JP2003036523A

JP2003036523A - 磁気転写用マスター担体

Info

Publication number: JP2003036523A
Application number: JP2002140331A
Authority: JP
Inventors: Shoichi Nishikawa; 正一西川; Michifumi Aoki; 理史青木
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2001-05-15
Filing date: 2002-05-15
Publication date: 2003-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気転写用マスター担体を用いた磁気転写にお
いて、スレーブ媒体に転写される磁気情報の信号抜けの
発生を防止する。【解決手段】長さ50ｍｍ、任意の幅、厚みｄの短冊形
状のものでの振動リード法により求められるヤング率Ｅ
を用い、幅ｂ＝１ｍ・任意の長さの試料片についての
「曲げ堅さ＝Ｅｂｄ³／12」の式に代入して得られる値
が0.03Ｎ・ｍ²以上、27Ｎ・ｍ²以下の範囲内であるよう
な基体および厚みのマスター担体を用いて磁気転写を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に情
報を転写するためのパターン状の磁性層を備えた磁気転
写用マスター担体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体においては一般に、情報量
の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価
で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せ
る、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれてい
る。それらの一例としてハードディスク装置やフレキシ
ブルディスク装置に用いられる高密度磁気記録媒体（磁
気ディスク媒体）が知られ、その大容量化を実現するた
めには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、
高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキング
サーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキン
グサーボを行うために、磁気ディスク中に、トラッキン
グ用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信
号等が、いわゆるプリフォーマットとして記録されてい
る。

【０００３】このプリフォーマットを正確にかつ効率よ
く行う方法として、マスター担体が担持するサーボ信号
等の情報を磁気記録媒体へ磁気的に転写する磁気転写方
法が特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４
０５４４号公報、特開平１０−２６９５６６号公報等に
開示されている。

【０００４】この磁気転写は、磁気記録媒体（スレーブ
媒体）に転写すべき情報に対応する凹凸パターンを有す
るマスター担体を用意し、このマスター担体とスレーブ
媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加することに
より、マスター担体の凹凸パターンが担持する情報（例
えばサーボ信号）に対応する磁気パターンをスレーブ媒
体に転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との
相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うこ
とができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、
しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利
点を有している。

【０００５】上記磁気転写における転写品質を高めるた
めには、マスター担体とスレーブ媒体の面間隔を一様な
ものとする必要があり、全面に亘って一様な距離を保つ
のが困難であるために両者を密着させるようにするのが
一般的である。なお、この密着時にも全面にわたってい
かに一様に密着させるかが重要である。つまり一部にで
も密着不良な部分があると、その部分が磁気転写が起こ
らない領域となり、磁気転写が起こらないとスレーブ媒
体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位
が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッ
キング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという
問題が生じる。

【０００６】密着性向上の手段として、特開平７−７８
３３７号公報には、マスター担体の背面全体を弾性体に
よる圧接手段で均等な圧力で押圧してスレーブ媒体とマ
スター担体との密着性を高めるようにした技術が開示さ
れている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常マ
スター担体はリソグラフィー法、スタンパー法等を用い
て作製され、これらの方法で作製されたマスター担体
は、数十ミクロンから数百ミクロン程度の反りを有して
いるために、全面に亘って均一な圧力を印加することが
困難であることがわかった。

【０００８】そこで、マスター担体の反りを矯正し、平
坦なマスター担体面を実現して全面に対して均一な圧力
を印加するために、本出願人は、特願2001-144296にお
いて、マスター担体用ステージに真空吸引システムを導
入し、マスター担体の平坦化を行う磁気転写装置を提案
している。

【０００９】しかしながら、同様の反りを有するマスタ
ー担体を用いた場合にも個々のマスター担体によって平
坦性に優劣が生じ、十分に平坦化ができないものがある
ことが明らかになった。

【００１０】本発明は上記事情に鑑み、磁気転写におけ
る信号抜けを低減して信号品質を向上させることができ
る磁気転写用マスター担体および磁気転写方法を提供す
ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気転写用マス
ター担体は、磁気記録媒体の磁性層に対して情報を転写
するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マス
ター担体であって、該磁気転写用マスター担体のヤング
率Ｅ、厚みｄにより規定され、試料片幅１ｍと定義した
場合の曲げ堅さ＝Ｅｄ³／12が、0.03Ｎ・ｍ²以上、27Ｎ
・ｍ²以下の範囲であることを特徴とするものである。

【００１２】なお、ここで、ヤング率は、振動リード法
により測定して得られる値を用いる。マスター担体から
長さＬ＝50ｍｍ、厚みｄの短冊状の試料を切り出し、一
端を固定する。この一端を固定した状態で短冊状試料に
対して振動を与え、共鳴周波数ｆを測定する。ヤング率
Ｅは共鳴周波数ｆとＥ＝３ρｆ²（４πＬ²/αｄ）² の関係にあることが知られており、この関係式からヤン
グ率Ｅを算出する。なおここで、ρは密度、αは定数
（1.875）である。このヤング率Ｅと、試料片幅ｂ、試
料厚ｄを、曲げ堅さ＝Ｅｂｄ³/12 の式に代入することにより、曲げ堅さの値が得られる。
本発明は、試料片幅を１ｍと定義した場合の曲げ堅さの
最適な範囲を規定したものである。

【００１３】なお、本発明の磁気転写用マスター担体
は、前記情報に応じたパターン状の凹凸を表面に有する
基板と、該基板上の少なくとも凸部表面に配された磁性
層とを備えてなり、該凸部表面に配された磁性層により
前記パターン状の磁性層が構成されてなるものであるこ
とが望ましい。

【００１４】また、前記磁性層としては、軟磁性層もし
く半硬質磁性層が望ましい。

【００１５】あるいは、前記磁性層としては、前記磁気
記録媒体の磁性層の保磁力の１／３以下の保磁力を有す
るものであることが望ましい。

【００１６】前記情報は、例えば、サーボ信号とするこ
とができる。

【００１７】

【発明の効果】本発明の磁気転写用マスター担体は、１
ｍ幅当たりの曲げ堅さ＝Ｅｄ³／12が、0.03Ｎ・ｍ²以
上、27Ｎ・ｍ²以下の範囲の基体により形成されてお
り、この曲げ堅さを27Ｎ・ｍ²以下とすることにより、
磁気記録媒体と密着させる際に真空吸引システムを導入
した際のマスター担体の平坦化を促進することができ、
磁気記録媒体との密着性を向上することができ、また、
0.03Ｎ・ｍ²以上とすることにより、真空吸引をした際
にマスター担体の吸引部分が変形するために磁気記録媒
体との密着性が低下するという問題を回避することがで
き、良好な密着性を維持することができる。

【００１８】本発明の磁気転写用マスター担体を用いれ
ば、磁気記録媒体と良好な密着状態で磁気転写を行うこ
とができ、磁気記録媒体に転写される磁気情報における
信号抜けの発生を抑制し、信号品位を向上させることが
できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を詳細に説明する。まず、マスター担体を用いて
スレーブ媒体（磁気記録媒体）へ情報を転写する磁気転
写の基本工程を図１および図２に基づき説明する。

【００２０】図１は、スレーブ媒体２とマスター担体
３、４とを示す斜視図である。スレーブ媒体２は、例え
ば、高密度フレキシブルディスク、ハードディスク装置
において用いられるハードディスクなどの円盤状の磁気
記録媒体であり、非磁性体からなる円盤状のベース２ｃ
の両面に磁性体層が形成された記録面２ｄ、２ｅを有す
るものである。

【００２１】また、マスター担体３、４は、円盤状の剛
体からなり、その片面に前記スレーブ媒体２の記録面２
ｄ、２ｅに密着される微細凹凸パターンが形成されてな
る転写情報担持面を有するものである。マスター担体
３，４はそれぞれスレーブ媒体２の下側記録面２ｄ、上
側記録面２ｅ用の凹凸パターンが形成されている。凹凸
パターンは、マスター担体３を例に挙げると、図中点線
で囲まれたドーナツ型の領域に形成されている。なお、
図１に示すマスター担体３、４は、凹凸パターンが形成
された基板31、41とその凹凸パターン上に形成された軟
磁性層32、42とから構成されるが、基板31、41がＮｉな
どによる強磁性体である場合には基板のみで磁気転写可
能であり、必ずしも軟磁性層32、42を被覆しなくてもよ
い。但し、転写特性の良い磁性層を設けることでより良
好な磁気転写を行うことができる。なお、基板が非磁性
体の場合は磁性層を設ける必要がある。

【００２２】さらに最上層にダイヤモンドライクカーボ
ン（ＤＬＣ）等の保護膜を被覆すれば、この保護膜によ
り接触耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。
さらには、密着性を向上させるためにＤＬＣ保護膜の下
層にＳｉ膜をスパッタリング等で形成するようにしても
よい。

【００２３】図２は、この磁気転写の基本工程を説明す
るための図であり、図２（ａ）は磁場を一方向に印加し
てスレーブ媒体の磁性層を初期直流磁化する工程、
（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着して転写
磁界を印加する工程、（ｃ）は磁気転写後のスレーブ媒
体の磁性層の磁化状態をそれぞれ示す図である。なお、
図２においてスレーブ媒体２についてはその下面記録面
２ｄのみを示している。

【００２４】図２(ａ)に示すように、予めスレーブ媒体
２に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方向に印加してそ
の磁性層２ｄの磁化をトラック方向の一方向に初期磁化
させる。その後、図２(ｂ)に示すように、このスレーブ
媒体２の記録面２ｄとマスター担体３の基板３１の微細
凹凸パターンに磁性層３２が被覆されてなる情報担持面
とを密着させ、スレーブ媒体２のトラック方向に前記初
期磁界Ｈinとは逆方向に転写用磁界Ｈduを印加して磁気
転写を行う。その結果、図２(ｃ)に示すように、スレー
ブ媒体２の磁性層２ｄにはマスター担体３の情報担持面
の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁
気的に転写記録される。ここでは、スレーブ媒体２の下
側記録面２ｄと下側マスター担体３とについて説明した
が、図１に示すように、スレーブ媒体２の上側記録面２
ｅについても上側マスター担体４と密着させて同様に磁
気転写を行う。スレーブ媒体２の上下記録面２ｄ、２ｅ
への磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次
なされてもよい。

【００２５】また、マスター担体３の凹凸パターンが図
２のポジパターンと逆の凹凸形状のネガパターンの場合
であっても、初期磁界Ｈinの方向および転写用磁界Ｈdu
の方向を上記と逆方向にすることによって同様の情報を
磁気的に転写記録することができる。なお、初期磁界お
よび転写用磁界は、スレーブ媒体の保磁力、マスター担
体およびスレーブ媒体の比透磁率を勘案して定められた
値を採用する必要がある。

【００２６】以下に、本発明のマスター担体およびスレ
ーブ媒体についてより詳細に説明する。

【００２７】上述の通り、マスター担体は、基本的に凹
凸パターンを有する基板と該基板上に形成された軟磁性
層とからなるものである。

【００２８】マスター担体の基板としては、ニッケル、
シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラ
ミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成
は、光ディスク原盤の作製方法として用いられているス
タンパー法、半導体作製時に使用されるフォトリソグラ
フィ法等を用いて行われる。基板の凹凸パターンの深さ
（突起の高さ）は、80ｎｍ〜800ｎｍの範囲が好まし
く、より好ましくは150ｎｍ〜600ｎｍである。この凹凸
パターンはサーボ信号の場合は、半径方向に長く形成さ
れる。例えば、半径方向の長さは0.05〜20μｍ、円周方
向は0.05〜５μｍが好ましく、この範囲で半径方向の方
が長いパターンを選ぶことがサーボ信号の情報を担持す
るパターンとして好ましい。

【００２９】また、軟磁性層の磁性材料としては、Ｃ
ｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａ
Ｚｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、
ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａ
Ｎ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）等が用いられる。特
に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。この軟
磁性層は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、
イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法な
どにより成膜形成される。軟磁性層の厚みは、50ｎｍ〜
500ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは150ｎｍ〜
400ｎｍである。

【００３０】なお、本発明のマスター担体は、長さ50ｍ
ｍ、任意の幅、厚みｄの短冊形状のものでの振動リード
法により求められるヤング率Ｅを用い、幅ｂ＝１ｍで任
意の長さの試料片についての曲げ堅さ＝Ｅｂｄ³／12 の式に代入して得られる値が0.03Ｎ・ｍ²以上、27Ｎ・
ｍ²以下の範囲内であるような基体を用いて構成する。
ここで、基体とは基板とその上に設けられた軟磁性層と
からなるものであり、厚みｄは基板底面から凹凸パター
ンの凹部底面（軟磁性層の凹部の底部表面）までの距離
である。

【００３１】スレーブ媒体２は、前述のとおり、ハード
ディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁
気記録媒体であり、その磁気記録層としては、塗布型磁
気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層が形成されてい
る。なお、金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、
Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣ
ｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ
等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏ
Ｎｉ）を用いることができる。なお、磁気記録層に必要
な磁気異方性を持たせるために、該磁気記録層の下に非
磁性の下地層を設けることが好ましい。この非磁性の下
地層は、結晶構造と格子定数を磁気記録層に合わせる必
要があり、そのような材料としては、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｒ
Ｔｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒ
ｕ、Ｐｄ等が挙げられる。

【００３２】以下、具体的な磁気転写方法について説明
する。図３は本発明の磁気転写方法を実施するための磁
気転写装置を示す要部斜視図である。図４は磁気転写装
置に挿入される密着体の分解斜視図である。

【００３３】図３および図４に示す磁気転写装置１は両
面同時転写を行うものであり、スレーブ媒体２の上下に
マスター担体３，４を圧接密着させた密着体10を回転さ
せつつ、この密着体10の上下に配設した電磁石装置５
（磁界発生装置）によって転写用磁界を印加して、マス
ター担体３，４が担持する情報を磁気的にスレーブ媒体
２の両面に同時に転写記録するものである。

【００３４】密着体10は、スレーブ媒体２の下側記録面
２ｄにサーボ信号等の情報を転写する下側マスター担体
３と、スレーブ媒体２の上側記録面２ｅにサーボ信号等
の情報を転写する上側マスター担体４と、前記下側マス
ター担体３を吸着保持して平坦性を矯正する下側矯正部
材６を備えた下側圧接部材８と、前記上側マスター担体
４を吸着保持して平坦性を矯正する上側矯正部材７（下
側矯正部材６と同構成）を備えた上側圧接部材９とを備
え、これらは中心位置を合わせた状態で圧接され、スレ
ーブ媒体２の両面に下側マスター担体３と上側マスター
担体４とを密着させる。

【００３５】前記下側マスター担体３および上側マスタ
ー担体４は、微細凹凸パターンが形成された転写情報担
持面とは反対側の面が下側矯正部材６および上側矯正部
材７に真空吸着保持される。この下側マスター担体３お
よび上側マスター担体４は、必要に応じてスレーブ媒体
２との密着性を高めるために、微細凹凸パターンの形成
部以外の位置でかつ後述の矯正部材６，７の吸気孔に連
通しない位置に微細な孔が表裏を貫通して形成されて、
スレーブ媒体２との密着面間のエアを吸引排出するよう
に設けられる。この際、本発明のマスター担体の上述の
ような凹凸パターン形状によりスレーブ媒体２との間の
空気は完全に吸引排出されるため、密着性は非常に良好
となる。

【００３６】下側矯正部材６（上側矯正部材７も同様）
は、マスター担体３の大きさに対応した円盤状に形成さ
れ、その表面が中心線平均表面粗さＲａが0.01〜0.1μ
ｍ程度の平面度に平坦に仕上げられた吸着面６ａとされ
ている。この吸着面６ａには、直径約２ｍｍ以下の吸気
孔６ｂが約25〜100個ほぼ均等に開口している。図示し
ていないが、この吸気孔６ｂには矯正部材６の内部を通
って下側圧接部材８の外部に連通された吸気通路を経て
真空ポンプに接続され、この真空ポンプによる吸引によ
り吸着面６ａに密着されたマスター担体３の背面を真空
吸着し、該マスター担体３の平坦性を吸着面６ａに沿わ
せて矯正する。

【００３７】下側圧接部材８および上側圧接部材９は円
盤状で一方または両方が軸方向に移動可能に設けられて
図示しない開閉機構（押圧機構、締結機構等）によって
開閉作動するものであり、互いに所定の圧力で圧接され
る。外周には鍔部８ａ，９ａを有し閉作動時には上下の
圧接部材８，９の鍔部８ａ、９ａが当接して内部を密閉
状態に保持する。下側圧接部材８の中心部には、スレー
ブ媒体２の中心孔に係合して位置決めする凸部８ｂが形
成されている。また、下側圧接部材８および上側圧接部
材９は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動
される。

【００３８】１組の下側マスター担体３および上側マス
ター担体４を用いて、複数のスレーブ媒体に対する磁気
転写を行うために、密着体10においては、下側矯正部材
６および上側矯正部材７の吸着面６ａにそれぞれ中心位
置を合わせて下側マスター担体３および上側マスター担
体４をそれぞれ真空吸着して保持させておき、上側圧接
部材９と下側圧接部材８とを離間した開状態で、スレー
ブ媒体２のセットおよび入れ替えを行う。予めトラック
方向の一方向に初期直流磁化されたスレーブ媒体２を中
心位置を合わせてセットした後、上側圧接部材９と下側
圧接部材８とを接近させて閉作動し、スレーブ媒体２の
両面にマスター担体３，４を密着させる。その後、上下
の電磁石装置５の移動または密着体10の移動によって、
密着体10の上下面に上下の電磁石装置５を接近させる。
密着体10を回転させつつ、スレーブ媒体２の初期磁化の
方向と反対の向きの転写用磁界Ｈduを印加する。この転
写用磁界Ｈduの印加により、下側マスター担体３および
上側マスター担体４の凹凸パターン面が担持した転写情
報がスレーブ媒体２の記録面に磁気的に転写記録され
る。

【００３９】上述のように本発明で規定する曲げ堅さを
有するマスター担体を用い、真空吸入を利用してスレー
ブ媒体とマスター担体とを密着させるようにすると、良
好な密着性を得ることができ、磁気転写時の信号抜けの
発生を防止して転写品位を高めることができる。

【００４０】なお、ここでは両面同時転写を行う場合の
実施形態について説明したが、片面づつ順次転写を行う
こともできる。なお、片面転写はスレーブ媒体とマスタ
ー担体との位置決めが容易であるという効果がある。

【００４１】

【実施例】次に、本発明の磁気転写用マスター担体の具
体的な実施例を用いて行った磁気転写における転写精度
の評価を行った結果を説明する。

【００４２】以下の実験に用いたスレーブ媒体として
は、真空成膜装置（芝浦メカトロニクス：S-50Sスパッ
タ装置）により、室温にて1.33×10^-5Ｐａ（10^-7Torr）
まで減圧した後に、アルゴンを導入して0.4Ｐａ（３×1
0^-3Torr）とした条件下で、ガラス板を200℃に加熱し、
軟磁性層からなる裏打ち層としてＮｉＦｅを300ｎｍ、
非磁性下地層としてＴｉを30ｎｍ、磁気記録層としてＣ
ｏＣｒＰｔを30ｎｍ順次積層し、飽和磁化Ｍｓ：5.7Ｔ
（4700Gauss)、保磁力Ｈｃｓ：199ｋＡ／ｍ（2500Oe）
の3.5インチ型の円盤状磁気記録媒体を作製して使用し
た。

【００４３】転写精度の評価は信号抜けの箇所の個数を
元に行った。磁気転写を行ったスレーブ媒体を磁気現像
液（シグマハイケミカル社製シグマーカーＱ）を10倍に
希釈し、スレーブ媒体上に滴下、乾燥させ、現像された
磁気転写信号端の変動量を評価した。微分干渉型顕微鏡
で50倍の拡大率でスレーブ媒体上を無作為に100視野観
測し、この100視野中に信号抜けが５箇所未満であれば
良好（○）、５箇所以上であれば不良（×）と評価し
た。なお、信号抜けの数は１視野中に複数存在する場合
もある。

【００４４】以下、実施例１〜４および比較例１，２と
して用いられる各マスター担体について説明する。それ
ぞれのマスター担体は、スタンパー法もしくはリソグラ
フィー技術により作製された、円盤中心から半径方向20
〜40ｍｍの範囲に、放射状ラインで、ライン間隔が円盤
中心から半径方向20ｍｍである最内周位置で0.5μｍ間
隔の凹凸パターンを有する円盤状の基板を備えてなるも
のである。

【００４５】実施例１のマスター担体は、スタンパー法
により作製された円盤状のＮｉ基板上にＦｅＣｏ30at％
を材料としてスパッタ法により軟磁性層が形成されてな
るものである。なお、軟磁性層形成時のスパッタ条件
は、Ａｒスパッタ圧を1.5×10^- ¹Ｐａ（1.08mTorr）、投
入電力を2.80Ｗ/ｃｍ²とした。なお、本実施例のマスタ
ー担体は、マスター担体厚ｄ＝0.3ｍｍとなるように作
製されたものである。なお、ここでマスター担体厚は基
板底面から軟磁性層の凹凸の凹部底面までの厚みである
（以下同様とする）。

【００４６】実施例２のマスター担体は、上記実施例１
のマスター担体と同様にスタンパー法により作製された
円盤状のＮｉ基板上にＦｅＣｏ30at％を材料としてスパ
ッタ法により軟磁性層が形成されてなるものである。但
し、本実施例のマスター担体は、マスター担体厚ｄ＝0.
15ｍｍとなるように作製されたものである。

【００４７】実施例３のマスター担体は、上記実施例１
のマスター担体と同様にスタンパー法により作製された
円盤状のＮｉ基板上にＦｅＣｏ30at％を材料としてスパ
ッタ法により軟磁性層が形成されてなるものである。但
し、本実施例のマスター担体は、マスター担体厚ｄ＝0.
5ｍｍとなるように作製されたものである。

【００４８】実施例４のマスター担体は、リソグラフィ
ー技術を用いて凹凸形状が作製された円盤状の石英基板
上に実施例１と同様のスパッタ法により軟磁性が形成さ
れてなるものである。なお、本実施例のマスター担体
は、マスター担体厚ｄ＝0.9ｍｍとなるように作製され
たものである。

【００４９】比較例１のマスター担体は、上記実施例１
のマスター担体と同様にスタンパー法により作製された
円盤状のＮｉ基板上にＦｅＣｏ30at％を材料としてスパ
ッタ法により軟磁性層が形成されてなるものである。但
し、本比較例のマスター担体は、マスター担体厚ｄ＝0.
08ｍｍとなるように作製されたものである。

【００５０】比較例２のマスター担体は、上記実施例４
のマスター担体と同様にリソグラフィー技術を用いて凹
凸形状が作製された円盤状の石英基板上に実施例１と同
様のスパッタ法により軟磁性が形成されてなるものであ
る。但し、本比較例のマスター担体は、マスター担体厚
ｄ＝1.2ｍｍとなるように作製されたものである。

【００５１】各実施例および比較例のマスター担体を用
いて上述のスレーブ媒体に対する磁気転写を行い、それ
ぞれ信号抜け数に基づく評価を行った。その結果を表１
に示す。なお、表１には各マスター担体の素材につい
て、振動リード法により求めたヤング率Ｅおよび厚みｄ
を用い、１ｍ幅で定義した場合の曲げ堅さを示す。実施
例１〜４は本発明に規定する曲げ堅さの範囲の値を有
し、比較例１および２は本発明に規定する曲げ堅さの範
囲外の値を有する。

【００５２】

【表１】表１に示す通り、実施例１〜４のマスター担体を用いた
場合、信号抜け数が１もしくは２と非常に少なく密着精
度が良好であった。一方、比較例１および２のマスター
担体を用いた場合には、信号抜けが非常に多く、つまり
密着精度が不良であった。

【図面の簡単な説明】

【図１】スレーブ媒体とマスター担体とを示す斜視図

【図２】磁気転写方法の基本工程を示す図

【図３】本発明のマスター担体を用いて磁気転写を行う
磁気転写装置の要部斜視図

【図４】図３に示す密着体の分解斜視図

【符号の説明】

１磁気転写装置２スレーブ媒体３、４マスター担体５電磁石装置 10 密着体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気記録媒体の磁性層に対して情報を転
写するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マ
スター担体であって、該磁気転写用マスター担体のヤング率Ｅ、厚みｄにより
規定され、試料片幅１ｍと定義した場合の曲げ堅さ＝Ｅ
ｄ³／12が、0.03Ｎ・ｍ²以上、27Ｎ・ｍ²以下の範囲で
あることを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項２】前記ヤング率Ｅが、振動リード法により
測定して得られる値であって、前記マスター担体から長
さＬ＝50ｍｍ、厚みｄの短冊状の試料を切り出し、一端
を固定し、この一端を固定した状態で短冊状試料に対し
て振動を与え、共鳴周波数ｆを測定し、ヤング率Ｅと共
鳴周波数ｆとの関係式Ｅ＝３ρｆ²（４πＬ²/αｄ）² ρは密度、αは定数
（α＝1.875）を用いて算出されたものであることを特徴とする請求項
１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項３】前記情報に応じたパターン状の凹凸を表
面に有する基板と、該基板上の少なくとも凸部表面に配
された磁性層とを備えてなり、該凸部表面に配された磁
性層により前記パターン状の磁性層が構成されてなるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写用マス
ター担体。
【請求項４】前記情報が、サーボ信号であることを特
徴とする請求項１から３いずれか１項記載の磁気転写用
マスター担体。