JP4574739B1

JP4574739B1 - 成膜装置

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Publication number: JP4574739B1
Application number: JP2010050960A
Authority: JP
Inventors: 剣治伊達; 宏芳黒木; 顕英北畠
Original assignee: Sanyo Vacuum Industries Co Ltd
Current assignee: Sanyo Vacuum Industries Co Ltd
Priority date: 2010-03-08
Filing date: 2010-03-08
Publication date: 2010-11-04
Anticipated expiration: 2030-03-08
Also published as: TW201144471A; KR20110102202A; JP2011184733A

Abstract

【課題】膜形成の条件が限定されない成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、シート３に膜を形成するroll to roll方式の成膜装置であり、成膜室２内にシート３を搬送する搬送路２７が設定され、この搬送路２７の側の上方に位置した成膜室２の上部２４に、４０個のフランジ孔２６が形成されている。フランジ孔２６には、搬送路２７を搬送されるシート３に膜を形成するターゲット部５が装脱可能に設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、成膜装置に関する。

現在、シートに膜を形成する場合、roll to roll方式などの成膜装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に示すroll to roll方式の成膜装置は、シートを引き出す巻出体と、シートを巻き取るための巻取体と、巻出体より引き出したシートに膜を形成するスパッタ部とから構成され、巻出体よりシートを一定量引き出し、引き出したシートの一面に対してスパッタ部により所望の膜を形成し、シートへの膜の形成を終えた後にシートを巻取体に巻き取る。この成膜装置では、シートの一面に一種類一層の膜を形成する。

特開２００９−２９８５７１号公報

ところで、特許文献１では、スパッタ部の数が決められており、膜形成の条件が限定される。

そこで、上記課題を解決するために、本発明は、膜形成の条件が限定されない成膜装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明にかかる成膜装置は、シートに膜を形成するroll to roll方式の成膜装置において、成膜室内に前記シートを搬送する搬送路が設定され、この搬送路の側の上方に位置した前記成膜室の上部に、複数個の筐体孔が形成され、前記筐体孔に、前記搬送路を搬送されるシートに膜を形成するターゲット部が装脱可能に設けられ、前記ターゲット部が搬送路の両側に配されたことを特徴とする。

本発明によれば、前記搬送路の側の上方に位置した前記成膜室の上部に、前記複数個の筐体孔が形成され、前記筐体孔に、少なくとも前記ターゲット部が装脱可能に設けられているので、ターゲット部の数や種類を限定させることなく、所望の膜形成の条件に対応させることが可能となる。また、前記ターゲット部が前記搬送路の両側に配されるので、前記複数のターゲット部により、１回の成膜工程でシートの両面に膜を形成することが可能となる。

前記構成において、前記ターゲット部は、前記搬送路の両側に沿って複数箇所に亘り配されることが好ましい。

前記構成において、前記ターゲット部には、成膜材料であるターゲット材と、前記ターゲット材に対応した反応性ガスを前記成膜室に注入するガス注入部とが設けられてもよい。

この場合、前記ターゲット部には、前記ターゲット材と前記ガス注入部とが設けられているので、前記各ターゲット部では、前記ターゲット材の近傍で前記ガス注入部から前記ガスを注入することが可能となり、その結果、前記ターゲット部毎によってそれぞれ安定した膜をシートに形成することが可能となる。

前記構成において、前記成膜室には、ガスを排気する排気部が、少なくともいずれか１つの前記ターゲット部に隣接して設けられてもよい。

この場合、前記成膜室には前記排気部が、少なくともいずれか１つの前記ターゲット部に隣接して設けられているので、前記各ターゲット部によって発生するそれぞれのガスを前記排気部により排気することが可能となる。その結果、前記各ターゲット部によって発生するそれぞれのガスが混ざるのを抑制することが可能となり、良質の膜をシートに形成することが可能となる。

前記構成において、前記搬送路は、前記シートをその幅方向が鉛直方向に沿う姿勢で搬送するよう設定されてもよい。

この場合、前記搬送路は、前記シートをその幅方向が鉛直方向に沿う姿勢で搬送するよう設定されるので、シートに膜を形成する際にゴミなどが発生した場合であっても、ゴミなどがシートや前記ターゲット部に付着することを防止することが可能となる。

前記構成において、前記ターゲット部同士を隔てる隔壁部が設けられてもよい。

この場合、前記ターゲット部同士を隔てる前記隔壁部が設けられるので、前記ターゲット部同士を互いに干渉させずにシートに膜を形成することが可能となる。

前記構成において、前記成膜室内に、前記隔壁部とシートとによって囲まれる個別成膜空間が複数設けられてもよい。

この場合、前記成膜室内に前記個別成膜空間が複数設けられるので、１つの前記成膜室内の前記複数の個別成膜空間においてシートへの膜形成を個別に行うことが可能となる。

本発明にかかる成膜装置によれば、膜形成の条件が限定されない。

図１は、本実施の形態にかかる成膜装置の構成を示す概略平面図である。図２は、本実施の形態にかかる成膜装置の構成を示す側面視概略断面図である。図３は、他の実施の形態にかかる成膜装置の構成を示す概略平面図である。

以下、本発明の実施の形態（以下、本実施の形態という）について図面を参照して説明する。

−成膜装置１−
本実施の形態にかかる成膜装置１では、図１，２に示すように、シート３を配する成膜室２に、シート３を巻出や巻入させる第１巻体４１および第２巻体４２と、これら第１巻体４１および第２巻体４２を回動させる回転テーブル４と、成膜室２に配したシート３に膜を形成するためのターゲット部５と、が設けられている。なお、本実施の形態で用いるシート３は、巻回することでロール状体（以下、ロール３３という）となる。

−成膜室２−
成膜室２は、略円筒状に成形された真空チャンバ２１から構成され、この成膜室２には、成膜室２内を真空にさせるための真空源（図示省略）が設けられている。

成膜室２の下部２２には、成膜室２内のガスを排気する排気孔２３が設けられている。また、成膜室２の上部２４には、ターゲット部５と、シート３を加熱するヒータ部８とを装脱可能とするフランジ孔２６（本発明でいう筐体孔）が形成されたフランジ２５が設けられている。フランジ孔２６は、搬送路２７（下記参照）の側の上方に位置した成膜室２の上部２４（成膜装置１の筐体上部）に４０個形成されている。

また、成膜室２内には、１５個のローラ４３と、１個の第１送りローラ４４と、１個の第２送りローラ４５とが設けられている。１５個のローラ４３が、回転自在に成膜室２の外周に沿って等間隔に配され、第１送りローラ４４と第２送りローラ４５との間でシート３を張った状態でシート３の搬送を行うローラである。第１送りローラ４４は、回転自在に設けられ、成膜室２の外周に沿って第１巻体４１の近傍に配され、第１巻体４１へのシート３の搬送（搬入および搬出）を行うローラである。第２送りローラ４５は、回転自在に設けられ、成膜室２の外周に沿って第２巻体４２の近傍に配され、第２巻体４２へのシート３の搬送（搬入および搬出）を行うローラである。また、図１に示すように、第１送りローラ４４および第２送りローラ４５の径は、ローラ４３の径よりも大きい。

この成膜装置１では、ローラ４３と第１送りローラ４４と第２送りローラ４５とにより、成膜室２内の外周に沿ってシート３の搬送路２７（以下、搬送路２７という）が設定されている。この搬送路２７は、シート３をその幅方向が鉛直方向に沿う姿勢で搬送するよう設定される。

具体的には、シート３は、第１巻体４１から、第１送りローラ４４、ローラ４３、第２送りローラ４５を順に介した搬送路２７上に沿って、第２巻体４２に搬送される。もしくは、シート３は、第２巻体４２から、第２送りローラ４５、ローラ４３、第１送りローラ４４を順に介した搬送路２７上に沿って、第１巻体４１に搬送される。

−回転テーブル４の構成−
回転テーブル４は、図２に示すように、成膜室２の下部２２に設けられ、第１巻体４１と第２巻体４２とを時計回りと反時計回りとに回動駆動させるための駆動源（図示省略）が設けられている。

−ターゲット部５−
ターゲット部５は、搬送路２７に沿って搬送路２７の両側（内側、外側）に沿って複数箇所に亘り配されている。具体的には、搬送路２７の両側にそれぞれ１２個ずつ合計２４個のターゲット部５が設けられている。

搬送路２７の内側では、近接する２個のターゲット部５を１セットとして、６セットのターゲットセット６（６１，６３，６５，６７，６９，６１１）が構成され、同様に、搬送路２７の外側では、近接する２個のターゲット部５を１セットとして、６セットのターゲットセット６（６２，６４，６６，６８，６１０，６１２）が構成される。

また、図１に示すように、搬送路２７を介してそれぞれ対向するターゲットセット６１，６３，６５，６７，６９，６１１と、ターゲットセット６２，６４，６６，６８，６１０，６１２とにより、６グループのターゲットグループ７（７１〜７６）が構成される。

ターゲット部５は、図１に示すように、フランジ２５のフランジ孔２６に装脱可能な外形となっており、成膜室２に装脱可能に設けられている。ターゲット部５の一端部５１は、フランジ孔２６の上端にひっかかりフランジ孔２６を塞ぐ天板となっている。また、ターゲット部５には、成膜材料であるターゲット材５２と、ターゲット材５２に対応した反応性ガスを成膜室２（具体的にはターゲット材５２近傍領域）に注入可能なガス注入部（図示省略）が設けられている。ターゲット材５２の材料は、シート３への成膜物に応じて任意に設定可能である。

−ヒータ部８−
各ターゲットセット６１〜６１２に隣接してヒータ部８が設けられている。ヒータ部８により、シート３の脱ガスを行なって、シート３に膜を形成し易くする。

ヒータ部８は、ターゲット部５と同様にフランジ２５のフランジ孔２６に装脱可能な外形からなり、成膜室２に装脱可能に設けられている。ヒータ部８の一端部８１は、フランジ孔２６の上端にひっかかりフランジ孔２６を塞ぐ天板となっている。ヒータ部８は、搬送路２７に沿って搬送路２７の両側（内側、外側）に沿って複数箇所に亘り配されている。具体的には、搬送路２７の両側にそれぞれ８個ずつ合計１６個のヒータ部５が設けられている。

−シート３への成膜−
上記の構成からなる成膜装置１の第１巻体４１と第２巻体４２との何れか一方に、ロール３３を配する。本実施の形態では、第１巻体４１にロール３３を配した場合を例に、シート３への成膜の説明を行う。

未成膜状態のロール３３を第１巻体４１に配し、それぞれ任意の材料からなる各ターゲット材５２を用いた各ターゲット部５によりフランジ２５のフランジ孔２６を塞ぎ、成膜室２を真空状態にする。この際、各ヒータ部８により成膜室２内の各ターゲット部５およびその近傍領域は加熱されてガス抜きが行なわれ、排気孔２３から成膜室２内が真空引きされる。

ロール３３を配した第１巻体４１を、回転テーブル４の回動駆動（一定の回転速度）により、反時計回りに回動させる。この第１巻体４１の回動にともなってロール３３からシート３を第１送りローラ４４に引き出す（搬出する）。この時、回転テーブル４の回動駆動（一定の回転速度）により、第２巻体４２を、反時計回りに回動させる。

第１送りローラ４４に引き出したシート３を、図１に示すように、ローラ４３によってシート３を張った状態で、搬送路２７上を時計回り方向に搬送させて第２送りローラ４５に送り、第２送りローラ４５から第２巻体４２に搬入させる（巻き取る）。

この第１巻体４１から第２巻体４２へのシート３の搬送中において、シート３の一面３１に対して、搬送方向の内側に位置するターゲットセット６１により第１膜を形成する。また、シート３の他面３２に対して、搬送方向の外側に位置するターゲットセット６２により第１膜を形成し、シート３の両面３１，３２に１層の膜を形成する（以上の工程を、第２膜形成工程という）。

第１巻体４１から第２巻体４２へのシート３の搬送を終えると、回転テーブル４による第１巻体４１および第２巻体４２の回動駆動を止める。その後、回転テーブル４を逆回転に回動駆動（一定の回転速度）させ、この回動駆動により、第２巻体４２を時計回りに回動させる。この第２巻体４２の回動にともなってロール３３からシート３を第２送りローラ４５に引き出す（搬出する）。この時、回転テーブル４の回動駆動（一定の回転速度）により、第１巻体４１を、時計回りに回動させる。

第２送りローラ４５に引き出したシート３を、図１に示すように、ローラ４３によってシート３を張った状態で、搬送路２７上を反時計回り方向に搬送させて第１送りローラ４４に送り、第１送りローラ４４から第１巻体４２に搬入する（巻き取る）。

この第２巻体４１から第１巻体４２へのシート３の搬送中において、シート３の一面３１に対して、搬送方向の内側に位置するターゲットセット６３により第２膜を形成する。また、シート３の他面３２に対して、搬送方向の外側に位置するターゲットセット６４により第２膜を形成し、シート３の両面３１，３２に２層の膜を形成する（以上の工程を、第２膜形成工程という）。

第２巻体４２から第１巻体４１へのシート３の搬送を終えると、回転テーブル４による第１巻体４１および第２巻体４２の回動駆動を止める。その後、回転テーブル４を逆回転に回動駆動（一定の回転速度）させ、この回動駆動により、第１巻体４１を反時計回りに回動させる。この第１巻体４１の回動にともなってロール３３からシート３を第１送りローラ４４に引き出す（搬出する）。この時、回転テーブル４の回動駆動（一定の回転速度）により、第２巻体４２を、時計回りに回動させる。以下、第１膜形成工程と同様の工程を行って、ターゲットセット６５によりシート３の一面３１に第３膜を形成し、ターゲットセット６６によりシート３の他面３２に第３膜を形成し、シート３の両面３１，３２に第３膜を形成する（以上の工程を、第３膜形成工程という）。

第３膜形成工程の後に、第２膜形成工程と同様の工程を行って、ターゲットセット６７によりシート３の一面３１に第４膜を形成し、ターゲットセット６８によりシート３の他面３２に第４膜を形成し、シート３の両面３１，３２に第４膜を形成する（以上の工程を、第４膜形成工程という）。

第４膜形成工程の後に、第１膜形成工程と同様の工程を行って、ターゲットセット６９によりシート３の一面３１に第５膜を形成し、ターゲットセット６１０によりシート３の他面３２に第５膜を形成し、シート３の両面３１，３２に第５膜を形成する（以上の工程を、第５膜形成工程という）。

第５膜形成工程の後に、第２膜形成工程と同様の工程を行って、ターゲットセット６１１によりシート３の一面３１に第６膜を形成し、ターゲットセット６１２によりシート３の他面３２に第６膜を形成し、シート３の両面３１，３２に第６膜を形成し（以上の工程を、第６膜形成工程という）、その後、第１巻体４１にシート３を巻き取ってシート３への成膜を終える。

−成膜装置１による作用効果−
本実施の形態にかかる成膜装置１によれば、成膜室２内に搬送路２７が設定され、この搬送路２７の側の上方に位置した成膜室２の上部２４に、４０個のフランジ孔２６が形成され、フランジ孔２６に、少なくともターゲット部５が装脱可能に設けられているので、ターゲット部５の数や種類を限定させることなく、所望の膜形成の条件に対応させることができる。

また、ターゲット部５が搬送路２７の両側に配されるので、ターゲット部５により、１回の成膜工程によりシート３の両面３１，３２に膜を形成することができる。特に、ターゲット部５は、搬送路２７の両側に沿って複数箇所に亘り配されることが好適であり、本実施の形態にかかる成膜装置１では、２４個のターゲット部５（１２個のターゲットセット６）が搬送路２７の両側に沿って配されている。

また、成膜室２にはヒータ部８が少なくともいずれか１つのターゲット部５に隣接して設けられているので、各ターゲット部５によって発生するそれぞれのガスをヒータ部８により排気することができる。その結果、各ターゲット部５によって発生するそれぞれのガスが混ざるのを抑制することができ、良質の膜をシート３に形成することができる。

また、ターゲット部５には、ターゲット材５２とガス注入部とが設けられるので、各ターゲット部５では、ターゲット材５２の近傍でガス注入部からガスを注入することができ、その結果、ターゲット部５毎によってそれぞれ安定した膜をシート３に形成することができる。

また、搬送路２７は、シート３をその幅方向が鉛直方向に沿う姿勢で搬送するよう設定されるので、シート３に膜を形成する際にゴミなどが発生した場合であっても、ゴミなどがシート３やターゲット部５（具体的にはターゲット材５２）に付着することを防止することができる。

−変形例−
なお、本実施の形態では、シート３に６層の膜（第１膜から第６膜）を形成しているが、シート３へ形成する膜数は、これに限定されるものではなく、任意の膜数でよい。例えば、ターゲットセット６１〜６１０を用いて、シート３上から順にＳｉＯ₂膜、ＩＴＯ膜、ＭＯ合金膜、Ａｌ合金膜、Ｍｏ合金膜の５層の膜を形成してもよい。この場合、シート３の厚み５０μｍ〜１８０μｍに対して、ＳｉＯ₂膜の厚みを２０ｎｍ、ＩＴＯ膜の厚みを２０ｎｍ、ＭＯ合金膜の厚みを５０ｎｍ、Ａｌ合金膜の厚みを２００ｎｍ、Ｍｏ合金膜の厚みを５０ｎｍとすることで、０．２Ω／ｍ²以下の低抵抗値の配線パターンをシート３に形成することができる。また、この実施の形態では、配線パターンとして、ＭＯ合金膜、Ａｌ合金膜、Ｍｏ合金膜の３層からなる金属膜を用いているが、これに限定されるものではなく、１層からなる金属膜（例えばＡｇ合金膜）を用いてもよく、金属膜の構成は任意に設定可能である。

また、本実施の形態では、４０個のフランジ孔２６に、２４個のターゲット部５と１６個のヒータ部８を装脱可能に設けているが、ターゲット部５とヒータ部８との数はこれに限定されるものではない。例えば、４０個のフランジ孔２６に、３０個のターゲット部５と１０個のヒータ部８を装脱可能に設けてもよい。また、本実施の形態では、フランジ孔２６を４０個形成しているが、フランジ孔２６の数はこれに限定されるものではなく、任意に設定可能である。このように、フランジ孔２６の数や、フランジ孔２６に装脱可能に設けるターゲット部５およびヒータ部８の数および配置は、所望の膜形成の条件に対応させて設定できる。

また、本実施の形態では、２個のターゲット部５により１組のターゲットセット６（６１〜６１２）が構成され、搬送路２７を挟んで対向するターゲットセット６（６１〜６１２）により１組のターゲットグループ７（７１〜７６）が構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、搬送路２７を挟んで対向する２個のターゲット部５により１組のターゲットグループが構成されてもよい。

また、本実施の形態では、搬送路２７の内側のターゲット部５と、搬送路２７の外側のターゲット部５とが、対向して配されているが、これは好適な例であり、これに限定されるものではなく、搬送路２７の内側のターゲット部５と搬送路２７の外側のターゲット部５とが対向して形成されていなくてもよい。

また、本実施の形態では、搬送路２７が環状に形成されているが、これに限定されるものではなく、直線状の搬送路であってもよく、成膜室２に形成されていれば任意に搬送路を設定できる。

また、本実施の形態では、２個のターゲット部５により１組のターゲットセット６が構成されているが、ターゲット部５の数はこれに限定されるものではなく、任意に設定可能である。

また、本実施の形態では、２４個のターゲット部５を用いているが、これに限定されるものではなく、任意の個数のターゲット部５を用いてもよい。

また、本実施の形態では、ローラ４３の数が１５個となっているが、これに限定されるものではなく、任意に設定可能である。

また、本実施の形態では、第１送りローラ４４および第２送りローラ４５の径は、ローラ４３の径よりも大きいが、ローラ４３の径は、これに限定されるものではなく、任意に設定可能である。

また、本実施の形態では、フランジ孔２６に装脱可能なものとして、ターゲット部５の他に、シート３の脱ガスを目的としたヒータ部８を用いているが、これに限定されるものではなく、成膜室２内のガスを排気する排気孔を用いてもよく、または、ヒータ部８と排気孔とを併用してもよい。

また、本実施の形態では、ターゲットセット６１〜６１２毎にそれぞれ異なる材料を用いているが、これに限定されるものではなく、同一の材料が含まれてもよい。

また、本実施の形態では、一定の回転速度で第１巻体４１と第２巻体４２とを回動駆動させているが、これに限定されるものではなく、第１巻体４１と第２巻体４２との回転速度を、各ターゲット部５における成膜条件により可変させてもよい。このように第１巻体４１と第２巻体４２との回転速度を、各ターゲット部５における成膜条件により可変させることで、シート３の両面３１，３２に積層する各膜の形成自由度を高めることができる。

また、本実施の形態にかかる成膜装置１では、シート３を第１巻体４１と第２巻体４２との間で１回搬送する間、シート３の両面３１，３２に１層の膜を形成しているが、これに限定されるものではなく、各ターゲットセット６１〜６１２毎に異なる材料のターゲット材５２を用いることで、シート３を第１巻体４１と第２巻体４２との間で１回搬送する間、シート３の両面３１，３２に複数層の膜を形成することもできる。

−他の実施の形態−
次に、本実施の形態にかかる成膜装置１と異なる他の実施の形態（以下、他の実施の形態という）にかかる成膜装置１を図３を用いて説明する。他の実施の形態にかかる成膜装置１は、上記した本実施の形態に係る成膜装置１に対して、隔壁部９１（図３参照）を追加したものであり、他の構成は同様の構成となっている。そのため、同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。

他の実施の形態では、図３に示すように、成膜室２の各ターゲットセット６１〜６１２毎に隔壁部９１が設けられ、隔壁部９１によってターゲットセット６１〜６１２同士を隔てる。

隔壁部９１は、壁面部９２と、壁面部９２の両端からそれぞれ直行する方向に延出した延出部９３とから構成されている。延出部９３の先端は、搬送路２７上のシート３に近接した位置まで延出する。

他の実施の形態にかかる成膜装置１では、図３に示すように、隔壁部９１とシート３の両面３１，３２によって囲まれる個別成膜空間９４がそれぞれ形成され、個別成膜空間９４内に各ターゲットセット６１〜６１２が個別に配されている。

他の実施の形態にかかる成膜装置１によれば、ターゲットセット６１〜６１２同士を隔てる隔壁部９１が１２個設けられているので、ターゲットセット６１〜６１２同士を互いに干渉させずにシート３に膜を形成することができる。なお、他の実施の形態にかかる成膜装置１によれば、隔壁部９１は、成膜室２の各ターゲットセット６１〜６１２同士を隔てるが、これに限定されるものではなく、ターゲット部５同士を隔てるものであってもよい。また、隔壁部９１の数は１２個に限定されるものではなく、任意に設定可能である。

また、成膜室２に、隔壁部９１とシート３（具体的にはシート３の両面３１，３２）によって囲まれる個別成膜空間９４がそれぞれ形成されるので、１つの成膜室２内の複数の個別成膜空間９４（他の実施の形態では、１２個の個別成膜空間９４）においてシート３への膜形成を個別に行うことができる。

また、他の実施の形態にかかる成膜装置１では、上記の本実施の形態にかかる成膜装置１と同一の構成を有するので、本実施の形態にかかる成膜装置１の同一の構成による作用効果及び変形例を有する。

他の実施の形態は、特に、各ターゲットセット６１〜６１２毎に異なる材料のターゲット材５２を用いて、シート３を第１巻体４１と第２巻体４２との間で１回搬送する間、シート３の両面３１，３２に複数層の膜を形成するのに好適な形態である。

なお、本発明は、その精神や主旨または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。

本発明は、シートに対して膜を形成する成膜装置に適用できる。

１成膜装置
２成膜室
２１真空チャンバ
２２成膜室の下部
２３排気孔
２４成膜室の上部
２５フランジ
２６フランジ孔
２７搬送路
３シート
３１一面
３２他面
３３ロール
４回転テーブル
４１第１巻体
４２第２巻体
４３ローラ
４４第１送りローラ
４５第２送りローラ
５ターゲット部
５１ターゲット部の一端部
５２ターゲット材
６（６１〜６１２）ターゲットセット
７（７１〜７６）ターゲットグループ
８ヒータ部
８１ヒータ部の一端部
９１隔壁部
９２壁面部
９３延出部
９４個別成膜空間

Claims

シートに膜を形成するroll to roll方式の成膜装置において、
成膜室内に前記シートを搬送する搬送路が設定され、この搬送路の側の上方に位置した前記成膜室の上部に、複数個の筐体孔が形成され、
前記筐体孔に、前記搬送路を搬送されるシートに膜を形成するターゲット部が装脱可能に設けられ、
前記ターゲット部は、搬送路の両側に配された成膜装置。
請求項１に記載の成膜装置において、
前記ターゲット部は、前記搬送路の両側に沿って複数箇所に亘り配された成膜装置。
請求項１または２に記載の成膜装置において、
前記ターゲット部には、成膜材料であるターゲット材と、前記ターゲット材に対応した反応性ガスを前記成膜室に注入するガス注入部と、が設けられた成膜装置。
請求項３に記載の成膜装置において、
前記成膜室には、シートを加熱するヒータ部が、少なくともいずれか１つの前記ターゲット部に隣接して設けられた成膜装置。
請求項１乃至４のうちいずれか１つに記載の成膜装置において、
前記搬送路は、前記シートをその幅方向が鉛直方向に沿う姿勢で搬送するよう設定された成膜装置。
請求項１乃至５のうちいずれか１つに記載の成膜装置において、
前記ターゲット部同士を隔てる隔壁部が設けられた成膜装置。
請求項６に記載の成膜装置において、
前記成膜室内に、前記隔壁部とシートとによって囲まれる個別成膜空間が複数設けられた成膜装置。