JP2006239663A - 水素ガス分離膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 製膜液塗布工程P3および焼成工程P4によって支持体12上に形成された多孔質のシリカ膜16は、比較的大きい0.6(nm)を超える細孔径を備えたピンホール48と、0.6(nm)以下の超ミクロ孔50とを有するが、化学蒸着工程P5において、そのピンホール48の内壁面にシリカが選択的に製膜されることによってその細孔径が0.6(nm)以下に縮小される。したがって、水素ガス分離に好適な大きさの超ミクロ孔50の細孔径を維持したまま、それよりも大きいピンホール48の細孔径のみが専ら縮小されることから、適度な大きさの細孔径を狭い分布で備えることにより、高いガス透過率と高い透過係数比とを兼ね備えた水素分離膜10が得られる。
【選択図】 図3
Description
M.Nomura et al. Ind. Eng. Chem. Res. Vol.36 No.10,1997, p.4217-4223 M.Nomura et al. Journal of Membrane Science 187,2001, p.203-212 S.Nakao et al. Microporous and MesoPorous Materials 37,2000, p.145-152 B.N.Nair et al. Journal of Membrane Science 135,1997,p.237-243 B.N.Nair et al. Adv. Mater. Vol.10, No.3, 1998, p.249-252
Claims (5)
- 所定の多孔質支持体上に多孔質セラミック膜を形成して水素ガス分離膜を製造する方法であって、
前記多孔質支持体上に0.6(nm)を超える細孔径の連通細孔と、0.6(nm)以下の連通微細孔とを有する多孔質セラミック膜を形成する膜形成工程と、
前記連通細孔の内壁面に化学蒸着法を用いて前記多孔質セラミック膜の構成材料を製膜してその細孔径を0.6(nm)以下に縮小する蒸着工程と
を、含むことを特徴とする水素ガス分離膜の製造方法。 - 前記連通細孔は0.6(nm)乃至1.0(μm)の範囲内の細孔径を有するものである請求項1の水素ガス分離膜の製造方法。
- 前記連通細孔は0.6乃至4(nm)の範囲内の細孔径を有するものである請求項1の水素ガス分離膜の製造方法。
- 前記蒸着工程は、前記多孔質膜が形成された筒状の多孔質支持体を複数本束ねた状態で実施するものである請求項1乃至請求項3の何れかの水素ガス分離膜の製造方法。
- 前記多孔質セラミック膜は、その構成材料を含むゾルを前記支持体にディップコートするゾル−ゲル法で形成されたものである請求項1乃至請求項4の何れかの水素ガス分離膜の製造方法。
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