するに際し、そのガイドレールとして機能する。この内、コンベアレール１６は、図５（Ａ）に示すように、本実施形態では２列の各ローラチェーン１１Ａ，１１Ｂから成る搬送チェーン１１の外側に位置するローラチェーン１１Ａ部分を案内するように構成され、前述した基板（被処理物）Ｗを搬送する領域（図３の上端部を走行する搬送チェーン１１部分）に装備されている。

この図５（Ａ）において、符号３１は基板（被処理物）Ｗを保持する保持機構を示す。この保持機構３１としては、搬送用の基板Ｗを支持部材１１Ｅと共に隙間無く保持する隙間無し保持保持機構が使用されている。符号３２は、この場合の押さえ部材を示す。又、図５（Ｂ）は、搬送チェーン１１が後述する隙間有り保持部材１３１を装備した状態でコンベアレール１６部分を走行する場合の状態を示す説明図である。符号１３２は、この隙間有り保持部材１３１が備えている押さえ部材を示す。

同様に、コンベアレール１７は、図６（Ａ）に示すように、本実施形態では２列の各ローラチェーン１２Ａ，１２Ｂから成る搬送チェーン１２の外側に位置するローラチェーン１２Ｂ部分を案内するように構成され、前述した基板（被処理物）Ｗを搬送する領域（図４の上端部を走行する搬送チェーン１２部分）に装備されている。この図６（Ａ）において、符号４１は基板（被処理物）Ｗを保持する保持機構を示す。この保持機構４１としては、搬送用の基板Ｗを支持部材１２Ｅと共に隙間無く保持する隙間無し保持保持機構が使用されている。符号４２は、この場合の押さえ部材を示す。又、図６（Ｂ）は、搬送チェーン１２が後述する隙間有り保持部材１４１を装備した状態でコンベアレール１７部分を走行する場合の状態を示す説明図である。符号１４２は、この隙間有り保持部材１４２が備えている押さえ部材を示す。

これを更に詳述する。前述したコンベアレール１６は、図５（Ａ）に示すように、ローラチェーン１１Ａのローラ１１ｒ部分がころがって移動するのを案内する下側レール部１６Ａと、ローラチェーン１１Ａが上方へ変動するのをリンクプレート１１ａ，１１ｂ部分で抑制する上側レール部１６Ｂと、これらの各レール部１６Ａ，１６Ｂを保持するレール本体１６Ｃとを備えた構成となっている。

これにより、この搬送チェーン１１がコンベアレール１６部分を走行する場合には、下側レール部１６Ａによって各ローラ１１ｒ部分（搬送チェーン１１の外側の下方中央部）を円滑に受けて移動させ、上側レール部１６Ｂが各ローラ１１ｒの両側に位置するリンクプレート１１ａ，１１ｂ部分（搬送チェーン１１の上方の左右二箇所）を同一条件で上方向から下方向に向けて緩やかに押さえる状態となっている。このため、当該搬送チェーン１１は、走行中はその下方中央部がローラ１１ｒ部分を介して転がり接触し且つその上方の左右方向が常時二点（リンクプレート１１ａ，１１ｂ部分）で保持されることから、進行方向の断面内が常時三点支持の状態が維持されることとなり、振動も有効に抑制されて安定走行が維持されるようになっている。

前述した搬送チェーン１２の場合も、上記コンベアレール１６と全く同様に構成されたコンベアレール１７によって案内され、搬送チェーン１１の場合と同様に安定走行し得るようになっている。即ち、図６（Ａ）において、コンベアレール１７は、ローラチェーン１２Ｂのローラ１２ｒ部分がころがって移動するのを案内する下側レール部１７Ａと、ローラチェーン１２Ａが上方へ変動するのをリンクプレート１２ａ，１２ｂ部分で抑制する上側レール部１７Ｂと、これらの各レール部１７Ａ，１７Ｂを保持するレール本体１７Ｃとを備えた構成となっている。

これにより、この搬送チェーン１２がコンベアレール１７部分を走行する場合には、下側レール部１７Ａによって当該搬送チェーン１２の外側に位置するローラチェーン１２Ｂの各ローラ１２ｒ部分（搬送チェーン１２の外側の下方中央部）を円滑に受けて移動させると共に、上側レール部１７Ｂがローラチェーン１２Ｂの各ローラ１２ｒの両側に位置するリンクプレート１２ａ，１２ｂ部分（搬送チェーン１２の上方の左右二箇所）を同一条件で上方向から下方向に向けて緩やかに押さえる状態となっている。このため、当該搬送チェーン１２は、走行中はその下方中央部がローラ１２ｒ部分を介して転がり接触し且つその上方の左右方向が常時二点（リンクプレート１２ａ，１２ｂ部分）で保持されることから、進行方向の断面内で常時三点支持の状態が維持されることとなり、振動も有効に抑制されて安定走行が維持されるようになっている。

〈保持機構について〉
前述したように、搬送コンベヤの主要部を成す搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２には、所定間隔を隔ててそれぞれ複数の保持機構３１，４１が装備されている（図１乃至図３参照）。この内、保持機構３１は一方の搬送チェーン（搬送移送体）１１に所定間隔を隔てて複数装備されている。そして、二列型のローラチェーン１１Ａ，１１Ｂからなる搬送チェーン１１の内側に位置する方のローラチェーン１１Ｂに、前述した保持機構３１が装備されている。同様にして、保持機構４１は、他方の搬送チェーン（搬送移送体）１２に所定間隔を隔て複数装備されている。そして、二列型のローラチェーン１２Ａ，１２Ｂからなる搬送チェーン１２の内側に位置するローラチェーン１２Ａに、前述した保持機構４１が装備されている。この各保持機構３１，４１は、それぞれ押さえ部材の形状が左右対称形をなしているが、全体的にはほぼ同一の構成となっている。このため、以下、一方の保持機構３１について詳述する。

この一方の保持機構３１は、図１乃至図２に示すように、支持部材１１Ｅの基幹部側（搬送チェーン側）を回動支点として当該支持部材１１Ｅの先端部に向けて起伏回動自在に装備され且つその先端部が支持部材１１Ｅの先端部に向けて曲折された押さえ部材３２を備えている。この押さえ部材３２は、連結プレート３３によって起伏回動自在に保持されている。そして、この連結プレート３３には、前述した押さえ部材３２を通常は伏した状態に設定してこれを維持する押さえバネ３４が装備されている。符号３５は、連結プレート３３と押さえ部材３２との間に介装された蝶番を示す。前述した押さえバネ３４は、この蝶番３５の支軸部分に装備されている。

ここで、前述した連結プレート３３は、二列一体型の搬送チェーン（搬送移送体）１１の内側に位置するローラチェーン１１Ｂが備えているリンクプレート１１ｂに代えて、当該搬送チェーン（搬送移送体）１１にリンクプレートとしても機能するように組み込まれている。これにより、当該保持機構３１の小型化および軽量化が図られている。この連結プレート３３は、本実施形態では、上端の水平部分がローラチェーン１１Ｂを覆うように曲折されて全体的には断面が逆Ｌ字状に形成され、下側の直立部分がリンクプレート１１ｂと同等に機能するようになっている。そして、この連結プレート３３の上端の水平部分に、前述した押さえ部材３２が、蝶番３５を介して起伏回動自在に装備されている。

かかる構成は、本実施形態では、一方の保持機構３１が装備される全箇所で全く同様の動作形態をもって組み込まれている。又、上記押さえ部材３２は、前述した支持部材１１Ｅ側の部分の内、位置決め用の鍔状部材１１ｓが装備されていない領域部分の先端部が切除され、これによって保持機構３１の軽量化が図られている。

この保持機構３１は、その押さえ部材３２部分が、図１〜図２に示すように、一方の搬送チェーン（搬送移送体）１１に突設された支持部材１１Ｅの内の鍔状部材１１ｓを有する支持部材（鍔付支持部材）１１Ｅと鍔付でない支持部材１１Ｅの二つの支持部材１１Ｅに対応した状態に配設され装備されている。図１では基板（被処理物）Ｗが未載置の状態であることから、押さえ部材３２は伏した状態で、図２に示すように鍔状部材１１ｓに係止されている。この図２（Ａ）において、二点鎖線は押さえ部材３２が立ち上がった状態を示す。この押さえ部材３２は後述する動作付勢機構７０によってその起伏動作が付勢されるようになっている。

又、前述した他方の保持機構４１は、図１及び図３に示すように、その一部をなす押さえ部材４２及び押さえバネ４４が装備位置の関係で前述した一方の保持機構３１の押さえ部材３２及び押さえバネ３４に対しては線対称の形状に形成されているほかは、前述した一方の保持機構３１の場合と全く同様に構成され同様に機能するようになっている。この他方の保持機構４１については、その装備箇所が、二列型のローラチェーン１２Ａ，１２Ｂからなる他方の搬送チェーン１２の内の内側に位置するローラチェーン１２Ａに特定されている。そして、前述した一方の保持機構３１と同時に連係して作動し、基板（被処理物）Ｗを有効に保持し得るようになっている。

更に、図１及び図３において、付号４３は他方の保持機構４１における断面逆Ｌ字状に形成された連結プレートを示し、符号４５は蝶番を示す。この他方の保持機構４１における連結プレート４３は、二列一体型のローラチェーン１２Ａ，１２Ｂから成る搬送チェーン（搬送移送体）１２の内側に位置するローラチェーン１２Ａが備えているリンクプレート１２ａに代えて、当該搬送チェーン１２に組み込まれている。この連結プレート４３は、本実施形態では、上端が水平に曲折された逆Ｌ字状に形成され、下側の直立部分がリンクプレート１２ａと同等に機能し、上端の水平部分に前述した押さえ部材４２が、蝶番４５を介して起伏回動自在に装備されている。

このような構成を備えた保持機構３１，４１は、その複数が例えば図１０に示すように、一方の搬送チェーン１１と他方の搬送チェーン１２の複数箇所にそれぞれ等間隔に装備されている。この保持機構３１，４１の装備間隔は、搬送する一個の基板（被処理物）Ｗに対してその複数箇所（例えば片側３箇所）を保持し得る間隔に予め設定されている。尚、この保持機構３１，４１による保持箇所は、片側で２か所でも或いは４か所以上であってもよい。

上述した各保持機構３１，４１は、押さえ部材３２，４２がそれぞれ基板（被処理物）Ｗの左右の各端部を隙間無く挟持するためのもので、隙間無し保持機構として機能する（図２〜図３参照）。これに対し、図７に、隙間有りの保持機構１３１，１４１を示す。この図７に示す隙間有り保持機構１３１，１４１は、基板（被処理物）Ｗの左右の各端部を僅かな隙間Ｋを介した状態で保持するようにしたものである。この場合、押さえ部材１３２，１４２の先端部の曲折した箇所の長さが前述した隙間無し保持機構３１，４１の押さえ部材３２，４２のものよりも短く設定され、これによって、保持状態にあっても基板（被処理物）Ｗに対して隙間Ｋが形成されるようになっている。

ここで、図７（Ａ）は一方の搬送チェーン１１に装備された状態の隙間有りの保持機構１３１を示し、図７（Ｂ）は他方の搬送チェーン１２に装備された状態の隙間有りの保持機構１４１を示す。又、記号Ｋ_０は、基板（被処理物）Ｗが無い状態における保持部材１１Ｅ，１２Ｅと押さえ部材１３２，１４２の先端部との間の隙間を示す。更に、図５（Ｂ）に、一方の搬送チェーン１１に装備された隙間有りの保持機構１３１部分が当該搬送チェーン１２と共にコンベアレール１６部分を走行する場合の状態を示す。又、図６（Ｂ）に、他方の搬送チェーン１２に装備された隙間有りの保持機構１４１部分が当該搬送チェーン１２と共にコンベアレール１６部分を走行する場合の状態を示す。

実際には、隙間Ｋを形成した状態では基板（被処理物）Ｗを保持し得ないが、加熱処理中に熱変形が大きく生じた場合を想定して、その許容範囲（逃げ）を予め設定しておき、これによって基板（被処理物）Ｗが加熱処理中における大きく変形するのを有効に抑制し、若しくは熱歪みが内部に蓄積されたりするのを予め回避し得るようにしたものである。この場合、この隙間有り保持機構１３１，１４１の実際の装備に際しては、後述するように、前述した隙間無しの保持機構３１，４１によって基板Ｗの少なくとも一箇所を保持するように構成するとよい。このようにすると、これと前述した鍔状部材１１ｓとが協同して有効に機能し、搬送コンベヤ１による搬送中での位置ずれが有効に抑制される。

〈動作付勢機構と作動カムについて〉
前述した保持機構３１，４１および１３１，１４１には、これらに個別に対応して動作付勢機構７０が併設されている。この動作付勢機構７０は、前述した複数の各保持機構３１，４１又は１３１，１４１に個別に対応して前述した一方と他方の各搬送チェーン１１，１２に個別に装備されている。そして、この各保持機構３１，４１又は１３１，１４１を作動させる円盤状の作動カム８１が、前述した搬送コンベヤ１の被処理物搬送領域における被処理物搬入端および被処理物搬出端に、それぞれ装備されている。具体的には、この作動カム８１は、被処理物搬送領域における被処理物搬入端および被処理物搬出端に装備されたガイドチェーン車１４ｈ，１５ｈおよび１４ｉ，１５ｉに、同軸上で個別に且つ一体的に連結されている。以下、これを具体的に詳述する。

最初に、動作付勢機構７０を説明する。この動作付勢機構７０は、図８乃至図９に示すように、板状部材により全体的には鉤状に形成された鉤状本体部７０Ａと、この鉤状本体部７０Ａの回動中心点として機能する取付け部７０Ｂと、この取付け部７０Ｂを中心とした回動端部に位置し前述した保持機構３１，４１および１３１，１４１の押さえ部材３２，４２，１３２，１４２を個別に順次上方に向けて押し上げる回動押し上げ部７０Ｃ（回動端部の外周端部）と、前記取付け部７０Ｂに近接して設けられ後述する作動カム８１から回転力を付勢される従動カム部７０Ｄと、この従動カム部７０Ｄと前述した回動押し上げ部７０Ｃとの間に設けられ非動作時には隣接する支持部材１１Ｅ（１２Ｅ）に係止される係止用凹部７０Ｅとを備えている。この動作付勢機構７０は、全体的にはクエッションマーク状に形成されている。上記回動押し上げ部７０Ｃは、その外周形状が半円弧状に形成されている。

更に、上述した回動押し上げ部７０Ｃはその厚さ方向の角部が半円弧状に形成され、又この回動押し上げ部７０Ｃに連なる側の前述した係止用凹部７０Ｅの開口端（作動カム８１との当接面）はその厚さ方向に沿って断面Ｖ字状の凹部が形成され、これに対応して後述する作動カム８１には、その周囲に、厚さ方向に沿って断面山形状の凸部８１Ａが形成されている。この場合、係止用凹部７０ＥのＶ字状の凹部７０Ｅは、その断面内の角度が９０度強に設定されている。又前述した作動カム８１の頂角は、９０度弱に設定されている。これによって、作動カム８１は最初に動作付勢機構７０の先端部に円滑に当接し当該動作付勢機構７０に起立動作を円滑に付勢し得るようになっている。更に、前述した従動カム部７０Ｄには、前述した作動カム８１との当接箇所の全体にわたって断面Ｖ字状の凹部が形成されている。これにより、作動カム８１は、搬送チェーン１１，１２の移動と共に、従動カム部７０Ｄを介して当該動作付勢機構７０にその起立動作を確実に伝達し得る構成となっている。

そして、上記のように構成された動作付勢機構７０は、本実施形態では、前述した各保持機構３１，４１又は１３１，１４１に対応して同一の搬送チェーン１１，１２上に個別に装備されている。そして、この動作付勢機構７０は、まず、前述した取付け部７０Ｂが鍔状部材１１ｓの無い棒状支持部材１１Ｅ，１２Ｅに回転自在に装備され、その回動端部側の係止用凹部７０Ｅが、各搬送チェーン１１，１２の搬送移動方向の下流側に隣接する棒状支持部材（鍔状部材１１ｓが付された支持部材）１１Ｅ，１２Ｅに、図８の上方から下方に向けて係合するように伏せた状態で配置されている。かかる形態は取付け部７０Ｂに装備された復帰ばね（図示せず）によって当該伏せた状態（係止用凹部７０Ｅが支持部材１１Ｅ，１２Ｅに係合した状態）が維持されるように成っている。

このため、図８に示すように、当該動作付勢機構７０は、搬送チェーン１１，１２上においては移動方向に沿って上流側に位置する取付け部７０Ｂを回動支点とし、下流側に位置する係止用凹部７０Ｅ側が外側に向けて起伏回動可能に装備されている。この図８において、符号１４ｉは基板（被処理物）Ｗの搬出領域に装備された二連のガイドチェーン車を示す。

続いて、作動カム８１について説明する。作動カム８１は、基板（被処理物）Ｗを搬入／搬出する各領域に装備された各ガイドチェーン車１４ｈ，１４ｉに、それぞれ同軸上で且つ一体的に固着装備されている。図８に、作動カム８１が基板（被処理物）Ｗを搬出する領域のガイドチェーン車１４ｉに一体的に装備された場合の状態を示す。この図８（Ａ）において、符号１６はガイドレールを示す。又、図９には、搬送チェーン１１の走行動作と共に回転する作動カム８１に付勢されて前述した動作付勢機構７０が作動し、前述した保持機構３１による基板保持状態が解放された時の状態を示す。

これを更に詳述すると、まず、搬送チェーン１１，１２の走行と共に当該搬送チェーン１１，１２に装備された保持機構３１，４１に対応する各動作付勢機構７０が、基板搬出領域のガイドチェーン車１４ｉ，１５ｉに装備された作動カム８１に接近すると、先ず最初に鉤状に形成された動作付勢機構７０の回動押し上げ部７０Ｃの係止用凹部７０Ｅ側が作動カム８１に当接し、これによって当該回動押し上げ部７０Ｃが少し起立する。

続いて各当該動作付勢機構７０の従動カム部７０Ｄが、それぞれ作動カム８１当接すると、当該従動カム部７０Ｄが、作動カム８１の回転力に付勢されて急激に立ち上がり、同時にその先端部の回動押し上げ部７０Ｃ側が取付け部７０Ｂを回動支点として一気に立ち上がり、同時に、例えば前述した保持機構３１の押さえ部材３２がそれぞれ図９に示すように回動力が付勢されて一気に起立する。これにより、搬送チェーン１１上の基板（被処理物）Ｗが保持状態から開放され、搬送チェーン１１の走行と共にその搬出領域から順次外部へ送り出されるようになっている。保持機構４１，１３１，１４１の場合もそれぞれ全く同様に作動する。

又、基板（被処理物）Ｗの搬入領域においても、上述した作動カム８１と同一に形成され装備された作動カム８１が装備されその働きによって各動作付勢機構７０が順次起伏動作し、これによって、搬入領域に搬入される基板（被処理物）Ｗが順次確実に搬入されその後に円滑に保持されるようになっている。

〈保持機構の配置について〉
保持機構３１，４１，１３１，１４１は、前述したように、隙間無し保持機構３１，４１と隙間有り保持機構保持機構１３１，１４１とに分けられている。この二種類の保持機構３１，４１又は１３１，１４１は、基板（被処理物）Ｗの種類によって種々の組み合わせで使用される。図１０乃至図１１に、これを例示する。図中、二点差線の四角形で囲った微小領域が隙間無し保持機構３１，４１の配設位置を示し、二点差線の円形で囲った微小領域が隙間有り保持機構１３１，１４１の配設位置を示す。

図１０は、隙間無し保持機構３１，４１を装備した場合である。この図１０では一対の各搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２の全体にわたって隙間無し保持機構３１，４１が装備されてある。この場合、隙間無し保持機構３１，４１は、搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２上にあっては、各支持部材１１Ｅ，１２Ｅをそれぞれ中６個置いて等間隔に配置され装備されている。

この図１０において、符号９０は棒状連結部材を示す。この棒状連結部材９０は、この図１０の例では、支持部材１１Ｅ，１２Ｅを中１５個置いたピッチで等間隔に且つ搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２の全体にわたって装備されている。そして、この棒状連結部材９０および支持部材１１Ｅ，１２Ｅによって下方から支持された基板（被処理物）Ｗは、隙間無し保持機構３１，４１によってその両端部がそれぞれ３か所で保持された状態で、図中矢印Ａの方向に搬送されるようになっている。

この図１０の例では、保持機構として隙間無し保持機構３１，４１を装備した場合を例示したが、搬送チェーン（搬送移送体）１１又は１２の何れか一方のみに、隙間無し保持機構３１又は４１を装備するように構成してもよい。即ち、前述した被処理物（基板）Ｗの搬送方向に沿って当該被処理物（基板）Ｗの左端又は右端の何れか一方の端部を前述した支持部材１１Ｅ，１２Ｅと共に保持する保持機構を、一対の搬送機構２又は３の何れか一方の搬送チェーン（搬送移送体）１１又は１２に、それぞれ所定間隔を隔てて複数個装備する。そして、この各保持機構を、その押さえ部材の曲折端部が被処理物（基板）Ｗの端部を支持部材１１Ｅ又は１２Ｅに常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構３１又は４１としてもよい。

この場合、搬送チェーン（搬送移送体）１１又は１２の何れか一方に隙間無し保持機構３１を装備すると共に、他方に隙間有り保持機構１３１を装備するように構成しもよい。或いは、この図１０の例において、搬送チェーン（搬送移送体）１１又は１２の何れか一方に隙間無し保持機構３１を装備し、他方の搬送チェーン（搬送移送体）１２又は１１には保持機構を一切搭載しないように構成してもよい。

このため、これによると、被処理物（基板Ｗ）が熱変形し易い部材によって構成されたものであっても当該被処理物（基板Ｗ）の少なくとも一方の端部が保持された状態で搬送されるので、その搬送過程において加熱工程等に付されても、熱変形を有効に抑制することができ、かかる点において、多種類の被処理物（基板Ｗ）の搬送に対応し得るという汎用性ある搬送コンベヤを得ることができる。

又、図１１に、隙間無し保持機構３１，４１と隙間有り保持機構１３１，１４１の二種類の保持機構を装備した場合の例を示す。具体的には、この図１１では、一対の各搬送機構２，３の各搬送チェーン（搬送移送体）１１又は１２に装備される複数の保持機構の内、前記被処理物（基板）Ｗの搬送方向の先端部に対応する箇所の両側端部に、前述した押さえ部材３２，４２の曲折端部が被処理物（基板）Ｗの端部を常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構３１，４１を装備した。同時に、他の箇所に装備された保持機構の全部を、隙間有り保持機構１３１，１４１（即ち、前述した押さえ部材１３２，１４２の曲折端部が基板Ｗの端部上面との間に隙間Ｋを有するように構成されてなる保持機構）を装備するように構成した場合を示す。

この場合、前述した基板Ｗの搬送方向の先端部に対応する箇所の両側端部の少なくとも一方の側端部には、隙間無し保持機構（押さえ部材３２，４２の曲折端部が基板Ｗの端部を常時押圧するように構成してなる保持機構）３１，４１を装備すると共に、他方の側端部には、隙間有り保持機構（押さえ部材１３２，１４２の曲折端部が基板Ｗの端部上面との間に隙間Ｋを有するように構成してなる隙間有り保持機構）１３１，１４１を装備してもよい。

このため、これによると、熱変形等で大きく湾曲する被処理物に対しては各部を緩やかに押さえておくことにより、特に冷却後に内部歪みが残りやすい部材に対してはこれを有効に低減させることができ、かかる点において、多種類の被処理物（基板）の搬送に有効に対応し得るという汎用性ある搬送コンベヤを得ることができる。

尚、上述した図１１の開示内容において、基板Ｗの端部を常時押圧し保持する隙間無し保持機構３１，４１を装備するのは、搬送方向の先端部だけに限定されるものではなく、他の箇所に装備したものであってもよい。

〈被処理物（基板）の搬入制御について〉
前述したように、本実施形態では、前述した搬送コンベアの主要部をなす一対の搬送機構２，３には、基板（被処理物）Ｗを搬入する被処理物搬入装置７が併設されている（図４参照）。この被処理物搬入装置７は、前述した搬送コンベアと同等に構成され同等に機能する搬入チェーン７Ａ，７Ｂが装備されている。又、この被処理物搬入装置７には、図１２（Ａ）に示すように、基板（被処理物）Ｗの搬入のタイミングを自在に設定する搬入調整機構７１が併設されている。この搬入調整機構７１は、ソレノイドを内蔵して電気的に作動し搬入チェーン７Ａ，７Ｂ上の基板（被処理物）Ｗの走行を一時的に係止する係止手段７１Ａを備えている。

この搬入タイミング調整機構７１に対応して、前述した搬送コンベア側の搬送チェーン１１，１２の走行と共に到来する棒状連結部材９０を検出するための連結部材検出センサ９０Ａが、前述したガイドチェーン車１４ｉの図１２（Ａ）における下側（搬送チェーン１１の到来側）に配設されている。そして、この連結部材検出センサ９０Ａからの検出情報に基づいて作動し前述した搬入調整機構７１を駆動制御して前述した基板（被処理物）Ｗの最適な搬入のタイミングを設定する搬入タイミング演算制御部７２が設けられている（図１２（Ｂ）参照）。この搬入タイミング演算制御部７２は、前述したように具体的には、搬入調整機構７１の係止手段７１Ａの動作を制御するもので、当該係止手段７１Ａの係止動作および係止解除動作を所定のタイミングで付勢し、同時に当該動作を所定時間維持する機能を備えている。

即ち、前述した搬入タイミング調整機構７１は、被処理物搬入装置７を介して搬入される基板（被処理物）Ｗの移動を一時的に停止して搬入移送のタイミングを調整する搬入調整機能を備えている。又、前述した搬入タイミング演算制御部７１は、連結部材検出センサ９０Ａから送られて来る棒状連結部材９０の接近情報に基づいて作動し当該連結部材検出センサ９０Ａが基板（被処理物）Ｗを受けとめる位置までの移動時間を演算する移動時間演算機能と、この演算された時間に合わせて基板（被処理物）Ｗを前述した搬送チェーン１１，１２側に送り込むように前述した搬入タイミング調整機構７１による係止解除の動作タイミングを設定する解除動作設定機能とを備えている。

図１２（Ｂ）において、符号７４はメモリを示す。このメモリ７４は、前述した搬入タイミング演算制御部７２の演算制御に必要とする所定の演算プログラムおよび演算用の所定の情報を予め記憶して置くためのものである。又、符号７５は入力部を示す。この入力部７５は搬入タイミング調整機構７１の動作を設定する種々の指令や制御動作に必要な各種情報を入力するものである。この入力部７５からの入力情報は前述したメモリ７４に記憶され、必要に応じて所定の動作プログラムに従って搬入タイミング演算制御部７２に利用されるようになっている。

又、符号７６はタイマを示す。このタイマ７６は、前述した搬入タイミング演算制御部７２により演算された時間情報を一時的に記憶し搬入タイミング調整機構７１の動作を規制するためのものである。このタイマ７６に設定された時間に基づいて上述した搬入タイミング調整機構７１が作動し、前述した係止手段７１Ａの係止動作および係止解除動作が所定のタイミングで付勢され、前述した基板（被処理物）Ｗの搬入タイミングが設定されるようになっている。この場合、例えば連結部材検出センサ９Ａからの最初の検知信号で係止手段７１Ａの係止動作を作動させ、二回目の検知信号で直ちに又はタイマ７６の設定時間経過後に前述した係止手段７１Ａの係止状態を解除する係止解除動作を作動させるように、前記搬入タイミング調整機構７１を駆動制御してもよい。尚、前述したタイマ７６については、同等に機能するものであれば、発振器とカウンタとを組み合わせて装備する等、同等に機能するものであれば他の技術的な手法で置き換えてもよい。

〈搬送チェーン用洗浄機構について〉
前述した搬送コンベヤは、塵埃が付着し易い。とくに搬送チェーンを装備した搬送コンベヤは、搬送チェーンの各構成部品相互間（例：ローラチェーン１１，１２にあってはリンクプレート１１ａ，１１ｂ、ローラ１１ｒ，１２ｒ、支軸１１ｅ，１２ｅ等の各構成部品相互間）に塵埃が付着し固形化し易い。特に、前述したように搬送コンベヤ１に被処理物用の加熱手段４を装備して搬送加熱装置を構成した場合には、熱による塵埃の固形化という不都合が生じ、搬送チェーン１１，１２の走行負荷が大きくなり、単に電力消費が増加するばかりでなく、搬送チェーン１１，１２の円滑な走行が阻害され同時に耐久性が著しく劣化するという不都合が生じる。このため、かかる不都合を有効に回避する手段として、本実施形態では搬送チェーン（搬送移送体）に洗浄機構１０１（２００）を併設することを試みた（図４参照）。

この洗浄機構の具体例を図１３（Ａ）（Ｂ）に示す。この内、図１３（Ａ）には乾式ブラシによるブラシ式洗浄機構１０１を示す。このブラシ式洗浄機構１０１は、搬送コンベヤの搬送チェーン（搬送移送体）１１の洗浄について説明したもので、搬送チェーン（搬送移送体）１２についても全く同様の構成のものが装備されるようになっている。この図１３（Ａ）では、洗浄用の乾式ブラシ１０１Ａを、搬送チェーン（搬送移送体）１１を構成する各ローラチェーン１１Ａ，１１Ｂに常時当接するようにした場合を示す。

ここで、符号１０１Ｂはブラシ保持部材を示し、符号１０３は塵埃収集ケースを示す。搬送チェーン（搬送移送体）１２を構成する各ローラチェーン１２Ａ，１２Ｂに対しても同様にして乾式ブラシ１０１Ａおよびブラシ保持部材１０１Ｂが別途装備されている。これにより、搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２の走行（矢印Ｓ方向）と共に、洗浄用の各乾式ブラシ１０１Ａが個別に常時機能し、当該搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２に付着した塵埃等の固形物が同時に且つ連続して有効に除去されることとなる。

又、図１３（Ｂ）は洗浄液による液体式洗浄機構２００を示す。この液体式洗浄機構２００では、搬送コンベヤ１の一方の搬送チェーン（搬送移送体）１１を構成する二連のローラチェーン１１Ａ，１１Ｂを、洗浄槽２００Ａ内にＵ字状に案内して連続的に洗浄する構成を採用した。そして、この洗浄槽２００Ａ内では、Ｕ字状に案内されて走行するローラチェーン１１Ａ，１１Ｂに対し、その洗浄槽２００Ａ内の下端部中央には、当該ローラチェーン１１Ａ，１１Ｂの上側に洗浄用のブラシ２０１Ａが常時当接して装備され、下側には洗浄用の超音波出力手段２１０が装備されている。

符号２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃ，２０１ｄは、それぞれ搬送チェーン（搬送移送体）１１を案内する二連のガイド車（スポロケット車）を示す。符号２００Ｂは洗浄槽２００Ａ内に収容された洗浄液を示す。この洗浄液２００Ｂには、搬送チェーン（搬送移送体）１１を構成するローラチェーン１１Ａ，１１Ｂに付着した固形油又は塵埃等を溶かすための溶剤が含まれている。

又、前述した他方の搬送チェーン（搬送移送体）１２を構成する二連のローラチェーン１２Ａ，１２Ｂに対しても、これを、上記一方の搬送チェーン１１の場合と同様に同一の洗浄槽２００Ａ内にＵ字状に案内して連続的に洗浄する構成となっている。そして、この洗浄槽２００Ａ内では、Ｕ字状に案内されて走行するローラチェーン１２Ａ，１２Ｂ（図示せず）に対し、その洗浄槽２００Ａ内の下端部中央には、当該ローラチェーン１２Ａ，１２Ｂの上側に洗浄用のブラシ２０２Ａが常時当接して装備され、下側には洗浄用の超音波出力手段２２０が装備されている。符号２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ，２０２ｄは、それぞれ搬送チェーン（搬送移送体）１２を案内する二連のガイド車（スポケット車）を示す。

そして、装置全体が稼働して搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２が走行すると、洗浄用ブラシ２０１Ａ（２０２Ａ）が常時機能し、当該搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２に付着した塵埃が連続して有効に除去される。この間、前述した超音波発信部２１０（２２０）が作動して洗浄液２００Ｂ内を走行する搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２の全体が常時超音波洗浄されるようになっている。

これにより、搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２に付着した固形油又は塵埃等が、連続して有効に除去され、これによって、基板（被処理物）Ｗに対する保持機構３１，４１，１３１，１４１の起伏保持動作を長期間にわたって円滑に実行することができ、搬送チェーン１１，１２の全体的な動作の円滑を図ることができ、装置全体の耐久性を著しく高めることができる。

次に、洗浄液による液体式洗浄機構の他の具体例を、図１４に基づいて説明する。この図１４に示す液体式洗浄機構２３０は、図１３（Ｂ）の場合と同様に、二連のローラチェーン１１Ａ，１１Ｂから成る一方の搬送チェーン（搬送移送体）１１を、洗浄槽２３０Ａ内にＵ字状に案内して連続的に洗浄する構成を採用した。そして、この洗浄槽２３０Ａ内では、Ｕ字状に案内されて走行する搬送チェーン１１に対し、その洗浄槽２３０Ａ内の下端部中央には、当該搬送チェーン１１の下側に洗浄用の超音波出力手段２１０が装備されている。

符号２３１ａ，２３１ｂ，２３１ｃ，２３１ｄは、それぞれ搬送チェーン（搬送移送体）１１を案内する二連のガイド車（スポロケット車）を示す。符号２３０Ｂは洗浄槽２３０Ａ内に収容された洗浄液を示す。この洗浄液２３０Ｂには、搬送チェーン１１を構成するローラチェーン１１Ａ，１１Ｂに付着した固形油又は塵埃等を溶かすための溶剤が含まれている。

又、前述した二連のローラチェーン１２Ａ，１２Ｂから成る他方の搬送チェーン（搬送移送体）１２に対しても、これを、上記一方の搬送チェーン１１の場合と同様に同一の洗浄槽２３０Ａ内にＵ字状に案内して連続的に洗浄する構成となっている。そして、この洗浄槽２３０Ａ内では、Ｕ字状に案内されて走行する他方の搬送チェーン１２（図示せず）に対し、その洗浄槽２３０Ａ内の下端部中央には、洗浄用の超音波出力手段２２０が装備されている。符号２３２ａ，２３２ｂ，２３２ｃ，２３２ｄは、それぞれ搬送チェーン１２を案内する二連のガイド車（スポロケット車）を示す。

更に、前述した搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２は、連続運転と共に摩擦熱等によって温度が上昇し、或いは上記搬送コンベヤを装備した搬送加熱装置にあっては搬送チェーン１１，１２が加熱領域を通過することから、当該通過箇所で加熱されて温度上昇をきたす。このため、この搬送チェーン１１，１２を洗浄する洗浄槽２３０Ａ内では洗浄液２３０Ｂの温度が徐々に上昇し、当該洗浄液２３０Ｂが蒸発し易い状態となる。かかる不都合を防止し洗浄液２３０Ｂの蒸発を抑制するため、本実施形態では、洗浄槽用の洗浄液冷却手段２４１が当該洗浄槽２３０Ａに併設され、同時に洗浄前の搬送チェーン１１，１２を冷却するためのチェーン冷却手段２４０が、洗浄槽２３０Ｂのチェーン搬入側に装備されている。この内、チェーン冷却手段２４０は、予め冷却設定温度が外部から自在に可変設定されるように構成されている。

ここで、上述した洗浄液冷却手段２４１には温度調整機構２４２が併設され、前述した洗浄槽２３０Ａには温度センサ２４１ａが装備されている。そして、この温度センサ２４１ａによって洗浄槽２３０Ａ内の液温が連続的に又は間欠的に測定され且つ当該温度情報に基づいて前述した温度調整機構２４２が作動し、当該温度調整機構２４２に予め設定された液温の設定値に基づいて前述した洗浄液冷却手段２４１が駆動制御され、これにより、前述した洗浄槽２３０Ａ内の洗浄液の温度が常時低く設定され、その蒸発が有効に抑制されることとなる。ここで、温度センサ２４１ａは洗浄液の液面の上下変化に対応可能なフロート式（液面浮上型）のものとしてもよい。

更に、この図１４に示す液体式洗浄機構２３０には、前述した洗浄槽２３０Ａのチェーン搬出段に、前述した各搬送チェーン１１，１２に対応して液切り部２４４（２４５）が設けられている。この液切り部２４４（２４５）は、洗浄槽２３０Ａから送り出される搬送チェーン１１（１２）に沿って、順に、ブラシ機構２４５Ａ（２４６Ａ）とエアーブロー２４５Ｂ（２４６Ｂ）とが配設された構成となっている。

ここで、ブラシ機構２４５Ａ，２４６Ａは、本実施形態ではそれぞれ各搬送チェーン１１，１２を挟んで一対のブラシが対向装備されて構成されている。又、ブラシ機構２４５Ａ，２４６Ａの下流側に装備されたエアーブロー２４５Ｂ，２４６Ｂは、それぞれ一対のエアーノズルを備え、各エアーノズルが各搬送チェーン１１，１２に対して下流側から上流側に向けて（図１４では下側に向けて）例えば４５°の傾きをもって各搬送チェーン１１，１２に対してエアー噴射するように組み込まれている。

このため、この液切り部２４４，２４５では、洗浄後の各搬送チェーン１１，１２がブラシ機構２４５Ａ，２４６Ａとエアーブロー２４５Ｂ，２４６Ｂとによって水滴が有効に除去され、同時に、一部残存し付着したままの固形油又は塵埃等も、洗浄液で軟質化されていることもあって、ブラシでとエアーブローとで、同時に効率よく除去されるようになっている。

そして、装置全体が稼働し搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２が走行すると、洗浄槽２３０Ａ内では、搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２が常時連続して超音波洗浄され、当該搬送チェーン１１，１２に付着した固形油又は塵埃等が有効に除去される。同時に、洗浄槽２３０Ａを通過した搬送チェーン１１，１２は、液切り部２４４，２４５によって、洗浄液がブラシとエアーブローとで二段にわたって前述したように有効に除去され、同時に、残存する固形油又は塵埃等もブラシとエアーブローとによって有効に除去される。

これにより、搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２は当該搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２に付着した固形油又は塵埃等を連続して有効に除去することができ、これがため、基板（被処理物）Ｗに対する保持機構３１，４１，１３１，１４１の起伏保持動作を長期間にわたって円滑に実行することができ、搬送チェーン１１，１２の全体的な円滑動作を図ることができ、装置全体の耐久性を著しく高めることができる。

〈全体的な動作等〉
システム全体を稼働させると、被処理物である基板Ｗは、搬入装置７側から搬送コンベヤ１の各搬送機構２，３の搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２上に、所定のタイミングで順次搬入される。この場合、搬入装置７上の搬入タイミング調整機構７１が搬入タイミング演算制御部７２に制御されて作動し、搬送チェーン１１，１２上に、基板Ｗを、例えば所定の間隔を置いて等間隔に搬入する等の調整を行いつつ、所定のタイミングで順次搬入する。この場合、搬入タイミング演算制御部７２は、搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２の走行のタイミングを監視する連結部材検出センサ９Ａからの信号に基づいて作動し、前述したように搬入タイミング調整機構７１を駆動制御するようになっている。

搬送コンベヤ１側に搬入される基板Ｗは、各搬送チェーン１１，１２に装備された複数の支持部材１１Ｅ，１２Ｅ上に直接載置され、この支持部材１１Ｅ，１２Ｅにその両端が下方から支持され同時に保持機構３１，４１（１３１，１４１）に保持されつつ搬送される。この場合、各搬送チェーン（搬送移送体）１１，１２上に装備された保持機構３１，４１（１３１，１４１）は、基板搬入領域で、搬入された基板Ｗを順次保持する。この場合、当該搬入領域に装備された円盤状の作動カム８１によって各搬送チェーン１１，１２に装備された保持機構３１，４１，１３１，１４１が順次開放状態に設定される。具体的には、作動カム８１は動作付勢機構７０を介して基板搬入領域に近づいた保持機構３１，４１，１３１，１４１を順次開放状態に設定する。これによって、搬入される基板Ｗは、円滑に支持部材１１Ｅ，１２Ｅ上に載置され、しかるのち、当該保持機構３１，４１，１３１又は１４１によって保持されて搬送チェーン１１，１２と共に一体的に搬送される。

その後、搬送チェーン１１，１２上に保持された基板（被処理物）Ｗは、途中で被処理物用の加熱手段４によって加熱工程に付され、基板Ｗ上に付された回路導通用の所定のハンダが溶融される。その後、基板Ｗは基板搬出側に搬送される。この間、基板Ｗは、支持部材１１Ｅ，１２Ｅと保持機構３１，４１，１３１又は１４１によって保持される。このため、基板Ｗの熱変形や位置ずれ等が保持機構３１，４１，１３１又は１４１の保持機能によって有効に抑制され、何ら傷付くことなく円滑に搬送される。基板搬出領域には、前述した作動カム８１と同等の作動カム８１が装備され、この作動カム８１が機能して、動作付勢機構７０を介して保持機構３１，４１，１３１又は１４１を順次駆動制御し、基板（被処理物）Ｗを順次解放状態に設定する。これにより、搬送チェーン１１，１２上の基板（被処理物）Ｗは、搬送チェーン１１，１２の走行と共に外部（搬出装置８側）へ円滑に送り出される。

このように、本実施形態では、上述のように構成したので、被処理物たる基板Ｗは、その両端部が各搬送移送体（搬送チェーン１１，１２）の複数の支持部材１１Ｅ，１２Ｅに支持されつつ当該搬送移送体（搬送チェーン１１，１２）によって搬送される。そして、この間、当該基板（被処理物）Ｗはその上面および下面が空間に露出されていることから、例えば当該被処理物に対する加熱工程や除塵工程等を円滑に且つ効率よく実行する事ができる。

又、各搬送機構２，３の相互間には前述した従来例の場合と異なり何らの熱遮蔽部材が存在しないことから、例えば搬送中における基板（被処理物）Ｗの加熱工程等にあっては、当該基板（被処理物）Ｗを全体的に均一加熱状態を維持するこができる。更に、基板（被処理物）Ｗの熱変形や移動中における振動等によって生じる部分的な損傷は、前述した保持機構３１，４１，１３１，１４１によって保持されることから、予めこれを有効に回避することができる。

更に、上述した搬送コンベヤシステムでは、搬送コンベヤの一対の搬送機構２，３に被処理物搬入装置７が併設され、更に、この被処理物搬入装置には基板（被処理物）Ｗの搬入のタイミングを自在に設定する搬入調整機構等を装備し、同時に、連結部材検出センサからの情報に基づいて作動し基板（被処理物）Ｗの最適な搬入のタイミングを設定する搬入タイミング演算制御部を備えたので、搬送コンベヤ１に対する基板（被処理物）Ｗの搬入および搬出を連続的に且つ迅速に実行することができ、多量の基板（被処理物）Ｗであってもその搬送および搬送中の加熱処理等を連続して円滑に実行することができる。又、被処理物の搬入のタイミングを設定しこれに合わせて搬入および搬出をなし得るようにしたので、被処理物相互間の衝突事故等が回避され損傷事故等がなくなり、良好な品質を維持しながら多量の被処理物を円滑に搬送し又は連続して加熱処理をなし得るという利点があり、被処理物の性質に応じた搬送速度若しくは加熱時間の設定等を必要に応じて予め自在に設定することができ、搬送作業の円滑化および高能率化を実行することができる。

ここで、上記実施形態では、棒状連結部材９０を搬送チェーン１１，１２の各支軸１１ｅ，１２ｅから突設された棒状支持部材１１Ｅ，１２Ｅを相互間に橋渡しする形態をもって装備した場合を例示したが、リンクプレート１１ｂ，１２ａの相互間に装備するようにしてもよい。又、上記実施形態では、棒状連結部材９０や保持機構３１，４１，１３１，１４１についてはいずれも等間隔に装備した場合を例示したが、それぞれ実情に合わせて異なった間隔で装備してもよい。

本発明の一実施形態の搬送チェーン部分を示す一部省略した部分平面図である。 図１のＡーＡ線に沿って見た一方の搬送チェーンの部分断面図で、図２（Ａ）は保持機構部分を示す図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の右側面図である。 図１のＢーＢ線に沿って見た他方の搬送チェーンの部分断面図で、図３（Ａ）は保持機構部分を示す図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の左側面図である。 本発明の一実施形態を示す概略全体構成図である。 図２に示す一方の搬送チェーンがガイドレール部分を走行する場合の状態を示す図で、図５（Ａ）は隙間無し保持機構を装備した部分の走行状態を示す説明図、図５（Ｂ）は隙間有り保持機構を装備した部分の走行状態を示す説明図である。 図３に示す他方の搬送チェーンがガイドレール部分を走行する場合の状態を示す図で、図６（Ａ）は隙間無し保持機構を装備した部分の走行状態を示す説明図、図６（Ｂ）は隙間有り保持機構を装備した部分の走行状態を示す説明図である。 隙間有り保持機構の装備状態を示す図で、図７（Ａ）は一方の搬送チェーンに装備された保持機構の例を示す説明図、図７（Ｂ）は他方の搬送チェーンに装備された保持機構の例を示す説明図である。 一方の搬送チェーンに装備された保持機構とこれを作動させる作動カムおよび動作付勢機構の構成および連係動作を示す図で、図８（Ａ）は搬送チェーンに直交する断面内における三者の位置関係を示す説明図、図８（Ｂ）は一部省略した図８（Ａ）の右側面図、図８（Ｃ）は図８（Ｂ）内における作動カムの各部を示す説明図である。 一方の搬送チェーンに装備された保持機構とこれを作動させる作動カムおよび動作付勢機構の構成および動作状態の例を示す図で、図９（Ａ）は搬送チェーンに直交する断面内において保持機構の押さえ部材が押し上げられる状態を示す説明図、図８（Ｂ）は図８（Ａ）の右側面図、図８（Ｃ）は図８（Ｂ）内における作動カムの動作状態を示す説明図である。 図１における一方と他方の搬送チェーンに装備される保持機構および棒状連結部材と基板（被処理物）の位置関係を示す説明図である。 図１における一方と他方の搬送チェーンに装備される保持機構および棒状連結部材と基板（被処理物）の位置関係の他の例を示す説明図である。 図１における一方と他方の搬送チェーンと被処理物搬入装置との関係を示す図で、図１２（Ａ）は基板（被処理物）が搬入されるタイミングを示す説明図、図１２（Ｂ）は被処理物搬入装置に装備された搬入調整機構の動作を制御するための制御ブロック図である。 図４に開示した洗浄機構の具体例を示す図で、図１３（Ａ）はブラシ式洗浄機構の例を示す説明図、図１３（Ｂ）は液体式洗浄機構の例を示す説明図である。 図４に開示した洗浄機構の他の具体例を示す説明図である。

符号の説明

１ 搬送コンベヤ
２，３ 一対の搬送機構
４ 加熱手段
７ 被処理物用搬入装置
８ 被処理物用搬出装置
１１，１２ 搬送移送体としての搬送チェーン
１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ ローラチェーン（二連）
１１Ｅ，１２Ｅ 支持部材
１１ｅ，１２ｅ チェーンピンとしての支軸
１１ｒ，１２ｒ ローラ
１１ｓ，１２ｓ 鍔状部材
１３ チェーン駆動手段
１３Ａ，１３Ｂ 原動チェーン車
１４ａ〜１４ｉ，１５ａ〜１５ｉ ガイドチェーン車
１６，１７ コンベアレール
３１，４１ 保持機構（隙間無し）
３２，４２ １３２，１４２ 押さえ部材
３３，４３ 連結プレート
３４，４４ 押さえバネ
３５，４５ 蝶番
７０ 動作付勢機構
７１ 搬入調整機構
７２ 搬入タイミング演算制御部
８１ 作動カム
９０ 棒状連結部材
９０Ａ 連結部材検出センサ
１０１ ブラシ式洗浄機構
１３１，１４１ 保持機構（隙間有り）
２００，２３０ 液体式洗浄機構
２４０ チェーン冷却手段（移送体冷却手段）
２４１ 洗浄液冷却手段

Claims (21)

1. 所定間隔を隔てて配設され搬送対象物である被処理物をその左右の各端部を個別に支持しつつ搬送する搬送移送体を備えた一対の搬送機構と、前記搬送移送体の相互間の対向側面にそれぞれ突設されて前記被処理物の端部を個別に支持する構造の複数の支持部材とを備えた搬送コンベヤにおいて、
   前記被処理物の各端部の一部を前記支持部材と共に協同して保持する保持機構を、前記一対の各搬送機構の搬送移送体にそれぞれ所定間隔を隔てて複数個装備したことを特徴とする搬送コンベヤ。
2. 前記請求項１に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記複数の各支持部材を棒状の支持部材により構成すると共に、この各棒状の支持部材を前記一対の各搬送機構が備えている搬送移送体の側面に相互に相手側に向けて且つ当該搬送機構に沿って等間隔に装備したことを特徴とする搬送コンベヤ。
3. 前記請求項１又は２に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記一対の各搬送機構が、それぞれ搬送移送体としてのエンドレス型の搬送チェーンと、この搬送チェーンを走行駆動するチェーン駆動手段と、前記搬送チェーンの走行状態を維持し且つ案内する複数のガイドチェーン車と、前記搬送チェーンによる被処理物の搬送領域に装備された搬送チェーン用のガイドレールとを備えていることを特徴とした搬送コンベヤ。
4. 前記請求項３に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記一対の各搬送機構が備えているエンドレス型の搬送チェーンを、エンドレス型のローラチェーンを横二列に併設して成る二列型ローラチェーンにより構成し、その内側に位置するローラチェーンに前記保持機構を装備したことを特徴とする搬送コンベヤ。
5. 前記請求項１，２，３又は４に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記各保持機構を、前記支持部材の基幹部側を回動支点として当該支持部材の先端部に向けて起伏回動自在に装備され且つその先端部が前記支持部材の先端部に向けて曲折された押さえ部材と、この押さえ部材を起伏回動自在に保持する連結プレートと、この連結プレートに装備され前記押さえ部材を通常は伏した状態に設定してこれを維持する押さえバネとにより構成したことを特徴とする搬送コンベヤ。
6. 前記請求項５に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記各保持機構の押さえ部材に対して起立動作を付勢する動作付勢機構を、前記各保持機構に個別に対応して前記搬送移送体に装備すると共に、
   この動作付勢機構を作動させる作動カムを、前記各搬送機構の被処理物用搬入端および被処理物用搬出端にそれぞれ装備したことを特徴とする搬送コンベヤ。
7. 前記請求項６に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記作動カムを、前記各搬送機構における被処理物搬送領域の被処理物用搬入端および被処理物用搬出端にそれぞれ装備されたガイドチェーン車に同軸に且つ一体的に装備したことを特徴とする搬送コンベヤ。
8. 前記請求項６又は７に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記動作付勢機構を、一端部が前記支持部材の基幹部に回動自在に保持され且つ他端部が鉤状に形成された回動起立部材をもって構成し、
   この回動起立部材はその一端部の外周囲が半円状に形成され、且つこの半円状の外周部分に前記作動カムが当接して当該回動起立部材に回転動作を付勢する構成とし、この一端部の回転動作と共に回動する当該回動起立部材の他端部で前記押さえ部材に起立動作を付勢する構造としたことを特徴とする搬送コンベヤ。
9. 前記請求項５に記載の搬送コンベヤにおいて、
   前記保持機構を、前記押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部を前記支持部材に常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構としたことを特徴とする搬送コンベヤ。
10. 所定間隔を隔てて配設され搬送対象物である被処理物をその左右の各端部を個別に支持しつつ搬送する搬送移送体を備えた一対の搬送機構と、前記搬送移送体の相互間の対向側面にそれぞれ突設されて前記被処理物の端部を個別に支持する構造の複数の支持部材とを備えた搬送コンベヤにおいて、
    前記被処理物の進行方向に沿って当該被処理物の左端又は右端の何れか一方の端部を前記支持部材と共に保持する保持機構を、前記一対のいずれか一方の搬送機構にそれぞれ所定間隔を隔てて複数個装備し、この各保持機構を、前記押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部を前記支持部材に常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構としたことを特徴とする搬送コンベヤ。
11. 所定間隔を隔てて配設され搬送対象物である被処理物をその左右の各端部を個別に支持しつつ搬送する搬送移送体を備えた一対の搬送機構と、前記搬送移送体の相互間の対向側面にそれぞれ突設されて前記被処理物の端部を個別に支持する構造の複数の支持部材とを備えた搬送コンベヤにおいて、
    前記一対の各搬送機構に装備される複数の保持機構の内、前記被処理物の搬送方向の先端部に対応する箇所の両側端部の少なくとも一方の側端部には、前記押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部を常時押圧するように構成してなる隙間無し保持機構を装備すると共に、他方の側端部には、前記押さえ部材の曲折端部が前記被処理物の端部上面との間に隙間を有するように構成してなる隙間有り保持機構を装備してなることを特徴とした搬送コンベヤ。
12. 前記請求項１乃至１１の何れか一つに記載の搬送コンベヤにおいて、
    前記一対の各搬送機構がそれぞれ備えている搬送移送体の相互間を、所定ピッチ毎に連結用の棒状連結部材で連結したことを特徴とする搬送コンベヤ。
13. 前記請求項１２に記載の搬送コンベヤにおいて、
    前記棒状連結部材は、前記各搬送移送体が備え且つ対向位置に配置された支持部材を相互に一直線に連結する形態をもって装備されていることを特徴とした搬送コンベヤ。
14. 前記請求項１乃至１３の何れか一つに記載の搬送コンベヤにおいて、
    前記一対の各搬送機構に、該搬送機構の一部をなす搬送移送体若しくは搬送移送体としての搬送チェーンを常時洗浄する洗浄機構を併設したことを特徴とする搬送コンベヤ。
15. 前記請求項１乃至１４の何れか一つに記載の搬送コンベヤにおいて、
    前記洗浄機構に、当該洗浄機構の洗浄液を冷却する洗浄液冷却手段を併設したことを特徴とする搬送コンベヤ。
16. 前記請求項１乃至１４の何れか一つに記載の搬送コンベヤにおいて、
    前記洗浄機構の入力段に、洗浄前の前記搬送移送体を冷却する移送体冷却手段を設けたことを特徴とする搬送コンベヤ。
17. 前記請求項１乃至１６の何れか一つに記載の搬送コンベヤにおいて、
    前記洗浄機構の出力段に、洗浄後の搬送移送体に付された洗浄液を液切りする液切り部を併設したことを特徴とする搬送コンベヤ。
18. 前記請求項１乃至１７の何れか一つに記載の搬送コンベヤを有し、この搬送コンベヤの前記一対の各搬送機構の被処理物用搬入端から被処理物用搬出端に至る途上に、被処理物用の加熱手段を装備したことを特徴とする搬送加熱装置。
19. 前記請求項１８に記載の搬送加熱装置において、
    前記被処理物用加熱手段は、前記被処理物の上面と下面の両方を同時に加熱する両面加熱方式のものであることを特徴とする搬送加熱装置。
20. 所定間隔を隔てて配設され搬送対象物である被処理物をその左右の各端部を個別に支持しつつ搬送する搬送移送体を備えた一対の搬送機構と、前記搬送移送体の相互間の対向側面にそれぞれ突設されて前記被処理物の端部を個別に支持する構造の複数の支持部材とを備えた搬送コンベヤを設け、
    この搬送コンベアの前記一対の搬送機構に、前記被処理物を所定の速度で送り込む被処理物搬入装置を併設すると共に、この被処理物搬入装置に前記被処理物の搬入のタイミングを自在に設定する搬入調整機構を併設し、
    前記一対の搬送機構の何れか一方の搬送機構に、前記支持棒部材が前記被処理物搬入領域に近づいたことを検出する連結部材検出センサを装備すると共に、この連結部材検出センサからの情報に基づいて作動し前記搬入調整機構を駆動制御して前記被処理物の最適な搬入のタイミングを設定する搬入タイミング演算制御部を備えたことを特徴とする搬送コンベアシステム。
21. 前記請求項２０に記載の搬送コンベアシステムにおいて、
    前記搬入調整機構は、前記被処理物搬入装置を介して搬入される被処理物の移動を一時的に停止して搬入移送のタイミングを調整する搬入調整機能を有し、
    前記搬入タイミング演算制御部は、前記連結部材検出センサからの棒状連結部材の接近情報に基づいて作動し当該棒状連結部材が前記被処理物を受けとめる位置までの移動時間を演算する移動時間演算機能と、この演算された時間に合わせて前記被処理物を前記搬送機構に送り込むように前記搬入調整機構による係止解除の動作タイミングを設定する解除動作設定機能とを備えていることを特徴とした搬送コンベアシステム。
    

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