JP2003272138A - 磁気転写装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ホルダのセンターピンによりスレーブ媒体や
マスター担体を位置決め支持する際に、その脱着に伴う
塵埃を吸引除去し、密着面への塵埃付着を低減し、転写
不良の発生を防止した磁気転写装置を提供する。 【解決手段】 転写パターンを有するマスター担体３を
ホルダ５に保持し、このマスター担体３に対し転写を受
けるスレーブ媒体２を供給し、両者を密着させて転写用
磁界を印加し磁気転写を行う際に、ホルダ５は中央部に
スレーブ媒体２の中心孔2aまたはマスター担体３，４の
中心孔を位置決め支持するセンターピン14を備え、この
センターピン14またはその近傍に塵埃吸引用の吸引通路
を開口させ、センターピン14へのスレーブ媒体２などの
脱着時に発生する塵埃を吸引除去する。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、転写情報に対応し
たパターンが形成されたマスター担体から磁気記録部を
有するスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関
し、特に塵埃除去構造に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】本発明の対象とする磁気転写は、少なく
とも表層に軟磁性層を有するサーボ信号等の転写パター
ンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスタ
ー担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有する
スレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加し
てマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターン
をスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転
写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３
号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５
６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されてい
る。 【０００３】また、スレーブ媒体がハードディスクまた
は高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場
合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状の
マスター担体を密着させた状態で、その片側または両側
に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設
して転写用磁界を印加する。 【０００４】この磁気転写を行う際の重要な課題の一つ
に、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良
く行うことがある。特に、ハードディスク、高密度フレ
キシブルディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後に
ドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記
録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していな
ければならない。 【０００５】上記点から、特開平１１−１７５９７３
号、特開２００１−２０９９７８に見られるように、マ
スター担体とスレーブ媒体を密着させる際に、画像装置
で両者の位置決めを行うものが知られている。具体的に
は、まず密着フランジにスレーブ媒体をセットした後、
その上にパターンに対応して透明部分に形成したマーカ
ーを有するマスター担体を載置し、画像装置でマーカー
とスレーブ媒体との位置とが一致するように観察しつつ
マスター担体の位置調整を行ってから両者を密着させる
ようにしている。または、マスター担体をＸ−Ｙ方向に
移動可能なホルダに保持し、マスター担体の中心位置を
ＣＣＤカメラで観察して、スレーブ媒体との位置を一致
させて密着させるようにしている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上記点から、本出願人
は、マスター担体をホルダのセンターピンの中心に対
し、その転写パターンの中心とを予め位置決めし、スレ
ーブ媒体はこのセンターピンによって位置決めすること
で、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良
く行うようにした技術を提案している（特願２００１−
３０２２３１）。または、マスター担体を上記センター
ピンに位置決めすることも考えられる。 【０００７】ところで、この磁気転写における転写品質
を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とを塵
埃が介在しない状態で全面で均等に密着させることが重
要である。つまり塵埃が付着していると、付着部を中心
とし周辺に及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の
密着が確保できず、磁気転写が起こらない領域が生じ、
スレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生し
て信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合
にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下
するという問題がある。 【０００８】前述のように、スレーブ媒体やマスター担
体の位置決めをするために、センターピンを用いると、
スレーブ媒体やマスター担体を脱着する場合に、センタ
ーピンと内径が擦られて発塵し、マスター担体やスレー
ブ媒体の転写面に付着することにより、上述のような転
写不良の原因となる恐れがある。 【０００９】特に、上記のような磁気転写においては、
１枚のマスター担体の繰り返し使用により多数のスレー
ブ媒体に連続的に磁気転写を行うために、マスター担体
の表面に塵埃が付着して汚染されると、それ以降の磁気
転写にすべて転写不良が発生することになる。さらに、
これらの付着物により、マスター担体表面を変形させ、
正常な機能を損なう問題がある。 【００１０】本発明はこのような点に鑑みなされたもの
で、センターピンによりスレーブ媒体やマスター担体を
位置決め支持する際に、センターピンとスレーブ媒体な
どとの擦れに伴う発塵による転写不良の発生を防止する
ようにした磁気転写装置を提供することを目的とするも
のである。 【００１１】 【課題を解決するための手段】本発明による磁気転写装
置は、転写情報に対応した転写パターンを有するマスタ
ー担体をホルダに保持し、このマスター担体に対し転写
を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を供給し、両
者を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気
転写装置において、前記ホルダは、中央部に前記スレー
ブ媒体の中心孔または前記マスター担体の中心孔を位置
決め支持するセンターピンを備え、該センターピンまた
はその近傍に、塵埃吸引用の吸引通路を開口させたこと
を特徴とするものである。 【００１２】前記センターピンの外周面の少なくともス
レーブ媒体との接触部分に、ＤＬＣ（ダイヤモンドライ
クカーボン）膜などの硬質保護膜を被覆するのが好まし
い。 【００１３】前記センターピンはスレーブ媒体とマスタ
ー担体の少なくとも一方を位置決め支持するものであ
り、その外径は位置決めするスレーブ媒体またはマスタ
ー担体の内径と一致するように設定されている。 【００１４】前記塵埃吸引用の吸引通路は、センターピ
ンの外周面に直接開口させるか、このセンターピンの根
本部分近傍のホルダ内面に開口させるものである。例え
ば、マスター担体内径がセンターピン外径より大きく、
センターピン外周におけるホルダ内面が露出している場
合には、このセンターピン近傍部分に塵埃吸引通路を開
口させることができる。この塵埃吸引通路の開口部分
は、溝状、穴状など適宜設計変更可能である。 【００１５】 【発明の効果】上記のような本発明によれば、ホルダの
中央部にスレーブ媒体またはマスター担体の中心孔を位
置決め支持するセンターピンを備え、このセンターピン
またはその近傍に塵埃吸引用の吸引通路を開口させたこ
とにより、センターピンに対しスレーブ媒体やマスター
担体を脱着する際の擦れに伴って発生する塵埃を上記吸
引通路によって吸引除去し、マスター担体およびスレー
ブ媒体に付着する塵埃を低減できる。これにより、マス
ター担体とスレーブ媒体との密着面に塵埃が介在した密
着不良による転写信号の劣化を防止することができ、品
質の安定した磁気転写が実施でき信頼性の向上を図るこ
とができ、マスター担体のクリーニング工程の低減、マ
スター担体の破損防止による長寿命化が図れる。 【００１６】また、前記センターピンの外周面の少なく
ともスレーブ媒体との接触部分に、ＤＬＣ膜などの硬質
保護膜を被覆すると、塵埃発生そのものを低減すること
ができる。 【００１７】 【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にか
かる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。
図２はホルダの断面図、図３はホルダのセンターピン部
分の平面図および断面図である。なお、各図は模式図で
あり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。 【００１８】図１に示す磁気転写装置１は、シリンダ構
造の下側のベースチャンバー１１と上側の押圧チャンバ
ー１２とによるホルダ５を備え、図２のように内部に密
閉形成される内部空間６に、スレーブ媒体２、両側のマ
スター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態で
スレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させ
る。磁気転写装置１は、ホルダ５内の内部空間６のエア
ーを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る真空
吸引手段７（図２参照）と、ホルダ５を回転させつつ転
写用磁界を印加する磁界印加装置８とをさらに備える。 【００１９】なお、図示の場合には、水平方向に配置し
たスレーブ媒体２の下側および上側にそれぞれマスター
担体３，４を配置して両面に対峙密着させ、両面同時磁
気転写を行う態様を示しているが、スレーブ媒体２およ
びマスター担体３，４を縦向きに配置して両面同時磁気
転写を行うようにしてもよい。また、スレーブ媒体２の
片方にマスター担体３または４を対峙密着させ、片面逐
次磁気転写を行うようにしてもよい。ここで、対峙密着
とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙するこの
双方の何れかを指すものとする。 【００２０】スレーブ媒体２は円盤状で所定径の中心孔
２ａが開口され、両面または片面に磁気記録部（磁性
層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブル
ディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その
磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気
記録層で構成される。また、マスター担体３，４は円盤
状ディスクに形成されている。このマスター担体３，４
は、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が
被覆された転写パターンを有する。これと反対側の面が
ベースチャンバー１１、剛性板１０に吸引保持される。 【００２１】ホルダ５のベースチャンバー１１は円盤状
で、マスター担体３の外径より大きい円形状の内面を有
し、この内面の中央部分は平坦性の高い減圧吸引部１１
ａに形成され、一方のマスター担体３の下面を中心位置
を合わせて吸引保持する。上記減圧吸引部１１ａのマス
ター担体３の大きさに対応した部分には、多数の吸引孔
（不図示）がほぼ均等に開口している。図示していない
が、この吸引孔はベースチャンバー１１の内部から外部
に導出された吸引通路を経て真空ポンプに接続されて吸
引され、減圧吸引部１１ａに密着されたマスター担体３
の背面を吸引保持すると共に、該マスター担体３の平坦
度を減圧吸引部１１ａにならわせて修正する。 【００２２】また、ベースチャンバー１１は、中心位置
にスレーブ媒体２の中心孔２ａを位置決め支持するセン
ターピン１４を備え、上記マスター担体３は、その転写
パターンの中心位置がセンターピン１４の中心位置に合
致するように予め調整して固定される。これによりマス
ター担体３とスレーブ媒体２との位置決めが行われる。 【００２３】なお、センターピン１４に対するマスター
担体３の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤ
カメラ等の位置観察手段を使用し、マスター担体３をＸ
Ｙ方向へ微調整することにより行う。また、マスター担
体３を直接微動手段によってマニュアルでまたは自動的
に位置調整しつつ行うことが可能である。その一例とし
ては、本出願人による特願２００１−３０２２３１を参
照されたい。 【００２４】さらに、前記センターピン１４を使用し、
その外径に一方のマスター担体３の内径を嵌合して位置
決めを行ってもよい。その際、センターピン１４の位置
決め外径は、スレーブ媒体２の位置決め外径より大きく
してもよい。 【００２５】前記センターピン１４の外周面の少なくと
もスレーブ媒体２の内径部との接触部分に、ＤＬＣ（ダ
イヤモンドライクカーボン）膜などの硬質保護膜が被覆
され、スレーブ媒体２などとの擦れに伴う塵埃発生その
ものが低減される。 【００２６】一方、押圧チャンバー１２は円盤状で、他
方のマスター担体４の外径より大きい内面を有し、この
内面に円環シート状のクッション材９（弾性材）が取り
付けられ、さらに、このクッション材９の表面部分に所
望の平坦度を有する平坦剛性板１０が設置され、その内
面が減圧吸引部１０ａに形成され、他方のマスター担体
４の上面を中心位置を合わせて吸引保持する。上記減圧
吸引部１０ａには、ベースチャンバー１１と同様の吸引
孔が開口され、真空ポンプに接続されて吸引される。 【００２７】なお、他方のマスター担体４についても、
押圧チャンバー１２に保持せず、センターピン１４にセ
ットしたスレーブ媒体２上に、同様にセンターピン１４
によって中心孔を位置決めしてセットするようにしても
よい。 【００２８】前記ベースチャンバー１１および押圧チャ
ンバー１２は一方または両方が軸方向（図で上下方向）
に移動して開閉可能に設けられ、また、ベースチャンバ
ー１１の底面および押圧チャンバー１２の上面には、支
持軸部１１ｃ，１２ｃが突設されている。このベースチ
ャンバー１１および押圧チャンバー１２は図示しない回
転機構に連係されて一体に回転駆動される。 【００２９】上記のようなホルダ５において、スレーブ
媒体２をセンターピン１４に脱着する場合には、その脱
着部分の近傍をエアー吸引して塵埃除去を行っている。
具体的には、図３(ａ)，(ｂ)に示すように、ベースチャ
ンバー１１のセンターピン１４の部分に塵埃吸引用の吸
引通路１５が形成され、この塵埃吸引通路１５はセンタ
ーピン１４の外周面に溝状に開口した塵埃吸引口１５ａ
を備える。すなわち、センターピン１４の外周面には、
軸方向に延びる複数（図示の場合等間隔に８本）の縦溝
による吸引口１５ａが形成され、各吸引口１５ａの溝底
部はベースチャンバー１１の内部に延長され、内部に形
成された吸引室１５ｂにそれぞれ連通され、この吸引室
１５ｂからエアー通路１５ｃにより外部に導出されて真
空ポンプに接続される。 【００３０】前記塵埃吸引通路１５には、センターピン
１４に対しスレーブ媒体２が供給される際にエアー吸引
を行い、その吸引口１５ａに作用するエアー吸引力によ
って、センターピン１４の外周部に発生する塵埃をホル
ダ５外に吸引除去する。また、磁気転写後に、スレーブ
媒体２をセンターピン１４から離脱する際にも、上記吸
引を継続して行い、発生する塵埃を同様に吸引除去す
る。 【００３１】これにより、センターピン１４へのスレー
ブ媒体２の脱着時に発生する塵埃が、マスター担体３，
４とスレーブ媒体２との密着面に付着するのを防止し、
密着性を高め、磁気転写品質を確保している。 【００３２】また、センターピン１４によりマスター担
体３または４の位置決めを行う際には、その脱着時にも
同様に塵埃吸引通路１５による塵埃吸引を行って塵埃付
着を防止する。 【００３３】図４(ａ)，(ｂ)は、他の実施形態の塵埃吸
引通路を示す図である。この実施形態の塵埃吸引通路１
６は、センターピン１４の外周面に孔状に開口した吸引
口１６ａを備える。すなわち、センターピン１４の外周
面には、中心方向に延びる多数の透孔による吸引口１６
ａが形成され、各吸引口１６ａはセンターピン１４の中
心部に縦方向に形成された軸通路１６ｄに連通し、軸通
路１６ｄの底部がベースチャンバー１１の内部に延長さ
れ、内部に形成された吸引室１６ｂに連通し、この吸引
室１６ｂからエアー通路１６ｃにより外部に導出されて
真空ポンプに接続される。この実施形態でも吸引口１６
ａに作用するエア吸引力によって、センターピン１４の
外周部に発生する塵埃をホルダ５外に吸引除去する。 【００３４】図５(ａ)〜(ｃ)は、さらに他の実施形態の
塵埃吸引通路を示す図である。前記実施形態における塵
埃吸引通路１５，１６は、センターピン１４の外周面に
直接開口させているが、この実施形態ではセンターピン
１４の根本部分近傍のベースチャンバー１１内面に開口
させている。また、この実施形態ではスレーブ媒体２の
供給をロボットハンド２０で行う例を示している。 【００３５】上記ロボットハンド２０は、図５(ｃ)に示
すように、アーム部２１の先端に、スレーブ媒体２を把
持するスレーブ把持爪２２を備え、開状態にあるベース
チャンバー１１のセンターピン１４にスレーブ媒体２を
供給セットする。このスレーブ把持爪２２は、不図示の
駆動機構によって両側に拡縮移動し、この把持爪２２を
スレーブ媒体２の中心孔２ａに挿入して、開いて内径部
をチャックし、閉じて解放する。また、前記センターピ
ン１４には、ロボットハンド２０によるスレーブ媒体２
の供給時に、把持爪２２の挿入・拡縮移動を許容する溝
部１４ａが直径方向に形成されている。 【００３６】そして、この実施形態の塵埃吸引通路１７
は、センターピン１４の根本部の外周部位のベースチャ
ンバー１１の内面に、円弧溝状に開口した吸引口１７ａ
を備える。すなわち、マスター担体３の中心孔３ａの内
径がセンターピン１４の外径より大きく、このマスター
担体３の内径とセンターピン１４の外径との径差部の環
状部位に吸引口１７ａが開口されるが、前記溝部１４ａ
がセンターピン１４の外径より長く形成されるため、こ
の溝部１４ａを除く両側に吸引口１７ａが形成される。
また、吸引口１７ａによる吸引エアーが溝部１４ａにリ
ークしないように、吸引口１７ａの端部と溝部１４ａと
の間の区画部位１１ｄがマスター担体３の厚みに相当す
るだけ高く形成されている。なお、上記吸引口１７ａの
開口部分の形状は、円弧状のほか穴状、溝状など適宜設
定できる。 【００３７】上記吸引口１７ａは、ベースチャンバー１
１の内部に形成された吸引室１７ｂに連通し、この吸引
室１７ｂからエアー通路１７ｃにより外部に導出されて
真空ポンプに接続される。この実施形態でも吸引口１７
ａに作用するエア吸引力によって、センターピン１４の
外周部に発生する塵埃を、センターピン１４とスレーブ
媒体２との隙間からホルダ５外に吸引除去する。 【００３８】また、上記吸引口１７ａによりスレーブ媒
体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側
に吸引するため、ロボットハンド２０によって供給した
スレーブ媒体２をマスター担体３と仮密着させる作用も
有する。これは特に、縦向きに設置されたホルダ５にス
レーブ媒体２を供給する場合に、スレーブ媒体２の傾き
防止、落下防止の点で有効である。 【００３９】次に、図２に示すように、前記ホルダ５で
は、ベースチャンバー１１の外周に上方に突出する鍔部
１１ｂが、押圧チャンバー１２の外周に下方に突出する
鍔部１２ｂがそれぞれ設けられている。押圧チャンバー
１２の鍔部１２ｂの外周面の径は、ベースチャンバー１
１の鍔部１１ｂの内周面の径より小さく、ベースチャン
バー１１の鍔部１１ｂの内周側に、押圧チャンバー１２
の鍔部１２ｂが挿入可能に設けられている（逆の大小関
係にあってもよい）。そして、押圧チャンバー１２の鍔
部１２ｂの外周にＯリングによるシール材１３が装着さ
れ、このシール材１３は押圧チャンバー１２をベースチ
ャンバー１１側に移動させた際に、ベースチャンバー１
１の鍔部１１ｂの内周面に摺接して、接離移動方向（軸
方向）と平行な面同士のシールを行って両チャンバー１
１，１２間の内部空間６を密閉する。なお、シール材１
３はベースチャンバー１１に装着してもよく、他のシー
ル機構を採用してもよい。 【００４０】上記のようにホルダ５は、シール材１３に
より内部空間６を密閉した状態で、ベースチャンバー１
１と押圧チャンバー１２との接離移動が可能なシリンダ
構造に設けられている。また、スレーブ媒体２、マスタ
ー担体３，４、クッション材９、剛性板１０の厚みが変
化してスレーブ媒体２とマスター担体３，４との密着高
さが変更しても、密閉状態を確保できる。 【００４１】なお、前記押圧チャンバー１２には剛性板
１０を設置せず、クッション材９で直接他方のマスター
担体４を押圧するようにしてもよい。さらに、両チャン
バー１１，１２の内面の平行度が高精度に得られる場合
には、クッション材９を使用しなくてもよく、その際は
ベースチャンバー１１の減圧吸引部１１ａと同様に吸引
孔を押圧チャンバー１２の内面に形成して、他方のマス
ター担体４を吸着保持するのが好適である。 【００４２】また、ベースチャンバー１１の鍔部１１ｂ
より内周側でマスター担体３より外周部の内面には、真
空吸引手段７の排気口７ａが開口されている。この排気
口７ａに連通するエアー通路７ｂがベースチャンバー１
１内に形成され、支持軸部１１ｃを通して外部に導出さ
れ、不図示の真空ポンプに接続されている。また、押圧
チャンバー１２にも排気口を形成して内部空間６の真空
吸引を行うようにしてもよい。この真空吸引手段７と前
記塵埃吸引通路１５（１６または１７）とは、一部を兼
用構造としてもよい。 【００４３】上記真空吸引手段７によるエアーの真空吸
引により、ホルダ５内の内部空間６を、所定の真空度に
制御し、スレーブ媒体２とマスター担体３，４とが所定
の密着圧力となるように設定する。また、ホルダ５の内
部空間の真空吸引領域の実効的面積を、マスター担体
３，４とスレーブ媒体２との接触面積より例えば２〜３
倍大きく形成することにより密着力を増大して、真空度
に応じた所定の密着圧力を得ると共に、両者の密着面の
エアー抜きが行われ、密着性が高められる。 【００４４】なお、上記密着力の印加のために、ホルダ
５を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えてもよ
い。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッ
ドの先端がホルダ５の押圧チャンバー１２における支持
軸部１２ｃに所定の押圧荷重を印加するように構成すれ
ばよい。 【００４５】磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２の
磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂
直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレ
ーブ媒体２をマスター担体３，４と密着させ、初期直流
磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転
写用磁界を印加して磁気転写を行う。 【００４６】なお、開状態にあるホルダ５のベースチャ
ンバー１１に対するスレーブ媒体２の供給は、ロボット
ハンド等によってスレーブ媒体２を把持しセンターピン
１４にセットするようにしてもよい。その際、スレーブ
把持爪をスレーブ媒体２の中心孔２ａに挿入して、開い
て内径部をチャックし、閉じて解放するのが好適であ
り、前記ベースチャンバー１１のセンターピン１４は、
上記の把持爪と干渉しないように、例えば、センターピ
ン１４に、把持爪が挿入される溝部が形成される。 【００４７】前記マスター担体３，４の基板としては、
ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、
合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パタ
ーンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁
性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ
法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ
同様のマスター担体が使用される。 【００４８】クッション材９は他方のマスター担体４の
背面（上面）に均等に圧力を加えるためのもので、弾性
特性を有する材料により円盤状に形成され、押圧チャン
バー１２に取り付けられる。弾性特性を有する材料とし
ては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、
ブタジエンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の
発泡樹脂などが使用できる。 【００４９】転写用磁界および必要に応じて初期磁界を
印加する磁界印加装置８は、面内記録の場合には、例え
ば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有す
るコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石
がホルダ５の両側に配設されてなり、両側で同じ方向に
トラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加す
る。ホルダ５を回転させて、スレーブ媒体２とマスター
担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装
置８を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装
置８は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁
石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直
記録の場合の磁界印加装置８は、極性の異なる電磁石ま
たは永久磁石をホルダ５の両側に配置し、垂直方向に転
写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加す
るものでは、ホルダ５を移動させるか磁界を移動させて
全面の磁気転写を行う。 【００５０】この磁界印加装置８は、ホルダ５の開閉動
作を許容するように、両側の電磁石装置が接離移動する
か、電磁石装置間にホルダ５が挿入するように電磁石装
置またはホルダ５が移動するようになっている。 【００５１】次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気
転写装置１では、同じマスター担体３，４により複数の
スレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、ま
ずベースチャンバー１１の減圧吸引部１１ａに一方のマ
スター担体３を位置を合わせて保持させ、押圧チャンバ
ー１２の剛性板１０の減圧吸引部１０ａに他方のマスタ
ー担体４を位置を合わせて保持させておく。 【００５２】そして、押圧チャンバー１２とベースチャ
ンバー１１とを離間した開状態で、予め面内方向または
垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を、塵埃
吸引通路１５（１６または１７）による塵埃吸引を行い
つつ、センターピン１４により中心位置を位置決めして
セットした後、押圧チャンバー１２をベースチャンバー
１１に接近移動させる。 【００５３】押圧チャンバー１２のシール材１３がベー
スチャンバー１１の鍔部１１ｂの内周面に摺接して、ス
レーブ媒体２およびマスター担体３，４を収容したホル
ダ５の内部空間６を密閉する。他方のマスター担体４が
スレーブ媒体２に接触して押圧状態となる前に、真空吸
引手段７により内部空間６のエアー排出を行って減圧
し、内部を所定の圧力とする。 【００５４】さらに押圧チャンバー１２を下降作動さ
せ、スレーブ媒体２とマスター担体３，４間のエアー抜
きを行いつつ、他方のマスター担体４がスレーブ媒体２
に接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）によ
る圧力で、ベースチャンバー１１に向けてスレーブ媒体
２とマスター担体３，４とに均一に密着力を加え、所定
の密着圧力で密着面にエアーが残留していない状態で密
着させる。 【００５５】その後、ホルダ５の両側に磁界印加装置８
を接近させ、ホルダ５を回転させつつ磁界印加装置８に
よって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、
マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パター
ンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。 【００５６】上記磁気転写時に印加された転写用磁界
は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレー
ブ媒体２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い
込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転
せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合
にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁
化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体
３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが両面同時
に転写記録される。 【００５７】磁気転写後には、真空吸引手段７の吸引を
停止し、内部空間６を大気圧に開放すると共に、押圧チ
ャンバー１２をベースチャンバー１１から離間作動さ
せ、密着力を解放する。そして、塵埃吸引用の吸引通路
１５（１６または１７）による塵埃吸引を行いつつ、ス
レーブ媒体２をセンターピン１４より離脱させ、ホルダ
５より取り出して次工程に搬出され、新たなスレーブ媒
体２が搬入セットされて、同様の磁気転写処理が繰り返
される。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一つの実施の形態による磁気転写装置
の転写状態を示す要部斜視図 【図２】図１のホルダの断面図 【図３】図２の塵埃吸引通路を示すセンターピン近傍部
分の要部平面図および断面図 【図４】他の実施形態の塵埃吸引通路を示すホルダのセ
ンターピン近傍部分の要部平面図および断面図 【図５】さらに他の実施形態の塵埃吸引通路を示すホル
ダのセンターピン近傍部分の要部平面図および断面図 【符号の説明】 １ 磁気転写装置 ２ スレーブ媒体 2a 中心孔 ３，４ マスター担体 ５ ホルダ ６ 内部空間 ７ 真空吸引手段 ８ 磁界印加装置 11 ベースチャンバー 12 押圧チャンバー 10a,11a 減圧吸引部 14 センターピン 15,16,17 塵埃吸引通路 15a,16a,17a 吸引口 15b,16b,17b 吸引室 15c,16c,17c エアー通路

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 転写情報に対応した転写パターンを有す
   るマスター担体をホルダに保持し、このマスター担体に
   対し転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を供
   給し、両者を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を
   行う磁気転写装置において、 前記ホルダは、中央部に前記スレーブ媒体の中心孔また
   は前記マスター担体の中心孔を位置決め支持するセンタ
   ーピンを備え、該センターピンまたはその近傍に、塵埃
   吸引用の吸引通路を開口させたことを特徴とする磁気転
   写装置。