JP4872752B2 - 水素分離膜の製造法 - Google Patents
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Description
膜 30巻5号275〜281頁(2005)
膜 31巻5号263〜266頁(2006)
(1)多孔質α-アルミナキャピラリー(長さ350mm、直径2.9mm、膜厚0.3mm、平均細孔径約0.1μm)を支持基材とし、その両端部側それぞれ60mmの長さの部分にガラスペーストを塗布、乾燥、焼成して、製膜部以外の部分を気密封止した。次いで、この中央230mmの製膜部にディッピング法によりγ-アルミナゾル層を形成し、これを乾燥させた後、600℃で焼成した。このようなディッピング−焼成という一連の工程を2回行った。このγ-アルミナ中間体層は、厚さが約3mmであり、またその孔径分布をナノパームポロシメーター(西華産業製)により測定したところ、平均孔径は4nmであった。
(2)このγ-アルミナ中間体層を製膜部分に形成させた多孔質α-アルミナキャピラリー支持基材を金属製円筒状反応器内に入れ、基材両末端にOリングを嵌め、金属製フランジにより気密固定した後、反応器をヒータにより加熱し、その温度を600℃に制御した。次いで、45℃のテトラメトキシシラン中をバブリングさせた窒素を200ml/分の流量で流し、シリカ源混合ガスを形成させ、これを反応器内の中間体層側に供給する一方、支持基材管内部に酸素を200ml/分の流量で供給し、これらのガスによる対向拡散を15分間継続した後、窒素および酸素の供給を止め、支持基材管内部を5分間真空吸引した(内部圧力2000Pa以下)。このような対向拡散供給と一方供給(減圧吸引)とを1サイクルとし、計12サイクル行って、多孔質基材表面付近の細孔内にシリカを化学蒸着させ、シリカ膜を形成させた。
実施例1(2)において、対向拡散後酸素のみの供給を止め、対向拡散供給と一方供給とを1サイクルとし、計8サイクルが行われ、シリカ膜を形成させた。
実施例1(2)において、対向拡散供給のみが120分間行われ、シリカ膜を形成させた。
実施例1(2)において、シリカ源混合ガスの中間体層側への供給および支持基材管内部の減圧吸引のみが120分間行われ、シリカ膜を形成させた。
表
例 水素透過率(モル/m 2 ・秒・Pa) 分離係数(H 2 /N 2 )
実施例1 1.1×10-7 23000
実施例2 1.3×10-7 16200
比較例1 1.8×10-7 2100
比較例2 0.9×10-8 160
1a 支持基材側
1b 中間体層側
2 製膜部
3 反応器
4 ヒータ
5 窒素ボンベ
6 酸素ボンベ
13 真空ポンプ
Claims (5)
- 多孔質基材の一方の面側に気化させたシリカ形成物質と不活性ガスとのシリカ源混合ガスを供給し、多孔質基材の他方の面側に反応種となる活性ガスを供給し、対向拡散させた後、シリカ源混合ガスの一方供給を行い、このような対向拡散および一方供給を複数回行うことにより、多孔質基材表面付近の細孔内にシリカを化学蒸着させ、シリカ膜を形成させることを特徴とする水素分離膜の製造法。
- シリカ源混合ガスの一方供給が、混合ガスの供給を継続した状態で、活性ガスを供給した面側を減圧吸引することにより行われる請求項1記載の水素分離膜の製造法。
- シリカ源混合ガスの一方供給が、混合ガスの新たな供給を中止し、反応器内に残存する混合ガスが存在する状態で、活性ガスを供給した面側を減圧吸引することによって行われる請求項1記載の水素分離膜の製造法。
- シリカ源混合ガスの供給が多孔質支持基材とその表面に形成された多孔質中間体との2層からなる多孔質基材の中間体層側について行われる請求項1、2または3記載の水素分離膜の製造法。
- 活性ガスの供給が多孔質支持基材とその表面に形成された多孔質中間体との2層からなる多孔質基材の支持基材側について行われる請求項1記載の水素分離膜の製造法。
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