JP4553076B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はイオン注入により不純物領域を形成したのち、注入した不純物を活性化する工程を含む半導体装置の製造方法に係り、特に、薄膜トランジスタ(TFT;Thin Film Transistor)のLDD(Lightly Doped Drain )領域、ソース領域およびドレイン領域を形成する工程を含む半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、液晶プロジェクタなどに代表される液晶表示装置付きの電子機器の普及と共に、液晶表示装置への高性能化の要求が高まっている。この液晶表示装置には、スイッチング素子としてTFTが広く用いられている。なかでも、多結晶シリコンを用いたTFTは、マトリクス画素部と周辺駆動回路部とを同一基板上に形成することにより駆動回路を内蔵することができる、微細化が可能である、などの理由により高精細な液晶表示装置を実現することができる素子として注目されている。
【0003】
この多結晶シリコンを用いたTFTにおいては、従来、その製造工程上、高温下での加熱を必要とするため、低融点を有するガラスなどを基板として用いることは不可能であった。しかしながら、液晶表示装置の低コスト化のためには低融点のガラスなどの安価な基板を使用することが必須であり、それに伴い、製造工程上の最高加熱温度が600℃以下の所謂低温プロセスに関する開発が進められている。
【0004】
従来、低温プロセスにより多結晶シリコンを用いたTFTを作製する場合には、バケット型と呼ばれる質量分離を行わずに大面積に一度にイオン注入を行うことができる注入装置を用いてイオン注入を行い、注入したイオンをエキシマレーザにより活性化させてソース領域およびドレイン領域を形成する方法が用いられている。なお、このバケット型のイオン注入装置については、例えば特開平9−237900号公報に開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来では、バケット型のイオン注入装置を用いることにより多結晶シリコンTFTの低温化プロセスが可能であった。しかしながら、このようなバケット型のイオン注入装置を用いると、装置の構造上、基板の周辺部ではイオンビームの電流密度が低くなる傾向があり、打ち込まれるイオンビームの強度の均一性が低下し、低いシート抵抗の不純物領域(ソース領域およびドレイン領域)を安定して形成することができないという問題があった。また、基板のサイズが大きくなると、装置が巨大化し、量産装置として現実的ではなくなるという問題もあった。
【0006】
更に、注入した不純物の活性化のためにエキシマレーザを照射すると、基板サイズが大きい場合にはスループットが低くなることに加えて、装置の構造が複雑となり、そのメンテナンスを頻繁に行う必要があるという問題があった。
【0007】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、スループットが高く、かつ、均一で低いシート抵抗の不純物領域を形成することができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体装置の製造方法は、基板上に形成された多結晶シリコン層中に一方導電型の第1の不純物のイオンを質量分離を行いつつ線状のイオンビームに形成して注入することにより、薄膜トランジスタのLDD領域として第1の不純物領域を形成する工程と、第1の不純物と同一導電型の第2の不純物の元素を含む不純物ガスとキャリアガスとを含むと共に、流量比において不純物ガスを5%より多く含有する混合ガスから、第2の不純物のイオンを、質量分離を行わずに線状のイオンビームに形成し、多結晶シリコン層中の第1の不純物領域に隣接する領域に注入することにより、薄膜トランジスタのソース領域またはドレイン領域として、第1の不純物領域より高濃度の第2の不純物領域を形成する工程と、基板を長尺の熱源下に搬送して加熱する急速加熱法により、第1の不純物領域および第2の不純物領域中の不純物をそれぞれ活性化させる工程とを含むものである。
【0009】
本発明による半導体装置の製造方法では、基板上の多結晶シリコン層中にイオンが注入されて第1の不純物領域が形成されたのち、第2の不純物の元素を含む不純物ガスを流量比において5%より多く含有する混合ガスから高濃度の第2の不純物のイオンが取り出され、このイオンが多結晶シリコン層中に注入されて第2の不純物領域が形成される。そののち基板が搬送され熱源を通過することにより、注入された第1の不純物および第2の不純物がそれぞれ活性化される。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0011】
具体的な実施の形態の説明に先立ち、まず、本発明に係る半導体装置の製造方法において用いられるイオン注入方法について説明する。
【0012】
第1の方法は質量分離を行わずにイオン注入する方法である。図6は、この方法に用いる非質量分離型イオン注入装置の概略図を表している。この非質量分離型イオン注入装置は、ホスフィン(PH3 )やジボラン(B2 H6 )などの不純物ガスを供給する不純物ガス源11aと水素(H2 ),ヘリウム(He),ネオン(Ne),アルゴン(Ar)などのキャリアガスを供給するキャリアガス源11bとを有し、これらのガスを例えば図示しない流量調節計を用いて所定の比率で混合するガス供給装置11と、高周波やマイクロ波を用いて高密度プラズマを作り、ガス供給装置11から供給された混合ガスをイオン化する線状イオン源部12と、線状イオン源部12から引き出されたイオンが打ち込まれるターゲット13(すなわち基板)を支持するためのエンドステーション14とを備えている。
【0013】
図7は線状イオン源部12の内部構造の一例を表すものである。この線状イオン源部12は、内部に例えば縦方向に、互いに独立に電流(フィラメント電流)制御可能な3つのフィラメント12a〜12cが並設されており、これらフィラメント12a〜12cに対して不純物ガスを含む混合ガスがガス導入口12dを介して供給されると、不純物イオンが発生するようになっている。フィラメント12a〜12cの前方には、直流電源12eにより駆動される引き出し電極12f、加速電極12gおよび抑制電極12hの3枚の電極がそれぞれこの順に配設されている。すなわち、この線状イオン源部12では、3つのフィラメント12a〜12cにより発生した不純物イオンが、これら引き出し電極12f、加速電極12gおよび抑制電極12hの3枚の電極により、引き出され、加速されて線状イオンビームIとなる。なお、図示しないが、縦方向(ビームの長手方向)に沿って3つのファラデーカップが並設されており、これらファラデーカップによりイオンビーム電流が検出されると共に、これらのイオンビーム電流が3つのフィラメント12a〜12cにフィードバックされることにより、線状イオンビーム電流の縦方向のばらつきが低減され、均一性が確保されている。
【0014】
この非質量分離型イオン注入装置では、エンドステーション14の動作に応じてターゲット13が左右方向に移動し、線状イオンビームIにより走査される。
これにより不純物イオンがターゲット13の全面に打ち込まれる。
【0015】
線状イオン源部12とエンドステーション14とは互いに接近して配設されている。よって、線状イオン源部12から引き出され線状イオンビームIは、加速された直後にターゲット13に垂直に照射される。これにより、前述したバケット型のイオン注入装置を用いた場合とは異なり、ターゲット13の全体におけるイオンビーム強度の均一性を確保することができる。また、線状イオン源部12を備えることにより、装置全体をコンパクトに形成することができるため、ターゲット13が大きい場合には特に好適である。
【0016】
第2の方法は、質量分離を行い所定の質量のイオンのみを取り出して注入する方法である。図8は、この方法に用いる質量分離型イオン注入装置を表している。この質量分離型イオン注入装置は、不純物ガスを供給する不純物ガス源21aとキャリアガスを供給するキャリアガス源21bとを有し、更に、これらのガスを例えば図示しない流量調節計を用いて所定の比率で混合するガス供給装置21と、混合されたガスをイオン化する線状イオン源22とを備えている。線状イオン源22から引き出されたイオンは、高電圧で加速されて線状イオンビームIとなる。更に、この質量分離型イオン注入装置は、スリット23を通過して到達したイオンを例えば90°偏向させ、そのうちの所定のイオンのみを通過させる偏向マグネット24と、通過する線状イオンビームIに対して水平方向に小型電磁石が多数並べられた多重磁極子(マルチポール)25と、線状イオンビームIが照射されるターゲット26を支持するエンドステーション27とを備えている。
【0017】
偏向マグネット24は、例えば扇状の一対の電磁石により構成されており、扇状の均一な磁界を形成し、線状イオンビームIを円を描くように例えば90°偏向させる。このとき、磁界中を移動するイオンの円軌道半径は質量によって異なっており、重いイオンは大きい半径で、軽いイオンは小さい半径でそれぞれ曲げられ分離される。ここでは、分離されたイオンのうち、所定の質量のイオンのみを通過させる。従って、所定のイオンは、一対の電磁石間の距離に相当する長さの線状となって偏向マグネット24の出口を通過する。
【0018】
多重磁極子25は、エンドステーション27上におけるイオンビーム強度のばらつきを±3%以内に抑えて、イオンビーム強度の均一性を確保する役割を果たしている。また、エンドステーション27は、上下方向(紙面に対して垂直方向)に滑動するようになっており、エンドステーション27の動作に応じてターゲット26が上下方向(紙面に対して垂直方向)に移動し、線状イオンビームIにより走査される。これにより、線状イオンビームIが均一の強度でターゲット26の全面に照射される。
【0019】
ここでは、所定のイオンのみが選択的にターゲット26に打ち込まれるので、不純物の濃度分布および注入深さを共に高い精度で制御することができる。よって、この質量分離型イオン注入装置は、特に、低濃度の不純物を注入する場合には好適である。
【0020】
本発明は、これらのイオン注入方法を用いて不純物のイオン注入を行い、注入した不純物を活性化させることにより、均一な、低いシート抵抗値を有する不純物領域を生産性よく形成するものである。以下、本発明をTFTの製造方法に適用した例について説明する。
【0021】
(第1の実施の形態)
図1(A)〜(D)は、本発明の第1の実施の形態に係るnチャネルTFTの製造方法を表すものである。まず、図1(A)に示したように、例えばソーダガラスなどの低融点ガラスよりなる基板31上に、例えば厚さが100〜250nmの金属膜を成膜し、パターニングしてゲート電極32を形成する。金属としては、例えば、アルミニウム(Al),タンタル(Ta),モリブデン(Mo),タングステン(W),クロム(Cr)および銅(Cu)などが挙げられる。
【0022】
次いで、図1(B)に示したように、基板31の全面に、例えばプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition )法,常圧CVD法および減圧CVD法のうちのいずれかの方法により、例えば厚さが50nmの窒化ケイ素(SiNx )膜33aおよび例えば厚さが200nmの二酸化ケイ素(SiO2 )膜33bを連続的に成膜してゲート絶縁膜33を形成する。更に、二酸化ケイ素膜33b上に連続して例えば厚さが30〜80nmの非晶質シリコン(a−Si)膜34を形成する。
【0023】
なお、ゲート絶縁膜33,非晶質シリコン膜34をプラズマCVD法により形成した場合には、非晶質シリコン膜34を形成した後に、例えば、窒素(N2 )雰囲気中において、400〜500°Cの温度で1〜2時間加熱することにより、これらの膜中に含まれる水素(H2 )を脱離させる。
【0024】
続いて、必要に応じて、非晶質シリコン膜34中のゲート電極32と対向する領域に、例えば1×1012〜6×1012個/cm2 のホウ素イオン(B+ )を注入する。この領域は後述のチャネル領域34a(図1(C)参照)に対応する領域である。注入条件は、例えば、加速電圧を10keV、線状イオンビームIのライン幅を620mmとする。ここでは、例えば既に述べた質量分離型のイオン注入法により均一に制御性よく注入する。これにより、ゲート電極32の閾値電圧Vthが決定される。なお、pチャネルTFTの場合には、同様にしてリンイオン(P+ )を注入すればよい。
【0025】
次に、非晶質シリコン膜34を形成したのち、またはホウ素イオンを注入したのちに、基板31に例えばレーザビームLを照射することにより加熱して、図1(C)に示したように、非晶質シリコン膜34を多結晶シリコン膜34′に変化させる。レーザビームLとしては、例えばXeFエキシマレーザなどのエキシマレーザが用いられる。なお、レーザ照射の代わりに、固相成長法やRTA法により加熱してもよい。
【0026】
次いで、例えば、シラン(SiH4 )ガスを原料ガスとして用いたCVD法により厚さ100〜300nmの二酸化ケイ素膜を成膜したのち、裏面露光によりパターニングを行い、イオン注入の際のマスクとなるマスク層35を形成する。
【0027】
次いで、例えば先の図8に示した質量分離型イオン注入装置を用いて、マスク層35を用い、例えば、6×1012〜5×1013個/cm2 のリンイオン(P+ )を10keVの加速電圧で基板31の全面に注入して、n- 型のLDD領域34bを形成する。なお、このイオン注入は、前述の非質量分離型イオン注入装置を用いて行ってもよい。非質量分離型イオン注入装置を用いる場合には、線状イオンビームIの制御電流を1μA/cm以下に絞ると、この程度の低濃度のイオン注入であっても制御性よく、均一に注入することができる。
【0028】
次いで、例えばLDD領域34bおよびマスク層35上にフォトレジスト膜(図示せず)を形成し、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば、図6に示した非質量分離型イオン注入装置を用いて、8×1014〜5×1015個/cm2 のリンイオンを基板31に選択的に注入し、LDD領域34bに隣接してn+ 型のソース領域34cおよびドレイン領域34dを形成する。このとき、不純物ガスには例えばホスフィンガスを用い、キャリアガスには水素ガス,ヘリウムガス,ネオンガスおよびアルゴンガスのうちの少なくとも1種を含むガスを用いる。
【0029】
ここで、本実施の形態では、ガス供給装置11からは、不純物ガスを流量比(すなわち、体積比)で、5%より多く、好ましくは20%以上含有する混合ガスを供給する。不純物ガスが5%以下であると後述のようにRTA法により不純物を活性化させる際の活性化率が低くなるためである。不純物ガスをこの程度含有する混合ガスを用いてイオン注入を行うことにより、注入イオンに含まれる不純物イオンの割合が増大する。従って、注入時間を延長してスループットの低下を招くことなく、注入不純物量を増大させることができる。
【0030】
なお、pチャネルTFTの場合には、不純物ガスとしてジボランを用いて上述した方法と同様の方法により前述の多結晶シリコン膜34′中にホウ素イオンを注入して、p+ 型のソース領域およびドレイン領域を形成する。ここでも、ガス供給装置11からは、不純物ガスを流量比で5%より多く、好ましくは20%以上含有する混合ガスを供給する。
【0031】
次いで、例えば、以下に説明するRTA装置を用いて波長240〜400nmの紫外光UVを瞬間的(約1秒)に基板31に照射して、LDD領域34b,ソース領域34cおよびドレイン領域34d中の不純物をそれぞれ活性化させる。
【0032】
図9は、RTA装置の概略の一例を表すものである。このRTA装置は、基板31を赤外線により予備加熱するための予熱処理ゾーン41a〜41c,これらの予熱処理ゾーン41a〜41cにおいて予備加熱された基板31を急速加熱(RTA:Rapid Thermal Annealing )するためのRTAユニット42、このRTAユニット42の入口と出口とにおいてプロセス温度を測定するための放射温度計(パイロメータ)43、およびRTAユニット42により急速に加熱された基板31を赤外線加熱により徐々に冷却するための冷却ゾーン44を備えており、基板31は、この順に図に矢印で示したように搬送機構(図示せず)によって搬送されるようになっている。RTAユニット42は、上下に対向配置された熱源としての一対のキセノンアークランプ42a,42aと、これらキセノンアークランプ42a,42aの背面を覆うように配置された反射板42bとを有している。
【0033】
このRTA装置では、例えば本実施の形態の基板31が搬入されると、基板31は予熱処理ゾーン41a〜41cにおいて図示しない赤外線ランプにより400〜500℃程度まで加熱される。続いて、基板31は例えば10〜25mm/秒程度の速度で矢印方向(冷却ゾーン44側)に搬送され、キセノンアークランプ42a,42aから発せられる波長240〜400nmの紫外光を吸収する。
ここで、基板31は1秒程度の間に例えば500〜700℃まで加熱される。更に、基板31は冷却ゾーン44に搬送され、赤外線照射により徐冷される。
【0034】
放射温度計43によって測定されるプロセス温度は、キセノンアークランプ42a,42aのランプパワー,予熱処理ゾーン41a〜41cにおける赤外線ランプのランプパワーおよび基板31の搬送速度の3つのパラメータによって決定される。これらのパラメータの最適条件は、基板31(本実施の形態ではガラス)の材質(例えばAN635 ,Corning Code 1737 など)や厚さや大きさによって異なる。従って、使用する基板31に応じて各パラメータを適宜に調節してプロセス温度を決定することにより、基板31内での温度勾配の発生による基板31の熱収縮などを防止することができる。ガラスよりなる基板31では、例えば、AN635 の場合には軟化点が635°Cであり、Corning Code 1737 の場合には軟化点が667℃であるので、RTAユニット42内における加熱温度が軟化点温度を大幅に超えない700℃以下、好ましくは600℃以下となるように各パラメータを調節する。
【0035】
本実施の形態のように、RTA法により不純物を活性化させる場合には、基板を長尺のキセノンアークランプ42a下で一方向に搬送させるだけでよいので、例えば、基板の大きさが600×720mm程度まで拡大しても60枚/分の処理速度を実現することができる。これに対して、従来技術で説明したレーザ照射により不純物を活性化させる場合には、レーザビームの長さを長尺化させるためにはレーザ本体の出力を極めて大きくする必要がある。従って、レーザビームを走査させて基板全体について活性化を行うと、例えば、600×720mm程度の大きさの基板の場合、処理能力は最大でも30枚/分程度であり、RTA法の方がレーザアニール法よりも2倍程度処理能力に優れている。
【0036】
また、RTA法は加熱温度の均一性に優れており、エキシマレーザを用いる場合よりも、LDD領域34b、ソース領域34cおよびドレイン領域34dにおけるシート抵抗のばらつきが小さく、基板の全面で均一なシート抵抗の分布が得られるという利点がある。
【0037】
更に、既に述べたように不純物ガスを5%よりも多く含有する混合ガスを用いることによりイオン注入時の注入不純物量を増大させているため、RTA処理温度(すなわちRTAユニット42内における加熱温度)が低い場合においても所望の不純物の活性化率を確保することができる。
【0038】
次いで、図2に示したように、基板31の全面に、例えば、プラズマCVD法により厚さが200〜400nmになるように二酸化ケイ素膜36aおよび窒化ケイ素膜36bを連続的に成膜して層間絶縁膜36を形成する。そののち、例えば、窒素雰囲気中において350℃で1時間加熱することにより層間絶縁膜36中の水素を多結晶シリコン膜34´に中に拡散させ、多結晶シリコン膜34´の水素化を行う。
【0039】
次いで、層間絶縁膜36を選択的に除去してコンタクト孔37aを形成し、このコンタクト孔37a内に、例えば、モリブデンあるいはアルミニウムをスパッタリングにより埋め込み、配線電極37を形成する。
【0040】
次いで、基板31の全面に、例えば、アクリル系有機樹脂を1μm程度塗布して平坦化層38を形成する。そののち、平坦化層38およびその直下の層間絶縁膜36を選択的に除去してコンタクト孔39aを形成し、コンタクト孔39aに沿って、例えば、スパッタリング法によりITO(Indium Tin Oxide)などよりなる透明電極39を形成することにより、TFTが完成する。
【0041】
このように、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、不純物ガスを流量比で5%より多く、好ましくは20%以上含有する混合ガスを用いてソース領域34cおよびドレイン領域34dを形成したのち、RTA法により不純物を活性化するようにしたので、高いスループットを有し、かつ所望の高い活性化率、すなわちソース領域34cおよびドレイン領域34dにおいて均一で低いシート抵抗値を得ることができる。
【0042】
また、線状イオン源12とエンドステーション14とが互いに接近して配設された非質量分離型のイオン注入装置を用いてイオン注入を行うことによりソース領域34cおよびドレイン領域34dを形成するようにしたので、注入時のイオンビーム強度を均一にすることができる。
【0043】
更に、線状イオン源12を用いるようにしたので、スループットを悪化させるおそれがないことに加えて、イオン注入装置をコンパクトに形成することができるため、基板31の面積が大きい場合には特に有効である。
【0044】
(第2の実施の形態)
図3(A),(B)および図4は、本発明の第2の実施の形態に係るTFTの製造方法を表すものである。まず、図3(A)に示したように、例えばソーダガラスなどの低融点ガラスよりなる基板51上に、例えば、プラズマCVD法,常圧CVD法および減圧CVD法のうちのいずれかの方法により窒化ケイ素膜52aおよび二酸化ケイ素膜52bを成膜して厚さ100〜200nmのバッファ層52を形成する。この場合、二酸化ケイ素膜52bは例えばシラン(SiH4 )またはジシラン(Si2 H6 )などの無機系シランガスを原料ガスとして用いる。なお、二酸化ケイ素膜52bは、スパッタリング法や蒸着法によっても成膜することができる。
【0045】
次いで、二酸化ケイ素膜52b上に、例えば、プラズマCVD法または減圧CVD法により厚さが30〜80nmの非晶質シリコン膜53を形成する。ここで、プラズマCVD法により形成した場合には、例えば、窒素雰囲気中において400〜450℃で1時間程度加熱することにより非晶質シリコン膜53中に含まれる水素を脱離させる。
【0046】
次いで、基板51にレーザビームLを照射することにより加熱して、非晶質シリコン膜53を多結晶シリコン膜53′に変化させる。なお、レーザ照射の代わりに、固相成長法やRTA法により加熱してもよい。そののち、この多結晶シリコン膜を選択的にエッチングして島形状にパターニングする。
【0047】
次いで、図3(B)に示したように、基板51の全面に、例えば、プラズマCVD法,常圧CVD法,減圧CVD法,ECR−CVD法およびスパッタリング法のうちのいずれかの方法により厚さ50〜400nmの二酸化ケイ素よりなるゲート絶縁膜54を形成する。
【0048】
続いて、必要に応じて、上述の多結晶シリコン膜中に、例えば5×1011〜4×1012個/cm2 のホウ素イオンを選択的に注入する。このホウ素イオン注入領域はチャネル領域53aに相当する領域である。注入条件は、例えば、加速電圧を50keV、線状イオンビームIのライン幅を620mmとする。これにより、後述するゲート電極55の閾値電圧Vthが決定される。なお、このイオン注入は、ゲート絶縁膜54を形成する前に行ってもよい。
【0049】
次いで、ゲート絶縁膜54を形成したのち、またはホウ素イオンを注入したのち、例えばアルミニウム,タンタル,モリブデン,タングステン,チタン(Ti)および不純物が添加されたシリコンなどにより、厚さが200〜800nmのゲート電極55を形成する。
【0050】
次いで、加速電圧を例えば90keVとすること以外は第1の実施の形態において説明した方法と同様の方法により、n- 型のLDD領域53bを形成する。
ここでは、第1の実施の形態と比較して加速電圧が大きいため、チャネル領域53aやLDD領域53bなど多結晶シリコン膜53’の表面は非晶質化する。
【0051】
次いで、例えば、ゲート電極55およびLDD領域53b上にフォトレジスト膜(図示せず)を形成し、このフォトレジスト膜をマスクとして、例えば図6に示した非質量分離型イオン注入装置を用いて、例えば、1×1015個/cm2 のリンイオンを基板51に注入し、n+ 型のソース領域53cおよびドレイン領域53dを形成する。このとき、不純物ガスには例えばホスフィン(PH3 )ガスを用い、キャリアガスには水素(H2 )ガス,ヘリウム(He)ガス,ネオン(Ne)ガスおよびアルゴン(Ar)ガスのうちの少なくとも1種を含むガスを用いる。また、ガス供給装置11からは、不純物ガスを流量比で5%より多く、好ましくは20%以上含有する混合ガスを供給する。
【0052】
次いで、基板51の全面に、例えば、厚さ600nm程度のPSG(Phospho-Silicate Glass)または二酸化ケイ素よりなる層間絶縁膜56を形成する。
【0053】
次いで、例えば、図9に示したRTA装置を用いて、第1の形態において説明した方法と同様の方法により、LDD領域53b,ソース領域53cおよびドレイン領域53d中の不純物をそれぞれ活性化させる。なお、ここでは既に述べたようにチャネル領域53a,LDD領域53b,ソース領域53cおよびドレイン領域53dの表面が非晶質化しているため、RTAユニット42内における加熱温度が例えば700℃程度となるように、キセノンアークランプ42aのランプパワー,予熱処理ゾーン41の赤外線ランプのランプパワーおよび基板31の搬送速度を調節する。
【0054】
次いで、層間絶縁膜56を選択的に除去してコンタクト孔57aを形成し、このコンタクト孔57a内に、例えば、Al−Si合金をスパッタリングにより埋め込んで配線電極57を形成する。続いて、層間絶縁膜56および配線電極57上に、例えば、プラズマCVD法により厚さ200〜400nmの窒化ケイ素よりなる層間絶縁膜58を形成する。そののち、例えば、窒素雰囲気中において350℃で1時間加熱することにより層間絶縁膜58中の水素を多結晶シリコン膜53´に中に拡散させ、多結晶シリコン膜53´の水素化を行う。
【0055】
次いで、層間絶縁膜58上に、例えば、アクリル系有機樹脂を1μm程度塗布して平坦化層59を形成する。そののち、平坦化層59およびその直下の層間絶縁膜58と層間絶縁膜56とゲート絶縁膜54とを選択的に除去してコンタクト孔60aを形成し、コンタクト孔60aに沿って、例えば、スパッタリング法によりITO(Indium Tin Oxide)等よりなる透明電極60を形成することより、TFTが完成する。
【0056】
このように本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様に、不純物ガスを流量比で5%より多く、好ましくは20%以上含有する混合ガスを用いてソース領域53cおよびドレイン領域53dを形成したのち、RTA法により不純物を活性化するようにしたので、高いスループットを有し、かつ所望の高い活性化率、すなわちソース領域53cおよびドレイン領域53dにおいて均一で低いシート抵抗値を得ることができる。また、線状の線状イオン源12とエンドステーション14とが互いに接近して配設された非質量分離型のイオン注入装置を用いてイオン注入を行うようにしたので、注入時のイオンビーム強度を均一にすることができ、かつ生産性にも優れている。加えて、イオン注入装置をコンパクトに形成することができるため、基板51の面積が大きい場合には特に有効である。
【0057】
【実施例】
更に、本発明の具体的な実施例について説明する。
【0058】
本実施例では、第1の実施の形態において説明した方法によって、5種類のTFTを作製した。すなわち、各々、基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、チャネル領域およびLDD領域を含む多結晶シリコン層およびストッパ層を形成したのち、後述する異なる混合ガスを用いてソース領域およびドレイン領域を作製した。なお、n型の不純物領域形成には不純物ガスとしてホスフィンガスを用い、p型の不純物領域形成には不純物ガスとしてジボランガスを用い、キャリアガスには共に水素ガスを用いた。次いで、後述する条件によりRTAを行ってLDD領域、ソース領域およびドレイン領域中の不純物を活性化させた。続いて、層間絶縁膜、配線電極、平坦化層および画素電極を形成した。
【0059】
ソース領域およびドレイン領域形成のためのイオン注入は、イオン注入量を1×1015個/cm2 とし、混合ガス中の不純物ガスの割合を1%,5%,20%,50%および100%(すなわち不純物ガスのみ)と種々変化させて行った。
【0060】
また、RTAは、予熱ゾーンの温度を550℃,RTAユニット内における加熱温度を600℃,キセノンアークランプのランプパワーを15kW,RTA装置内での基板搬送速度を20mm/秒として行った。
【0061】
なお、本実施例に対する比較例として、不純物ガスの割合が5%である混合ガスを用いてイオン注入を行うことによりソース領域およびドレイン領域を形成したのち、エネルギー280mJ/cm2 、発振周波数200Hzの条件でエキシマレーザを照射して不純物の活性化を行ったTFTを作製した。比較例では、その他の条件は本実施例と同一とした。
【0062】
このようにして得られた本実施例および比較例の各TFTのソース領域およびドレイン領域のシート抵抗を測定した。得られた結果を図5に示す。
【0063】
図5から、n+ 型、p+ 型の両方共に、不純物ガスが5%以下であると不純物の活性化率が低く、シート抵抗が5kΩ/□以上と急激に増大することが分かった。これは、イオン注入装置の線状イオン源から引き出されたイオンのうち、リンイオン(またはホウ素イオン)の水素イオンに対する割合が不純物ガスの混合ガスに対する割合以下に減少するためであり、このようにシート抵抗が高いとTFTのオン電流が低下したり、コンタクト抵抗が増大する原因となる。
【0064】
これに対し、不純物ガスの含有量が20%の場合には、シート抵抗値は約2kΩ/□であり、エキシマレーザを照射して不純物の活性化を行った場合のシート抵抗値に近づき、実用上問題のない値が得られた。不純物ガスの含有量が50%および100%の場合は、更に低いシート抵抗値が得られた。
【0065】
以上の結果から、混合ガス中における不純物ガスの割合は5%より多いことが必要であることが分かった。また、不純物ガスの割合が20%以上の場合には、不純物活性時の加熱温度を下げることができ、600℃以下であっても低いシート抵抗を得られることが分かった。なお、キャリアガスとして水素の代わりにヘリウム、ネオンあるいはアルゴンを用いた場合についても、同様の結果が得られる。
【0066】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法によれば、不純物ガスを流量比で5%より多く含有する混合ガスから不純物のイオンを取り出し、このイオンを多結晶シリコン層中に注入して第2の不純物領域を形成するようにしたので、短時間で多量の不純物を注入することができる。また、このように多量に注入された不純物を、基板を搬送し熱源を通過させて、例えば急速加熱法により活性化させることにより、所望の高い活性化率が得られる。よって、高いスループットを有しつつ、十分に高い不純物の活性化率を得ることができ、均一で低いシート抵抗値を有する不純物領域を形成することができるという効果を奏する。
【0067】
特に、第2の不純物領域として薄膜トランジスタのソース領域またはドレイン領域を形成するようにしたので、シート抵抗の低い薄膜トランジスタを生産性よく作製することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る薄膜トランジスタの製造工程を表す断面図である。
【図2】図1に続く製造工程を表す断面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係る薄膜トランジスタの製造工程を表す断面図である。
【図4】図3に続く製造工程を表す断面図である。
【図5】ソース領域およびドレイン領域形成時に用いる不純物ガスの濃度とシート抵抗との関係を表す特性図である。
【図6】非質量分離型のイオン注入装置の構造を表す概略図である。
【図7】図6に示したイオン注入装置の部分的内部構造を表す概略図である。
【図8】質量分離型のイオン注入装置の構造を表す概略図である。
【図9】RTA装置の構造を表す概略図である。
【符号の説明】
11a,21a…不純物ガス源、12a,22a…キャリアガス源、12,22…線状イオン源、13,26…ターゲット、14,27…エンドステーション、24…偏向マグネット、31,51…基板、32,55…ゲート電極、33,54…ゲート絶縁膜、34a,53a…チャネル領域、34b,53b…LDD領域、34c,53c…ソース領域、34d,53d…ドレイン領域、41a〜41c…予熱ゾーン、42…RTAユニット、42a…キセノンアークランプ、44…冷却ゾーン
Claims (3)
- 基板上に形成された多結晶シリコン層中に一方導電型の第1の不純物のイオンを、質量分離を行いつつ線状のイオンビームに形成して注入することにより、薄膜トランジスタのLDD領域として第1の不純物領域を形成する工程と、
前記第1の不純物と同一導電型の第2の不純物の元素を含む不純物ガスとキャリアガスとを含むと共に、流量比において前記不純物ガスを5%より多く含有する混合ガスから、前記第2の不純物のイオンを、質量分離を行わずに線状のイオンビームに形成し、前記多結晶シリコン層中の前記第1の不純物領域に隣接する領域に注入することにより、薄膜トランジスタのソース領域またはドレイン領域として、前記第1の不純物領域より高濃度の第2の不純物領域を形成する工程と、
前記基板を長尺の熱源下に搬送して加熱する急速加熱法により、前記第1の不純物領域および前記第2の不純物領域中の不純物をそれぞれ活性化させる工程と
を含む半導体装置の製造方法。 - 前記不純物ガスを20%以上含有する混合ガスを用いる、請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物ガスとしてPH3 またはB2 H6 を用い、前記キャリアガスとしてH2 ,He,NeおよびArのうちの少なくとも一種を用いる、請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57205952A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-17 | Fujitsu Ltd | Ion implanting device |
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JPH0864549A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Sony Corp | イオンドーピング方法及びイオンドーピング装置 |
JPH0974201A (ja) * | 1995-07-03 | 1997-03-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法及び液晶ディスプレイ |
JPH09237899A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Seiko Epson Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57205952A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-17 | Fujitsu Ltd | Ion implanting device |
JPH02115246U (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 | ||
JPH06104280A (ja) * | 1991-11-20 | 1994-04-15 | Sharp Corp | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
JPH0864549A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Sony Corp | イオンドーピング方法及びイオンドーピング装置 |
JPH0974201A (ja) * | 1995-07-03 | 1997-03-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法及び液晶ディスプレイ |
JPH09237899A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Seiko Epson Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2000058472A (ja) * | 1998-06-03 | 2000-02-25 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
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