JP4552861B2 - 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
4枚取りの実施例について詳細に説明する。
10 3.5インチサイズ専用小径スパッタキャリア
11 小径スパッタキャリア基板保持可動爪
12 小径スパッタキャリア基板保持固定爪
13 3.5インチ用スパッタホルダ
14 3.5インチ用基板保持爪
16 駆動軸
21,22,23 カム
24 リフト部材
51,61,71 カムフォロア
65 ディスク
66 円筒部
74 凸部
76,77 揺動部材
Claims (4)
- 複数の絶縁基板を保持するキャリアであって前記複数の絶縁基板上の夫々の所定位置を支持する複数の導電性支持部材であって該複数の絶縁基板にバイアスを印加するためのバイアス手段と電気的に接続される複数の導電性支持部材を有するキャリア、および、該キャリアに保持された前記複数の絶縁基板を所定回転角度回転させることで、前記複数の導電性支持部材が支持する前記複数の絶縁基板上の位置を前記所定位置から別の位置に変更する持替え機構を、前記複数の絶縁基板上に磁性層を含む複数の層を積層するための成膜装置内に備えた磁気記録媒体の製造装置であって、
前記複数の導電性支持部材は夫々、前記複数の絶縁基板を支持する方向に付勢されて前記絶縁基板の端面に当接するための当接部を有し、
前記持替え機構は、
前記複数の絶縁基板が備える中心孔側から該基板を固定する閉動作および開放する開動作をする複数の第1の部材、
前記複数の絶縁基板の基板面と平行な方向に回転動作をする複数の第2の部材、および、
前記付勢された前記当接部を前記絶縁基板の前記端面に当接させて前記絶縁基板を支持する支持動作、および、前記当接部を前記端面から離間させる遮断動作をする複数の第3の部材を、前記複数の絶縁基板に対応して備え、さらに、
一つの回転軸に備えられた第1、第2、および、第3のカム、並びに、該第1乃至第3カムの回転を前記複数の第1の部材、前記複数の第2の部材、および、前記複数の第3の部材に伝える伝達機構を備え、
該カムおよび該機構が、前記一つの回転軸の回転に従って順に、前記複数の第1乃至第3の部材に、前記閉動作、前記遮断動作、前記所定回転角度分の前記回転動作、および、前記支持動作をさせるように構成されることで、前記複数の導電性支持部材が支持する前記複数の絶縁基板上の位置を前記所定位置から前記別の位置に同時に変更する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 前記複数の第1の部材は夫々、前記伝達機構により一端を往復付勢されて所定の揺動中心を中心に揺動する第1の揺動部材と、該部材の他端と該揺動中心との中間部にその一端が対向し、および、その他端が該部材の前記他端に対向して配置される第2の揺動部材とを有し、並びに、該部材の前記一端が前記中間部と引っ張りバネで繋がれおよび両方の他端が前記中心孔に挿通され、
前記第1の揺動部材の揺動に伴って前記引っ張りバネを介して前記第2の揺動部材が揺動することで、前記両方の他端が互いに近付いて前記開動作をし、および、前記両方の他端が互いに離間して前記閉動作をし、並びに、前記両方の他端の間隔が変化するのに伴って該間隔の中間の位置がオフセットすることで、前記閉動作するときに前記絶縁基板を変位させて前記キャリアから離間させるように構成されることを特徴とする請求項1の製造装置。 - 前記キャリアを着脱する機構であって、前記絶縁基板よりも大きな別の絶縁基板を保持する別のキャリアを着脱する機構を備えることを特徴とする請求項1または2のいずれかの製造装置。
- 複数の絶縁基板の夫々の所定位置を導電性の複数の支持部材により支持して、該複数の支持部材を有するキャリアに前記複数の絶縁基板を保持する基板保持工程、
保持された前記複数の絶縁基板上に夫々導電層を成膜する成膜工程、
前記複数の絶縁基板を該基板の基板面と平行な方向に所定回転角度だけ同時に回転させることで、前記複数の支持部材が支持する前記複数の絶縁基板上の位置を前記所定位置から前記導電層が成膜された別の位置に同時に変更する基板持替え工程、および、
前記複数の支持部材および前記導電層を通じて前記複数の絶縁基板にバイアスを印加した状態で、前記複数の絶縁基板上の、前記成膜工程において成膜された夫々の前記導電層上に、磁性層を含む複数の層を積層する積層工程
を有する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記基板持替え工程は持替え機構により実施され、
前記複数の支持部材が備える当接部により支持されている前記複数の絶縁基板の前記中心孔側から、各絶縁基板に対応して前記持替え機構に備えられたチャック部材を開いて前記複数の絶縁基板を固定する第一工程であって、該当接部が該基板を支持する方向に付勢されている第一工程、
前記チャック部材により固定されている前記複数の絶縁基板の端面に当接されて前記複数の絶縁基板を支持している前記複数の導電性支持部材が備える夫々の当接部を、前記支持する方向とは逆方向に移動させて前記複数の絶縁基板から前記当接部を離間させる第二工程、
各絶縁基板に対応して前記持替え機構に備えられた回転部材を所定方向に回転することで、前記複数の絶縁基板を該基板の基板面と平行な方向に前記所定回転角度だけ回転させる第三工程、
前記複数の支持部材を前記支持する方向に付勢して、前記複数の支持部材が備える前記当接部が前記第二工程において離間される前の位置に復帰させて前記複数の絶縁基板の端面に当接させ該基板を支持する第四工程、
前記複数の絶縁基板を前記中心孔側から固定している前記チャック部材を閉止して該基板を開放する第五工程、および、
各絶縁基板に対応して前記持替え機構に備えられた前記回転部材を前記所定方向とは逆方向に回転することで、前記複数の絶縁基板を該基板の基板面と平行な方向に前記所定回転角度だけ逆転させる第六工程
を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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