KR20020087855A - 자기전사용 마스터담체 - Google Patents

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KR20020087855A
KR20020087855A KR1020020025776A KR20020025776A KR20020087855A KR 20020087855 A KR20020087855 A KR 20020087855A KR 1020020025776 A KR1020020025776 A KR 1020020025776A KR 20020025776 A KR20020025776 A KR 20020025776A KR 20020087855 A KR20020087855 A KR 20020087855A
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KR1020020025776A
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니시카와마사카주
아오키마사시
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후지 샤신 필름 가부시기가이샤
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Abstract

자기전사용 마스터담체를 사용한 자기전사에 있어서, 슬레이브 매체에 전사되는 자기정보의 신호누락의 발생을 방지한다.
길이 50㎜, 임의의 폭, 두께d의 좁고 긴 직사각형 형상의 것에서의 진동리드법에 의해 구해지는 영율E을 이용하여, 폭b=1m·임의의 길이의 시료편에 대해서의 「굽힘강성= Ebd3/12」의 식에 대입하여 얻어지는 값이 0.03N·m2이하의 범위내이도록 기체 및 두께의 마스터담체를 사용하여 자기전사를 행한다.

Description

자기전사용 마스터담체{MASTER CARRIER FOR MAGNETIC TRANSFER}
본 발명은, 자기기록매체에 정보를 전사하기 위한 패턴형상의 자성층을 구비한 자기전사용 마스터담체에 관한 것이다.
자기기록매체에 있어서는 일반적으로, 정보량의 증가에 따라, 많은 정보를 기록하는 대용량이고, 저가이고, 또한, 바람직하게는 단시간에 필요한 곳을 읽어내는, 소위 고속접근이 가능한 매체가 바람직하다. 그들의 일예로서 하드디스크장치나 플랙시블 디스크(flexible disk)장치에 사용되는 고밀도 자기기록매체(자기디스크매체)가 알려지고, 그 대용량화를 실현하기 위해서는, 좁은 트랙폭을 정확하게 자기헤드가 주사하고, 높은 S/N비로 신호를 재생한다. 소위 트래킹 서보(tracking servo)기술이 큰 역할을 담당하고 있다. 이 트래킹 서보를 행하기 위해, 자기디스크 중에, 트래킹용의 서보신호, 어드레스 정보신호, 재생클록신호 등이, 소위 프리포맷(preformate)으로서 기록되어 있다.
이 프리포맷을 정확하게 또한 효율적으로 행하는 방법으로서, 마스터담체가 담지하는 서보신호 등의 정보를 자기기록매체로 자기적으로 전사하는 자기전사방법이 일본특허공개 소63-183623호 공보, 일본특허공개 평10-40544호 공보, 일본특허공개 평10-269566호 공보등에 개시되어 있다.
이 자기전사는, 자기기록매체(슬레이브 매체)로 전사하도록 정보에 대응하는 요철패턴을 갖는 마스터담체를 준비하고, 이 마스터담체와 슬레이브 매체를 밀착시킨 상태에서, 전사용 자계를 인가하는 것에 의해, 마스터담체의 요철패턴이 담지하는 정보(예컨데 서보신호)에 대응하는 자기패턴을 슬레이브 매체에 전사함으로써, 마스터담체와 슬레이브 매체의 상대적인 위치를 변화시키지 않고 정적으로 기록을 행할 수 있고, 정확한 프리포맷 기록이 가능하고, 게다가 기록에 필요한 시간도 극히 단시간이라는 이점을 보유하고 있다.
상기 자기전사에 있어서의 전사품질을 높이기 위해서는, 마스터담체와 슬레이브 매체의 면 간격을 똑같게 할 필요가 있고, 전체면에 걸쳐서 똑같은 거리를 유지하는 것이 곤란하기 때문에 양자를 밀착시키도록 하는 것이 일반적이다. 또한, 이러한 밀착시에도 전체면에 걸쳐서 어떻게 한결같이 밀착시키는가가 중요하다. 요컨데 일부에라도 밀착불량한 부분이 있으면, 그 부분이 자기전사가 일어나지 않는 영역으로 되고, 자기전사가 일어나지 않으면 슬레이브 매체에 전사시킨 자기정보에 신호누락이 발생하여 신호품위가 저하하고, 기록한 신호가 서보신호인 경우에는 트래킹 기능이 충분히 얻어지지 않게 신뢰성이 저하한다는 문제가 발생한다.
밀착성 향상의 수단으로서, 일본특허공개 평7-78337호 공보에는, 마스터담체의 배면전체를 강성체에 의한 압접수단으로 균등한 압력으로 압압하여 슬레이브 매체와 마스터담체의 밀착성을 높이도록 한 기술이 개시되어 있다.
그러나, 통상 마스터담체는 리소그래피법, 스탬퍼법 등을 사용하여 제작되고, 이들 방법으로 제작된 마스터담체는, 수십 미크론에서 수백 마이크로 정도의 휨을 보유하고 있기 때문에, 전체면에 걸쳐서 균일한 압력을 인가하는 것이 곤란한 것을 알았다.
그래서, 마스터담체의 휨을 교정하고, 평탄한 마스터담체면을 실현하여 전체면에 대하여 균일한 압력을 인가하기 위해, 본 출원인은, 일본특허출원 제2000-275838호에 있어서, 마스터담체용 스테이지(stage)에 진공흡인 시스템을 도입하고, 마스터담체의 평탄화를 행하는 자기전사장치를 제안하고 있다.
그러나, 마찬가지의 휨을 갖는 마스터담체를 사용한 경우에도 개개의 마스터담체에 의하여 평탄성에 우열이 발생하고, 충분하게 평탄화할 수 없다는 것을 명백하게 알았다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여, 자기전사에 있어서의 신호누락을 저감하여 신호품질을 향상시킬 수 있는 자기전사용 마스터담체 및 자기전사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 매체와 마스터담체를 나타낸 사시도,
도 2는 자기전사방법의 기본공정을 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 마스터담체를 사용하여 자기전사를 행하는 자기전사장치의 주요부 사시도,
도 4는 도 3에 나타낸 밀착체의 분해사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 자기전사장치 2 : 슬레이브 매체
3,4 : 마스터담체 5 : 전자석장치
10 : 밀착체
본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 자기기록매체의 자성층에 대하여 정보를 전사하기 위한 패턴형상의 자성층을 보유하는 자기전사용 마스터담체로서,
이 자기전사용 마스터담체의 영율(Young's modulus)E, 두께d에 의해 규정되고, 시료편폭1m로 정의한 경우의 굽힘강성=Ed3/12가, 0.03N·㎡이하의 범위인 것을 특징으로 한다.
또한, 여기서, 영율은, 진동리드법에 의해 측정하여 얻어지는 값을 사용한다. 마스터담체로부터 길이L=50㎜, 두께d의 좁고 긴 직사각형 형상의 시료를 잘라내고, 한쪽 끝을 고정한다. 이 한끝을 고정한 상태에서 좁고 긴 직사각형 형상 시료에 대하여 진동을 주고, 공명주파수f를 측정한다. 영율E은 공명주파수f와
E=3ρf2(4πL2/αd)2
의 관계에 있는 것이 알려져 있고, 이 관계식으로부터 영율E를 산출한다. 또한, 여기서, ρ는 밀도, α는 정수(1.875)이다. 이 영율E과, 시료편폭b, 시료두께d를,
굽힘강성=Ebd3/12
의 식에 대입함으로써, 굽힘강성의 값이 얻어진다. 본 발명은, 시료편폭을 1m로 정의한 경우의 굽힘강성의 최적 범위를 규정한 것이다.
이하, 도면을 이용하여 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 우선, 마스터담체를 사용하여 슬레이브 매체(자기기록매체)로 정보를 전사하는 자기전사의 기체공정을 도 1 및 도 2에 기초하여 설명한다.
도 1은, 슬레이브 매체(2)와 마스터담체(3,4)를 나타내는 사시도이다. 슬레이브 매체(2)는, 예컨데, 고밀도 플랙시블 디스크, 하드디스크장치에서 사용되는 하드디스크 등의 원반형상의 자기기록매체이고, 비자성체로 이루어지는 원반형상의 베이스(2c)의 양면에 자성체층이 형성된 기록면(2d, 2e)을 갖는 것이다.
또한, 마스터담체(3,4)는, 강체에 의해 원반형상 디스크에 형성되고, 그 한쪽면에 상기 슬레이브 매체(2)의 기록면(2d,2e)에 밀착되는 미세요철 패턴이 형성되어서 이루어지는 전사정보 담체면을 갖는 것이다. 마스터담체(3,4)는 각각 슬레이브 매체(2)의 하측 기록면(2d), 상측 기록면(2e)용의 요철패턴이 형성되어 있다. 요철패턴은, 마스터담체(3)를 예로 들면, 도면 중 점선으로 둘러싸여진 도넛형의 영역에 형성되어 있다. 또한, 도 1에 나타내는 마스터담체(3,4)는, 요철패턴이 형성된 기판(31,41)과 그 요철패턴 상에 형성된 연자성층(32,42)으로 구성되지만, 기판(31,41)이 Ni등에 의한 강자성체인 경우에는 기판만으로 자기전사 가능하고, 반드시 연자성층(32,42)을 피복하지 않아도 좋다. 단, 전사특성이 양호한 자성층을 형성하는 것에 의해 양호한 자기전사을 행할 수 있다. 또한, 기판이 비자성체인 경우는 자성층을 형성할 필요가 있다.
또한 최상층에 다이아몬드상 카본(DLC:Diamond-Like Carbon) 등의 보호막을 피복하면, 이 보호막에 의해 접촉내구성이 향상하여 다수회의 자기전사가 가능하게 된다. 또는, 밀착성을 향상시키기 위해 DLC보호막의 하층에 Si막을 스퍼터링(sputtering) 등으로 형성하도록 하여도 좋다.
도 2는, 이 자기전사의 기체공정을 설명하기 위한 도면이고, 도 2의 (a)는 자장을 한쪽방향으로 인가하여 슬레이브 매체의 자성층을 초기 직류자화하는 공정, (b)는 마스터담체와 슬레이브 매체를 밀착하여 전사자계를 인가하는 공정, (c)는 자기전사의 슬레이브 매체의 자성층의 자화상태를 각각 나타내는 도면이다. 또한, 도 2에 있어서 슬레이브 매체(2)에 대해서는 그 하면 기록면(2d)만을 나타내고 있다.
도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 미리 슬레이브 매체(2)에 초기 자계Hin을 트랙방향의 한쪽방향으로 인가하여 그 자성층(2d)의 자화를 트랙방향의 한쪽방향으로 초기자화시킨다. 그 후, 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 이 슬레이브 매체(2)의 기록면(2d)과 마스터담체(2)의 기판(31)의 미세요철 패턴에 자성층(32)이 피복되어서 이루어지는 정보담지면을 밀착시키고, 슬레이브 매체(2)의 트랙방향에 상기 초기 자계Hin과는 역방향으로 전사용 자계Hdu를 인가하여 자기전사를 행한다. 그 결과, 도 2의 (c)에 나타내는 바와 같이, 슬레이브 매체(2)의 자성층(2d)에는 마스터담체(3)의 정보담지면의 요철패턴에 따른 정보(예컨데 서보신호)가 자기적으로 전사기록된다. 여기서는, 슬레이브 매체(2)의 하측 기록면(2d)과 하측 마스터담체(3)에 대하여 설명하였지만, 도 1에 나타내는 바와 같이, 슬레이브 매체(2)의 상측 기록면(2e)에 대해서도 상측 마스터담체(4)와 밀착시켜서 마찬가지로 자기전사를 행한다. 슬레이브 매체(2)의 상하 기록면(2d, 2e)으로의 자기전사는 동시에 되어도 좋고, 한쪽면씩 순차적으로 되어도 좋다.
또한, 마스터담체(3)의 요철패턴이 도 2의 포지티브패턴과 역의 요철형상의 네가티브 패턴인 경우로서도, 초기자계Hin의 방향 및 전사용 자계Hdu의 방향을 상기와 역방향으로 하는 것에 의해 마찬가지의 정보를 자기적으로 전사기록할 수 있다. 또한, 초기 자계 및 전사용 자계는, 슬레이브 매체의 보존력, 마스터담체 및 슬레이브 매체의 비유전율을 감안하여 정해진 값을 채용할 필요가 있다.
이하에, 본 발명의 마스터담체 및 슬레이브 매체에 대하여 보다 상세하게 설명한다.
상술한 바와 같이, 마스터담체는, 기본적으로 요철패턴을 갖는 기판과 이 기판상에 형성된 연자성층으로 이루어지는 것이다.
마스터담체의 기판으로서는, 니켈, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄, 합금, 세라믹스, 합성수지 등을 사용한다. 요철패턴의 형성은, 스탬퍼법, 포토리소그래피법 등에 의해 행해진다. 기판의 요철패턴의 깊이(돌기의 높이)는, 80㎚∼800㎚ 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 150㎚∼600㎚이다. 이 요철패턴이 서보신호인 경우는, 반경방향으로 길게 형성된다. 예컨데, 반경방향의 길이는 0.05∼20㎛, 원주방향은 0.05∼5㎛가 바람직하고, 이 범위에서 반경방향 쪽이 길고 패턴을 선택하는 것이 서보신호의 정보를 담지하는 패턴으로서 바람직하다.
또한, 연자성층의 자성재료로서는, Co, Co합금(CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr 등),Fe, Fe합금(FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni합금(NiFe) 등이 사용된다. 특히 바람직한 것은 FeCo, FeCoNi이다. 이 연자성층은, 자성재료를 진공증착법, 스퍼터링법, 이온도금법 등의 진공성막수단, 도금법 등에 의해 막형성된다. 유자성층의 두께는, 50㎚∼500㎚의 범위가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 150㎚∼400㎚이다.
또한, 본 발명의 마스터담체는, 길이 50㎚, 임의 폭, 두께d의 좁고 긴 직사각형 형상의 것으로의 진동리드법에 의해 구해지는 영율E을 사용하고, 폭b=1m으로 임의의 길이의 시료편에 대해서의
굽힘강성=Ebd3/12
의 식에 대입하여 얻어지는 값이 0.03N·m2이상, 27N·m2이하의 범위내인 것과 같은 기체를 사용하여 구성된다. 여기서, 기체란 기판과 그 위에 형성된 유자성층으로 이루어지는 것이고, 두께d는 기판저면으로부터 요철패턴의 오목부저면(유자성층의 오목부의 저부표면)까지의 거리이다.
슬레이브 매체(2)는, 상술한 바와 같이, 하드디스크, 고밀도 플랙시블 디스크 등의 원반형상 자기기록매체이고, 그 자기기록층으로서는, 도포형 자기기록층 또는 금속박막형 자기기록층이 형성되어 있다. 또한, 금속박막형 자기기록층의 자성재료로서는, Co, Co합금(CoPtCr, CoCr, CoPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB, CoNi 등), Fe, Fe합금(FeCo, FePt, FeCoNi)을 사용할 수 있다. 또한, 자성재료의 하(지지체측)에 필요한 자기이방성을 붙이기 위해 비자성의 하지층을 형성하는 것이 바람직하다. 이 비자성의 하지층은, 결정구조와 격자정수를 자기기록층에 맞추는 것이 필요하고, 그와 같은 재료로서는, Ti, Cr, CrTi, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru, Pd 등이 예시된다.
이하, 구체적인 자기전사방법에 대해서 설명한다. 도 3은 본 발명의 자기전사방법을 실시하기 위한 자기전사장치를 나타내는 주요부 사시도이다. 도 4는 자기전사장치에 삽입되는 밀착체의 분해사시도이다.
도 3 및 도 4에 나타낸 자기전사장치(1)는 양면 동시전사를 행하는 것이고, 슬레이브 매체(2)의 상하에 마스터담체(3,4)를 압접밀착시킨 밀착체(10)를 회전시키면서, 이 밀착체(10)의 상하에 설치한 전자석장치(5)(자계발생장치)에 의해 전사용 자계를 인가하여, 마스터담체(3,4)가 담지하는 정보를 자기적으로 슬레이브 매체(2)의 양면에 동시에 전사기록하는 것이다.
밀착체(10)는, 슬레이브 매체(2)의 하측 기록면(2d)에 서보신호 등의 정보를 전사하는 하측 마스터담체(3)와, 슬레이브 매체(2)의 상측 기록면(2e)에 서보신호 등의 정보를 전사하는 상측 마스터담체(4)와, 상기 하측 마스터담체(3)를 흡착보존하여 평탄성을 교정하는 하측 교정부재(6)를 구비한 하측 압접부재(8)와, 상기 상측 마스터담체(4)를 흡착유지하여 평탄성을 교정하는 상측 교정부재(7)(하측 교정부재(6)와 같은 구성)를 구비한 상측 압접부재(9)를 구비하고, 이들은 중심위치를 맞춘 상태에서 압접되고, 슬레이브 매체(2)의 양면에 하측 마스터담체(3)와 상측 마스터담체(4)를 밀착시킨다.
상기 하측 마스터담체(3) 및 상측 마스터담체(4)는, 미세요철패턴이 형성된전사정보 담지면과는 반대측의 면이 하측 교정부재(6) 및 상측 교정부재(7)에 진공흡착유지된다. 이 하측 마스터담체(3) 및 상측 마스터담체(4)는, 필요에 따라 슬레이브 매체(2)의 밀착성을 높이기 위해, 미세요철패턴의 형성부 이외의 위치이고 또한 후술의 교정부재(6,7)의 흡기구멍으로 연통하지 않는 위치에 미세한 구멍이 표리(表裏)를 관통하여 형성되고, 슬레이브 매체(2)와의 밀착면간의 공기를 흡인배출하도록 설치되어 있다. 이 때, 본 발명의 마스터담체의 상술한 바와 같이 요철패턴형상에 의해 슬레이브 매체(2)와의 사이의 공기는 완전히 흡인배출되기 때문에, 밀착성은 매우 양호하게 된다.
하측 교정부재(6)(상측 교정부재(7)도 같음)는, 마스터담체(3)의 크기에 대응한 원반형상으로 형성되고, 그 표면이 중심선 평균표면 조도Ra가 0.01∼0.1㎛정도의 평면도로 평탄하게 이루어진 흡착면(6a)으로 되어있다. 이 흡착면(6a)에는, 직경 약2㎜이하의 흡기구멍(6b)이 약 25∼100개 거의 균등하게 개구하여 있다. 도시하지 않지만, 이 흡기구멍(6b)에는 교정부재(6)의 내부를 통과해서 하측 압착부재(8)의 외부로 연통된 흡기통로를 지나서 진공펌프에 접속되고, 이 진공펌프에 의한 흡인에 의해 흡착면(6a)에 밀착된 마스터담체(3)의 배면을 진공흡착하고, 이 마스터담체(3)의 평탄성을 흡착면(6a)을 따라서 교정한다.
하측 압접부재(8) 및 상측 압접부재(9)는 원반형상이고 한쪽 또는 양쪽이 축방향으로 이동가능하게 설치되어 도시하지 않은 개폐기구(압압기구, 체결기구 등)에 의해 개폐작동하는 것이고, 서로 소정 압력으로 압접된다. 외주에는 플랜지부(8a, 9a)를 가지며 폐쇄작동시에는 상하의 압접부재(8,9)의 플랜지부(8a,9a)가 당접하여 내부를 밀폐상태로 유지한다. 하측 압접부재(8)의 중심부에는, 슬레이브 매체(2)의 중심구멍에 결합하여 위치결정하는 볼록부(8b)가 형성되어 있다. 또한, 하측 압접부재(8) 및 상측 압접부재(9)는 도시하지 않은 회전기구에 연계되어서 일체로 회전구동된다.
1세트의 하측 마스터담체(3) 및 하측 마스터담체(4)를 사용하여, 복수의 슬레이브 매체에 대한 자기전사를 행하기 때문에, 밀착체(10)에 있어서는, 하측 교정부재(6) 및 상측 교정부재(7)의 흡착면(6a)에 각각 중심위치를 맞추어 하측 마스터담체(3) 및 상측 마스터담체(4)를 각각 진공흡착하여 유지되어 있고, 상측 압접부재(9)와 하측 압접부재(8)를 이간한 개방상태이고, 슬레이브 매체(2)의 세팅 및 교체를 행한다. 미리 트랙방향의 한쪽방향으로 초기 직류자화된 슬레이브 매체(2)를 중심위치를 맞추어 세팅한 후, 상측 압접부재(9)와 하측 압접부재(8)를 접근시켜서 폐쇄작동하고, 슬레이브 매체(2)의 양면에 마스터담체(3,4)를 밀착시킨다. 그 후, 상하의 전자석장치(5)의 이동 또는 밀착체(10)의 이동에 의해, 밀착체(10)의 상하면에 상하의 전자석장치(5)를 접근시킨다. 밀착체(10)를 회전시키면서, 슬레이브 매체(2)의 초기자화의 방향과 반대방향의 전사용 자계Hdu를 인가한다. 이 전사용 자계Hdu의 인가에 의해, 하측 마스터담체(3) 및 상측 마스터담체(4)의 요철패턴면이 담지한 전사정보가 슬레이브 매체(2)의 기록면에 자기적으로 전사기록된다.
상술한 바와 같이 본 발명에서 규정하는 굽힘강성를 갖는 마스터담체를 사용하고, 진공흡입을 이용하여 슬레이브 매체와 마스터담체를 밀착시키도록 하면, 양호한 밀착성을 얻을 수 있고, 자기전사시의 신호누락의 발생을 방지하여 전사품위를 높일 수 있다.
또한, 여기서는 양면 동시전사을 행하는 경우의 실시형태에 대하여 설명하였지만, 한쪽면씩 순차전사를 행할 수도 있다. 또한, 한쪽면 전사는 슬레이브 매체와 마스터담체의 위치결정이 용이하다는 효과가 있다.
다음으로, 본 발명의 자기전사용 마스터담체의 구체적인 실시예를 사용하여 행한 자기전사에 있어서의 전사정밀도의 평가를 행한 결과를 설명한다.
이하의 실제 검사에 사용한 슬레이브 매체로서는, 진공성막장치(시바우라메카트로닉스사:S-50S스패터장치)에 의해, 실온에서 1.33×10-5Pa(10-7Torr)까지 감압한 후에, 아르곤을 도입하여 0.4Pa(3×10-3Torr)로 한 조건하에서, 유리판을 200℃에서 가열하고, 연자성층으로 이루어지는 배킹(backing)층으로서 NiFe를 300㎚, 비자성하지층으로서 Ti를 30㎚, 자기기록층으로서 CoCrPt를 30㎚ 순차적층하고, 포화자화Ms:5.7T(4700Gauss), 보자력Hcs:199kA/m(25000e)의 3.5인치형의 원반형상 자기기록매체를 제작하여 사용하였다.
전사정밀도의 평가는 신호누락의 곳의 개수를 세었다. 자기전사를 행한 슬레이브 매체를 자기현상액(시그마하이케미칼사 제품 시그마카-Q)을 10배로 희석하고, 슬레이브 매체상에 적하, 건조시키고, 현상된 자기전사신호끝의 변동량을 평가하였다. 미분간섭형 현미경으로 50배의 확대율로 슬레이브 매체상을 무작위로 100시야 관측하고, 이 100시야 중에 신호누락이 5곳 미만이면 양호(O), 5곳 이상이면 불량(X)으로 평가하였다. 또한, 신호누락의 수는 1시야 중에 복수존재하는 경우도있다.
이하, 실시예1∼4 및 비교예1,2로서 사용되는 각 마스터담체에 대하여 설명한다. 각각의 마스터담체는, 스탬퍼법 또는 리소그래피기술에 의해 제작되었고, 원반 중심으로부터 반경방향 20∼40㎜ 범위에, 폭 0.5㎛ 방사형상 라인으로, 라인간격이 원반중심으로부터 반경방향 20㎜인 최내주 위치에서 0.5㎛간격의 요철패턴을 갖는 원반형상의 기판을 구비하여 이루어지는 것이다.
실시예1의 마스터담체는, 스탬퍼법에 의해 제작된 원반형상의 Ni기판상에 FeCo 30at%를 재료로서 스패터법에 의해 연자성층이 형성되어 이루어지는 것도 있다. 또한, 연자성층 형성시의 스패터 조건은, Ar스패터압을 1.5×10-4Pa(1.08 mTorr), 투입압력을 2.80W/㎠로 하였다. 또한, 본 실시예의 마스터담체는, 마스터담체 두께 d=0.3㎜로 되도록 제작된 것이다. 또한, 여기서 마스터담체 두께는 기판저면으로부터 연자성층의 요철의 오목부저면까지의 두께이다(이하 같음).
실시예2의 마스터담체는, 상기 실시예1의 마스터담체와 같이 스탬퍼법에 의해 제작된 원반형의 Ni기판상에 FeCo 30at%를 재료로서 스패터법에 의해 연자성층이 형성되어 이루어지는 것이다. 단, 본 실시예의 마스터담체는, 마스터담체 두께 d=0.15㎜로 되도록 제작된 것이다.
실시예3의 마스터담체는, 상기 실시예1의 마스터담체와 같이 스탬퍼법에 의해 제작된 원반형의 Ni기판상에 FeCo 30at%를 재료로서 스패터법에 의해 연자성층이 형성되어 이루어지는 것이다. 단, 본 실시예의 마스터담체는, 마스터담체 두께d=0.5㎜로 되도록 제작된 것이다.
실시예4의 마스터담체는, 리소그래피기술을 사용하여 요철형상이 제작된 원반형상의 석영기판상에 실시예1과 같은 스패터법에 의해 연자성이 형성되어서 이루어지는 것이다. 또한, 본 실시예의 마스터담체는, 마스터담체 두께 d=0.9㎜로 되도록 제작된 것이다.
비교예1의 마스터담체는, 상기 실시예1의 마스터담체와 같이 스탬퍼법에 의해 제작된 원반형의 Ni기판상에 FeCo30at%를 재료로서 스패터법에 의해 연자성층이 형성되어 이루어지는 것이다. 단, 본 실시예의 마스터담체는, 마스터담체 두께 d=0.08㎜로 되도록 제작된 것이다.
비교예2의 마스터담체는, 상기 실시예4의 마스터담체와 같이 리소그래피기술을 사용하여 요철형상이 제작된 원반형상의 석영기판상에 실시예1과 같은 스패터법에 의해 연자성이 형성되어서 이루어지는 것이다. 단, 본 비교예의 마스터담체는, 마스터담체 두께d=1.2㎜로 되도록 제작된 것이다.
각 실시예 및 비교예의 마스터담체를 사용하여 상술한 슬레이브 매체에 대한 자기전사를 행하고, 각각 신호누락수에 기인한 평가를 행하였다. 그 결과를 표 1에 나타낸다. 또한, 표 1에는 각 마스터담체의 소재에 대하여, 진동리드법에 의해 구해진 영율E 및 두께d를 사용하고, 1m폭으로 정의한 경우의 굽힘강성를 나타낸다. 실시예1∼4는 본 발명에 규정하는 굽힘강성의 범위값을 가지며, 비교예1 및 2는 본 발명에 규정하는 굽힘강성의 범위외의 값을 가진다.
두께d 1m폭당의 굽힘강성(Nm2) 신호누락수(개) 평가
실시예1 0.3 0.45 2 O
실시예2 0.15 0.06 1 O
실시예3 0.5 2.08 2 O
실시예4 0.9 12.15 2 O
비교예1 0.08 0.009 143 X
비교예2 1.2 28.8 53 X
표 1에 나타낸 바와 같이, 실시예1∼4의 마스터담체를 사용한 경우, 신호누락수가 1 또는 2로 매우 작은 밀착정밀도가 양호하였다. 한편, 비교예1 및 2의 마스터담체를 사용한 경우에는, 신호누락이 매우 많고, 요컨데 밀착정밀도가 불량이었다.
본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 1m폭당 굽힘강성=Ed3/12가, 0.03N·m2이상, 27N·m2이하 범위의 기체에 의해 형성되어 있고, 이 굽힘강성를 370N·m2이하로 하는 것에 의해, 자기기록매체와 밀착시킬 때에 진공흡인 시스템을 도입한 때의 마스터담체의 평탄화를 촉진할 수 있고, 자기기록매체와의 밀착성을 향상시킬 수 있고, 또한, 0.03N·m2이상으로 하는 것에 의해, 진공흡인을 했을 때에 마스터담체의 흡인부분이 변형하기 때문에 자기기록매체와의 밀착성이 저하한다는 문제를 회피할 수 있고, 양호한 밀착성을 유지할 수 있다.
본 발명의 자기전사용 마스터담체를 사용하면, 자기기록매체와 양호한 밀착상태로 자기전사를 행할 수 있고, 자기기록매체에 전사시키는 자기정보에 있어서의 신호누락의 발생을 억제하고, 신호품위를 향상시킬 수 있다.

Claims (8)

  1. 자기기록매체의 자성층에 대하여 정보를 전사하기 위한 패턴형상의 자성층을 보유하는 자기전사용 마스터담체로서,
    이 자기전사용 마스터담체의 영율E, 두께d에 의해 규정되고, 시료편폭을 1m로 정의한 경우의 굽힘강성=Ed3/12가, 0.03N·m2이상, 27N·m2이하의 범위인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 영율E은, 진동리드법에 의해 측정하여 얻어지는 값으로서, 상기 마스터담체로부터 길이L=50㎜, 두께d의 좁고 긴 직사각형 형상의 시료를 잘라내어, 한쪽 끝을 고정하고, 이 한쪽 끝을 고정한 상태에서 좁고 긴 직사각형 형상의 시료에 대하여 진동을 주어, 공진주파수f를 측정하고, 영율E와 공진주파수f의 관계식
    E=3ρf2(4πL2/αd)2ρ는 밀도, α는 정수(α=1.875)
    를 이용하여 산출된 것임을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 정보에 따른 패턴형상의 요철을 표면에 갖는 기판과, 이 기판상에 적어도 볼록부표면에 배치된 자성층을 구비하여 이루어지고, 상기 볼록부표면에 배치된 자성층에 의해 상기 패턴형상의 자성층이 구성되어서 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  4. 제1항에 있어서, 상기 정보가, 서보신호인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  5. 제2항에 있어서, 상기 정보에 따른 패턴형상의 요철을 표면에 갖는 기판과, 이 기판상의 적어도 볼록부표면에 배치된 자성층을 구비하여 이루어지고, 상기 볼록부표면에 배치된 자성층에 의해 상기 패턴형상의 자성층이 구성되어서 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  6. 제2항에 있어서, 상기 정보가, 서보신호인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  7. 제3항에 있어서, 상기 정보가, 서보신호인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
  8. 제5항에 있어서, 상기 정보가, 서보신호인 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.
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