JP4562565B2 - 無機多孔質分離膜およびその製造方法 - Google Patents
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- 膜厚方向に配向し且つ貫通する一様な開口径の多数の細孔を備えた無機多孔質膜と、
その無機多孔質膜の表面および前記細孔内の少なくとも一方に形成された多孔質の無機薄膜とを、含み、
前記無機薄膜は0.3乃至0.5(nm)の範囲内の平均細孔径を備え、水素分離に用いられるものであることを特徴とする無機多孔質分離膜。 - 前記無機多孔質膜は2乃至200(nm)の範囲内の平均細孔径を備えたものである請求項1の無機多孔質分離膜。
- 所定の細孔径を有する無機多孔質分離膜を製造する方法であって、
多孔質基材および所定の無機材料を含むターゲットを気密室内に配置してそのターゲットに1乃至200(Pa)の範囲内の圧力下で5乃至500(Hz)の範囲内の周波数のパルスレーザを照射することにより、その無機材料の蒸気を発生させ且つその多孔質基材の表面に堆積して無機多孔質膜を形成する工程と、
前記無機多孔質膜の表面および細孔内の少なくとも一方に0.3乃至0.5(nm)の範囲内の平均細孔径を備えた多孔質の無機薄膜を形成する工程と
を、含むことを特徴とする水素分離に用いられる無機多孔質分離膜の製造方法。 - 前記無機薄膜を形成する工程は、蒸着法、ゾル−ゲル法、および熱分解法の何れかで行われるものである請求項3の無機多孔質分離膜の製造方法。
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