JP4595456B2 - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4595456B2 JP4595456B2 JP2004265970A JP2004265970A JP4595456B2 JP 4595456 B2 JP4595456 B2 JP 4595456B2 JP 2004265970 A JP2004265970 A JP 2004265970A JP 2004265970 A JP2004265970 A JP 2004265970A JP 4595456 B2 JP4595456 B2 JP 4595456B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- adhesive tape
- tape
- support substrate
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
図1は、実施の形態1により接着テープを切断するときの様子を示す断面図である。図1に示すように、実施の形態1は、薄型ウエハー41に貼り付けられた接着テープ31を切断する方法に特徴を有する。製造プロセスについては、例えば図18(図18−1〜図18−4)に示す製造プロセスと同様であるので、重複する説明を省略する。
図4は、実施の形態2により接着テープを切断するときの様子を示す断面図である。図4に示すように、実施の形態2は、接着テープ31を支持基板32に貼り付けて切断する方法に特徴を有する。製造プロセスについては、例えば図18(図18−1〜図18−4)に示す製造プロセスと同様であるので、重複する説明を省略する。
図6(図6−1〜図6−3)および図7(図7−1〜図7−2)は、実施の形態3によるFS型IGBTの製造プロセスを示す図である。まず、n−FZウエハーのウエハー裏面をバックグラインドやウエットエッチング等により研削し、所望の厚さ、例えば70μmの厚さの薄型ウエハー41にする(図6−1)。ついで、図10−3〜図10−4と同様にして、薄型ウエハー41の裏面に、n+層23、p+層24および裏面電極25を形成する(図6−2)。
32 支持基板
41 薄型ウエハー
101 テープカッターの刃
102 ウエハー保持台
Claims (2)
- 予め研削により薄型化されている薄型ウエハーの表面に該ウエハーよりも大きいテープを貼り、ウエハー側に倒れるように刃を傾斜させ、かつ該ウエハーを保持したウエハー保持台に当接させた状態のテープカッターにより、前記テープを、前記ウエハー保持台に沿って切断することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- 支持基板の表面に該支持基板よりも大きい接着テープを貼り、前記支持基板に当接させた状態のテープカッターにより、前記接着テープを前記支持基板の周縁に沿って切断した後、前記接着テープに、予め研削により薄型化されている薄型ウエハーを貼り付けることを特徴とする半導体素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004265970A JP4595456B2 (ja) | 2004-09-13 | 2004-09-13 | 半導体素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004265970A JP4595456B2 (ja) | 2004-09-13 | 2004-09-13 | 半導体素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006080465A JP2006080465A (ja) | 2006-03-23 |
JP4595456B2 true JP4595456B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=36159639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004265970A Active JP4595456B2 (ja) | 2004-09-13 | 2004-09-13 | 半導体素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4595456B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103286809A (zh) * | 2013-05-15 | 2013-09-11 | 复旦大学 | 一种柔性显示面板的生产制样方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103962730B (zh) * | 2014-04-29 | 2017-01-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示面板切割方法及切割装置、控制装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000173961A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
JP2003273053A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 平面研削方法 |
JP2003297786A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004079743A (ja) * | 2002-08-16 | 2004-03-11 | Nec Kansai Ltd | 半導体基板の表面保護用の粘着テープ及びその剥離方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0469194A (ja) * | 1990-07-05 | 1992-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 円板体に貼付けられたフィルム等の倣い切断装置 |
-
2004
- 2004-09-13 JP JP2004265970A patent/JP4595456B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000173961A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
JP2003273053A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 平面研削方法 |
JP2003297786A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004079743A (ja) * | 2002-08-16 | 2004-03-11 | Nec Kansai Ltd | 半導体基板の表面保護用の粘着テープ及びその剥離方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103286809A (zh) * | 2013-05-15 | 2013-09-11 | 复旦大学 | 一种柔性显示面板的生产制样方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006080465A (ja) | 2006-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4360077B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5082211B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4590880B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
US8420512B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
WO2011096326A1 (ja) | 半導体素子の製造方法および半導体素子の製造装置 | |
JP2006196710A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5839768B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4972908B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4665429B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5217114B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4525048B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5034153B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4595456B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4572529B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4337637B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2007329234A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2005005672A (ja) | 半導体素子の製造方法および発泡剥離装置 | |
JP5772670B2 (ja) | 逆阻止型半導体素子の製造方法 | |
JP4325242B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3960174B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5428149B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4834309B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4830253B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2006059929A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5857575B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080327 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20091112 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091112 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4595456 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |