JP4654337B2 - 磁気記録媒体の製造方法、及び基板アダプタ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法により製造される垂直磁気記録媒体10の構成の一例を示す。垂直磁気記録媒体10は、垂直磁気記録方式のハードディスクドライブに搭載される磁気ディスクであり、ディスク基体12、密着層14、軟磁性層16、シード層18、下地層20、磁気記録層22、保護層24、及び潤滑層26をこの順で備える。尚、本例において、密着層14〜潤滑層26は、ディスク基体12の両面に成膜される。図1においては、説明を簡単にするために、ディスク基体12の一方の面についてのみ密着層14〜潤滑層26を示している。
Claims (5)
- ハードディスクドライブに搭載される磁気記録媒体の製造方法であって、
非導電性のディスク基体を準備する準備工程と、
前記ディスク基体の成膜面に垂直な回転軸に対して回転する板状の台部と、前記ディスク基体を保持するために前記台部の一部に設けられた保持部と、前記保持部に保持された前記ディスク基体に接触すべきバイアス印加用端子とを備える基板アダプタを用いて、前記バイアス印加用端子を前記ディスク基体に接触させない状態で、前記保持部に前記ディスク基体を保持させる保持工程と、
真空チャンバ内で、前記保持部に保持された前記ディスク基体上に導電性膜を成膜する第1成膜工程と、
前記真空チャンバ内で、前記ディスク基体が前記保持部に保持されたままの状態で、前記導電性膜が成膜された前記ディスク基体に前記バイアス印加用端子を接触させる接触工程と、
前記真空チャンバ内で、前記バイアス印加用端子を介して前記導電性膜にバイアス電圧を印加しつつ、前記導電性膜上に次の層を成膜する第2成膜工程と
を備え、
前記基板アダプタは、成膜面が鉛直面となるように前記ディスク基体を保持し、
前記バイアス印加用端子は、前記台部が前記回転軸に対して回転した場合に自重により前記ディスク基体に近づくように設けられており、
前記接触工程は、前記回転軸に対して前記台部を回転させることにより、自重により前記バイアス印加用端子を移動させ、これにより、前記ディスク基体に前記バイアス印加用端子を接触させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記基板アダプタは、
一の前記台部に設けられた複数の前記保持部と、
各前記保持部に保持される前記ディスク基体にそれぞれ接触すべき複数のバイアス印加用端子と
を備え、
前記保持工程は、前記複数の保持部にそれぞれ前記ディスク基体を保持させることにより、前記基板アダプタに複数の前記ディスク基体を保持させることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記バイアス印加用端子は、前記ディスク基体に近づく移動方向へ移動可能、かつ前記移動方向と直交する方向へ移動不可能なように設けられており、
前記保持工程は、前記バイアス印加用端子の前記移動方向が水平方向となる回転角度に前記台部を合わせて前記保持部に前記ディスク基体を保持させ、
前記接触工程は、前記移動方向が鉛直方向になる回転角度に前記台部を回転させることにより、自重により前記バイアス印加用端子を移動させることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記バイアス印加用端子は、前記台部上に設定された固定端と、前記移動方向へ移動可能な自由端とを有する片持はり状の端子であり、
前記接触工程は、前記台部を回転させることにより、前記自由端を自重により鉛直下方に移動させて、前記ディスク基体に前記バイアス印加用端子を接触させることを特徴とする請求項3に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - ハードディスクドライブに搭載される磁気記録媒体用のディスク基体上に成膜を行う場合に、前記ディスク基体を保持する基板アダプタであって、
前記ディスク基体の成膜面に垂直な回転軸に対して回転する板状の台部と、
前記ディスク基体を保持するために前記台部の一部に設けられた保持部と、
前記保持部に保持された前記ディスク基体に接触すべきバイアス印加用端子とを
を備え、
前記バイアス印加用端子は、前記台部の回転角度に応じて、自重により前記ディスク基体に近づくように設けられており、
前記台部の回転角度が所定の角度になった場合に、前記バイアス印加用端子は、自重により前記ディスク基体に近づく方向に移動して、前記ディスク基体と接触することを特徴とる基板アダプタ。
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