JP2006059929A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】図1(d)の工程において、100μm厚みのウェハ1のp型コレクタ層4上に、アルミニウム(Al)膜5a、チタン(Ti)膜5b、ニッケル(Ni)膜5c、金(Au)膜5dなどの金属膜を組合わせて裏面電極5をスパッタ法を用いて形成する場合に、ウェハ1の温度を110℃から150℃とすることで、ウェハ1の反り量を4mm程度に抑制できて、ウェハ1の割れやキズの不良率が低減し、良好なデバイス特性と低コスト化を図ることができる。
【選択図】 図1
Description
IGBTの構造には、パンチスルー型、ノンパンチスルー型およびフィールドストップ型等がある。そして、現在量産されているIGBTは、一部のオーディオ・パワー・アンプ用のpチャネル型を除いて、ほぼすべて、nチャネル型の縦型二重拡散構造となっている。ここでもnチャネル型IGBTで説明する。
図3は、低ドーズ量の浅いp型コレクタ層を採用したノンパンチスルー型IGBTセルの要部断面図である。低ドーズの浅いp型コレクタ層4(低注入p+ コレクタ)を採用したノンパンチスルー型は、エピタキシャル基板を構成する厚いp型基板は使わないので、FZ基板の厚さはパンチスルー型よりも大幅に薄くなる。この構造では、p型コレクタ層4の不純物濃度と厚さを制御することで、正孔の注入率を制御できるので、ライフタイム制御を行わなくても高速スイッチングが可能である。しかし、パンチスルー型に比べて正孔の注入量が抑制されているために、オン電圧はやや高い値となる。但し、前述のようにエピタキシャル基板を用いずに、FZ基板200を用いているため、チップの低コスト化が可能となる。
これらの100μm程度の薄型IGBTを実現するために、ウェハを薄膜化する裏面バックグラインドや薄膜ウェハの裏面へのイオン注入と熱処理、裏面電極の形成などの製造プロセスが必要となり、これらの製造プロセス中にウェハに反りが発生する。
図5は、従来の半導体装置の製造方法を示す図であり、同図(a)から同図(e)は工程順に示した要部製造工程断面図である。ここではFS−IGBTを中心に説明する。
ウェハ1a(FZ法で製作したn型のウェハ)の表面側に、図4に示す薄膜IGBTセル構造を形成する。このセル構造は、図4に示すゲート酸化膜14(ここでは、SiO2 )と多結晶シリコン(ここでは、Poly−Si)からなるゲート電極13を堆積、加工し、その表面に層間絶縁膜15(ここでは、BPSG)を堆積し、加工し、絶縁ゲート構造が作られる。続いて、p型ベース層11(p+ ベース)を形成した後に、このp型ベース層11内にn型エミッタ層12(n+ エミッタ)を形成する。続いて、n型エミッタ層12に接するようにアルミ・シリコン膜からなる表面電極16(エミッタ電極)を形成する。アルミ・シリコン膜は、安定した接合性、低抵抗配線を実現するために、その後、350℃〜450℃程度の低温で熱処理される。さらに、図示しないが、表面を覆うようにポリイミド膜からなる絶縁保護膜を形成する。ここまで、表面側のプロセスが完了する。この完成した表面側を一つの層で表面構造2として示す(同図(a))。
つぎに、ウェハ1の裏面にn型バッファ層3およびp型コレクタ層4(低注入p+ コレクタ)を形成するために、裏面よりイオン注入を行う。ここでは、n型バッファ層3にはリン、p型コレクタ層4にはボロンをイオン注入した。続いて、電気炉により熱処理(アニール)を行う。熱処理温度は、350℃〜450℃の低温である(同図(c))。
つぎに、p型コレクタ層4上に、アルミニウム(Al)膜55a(例えば、0.1μm厚さ)、チタン(Ti)膜55b(例えば、0.075μm厚さ)、ニッケル(Ni)膜55c(例えば、0.7μm厚さ)、金(Au)膜55d(例えば、0.2μm厚さ)などの金属膜の組合わせて裏面電極55を蒸着法を用いてウェハ温度を170℃にして形成する。その後、330℃でアニールする。ここでアルミニウム膜5aを削除しても構わない(同図(d))。
最後に、切断したチップの表面電極16の表面に、アルミワイヤが超音波ワイヤボンディング装置により固着され、裏面電極55をはんだ層を介して固定部材に固着する。
前記のように、裏面のバックグラインド後のウェハ1の厚さが100μm程度と薄いため、裏面電極55を形成したときに、ウェハ1の反りが大きくなり、ウェハ1の搬送時に割れやキズが発生し易くなっている。
100μm厚のウェハ1において裏面電極55を蒸着法で形成した場合、ウェハ1は7mm程度の反り量となる。そのため、ウェハの割れ不良率が大きく生産性が悪い。
蒸着法のように外周を数本のピンでウェハ1を抑える方式では、つぎの要因で割れやキズが発生する。
(1)ウェハ1が薄いことにより蒸着セット時に押さえ金具であるピンのバネ力でウェハが割れる。
(2)ウェハ1の外周部の一部分しか押さえていないために、押さえていない部分が反りあがって、当て板と接触してキズや割れ不良が発生する。
(3)ウェハ1の取り付け作業を手作業で行うため取り扱いで割れる。
(4)ウェハ1の蒸着時の温度が170℃程度と高く、蒸着した金属膜とシリコンの膨張係数の差で反りが大きくなり、割れやキズが発生する。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、裏面電極を形成する工程で、ウェハの反りを抑制して、ウェハの割れやキズの発生率を低下させることで、良好なデバイス特性と低コスト化を図れる半導体装置の製造方法を提供することにある。
また、前記の薄い半導体基板の厚さが、90μm〜110μmであるとよい。
また、前記の複数の金属膜が、前記半導体基板の第2主面側からアルミニウム(Al)膜、チタン(Ti)膜、ニッケル(Ni)膜および金(Au)膜の4層もしくはチタン(Ti)膜、ニッケル(Ni)膜および金(Au)膜の3層の金属膜であるとよい。
ウェハの反り量を低減することで、ウェハの割れやキズなどの不良率を2%程度に下げることができて、良好なデバイス特性と低コスト化を達成することができる。
また、スパッタ方式にすることでロボット搬送が可能となり、工数を大幅に低減できて、低コスト化することができる。
その結果、デバイス特性の良好な薄型IGBTなどの半導体装置を低コストで製造することができる。
ウェハ1a(FZ法で製作したn型のウェハ)の表面(第1主面)側に、図4に示す薄膜IGBTセル構造を形成する。このセル構造は、図4に示すゲート酸化膜14(ここでは、SiO2 )と多結晶シリコン(ここでは、Poly−Si)からなるゲート電極13を堆積、加工し、その表面に層間絶縁膜15(ここでは、BPSG)を堆積し、加工し、絶縁ゲート構造が作られる。続いて、p型ベース層11(p+ ベース)を形成した後に、このp型ベース層11内にn型エミッタ層12(n+ エミッタ)を形成する。続いて、n型エミッタ層12に接するようにアルミ・シリコン膜からなる表面電極16(エミッタ電極)を形成する。アルミ・シリコン膜は、安定した接合性、低抵抗配線を実現するために、その後、350℃〜450℃程度の低温で熱処理される。さらに、図示しないが、表面を覆うようにポリイミド膜からなる絶縁保護膜を形成する。ここまで、表面側のプロセスが完了する。この完成した表面側を一つの層で表面構造2として示す(同図(a))。
つぎに、ウェハ1の裏面にn型バッファ層3およびp型コレクタ層4(低注入p+ コレクタ)を形成するために、裏面よりイオン注入を行う。ここでは、n型バッファ層3にはリン、p型コレクタ層4にはボロンをイオン注入した。続いて、電気炉により熱処理(アニール)を行う。熱処理温度は、350℃〜450℃の低温である(同図(c))。
つぎに、p型コレクタ層4上に、アルミニウム(Al)膜5a(例えば、0.1μm厚さ)、チタン(Ti)膜5b(例えば、0.075μm厚さ)、ニッケル(Ni)膜5c(例えば、0.7μm厚さ)、金(Au)膜5d(例えば、0.2μm厚さ)などの金属膜の組合わせて裏面電極5をスパッタ法を用いて形成する。その後、330℃でアニールする。ここでアルミニウム膜5aを削除しても構わない(同図(d))。
最後に、切断したチップ100の表面電極16(エミッタ電極)の表面に、アルミワイヤが超音波ワイヤボンディング装置により固着され、裏面電極5をはんだ層を介して固定部材に固着する。
同図(d)の工程で、スパッタ時のウェハ温度と反り量の関係を実験で調査した。
図2は、ウェハの厚みが100μmの場合のスパッタ時のウェハ温度と反り量の関係を示す図である。ウェハの温度測定は、スパッタする側と反対のウェハ裏面にテンプレート(所定の温度で所定の色が付くシート)を貼り、温度測定する。スパッタはバッチ式スパッタ装置を用いて行い、ウェハの温度調節は、成膜速度を調整することで、スパッタ時にウェハに堆積する成膜金属のターゲットからの発生量と発生した成膜金属の運動エネルギーを調整して行う。ウェハ支持台の温度は管理されておらず、成膜金属がウェハに堆積するときの衝突エネルギーでウェハ自身が自己発熱して昇温する。また、スパッタが終了した毎にウェハの反りを測定する。
図2より、ウェハ温度が110℃〜150℃の間でウェハ反り量が4mm以内となる。これは、蒸着した場合の反りの1/3以下である。つまり、裏面電極5をスパッタ法で形成して、ウェハ温度を110℃〜150℃の範囲とするとよい。従って、ウェハ温度を110℃〜150℃の範囲に制御するためには、電源パワー(成膜速度)を調節し、ウェハの自己発熱を制御すればよい。あるいは、スパッタ装置のウェハを搭載するステージに冷媒を循環させる流路を設け、非成膜面(この場合は基板の表面構造が形成された第1主面)側から強制的に冷却を行ってもよい。
ウェハ反り量を4mm以内とすることで、ウェハのロボット搬送が可能になり、また、裏面電極工程後の搬送によりウェハの割れやキズの不良率を2%に低減することができて、良好なデバイス特性と低コスト化を達成とができる。
図2で、電源パワーを大きくしてウェハ温度が150℃を越える高温になると、ウェハの反りが大きくなるのは、膜厚が最も厚いNi膜とシリコンの熱膨張係数の差によるものである。また、電源パワーを小さくしてウェハ温度が110℃未満の低温にするとウェハの反りが大きくなるのは、電源パワーが小さくなると、スパッタ装置の平行平板に印加される電圧が安定せず、放電が不安定状態となる場合がある。そうすると、スパッタリング中に大きなエネルギーを持つ成膜金属がターゲットから飛び出す場合が起こり、それによって、積層された成膜間での合金層(例えば、Ni膜とAu膜間の合金層など)に大きな応力が発生して、ウェハの反りを大きくすることが推測される。
1a ウェハ(研削前)
2 表面構造
3 n型バッファ層
4 p型コレクタ層
5 裏面電極
5a Al膜
5b Ti膜
5c Ni膜
5d Au膜
6 ダイシングテープ
10 n型活性層
100 チップ
Claims (4)
- 半導体基板の第1主面側に表面側構造を形成した後で、前記半導体基板の第2主面を研削し、研削した後の薄い半導体基板の第2主面側に裏面構造を形成し、該裏面構造を構成する裏面電極として、Ni膜を含む複数の金属膜を前記薄い半導体基板の第2主面上に積層して形成した半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板の温度を110℃〜150℃に制御して、該半導体基板の第2主面上に前記複数の金属膜をスパッタ法で積層して形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記の薄い半導体基板の厚さが、90μm〜110μmであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記の複数の金属膜が、前記半導体基板の第2主面側からAl膜、Ti膜、Ni膜およびAu膜の4層もしくはTi膜、Ni膜およびAu膜の3層の金属膜であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Ni膜の厚さが、0.6μm〜0.8μmであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2008004739A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置 |
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JP2008109028A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2012129537A (ja) * | 2012-02-03 | 2012-07-05 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置 |
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