JP2005254161A - 水素分離膜およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】25重量%以上の純粋酸素と不活性ガスとからなる混合ガスと気化させたシリカ源とを用い、化学蒸着法によって多孔質基材の細孔を閉塞するようにシリカが製膜されていることを特徴とする水素分離膜およびその製造方法である。
【選択図】図1
Description
図3に示すように、本実施例では100%の酸素を用い、比較例として、全く酸素を用いずに熱分解のみ、およびオゾンと酸素の混合ガスを用いた場合についての、水素と窒素の透過速度について、比較実験を行った。これにより、熱分解のみだけでは、窒素と酸素との選択透過性が低いことが判明し、オゾンと酸素の混合ガスと酸素のみの場合は、その選択透過性がほぼ同等であることから、酸素が反応活性種であることが判明した。
図4に示すように、600℃で上記装置を用いてシリカ源としてTMOSを用いて製膜した水素分離膜は、室温空気中に膜を2週間放置した後も、放置前後の性能に大きな違いは生じなかった。これにより、本発明の製造方法により得られた水素分離膜は、耐湿性に優れていることが判明した。
図5に示すように、500℃製膜された水素分離膜は、500℃まで温度を上げても、膜の透過性能は良好であった。一方400℃製膜された水素分離膜は、500℃に温度を挙げる透過性能が低下することが判明した。このことから、製膜温度と同程度の耐熱性を有することが確認された。
図6に示すように、製膜温度が高い程、短時間に緻密なシリカ膜が形成されることが判明した。なお、H2/N2分離係数(透過係数比)が1000を超えるために必要な蒸着時間は、500℃製膜は4時間、600℃製膜は1時間であった。
600℃のTMOS/酸素系対向拡散CVD法で作成したシリカ膜は、図7に示すように、500℃75%H2OinN2の高温水蒸気雰囲気下であっても、21時間後においても、H2透過速度が4×10−8モル/m2・秒・Pa以上で、かつH2/N2分離係数が800〜900と良好であった。上述したように、従来のCVD法でオゾンにより製膜されたシリカ膜(非特許文献2)およびゾル−ゲル法により製膜されたシリカ膜(非特許文献3)では、それぞれ室温空気放置後、および10時間500℃で50%H2Oに晒した後、H2/N2分離係数は大幅に低下しており、これらを勘案すると、極めて、本発明の水素分離膜は耐水蒸気性に優れることが分かる。
図8、図9に示すように、多孔質基材であるセラミック基材を複数本並列に並べO−リングなどにて両端を束ねモジュールを形成する。本実施例では、3本並列に並べ固定したモジュールに対して、1本の多孔質基材をシリカ製膜すると同様に、上述の方法にて600℃でTMOS/酸素系対向拡散CVD法にてシリカ製膜を行った。
Claims (10)
- 25重量%以上の純粋酸素と不活性ガスとからなる混合ガスと気化させたシリカ源とを用い、化学蒸着法によって多孔質基材の細孔を閉塞するようにシリカが製膜されていることを特徴とする水素分離膜。
- 請求項1に記載の水素分離膜において、
前記混合ガスとシリカ源が、基材の孔の両端よりそれぞれ対向拡散され製膜されていることを特徴とする水素分離膜。 - 請求項1または請求項2に記載の水素分離膜において、
前記シリカ源は、テトラ低級アルコキシシラン、テトラ低級アルコキシシランと他の金属アルコキシドとの混合物、シラン類からなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする水素分離膜。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の水素分離膜において、
前記基材は、1〜100nmの径の孔を有する多孔質セラミックであることを特徴とする水素分離膜。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の水素分離膜において、
H2透過速度が4×10−8モル/m2・秒・Pa以上で、かつH2/N2分離係数が500以上であることを特徴とする水素分離膜。 - 25重量%以上の純粋酸素と不活性ガスとからなる混合ガスと気化させたシリカ源とを、多孔質基材の両側からそれぞれ対向拡散させ、化学蒸着法によって多孔質基材の細孔を閉塞するようにシリカ薄膜を製膜されることを特徴とする水素分離膜の製造方法。
- 請求項6に記載の水素分離膜の製造方法において、
前記シリカ源は、テトラ低級アルコキシシラン、テトラ低級アルコキシシランと他の金属アルコキシドとの混合物、シラン類からなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする水素分離膜の製造方法。 - 請求項6または請求項7に記載の水素分離膜の製造方法において、
前記基材は、1〜100nmの径の孔を有する多孔質セラミックであることを特徴とする水素分離膜の製造方法。 - 請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の水素分離膜の製造方法において、
得られた水素分離膜が、H2透過速度が4×10−8モル/m2・秒・Pa以上で、かつH2/N2分離係数が500以上であることを特徴とする水素分離膜の製造方法。 - 前記多孔質基材を複数本並列させ固定したのち、請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の水素分離膜の製造方法を用いて、複数本の多孔質基材の細孔を同時にシリカ製膜することを特徴とする水素分離膜の製造方法。
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