JP2003272139A - 磁気転写装置のホルダー - Google Patents
磁気転写装置のホルダーInfo
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スレーブ媒体とマスター担体との密着におけ
るホルダーのシール部材の耐久性を向上すると共にシー
ル部からの発塵を防止して良好な磁気転写を効率よく行
えるようにする。 【解決手段】 接離移動するベースチャンバー５と押圧
チャンバー６との間に開閉される内部空間Ａに、転写情
報を担持したマスター担体３と転写を受けるスレーブ媒
体２とを対峙密着させるホルダー10で、内部空間Ａの開
閉用のシールを行う第１のシール部７と、収容したマス
ター担体３とスレーブ媒体２とに圧力を印加するための
密着用の摺動シールを行う第２のシール部８とを異なる
部位に配置してなる。シール部分の負担を軽減してシー
ル部材の耐久性向上、摩耗による発塵を抑制する。
るホルダーのシール部材の耐久性を向上すると共にシー
ル部からの発塵を防止して良好な磁気転写を効率よく行
えるようにする。 【解決手段】 接離移動するベースチャンバー５と押圧
チャンバー６との間に開閉される内部空間Ａに、転写情
報を担持したマスター担体３と転写を受けるスレーブ媒
体２とを対峙密着させるホルダー10で、内部空間Ａの開
閉用のシールを行う第１のシール部７と、収容したマス
ター担体３とスレーブ媒体２とに圧力を印加するための
密着用の摺動シールを行う第２のシール部８とを異なる
部位に配置してなる。シール部分の負担を軽減してシー
ル部材の耐久性向上、摩耗による発塵を抑制する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、情報が担持された
マスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写
装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内
部空間に収容し密着させるホルダーに関するものであ
る。 【０００２】 【従来の技術】本発明の対象とする磁気転写は、少なく
とも表層に軟磁性層を有するサーボ信号等の転写パター
ンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスタ
ー担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有する
スレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加し
てマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターン
をスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転
写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３
号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５
６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されてい
る。 【０００３】また、スレーブ媒体がハードディスクまた
は高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場
合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状の
マスター担体を密着させた状態で、その片側または両側
に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設
して転写用磁界を印加する。 【０００４】この磁気転写における転写品質を高めるた
めには、スレーブ媒体とマスター担体とを塵埃が介在し
ない状態で全面で均等に密着させることが重要である。
つまり塵埃が付着していると、付着部を中心とし周辺に
及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の密着が確保
できず、磁気転写が起こらない領域が生じ、スレーブ媒
体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位
が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッ
キング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという
問題がある。 【０００５】特に、上記のような磁気転写においては、
１枚のマスター担体の繰り返し使用により多数のスレー
ブ媒体に連続的に磁気転写を行うために、マスター担体
の表面に塵埃が付着して汚染されると、それ以降の磁気
転写にすべて転写不良が発生することになる。さらに、
これらの付着物により、マスター担体表面を変形させ、
正常な機能を損なう問題がある。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体は、
接離移動するベースチャンバーと押圧チャンバーとを備
えるホルダーの内部空間に収容されて対峙密着されるも
のであるが、スレーブ媒体とマスター担体との密着面の
エアーを排出して密着性を高めるため、または、真空吸
引により作用する外圧でスレーブ媒体とマスター担体と
に密着力を与えるために、上記内部空間を密閉し内部エ
アーを排出することが行われる。 【０００７】しかし、上記ホルダーの内部空間は、スレ
ーブ媒体の搬入、搬出を行うために開閉作動されると共
に、密着力を印加するために内部空間を拡縮作動するよ
うにベースチャンバーと押圧チャンバーとの押圧面が接
離移動するように構成される。そして、前記内部空間を
密閉するシール部分は、ベースチャンバーと押圧チャン
バーとの接離移動に伴い、磁気転写毎に内部空間を開閉
するための圧接と分離を繰り返すと共に、嵌合摺動して
密閉状態を維持する必要がある。そのため、開閉シール
動作と摺動シール動作とを同じシール部分で行うと、シ
ールの寿命が非常に短く頻繁なシール部材の交換が必要
となって処理効率の低下原因となり、またシール部材の
摩耗に伴って発塵しやすく、その塵埃がマスター担体お
よびスレーブ媒体に付着し、前述のような転写不良を招
く問題があった。 【０００８】本発明は上記点に鑑みてなされたものであ
り、スレーブ媒体とマスター担体との密着におけるホル
ダーのシール部材の耐久性を向上すると共にシール部か
らの発塵を防止して良好な磁気転写を効率よく行えるよ
うにした磁気転写装置のホルダーを提供することを目的
とするものである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明による磁気転写装
置のホルダーは、接離移動するベースチャンバーと押圧
チャンバーとの間に開閉される内部空間に、転写情報を
担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを
収容して対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおい
て、前記内部空間の開閉用のシールを行う第１のシール
部と、収容した前記マスター担体とスレーブ媒体とに圧
力を印加するための密着用の摺動シールを行う第２のシ
ール部とを異なる部位に配置したことを特徴とするもの
である。 【００１０】前記第１および第２のシール部におけるシ
ール部材としては、Ｏリング等のシール部材が使用可能
であり、特に摺動する第２のシール部には、発塵性のな
い磁性流体シールを使用してもよく、この磁性流体シー
ルとＯリング等のシール部材とを併用してもよい。 【００１１】具体的なホルダーの構造としては、押圧チ
ャンバーを押圧円盤部と周壁部とに分割し、前記周壁部
の端面とベースチャンバーの端面との間に第１のシール
部を配置し、前記押圧円盤部と周壁部との間の側面摺動
部分に第２のシール部を配置するのが望ましい。その
際、前記周壁部を押圧円盤部からベースチャンバーの方
向に付勢する付勢部材を設置するのが好ましい。 【００１２】 【発明の効果】上記のような本発明によれば、ホルダー
のベースチャンバーと押圧チャンバーの接離移動に伴う
内部空間の開閉用のシールを行う第１のシール部と、収
容した前記マスター担体とスレーブ媒体とに圧力を印加
するための密着用の摺動シールを行う第２のシール部と
を異なる部位に配置したことにより、磁気転写毎に内部
空間を開閉するための圧接と分離を繰り返す第１のシー
ル部は非摺動式に構成できることにより摺動負担が軽減
されて耐久性が向上し、また、摺動部分のシールを行う
第２のシール部は接触状態を維持して離脱しないことに
より嵌合時の変形負担が軽減されて耐久性が向上し、さ
らに、両シール部共にシール部材の摩耗が低減して発塵
が防止でき、塵埃付着による転写不良の発生を抑制でき
る。 【００１３】 【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にか
かる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面
図、図２は同ホルダーの密着状態を示す断面図である。
なお、各図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる
比率で示している。 【００１４】磁気転写装置のホルダー１０は、接離移動
可能な下側のベースチャンバー５と上側の押圧チャンバ
ー６とを備え、両者の接近に伴い第１のシール部７およ
び第２のシール部８により密閉形成される内部空間Ａ
に、スレーブ媒体２、マスター担体３、弾性材４を配置
して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスタ
ー担体３とを対峙密着させる。 【００１５】なお、図示していないが、磁気転写装置
は、ホルダー１０内の内部空間Ａのエアーを真空吸引し
内部を減圧状態として密着力を得る真空吸引手段と、ホ
ルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印
加装置とを備える。 【００１６】また、図示のホルダー１０は、水平方向に
配置したスレーブ媒体２の片面にマスター担体３を対峙
密着させ、片面逐次磁気転写を行う態様を示している
が、スレーブ媒体２およびマスター担体３を縦向きに配
置して磁気転写を行うようにしてもよい。また、スレー
ブ媒体２の両側にそれぞれマスター担体３，３を配置し
て両面に対峙密着させ、両面同時磁気転写を行うように
してもよい。ここで、対峙密着とは、接触密着、ごく僅
かな隙間を空けて対峙するこの双方の何れかを指すもの
とする。 【００１７】前記ベースチャンバー５は円盤状で、マス
ター担体３の外径より大きい円形状の内面５ａ（押圧
面）を有し、この内面５ａの中央部にマスター担体３の
下面を吸着などにより保持する。 【００１８】一方、押圧チャンバー６は、押圧円盤部６
１と周壁部６２とに分割構成されている。押圧円盤部６
１は円盤状で、外径はベースチャンバー５の外径より小
さく、その下面中央にはスレーブ媒体２の外径より大き
い内面６ａ（押圧面）を有し、この内面６ａにシート状
の弾性材４（クッション材）が取り付けられ、この弾性
材４の下面にスレーブ媒体２を吸着などにより保持す
る。 【００１９】一方、周壁部６２は軸方向に延びる筒状
で、上記押圧円盤部６１の外周部に嵌合されて軸方向
（接離方向）に移動可能である。この周壁部６２の外径
は上記ベースチャンバー５の外径とほぼ等しく、軸方向
の長さ（高さ）は押圧円盤部６１の高さ（厚み）より大
きく設けられ、その上端部には押圧円盤部６１の上面側
（内周方向）に突出した内フランジ部６２ａを有する。
この内フランジ部６２ａの下面と押圧円盤部６１の外周
部上面との間には、引っ張りバネによる付勢部材６３が
介装されている。 【００２０】そして、上記押圧チャンバー６における周
壁部６２の下端面に第１のシール部７が配置され、この
第１のシール部７によりベースチャンバー５の内面５ａ
（上面）との間の圧接シールを行う。つまり、周壁部６
２の下端面にＯリングによるシール部材７ａが装着さ
れ、該シール部材７ａがベースチャンバー５の内面５ａ
に圧接可能であり、この第１のシール部７により、内部
空間Ａの開閉用のシールが行われる。なお、上記シール
部材７ａはベースチャンバー５側に設置してもよい。 【００２１】また、前記押圧円盤部６１の外周面に第２
のシール部８が配置され、この第２のシール部８によ
り、押圧円盤部６１の外周に嵌合された周壁部６２の内
周面との間の摺動シールを行う。つまり、押圧円盤部６
１の外周面にＯリングによるシール部材８ａが装着さ
れ、該シール部材８ａが周壁部６２の内周面に圧接さ
れ、この第２のシール部８により、スレーブ媒体２とマ
スター担体３の密着のための押圧円盤部６１の軸方向移
動に伴う内部空間Ａの拡縮動作時の摺動用のシールが行
われる。なお、上記シール部材８ａは周壁部６２側に設
置してもよい。 【００２２】前記付勢部材６３は、周壁部６２を押圧円
盤部６１からベースチャンバー５の方向に付勢するもの
で、押圧チャンバー６がベースチャンバー５から離れた
状態では、常に周壁部６２が最下降位置にあるように付
勢している。 【００２３】なお、前記第２のシール部には、Ｏリング
によるシール部材８ａに代えて発塵性のない磁性流体シ
ールを使用してもよい。また、この磁性流体シールとＯ
リングとを併用してもよい。第１のシール部７について
も磁性流体シールを使用してもよい。これにより、シー
ル部分からの発塵がさらに抑えられる。他のシール機構
を採用してもよい。 【００２４】また、ベースチャンバー５の底面および押
圧チャンバー６の押圧円盤部６１の上面の中心位置に
は、それぞれ支持軸５ｃ，６ｃが突設され、不図示の装
置本体に支持されている。このベースチャンバー５およ
び押圧チャンバー６は図示しない回転機構に連係されて
支持軸５ｃ，６ｃを中心に一体に回転駆動される。 【００２５】また、図示していないが、ベースチャンバ
ー５の内面５ａには、内部空間Ａに連通する部分に、真
空吸引手段の排気口が開口されている。この排気口に連
通するエアー通路がベースチャンバー５内に形成され、
支持軸５ｃを通して外部に導出され、不図示の真空ポン
プに接続されている。また、押圧チャンバー６にも排気
口を形成して内部空間Ａの真空吸引を行うようにしても
よい。この真空吸引手段によるエアーの真空吸引によ
り、ホルダー１０内の内部空間Ａを所定の真空度に制御
する。これにより、スレーブ媒体２とマスター担体３と
が所定の密着圧力となるように設定されると共に、両者
の密着面のエアー抜きが行われ、密着性が高められる。
また、前記ホルダー１０の内部空間Ａの密着方向と直交
する内面５ａ，６ａの面積（真空吸引領域の実効的面
積）を、マスター担体３とスレーブ媒体２との接触面積
より例えば２〜３倍大きく形成することにより密着力を
増大して、所望の密着圧力を得るようになっている。 【００２６】なお、上記密着力の印加のために、ホルダ
ー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えても
よい。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロ
ッドの先端がホルダー１０の押圧チャンバー６における
支持軸６ｃに所定の押圧荷重を印加するように構成すれ
ばよい。 【００２７】前記ベースチャンバー５および押圧チャン
バー６の少なくとも一方が軸方向（図で上下方向）に移
動可能に支持され、両チャンバー５，６が互いに接離移
動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移
動においては、マスター担体３とスレーブ媒体２が密着
する前に、第１のシール部７のシール部材７ａがベース
チャンバー５の内面５ａに圧接して内部空間Ａを閉じ
る。この密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減
圧すると共に、押圧円盤部６１を周壁部６２に沿ってベ
ースチャンバー５側に移動させる。これに伴い内部空間
Ａが縮小し、付勢部材６３は伸張変形し、第２のシール
部８の摺動シールで内部空間Ａの密閉が保持される。そ
して、図２に示すように、第１のシール部７および第２
のシール部８により密閉維持された内部空間Ａに収容し
たスレーブ媒体２をマスター担体３上に押圧して密着さ
せる。なお、スレーブ媒体２はマスター担体３上にセッ
トするようにしてもよい。 【００２８】上記のようにホルダー１０は、第１のシー
ル部７がベースチャンバー５の内面５ａに圧接して内部
空間Ａを密閉した状態で、押圧チャンバー６の押圧円盤
部６１の内面６ａとベースチャンバー５の内面５ａとの
接離移動が可能なシリンダ構造に設けられている。ま
た、スレーブ媒体２、マスター担体３、弾性材４の厚み
が変化してスレーブ媒体２とマスター担体３との密着高
さが変更しても、密閉状態を確保できる。なお、ベース
チャンバー５を上記のようなシリンダ構造に設けて、第
２のシール部を設置するようにしてもよい。 【００２９】上記のようなホルダー１０を備えた磁気転
写装置によって磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２
の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また
垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このス
レーブ媒体２をマスター担体３と密着させ、初期直流磁
化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写
用磁界を印加して磁気転写を行う。 【００３０】スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気
記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度
フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用
される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金
属薄膜型磁気記録層で構成される。 【００３１】マスター担体３は円盤状ディスクに形成さ
れている。このマスター担体３は、基板上に形成された
微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面
がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成され
た転写情報担持面となる。これと反対側の面がベースチ
ャンバー５に吸着保持される。マスター担体３の基板と
しては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミ
ニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。
凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われ
る。軟磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッ
タリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手
段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録
とで、ほぼ同様のマスター担体３が使用される。 【００３２】弾性材４はスレーブ媒体２の背面（上面）
に接触して均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性
を有する材料により円盤状に形成され、押圧チャンバー
６に取り付けられる。弾性特性を有する材料としては、
シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジ
エンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹
脂などが使用できる。 【００３３】転写用磁界および必要に応じて初期磁界を
印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合に
は、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャッ
プを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッ
ド電磁石がホルダー１０の両側に配設されてなり、両側
で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁
界を印加する。ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒
体２とマスター担体３の全面に転写用磁界を印加する。
磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁
界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、
永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。ま
た、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電
磁石または永久磁石をホルダー１０の両側に配置し、垂
直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁
界を印加するものでは、ホルダー１０を移動させるか磁
界を移動させて全面の磁気転写を行う。 【００３４】次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気
転写装置のホルダー１０では、同じマスター担体３によ
り複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うもので
あり、まずベースチャンバー５および押圧チャンバー６
にマスター担体３および弾性材４を位置を合わせて保持
させておく。この押圧チャンバー６とベースチャンバー
５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向
の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わ
せてセットした後、押圧チャンバー６をベースチャンバ
ー５に接近移動させる。 【００３５】そして、押圧チャンバー６の第１のシール
部７がベースチャンバー５に接触することによりホルダ
ー１０の内部空間Ａを閉じ、第２のシール部８と共に密
閉する。スレーブ媒体２とマスター担体３とが押圧状態
となる前に、真空吸引手段により内部空間のエア排出を
行って減圧し、内部を所定の真空度とすると共に、さら
に押圧チャンバー６の押圧円盤部６１を第２のシール部
８の摺動シールを行いつつ、周壁部６２に沿って下降作
動させる。スレーブ媒体２の背面にマスター担体３が接
触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧
力で、弾性材４を介してベースチャンバー５に向けてス
レーブ媒体２とマスター担体３とに均一かつ平行に密着
力を加え、所定の密着圧力で密着させる。 【００３６】その後、ホルダー１０の両側に磁界印加装
置を接近させ、ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装
置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加
し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パター
ンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。 【００３７】上記磁気転写時に印加された転写用磁界
は、マスター担体３の転写パターンにおけるスレーブ媒
体２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込ま
れ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せず
その他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合には
この部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は
反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３の
転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。 【００３８】上記実施形態によれば、ホルダー１０の両
チャンバー５，６内の内部空間Ａを密閉状態とするシー
ル部分を、開閉用の第１のシール部７と、密着力印加時
の摺動用の第２のシール部８とに別の部位に分離配置し
たことにより、それぞれのシール部７，８におけるシー
ル部材７ａ，８ａの負担が軽減され、耐久性が向上でき
ると共に、摩耗に伴う塵埃の発生を抑制でき、良好な磁
気転写を長時間維持でき、シール部材７ａ，８ａの交換
工程の削減による処理効率の向上、マスター担体３の長
寿命化が図れる。
マスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写
装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内
部空間に収容し密着させるホルダーに関するものであ
る。 【０００２】 【従来の技術】本発明の対象とする磁気転写は、少なく
とも表層に軟磁性層を有するサーボ信号等の転写パター
ンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスタ
ー担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有する
スレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加し
てマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターン
をスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転
写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３
号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５
６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されてい
る。 【０００３】また、スレーブ媒体がハードディスクまた
は高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場
合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状の
マスター担体を密着させた状態で、その片側または両側
に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設
して転写用磁界を印加する。 【０００４】この磁気転写における転写品質を高めるた
めには、スレーブ媒体とマスター担体とを塵埃が介在し
ない状態で全面で均等に密着させることが重要である。
つまり塵埃が付着していると、付着部を中心とし周辺に
及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の密着が確保
できず、磁気転写が起こらない領域が生じ、スレーブ媒
体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位
が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッ
キング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという
問題がある。 【０００５】特に、上記のような磁気転写においては、
１枚のマスター担体の繰り返し使用により多数のスレー
ブ媒体に連続的に磁気転写を行うために、マスター担体
の表面に塵埃が付着して汚染されると、それ以降の磁気
転写にすべて転写不良が発生することになる。さらに、
これらの付着物により、マスター担体表面を変形させ、
正常な機能を損なう問題がある。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体は、
接離移動するベースチャンバーと押圧チャンバーとを備
えるホルダーの内部空間に収容されて対峙密着されるも
のであるが、スレーブ媒体とマスター担体との密着面の
エアーを排出して密着性を高めるため、または、真空吸
引により作用する外圧でスレーブ媒体とマスター担体と
に密着力を与えるために、上記内部空間を密閉し内部エ
アーを排出することが行われる。 【０００７】しかし、上記ホルダーの内部空間は、スレ
ーブ媒体の搬入、搬出を行うために開閉作動されると共
に、密着力を印加するために内部空間を拡縮作動するよ
うにベースチャンバーと押圧チャンバーとの押圧面が接
離移動するように構成される。そして、前記内部空間を
密閉するシール部分は、ベースチャンバーと押圧チャン
バーとの接離移動に伴い、磁気転写毎に内部空間を開閉
するための圧接と分離を繰り返すと共に、嵌合摺動して
密閉状態を維持する必要がある。そのため、開閉シール
動作と摺動シール動作とを同じシール部分で行うと、シ
ールの寿命が非常に短く頻繁なシール部材の交換が必要
となって処理効率の低下原因となり、またシール部材の
摩耗に伴って発塵しやすく、その塵埃がマスター担体お
よびスレーブ媒体に付着し、前述のような転写不良を招
く問題があった。 【０００８】本発明は上記点に鑑みてなされたものであ
り、スレーブ媒体とマスター担体との密着におけるホル
ダーのシール部材の耐久性を向上すると共にシール部か
らの発塵を防止して良好な磁気転写を効率よく行えるよ
うにした磁気転写装置のホルダーを提供することを目的
とするものである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明による磁気転写装
置のホルダーは、接離移動するベースチャンバーと押圧
チャンバーとの間に開閉される内部空間に、転写情報を
担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを
収容して対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおい
て、前記内部空間の開閉用のシールを行う第１のシール
部と、収容した前記マスター担体とスレーブ媒体とに圧
力を印加するための密着用の摺動シールを行う第２のシ
ール部とを異なる部位に配置したことを特徴とするもの
である。 【００１０】前記第１および第２のシール部におけるシ
ール部材としては、Ｏリング等のシール部材が使用可能
であり、特に摺動する第２のシール部には、発塵性のな
い磁性流体シールを使用してもよく、この磁性流体シー
ルとＯリング等のシール部材とを併用してもよい。 【００１１】具体的なホルダーの構造としては、押圧チ
ャンバーを押圧円盤部と周壁部とに分割し、前記周壁部
の端面とベースチャンバーの端面との間に第１のシール
部を配置し、前記押圧円盤部と周壁部との間の側面摺動
部分に第２のシール部を配置するのが望ましい。その
際、前記周壁部を押圧円盤部からベースチャンバーの方
向に付勢する付勢部材を設置するのが好ましい。 【００１２】 【発明の効果】上記のような本発明によれば、ホルダー
のベースチャンバーと押圧チャンバーの接離移動に伴う
内部空間の開閉用のシールを行う第１のシール部と、収
容した前記マスター担体とスレーブ媒体とに圧力を印加
するための密着用の摺動シールを行う第２のシール部と
を異なる部位に配置したことにより、磁気転写毎に内部
空間を開閉するための圧接と分離を繰り返す第１のシー
ル部は非摺動式に構成できることにより摺動負担が軽減
されて耐久性が向上し、また、摺動部分のシールを行う
第２のシール部は接触状態を維持して離脱しないことに
より嵌合時の変形負担が軽減されて耐久性が向上し、さ
らに、両シール部共にシール部材の摩耗が低減して発塵
が防止でき、塵埃付着による転写不良の発生を抑制でき
る。 【００１３】 【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にか
かる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面
図、図２は同ホルダーの密着状態を示す断面図である。
なお、各図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる
比率で示している。 【００１４】磁気転写装置のホルダー１０は、接離移動
可能な下側のベースチャンバー５と上側の押圧チャンバ
ー６とを備え、両者の接近に伴い第１のシール部７およ
び第２のシール部８により密閉形成される内部空間Ａ
に、スレーブ媒体２、マスター担体３、弾性材４を配置
して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスタ
ー担体３とを対峙密着させる。 【００１５】なお、図示していないが、磁気転写装置
は、ホルダー１０内の内部空間Ａのエアーを真空吸引し
内部を減圧状態として密着力を得る真空吸引手段と、ホ
ルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印
加装置とを備える。 【００１６】また、図示のホルダー１０は、水平方向に
配置したスレーブ媒体２の片面にマスター担体３を対峙
密着させ、片面逐次磁気転写を行う態様を示している
が、スレーブ媒体２およびマスター担体３を縦向きに配
置して磁気転写を行うようにしてもよい。また、スレー
ブ媒体２の両側にそれぞれマスター担体３，３を配置し
て両面に対峙密着させ、両面同時磁気転写を行うように
してもよい。ここで、対峙密着とは、接触密着、ごく僅
かな隙間を空けて対峙するこの双方の何れかを指すもの
とする。 【００１７】前記ベースチャンバー５は円盤状で、マス
ター担体３の外径より大きい円形状の内面５ａ（押圧
面）を有し、この内面５ａの中央部にマスター担体３の
下面を吸着などにより保持する。 【００１８】一方、押圧チャンバー６は、押圧円盤部６
１と周壁部６２とに分割構成されている。押圧円盤部６
１は円盤状で、外径はベースチャンバー５の外径より小
さく、その下面中央にはスレーブ媒体２の外径より大き
い内面６ａ（押圧面）を有し、この内面６ａにシート状
の弾性材４（クッション材）が取り付けられ、この弾性
材４の下面にスレーブ媒体２を吸着などにより保持す
る。 【００１９】一方、周壁部６２は軸方向に延びる筒状
で、上記押圧円盤部６１の外周部に嵌合されて軸方向
（接離方向）に移動可能である。この周壁部６２の外径
は上記ベースチャンバー５の外径とほぼ等しく、軸方向
の長さ（高さ）は押圧円盤部６１の高さ（厚み）より大
きく設けられ、その上端部には押圧円盤部６１の上面側
（内周方向）に突出した内フランジ部６２ａを有する。
この内フランジ部６２ａの下面と押圧円盤部６１の外周
部上面との間には、引っ張りバネによる付勢部材６３が
介装されている。 【００２０】そして、上記押圧チャンバー６における周
壁部６２の下端面に第１のシール部７が配置され、この
第１のシール部７によりベースチャンバー５の内面５ａ
（上面）との間の圧接シールを行う。つまり、周壁部６
２の下端面にＯリングによるシール部材７ａが装着さ
れ、該シール部材７ａがベースチャンバー５の内面５ａ
に圧接可能であり、この第１のシール部７により、内部
空間Ａの開閉用のシールが行われる。なお、上記シール
部材７ａはベースチャンバー５側に設置してもよい。 【００２１】また、前記押圧円盤部６１の外周面に第２
のシール部８が配置され、この第２のシール部８によ
り、押圧円盤部６１の外周に嵌合された周壁部６２の内
周面との間の摺動シールを行う。つまり、押圧円盤部６
１の外周面にＯリングによるシール部材８ａが装着さ
れ、該シール部材８ａが周壁部６２の内周面に圧接さ
れ、この第２のシール部８により、スレーブ媒体２とマ
スター担体３の密着のための押圧円盤部６１の軸方向移
動に伴う内部空間Ａの拡縮動作時の摺動用のシールが行
われる。なお、上記シール部材８ａは周壁部６２側に設
置してもよい。 【００２２】前記付勢部材６３は、周壁部６２を押圧円
盤部６１からベースチャンバー５の方向に付勢するもの
で、押圧チャンバー６がベースチャンバー５から離れた
状態では、常に周壁部６２が最下降位置にあるように付
勢している。 【００２３】なお、前記第２のシール部には、Ｏリング
によるシール部材８ａに代えて発塵性のない磁性流体シ
ールを使用してもよい。また、この磁性流体シールとＯ
リングとを併用してもよい。第１のシール部７について
も磁性流体シールを使用してもよい。これにより、シー
ル部分からの発塵がさらに抑えられる。他のシール機構
を採用してもよい。 【００２４】また、ベースチャンバー５の底面および押
圧チャンバー６の押圧円盤部６１の上面の中心位置に
は、それぞれ支持軸５ｃ，６ｃが突設され、不図示の装
置本体に支持されている。このベースチャンバー５およ
び押圧チャンバー６は図示しない回転機構に連係されて
支持軸５ｃ，６ｃを中心に一体に回転駆動される。 【００２５】また、図示していないが、ベースチャンバ
ー５の内面５ａには、内部空間Ａに連通する部分に、真
空吸引手段の排気口が開口されている。この排気口に連
通するエアー通路がベースチャンバー５内に形成され、
支持軸５ｃを通して外部に導出され、不図示の真空ポン
プに接続されている。また、押圧チャンバー６にも排気
口を形成して内部空間Ａの真空吸引を行うようにしても
よい。この真空吸引手段によるエアーの真空吸引によ
り、ホルダー１０内の内部空間Ａを所定の真空度に制御
する。これにより、スレーブ媒体２とマスター担体３と
が所定の密着圧力となるように設定されると共に、両者
の密着面のエアー抜きが行われ、密着性が高められる。
また、前記ホルダー１０の内部空間Ａの密着方向と直交
する内面５ａ，６ａの面積（真空吸引領域の実効的面
積）を、マスター担体３とスレーブ媒体２との接触面積
より例えば２〜３倍大きく形成することにより密着力を
増大して、所望の密着圧力を得るようになっている。 【００２６】なお、上記密着力の印加のために、ホルダ
ー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えても
よい。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロ
ッドの先端がホルダー１０の押圧チャンバー６における
支持軸６ｃに所定の押圧荷重を印加するように構成すれ
ばよい。 【００２７】前記ベースチャンバー５および押圧チャン
バー６の少なくとも一方が軸方向（図で上下方向）に移
動可能に支持され、両チャンバー５，６が互いに接離移
動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移
動においては、マスター担体３とスレーブ媒体２が密着
する前に、第１のシール部７のシール部材７ａがベース
チャンバー５の内面５ａに圧接して内部空間Ａを閉じ
る。この密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減
圧すると共に、押圧円盤部６１を周壁部６２に沿ってベ
ースチャンバー５側に移動させる。これに伴い内部空間
Ａが縮小し、付勢部材６３は伸張変形し、第２のシール
部８の摺動シールで内部空間Ａの密閉が保持される。そ
して、図２に示すように、第１のシール部７および第２
のシール部８により密閉維持された内部空間Ａに収容し
たスレーブ媒体２をマスター担体３上に押圧して密着さ
せる。なお、スレーブ媒体２はマスター担体３上にセッ
トするようにしてもよい。 【００２８】上記のようにホルダー１０は、第１のシー
ル部７がベースチャンバー５の内面５ａに圧接して内部
空間Ａを密閉した状態で、押圧チャンバー６の押圧円盤
部６１の内面６ａとベースチャンバー５の内面５ａとの
接離移動が可能なシリンダ構造に設けられている。ま
た、スレーブ媒体２、マスター担体３、弾性材４の厚み
が変化してスレーブ媒体２とマスター担体３との密着高
さが変更しても、密閉状態を確保できる。なお、ベース
チャンバー５を上記のようなシリンダ構造に設けて、第
２のシール部を設置するようにしてもよい。 【００２９】上記のようなホルダー１０を備えた磁気転
写装置によって磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２
の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また
垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このス
レーブ媒体２をマスター担体３と密着させ、初期直流磁
化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写
用磁界を印加して磁気転写を行う。 【００３０】スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気
記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度
フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用
される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金
属薄膜型磁気記録層で構成される。 【００３１】マスター担体３は円盤状ディスクに形成さ
れている。このマスター担体３は、基板上に形成された
微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面
がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成され
た転写情報担持面となる。これと反対側の面がベースチ
ャンバー５に吸着保持される。マスター担体３の基板と
しては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミ
ニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。
凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われ
る。軟磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッ
タリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手
段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録
とで、ほぼ同様のマスター担体３が使用される。 【００３２】弾性材４はスレーブ媒体２の背面（上面）
に接触して均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性
を有する材料により円盤状に形成され、押圧チャンバー
６に取り付けられる。弾性特性を有する材料としては、
シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジ
エンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹
脂などが使用できる。 【００３３】転写用磁界および必要に応じて初期磁界を
印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合に
は、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャッ
プを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッ
ド電磁石がホルダー１０の両側に配設されてなり、両側
で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁
界を印加する。ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒
体２とマスター担体３の全面に転写用磁界を印加する。
磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁
界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、
永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。ま
た、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電
磁石または永久磁石をホルダー１０の両側に配置し、垂
直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁
界を印加するものでは、ホルダー１０を移動させるか磁
界を移動させて全面の磁気転写を行う。 【００３４】次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気
転写装置のホルダー１０では、同じマスター担体３によ
り複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うもので
あり、まずベースチャンバー５および押圧チャンバー６
にマスター担体３および弾性材４を位置を合わせて保持
させておく。この押圧チャンバー６とベースチャンバー
５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向
の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わ
せてセットした後、押圧チャンバー６をベースチャンバ
ー５に接近移動させる。 【００３５】そして、押圧チャンバー６の第１のシール
部７がベースチャンバー５に接触することによりホルダ
ー１０の内部空間Ａを閉じ、第２のシール部８と共に密
閉する。スレーブ媒体２とマスター担体３とが押圧状態
となる前に、真空吸引手段により内部空間のエア排出を
行って減圧し、内部を所定の真空度とすると共に、さら
に押圧チャンバー６の押圧円盤部６１を第２のシール部
８の摺動シールを行いつつ、周壁部６２に沿って下降作
動させる。スレーブ媒体２の背面にマスター担体３が接
触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧
力で、弾性材４を介してベースチャンバー５に向けてス
レーブ媒体２とマスター担体３とに均一かつ平行に密着
力を加え、所定の密着圧力で密着させる。 【００３６】その後、ホルダー１０の両側に磁界印加装
置を接近させ、ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装
置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加
し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パター
ンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。 【００３７】上記磁気転写時に印加された転写用磁界
は、マスター担体３の転写パターンにおけるスレーブ媒
体２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込ま
れ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せず
その他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合には
この部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は
反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３の
転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。 【００３８】上記実施形態によれば、ホルダー１０の両
チャンバー５，６内の内部空間Ａを密閉状態とするシー
ル部分を、開閉用の第１のシール部７と、密着力印加時
の摺動用の第２のシール部８とに別の部位に分離配置し
たことにより、それぞれのシール部７，８におけるシー
ル部材７ａ，８ａの負担が軽減され、耐久性が向上でき
ると共に、摩耗に伴う塵埃の発生を抑制でき、良好な磁
気転写を長時間維持でき、シール部材７ａ，８ａの交換
工程の削減による処理効率の向上、マスター担体３の長
寿命化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置
のホルダーの開状態を示す概略断面図 【図２】図１のホルダーの密着状態を示す概略断面図 【符号の説明】 10 ホルダー ２ スレーブ媒体 ３ マスター担体 ４ 弾性材 ５ ベースチャンバー ６ 押圧チャンバー Ａ 内部空間 ７ 第１のシール部 ８ 第２のシール部 7a,8a シール部材 61 押圧円盤部 62 周壁部 63 付勢部材
のホルダーの開状態を示す概略断面図 【図２】図１のホルダーの密着状態を示す概略断面図 【符号の説明】 10 ホルダー ２ スレーブ媒体 ３ マスター担体 ４ 弾性材 ５ ベースチャンバー ６ 押圧チャンバー Ａ 内部空間 ７ 第１のシール部 ８ 第２のシール部 7a,8a シール部材 61 押圧円盤部 62 周壁部 63 付勢部材
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 接離移動するベースチャンバーと押圧チ
ャンバーとの間に開閉される内部空間に、転写情報を担
持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収
容して対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおい
て、 前記内部空間の開閉用のシールを行う第１のシール部
と、収容した前記マスター担体とスレーブ媒体とに圧力
を印加するための密着用の摺動シールを行う第２のシー
ル部とを異なる部位に配置したことを特徴とする磁気転
写装置のホルダー。
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