JP2003272140A - 磁気転写装置のホルダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて
磁気転写する際の位置合わせを改善し、生産効率の高い
磁気転写が行えるようにした磁気転写装置のホルダーを
提供する。 【解決手段】 接離移動するベースチャンバー11と押圧
チャンバー12との間に開閉される内部空間６で、転写を
受けるスレーブ媒体２の片面または両面に、情報に対応
した転写パターンを有するマスター担体３，４を対峙密
着させる際に、少なくとも一枚のマスター担体３，４と
スレーブ媒体２を、それぞれの同径に設けられた中心孔
2a〜4aに嵌合し、共通に位置決めする位置決めピン14を
備えてなる。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、情報が担持された
マスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写
装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内
部空間に収容し密着させるホルダーに関するものであ
る。 【０００２】 【従来の技術】本発明の対象とする磁気転写は、少なく
とも表層に軟磁性層を有するサーボ信号等の転写パター
ンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスタ
ー担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有する
スレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加し
てマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターン
をスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転
写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３
号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５
６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されてい
る。 【０００３】また、スレーブ媒体がハードディスクまた
は高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場
合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状の
マスター担体を密着させた状態で、その片側または両側
に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設
して転写用磁界を印加する。 【０００４】この磁気転写を行う際の重要な課題の一つ
に、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良
く行うことがある。特に、ハードディスク、高密度フレ
キシブルディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後に
ドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記
録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していな
ければならない。 【０００５】上記点から、特開平１１−１７５９７３
号、特開２００１−２０９９７８に見られるように、マ
スター担体とスレーブ媒体を密着させる際に、画像装置
で両者の位置決めを行うものが知られている。具体的に
は、まず密着フランジにスレーブ媒体をセットした後、
その上にパターンに対応して透明部分に形成したマーカ
ーを有するマスター担体を載置し、画像装置でマーカー
とスレーブ媒体との位置とが一致するように観察しつつ
マスター担体の位置調整を行ってから両者を密着させる
ようにしている。または、マスター担体をＸ−Ｙ方向に
移動可能なホルダーに保持し、マスター担体の中心位置
をＣＣＤカメラで観察して、スレーブ媒体との位置を一
致させて密着させるようにしている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上記のようなマスター
担体の位置調整では、スレーブ媒体を交換して磁気転写
を行う毎に、マスター担体とスレーブ媒体を画像装置を
使用して位置決め動作を行うために、装置が複雑にな
り、この位置決め動作に時間を要してタクトが長くな
り、磁気転写効率が低下する問題があった。 【０００７】本発明はこのような点に鑑みなされたもの
で、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転
写する際の位置合わせを改善し、生産効率の高い磁気転
写が行えるようにした磁気転写装置のホルダーを提供す
ることを目的とするものである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明の磁気転写装置の
ホルダーは、接離移動するベースチャンバーと押圧チャ
ンバーとの間に開閉される内部空間で、転写を受けるス
レーブ媒体の片面または両面に、転写情報に対応した転
写パターンを有するマスター担体を対峙密着させる磁気
転写装置のホルダーにおいて、少なくとも一枚の前記マ
スター担体と前記スレーブ媒体を、それぞれの同径に設
けられた中心孔に嵌合し、共通に位置決めする位置決め
ピンを備えたことを特徴とするものである。 【０００９】前記ホルダーは、スレーブ媒体の両面にそ
れぞれマスター担体を密着させて両面同時磁気転写を行
う場合と、スレーブ媒体の片面にマスター担体を密着さ
せて片面逐次磁気転写を行う場合とがあり、両面同時磁
気転写では一方または両方のマスター担体およびスレー
ブ媒体を位置決めピンにより位置決めするもので、片面
逐次磁気転写ではマスター担体およびスレーブ媒体を位
置決めピンにより位置決めするものである。 【００１０】また、上記両面同時磁気転写で片方のマス
ター担体は位置決めピンにより位置決めしないで一方の
チャンバーに保持する場合に、このマスター担体のチャ
ンバーに対する位置決め調整は位置観察手段を用いて微
調整するのが好適である。 【００１１】 【発明の効果】上記のような本発明によれば、少なくと
も一枚のマスター担体とスレーブ媒体をその同径中心孔
に嵌合して共通に位置決めする位置決めピンを備えたこ
とにより、スレーブ媒体の供給毎にマスター担体とスレ
ーブ媒体とを位置観察手段（画像装置）により位置決め
を行う必要がなく、マスター担体のセットおよびスレー
ブ媒体の供給が簡易に行え、装置の簡略化が図れると共
に、タクトアップにより生産効率の高い磁気転写を行う
ことができる。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にか
かる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
である。なお、図は模式図であり各部の寸法は実際とは
異なる比率で示している。 【００１３】図１に示す磁気転写装置のホルダー１は、
接離移動可能な下側のベースチャンバー１１と上側の押
圧チャンバー１２とを備え、両者の接近により密閉形成
される内部空間６に、中心位置を合わせた状態でスレー
ブ媒体２と両側のマスター担体３，４とを対峙密着させ
る。 【００１４】なお、図示していないが、磁気転写装置
は、ホルダー１の内部空間６のエアーを真空吸引し内部
を減圧状態として密着力を得る真空吸引手段と、ホルダ
ー１を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置
とを備える。 【００１５】また、図示のホルダー１は、水平方向に配
置したスレーブ媒体２の下側および上側にそれぞれマス
ター担体３，４を配置して両面に対峙密着させ、両面同
時磁気転写を行う態様を示しているが、スレーブ媒体２
およびマスター担体３，４を縦向きに配置して両面同時
磁気転写を行うようにしてもよい。また、スレーブ媒体
２の片方にマスター担体３または４を対峙密着させ、片
面逐次磁気転写を行うようにしてもよい。ここで、対峙
密着とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙する
この双方の何れかを指すものとする。 【００１６】スレーブ媒体２は円盤状で所定径の中心孔
２ａが開口され、両面または片面に磁気記録部（磁性
層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブル
ディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その
磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気
記録層で構成される。また、マスター担体３，４は円盤
状ディスクに形成され、所定径の中心孔３ａ，４ａが開
口され、この中心孔３ａ，４ａの内径は、上記スレーブ
媒体２の中心孔２ａの内径と同一に設定されている。こ
のマスター担体３，４は、基板上に形成された微細凹凸
パターンに軟磁性体が被覆された転写パターンを有す
る。 【００１７】前記ベースチャンバー１１は円盤状で、マ
スター担体３の外径より大きい円形状の内面１１ａを有
し、この内面１１ａの中心位置に位置決めピン１４を備
える。この位置決めピン１４の外径は、スレーブ媒体２
の中心孔２ａの内径および両マスター担体３，４の中心
孔３ａ，４ａの内径と同一に設けられ、この共通の位置
決めピン１４にそれぞれの中心孔２ａ〜４を嵌合してス
レーブ媒体２およびマスター担体３，４を位置決め支持
する。 【００１８】上記位置決めピン１４の外周部分のベース
チャンバー１１の内面１１ａには、多数のエアー吸引孔
（不図示）がほぼ均等に開口され、位置決めピン１４に
中心孔３ａが嵌合されて位置決めセットされた一方のマ
スター担体３の下面を吸引固定する。このマスター担体
３上に、スレーブ媒体２および他方のマスター担体４
が、それぞれの中心孔２ａ，３ａを順に位置決めピン１
４に嵌合して位置決めセットされるものであり、磁気転
写毎にスレーブ媒体２および他方のマスター担体４が脱
着される。 【００１９】なお、上記ベースチャンバー１１に対する
スレーブ媒体２および他方のマスター担体４の供給は、
ロボットハンド等によってスレーブ媒体２およびマスタ
ー担体４を把持し位置決めピン１４にセットするように
してもよい。その際、スレーブ把持爪をスレーブ媒体２
およびマスター担体４の中心孔２ａ，４ａに挿入して、
開いて内径部をチャックし、閉じて解放するのが好適で
あり、前記ベースチャンバー１１の位置決めピン１４
は、上記の把持爪と干渉しないように、例えば、位置決
めピン１４に、把持爪が挿入される溝部が形成される。 【００２０】なお、前記マスター担体３の固定は磁石を
ベースチャンバー１１に設置してマスター担体３の強磁
性部分を吸着することで行ってもよい。 【００２１】また、前記位置決めピン１４の外周面に、
必要に応じてＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜
などの硬質保護膜を被覆し、スレーブ媒体２などとの擦
れに伴う塵埃発生を低減してもよい。 【００２２】一方、押圧チャンバー１２は円盤状で、他
方のマスター担体４の外径より大きい内面１２ａを有
し、この内面１２ａにより他方のマスター担体４の裏面
を押圧する。該内面１２ａの中央部分には、ベースチャ
ンバー１１との圧接時に位置決めピン１４の先端との干
渉を避ける凹部１２ｄが形成されている。 【００２３】前記ベースチャンバー１１および押圧チャ
ンバー１２は一方または両方が軸方向（図で上下方向）
に移動して開閉可能に設けられ、また、ベースチャンバ
ー１１の底面および押圧チャンバー１２の上面には、支
持軸部１１ｃ，１２ｃが突設されている。このベースチ
ャンバー１１および押圧チャンバー１２は図示しない回
転機構に連係されて一体に回転駆動される。 【００２４】さらに、前記ホルダー１では、ベースチャ
ンバー１１の外周に上方に突出する鍔部１１ｂが、押圧
チャンバー１２の外周に下方に突出する鍔部１２ｂがそ
れぞれ設けられている。押圧チャンバー１２の鍔部１２
ｂの外周面の径は、ベースチャンバー１１の鍔部１１ｂ
の内周面の径より小さく、ベースチャンバー１１の鍔部
１１ｂの内周側に、押圧チャンバー１２の鍔部１２ｂが
挿入可能に設けられている（逆の大小関係にあってもよ
い）。そして、押圧チャンバー１２の鍔部１２ｂの外周
にＯリングによるシール材１３が装着され、このシール
材１３は押圧チャンバー１２をベースチャンバー１１側
に移動させた際に、ベースチャンバー１１の鍔部１１ｂ
の内周面に摺接して、接離移動方向（軸方向）と平行な
面同士のシールを行って両チャンバー１１，１２間の内
部空間６を密閉する。なお、シール材１３はベースチャ
ンバー１１に装着してもよく、他のシール機構を採用し
てもよい。 【００２５】上記のようにホルダー１は、シール材１３
により内部空間６を密閉した状態で、ベースチャンバー
１１と押圧チャンバー１２との接離移動が可能なシリン
ダ構造に設けられている。スレーブ媒体２、マスター担
体３，４の厚みが変化してスレーブ媒体２とマスター担
体３，４との密着高さが変更しても、密閉状態を確保で
きる。 【００２６】なお、前記押圧チャンバー１２の内面１２
ａにはクッション材を設置して、他方のマスター担体４
を均等な圧力で押圧するようにしてもよい。 【００２７】また、図示してないが、ベースチャンバー
１１の内面１１ａには、内部空間６に連通する部分に、
真空吸引手段の排気口が開口されている。この排気口に
連通するエアー通路がベースチャンバー１１内に形成さ
れ、外部に導出されて不図示の真空ポンプに接続され
る。また、押圧チャンバー１２にも排気口を形成して内
部空間６の真空吸引を行うようにしてもよい。この真空
吸引手段によるエアーの真空吸引により、ホルダー１の
内部空間６を所定の真空度に制御する。これにより、ス
レーブ媒体２とマスター担体３，４とが所定の密着圧力
となるように設定されると共に、両者の密着面のエアー
抜きが行われ、密着性が高められる。また、ホルダー１
の内部空間の真空吸引領域の実効的面積を、マスター担
体３，４とスレーブ媒体２との接触面積より例えば２〜
３倍大きく形成することにより密着力を増大して、真空
度に応じた所定の密着圧力を得るなお、上記密着力の印
加のために、ホルダー１を外部から機械的に加圧する押
圧手段を備えてもよい。この押圧手段は加圧シリンダを
備え、その押圧ロッドの先端がホルダー１の押圧チャン
バー１２における支持軸部１２ｃに所定の押圧荷重を印
加するように構成すればよい。 【００２８】前記マスター担体３，４の基板としては、
ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、
合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パタ
ーンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁
性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ
法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ
同様のマスター担体が使用される。 【００２９】転写用磁界および必要に応じて初期磁界を
印加する磁界印加装置は、面内記録の場合には、例え
ば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有す
るコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石
がホルダー１の両側に配設されてなり、両側で同じ方向
にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加す
る。ホルダー１を回転させて、スレーブ媒体２とマスタ
ー担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加
装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装
置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石
装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記
録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または
永久磁石をホルダー１の両側に配置し、垂直方向に転写
用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加する
ものでは、ホルダー１を移動させるか磁界を移動させて
全面の磁気転写を行う。 【００３０】この磁界印加装置は、ホルダー１の開閉動
作を許容するように、両側の電磁石装置が接離移動する
か、電磁石装置間にホルダー１が挿入するように電磁石
装置またはホルダー１が移動するようになっている。 【００３１】次に、磁気転写工程を説明する。上記ホル
ダー１では、同じマスター担体３，４により複数のスレ
ーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まずベ
ースチャンバー１１の内面１１ａに一方のマスター担体
３を位置決めピン１４に中心孔３ａを嵌合して位置決め
支持させておく。 【００３２】そして、押圧チャンバー１２とベースチャ
ンバー１１とを離間した開状態で、予め面内方向または
垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を、中心
孔２ａを位置決めピン１４に嵌合して位置決めしてセッ
トし、さらのその上に、他方のマスター担体４を中心孔
４ａを位置決めピン１４に嵌合して位置決めしてセット
する。これにより、位置決めピン１４の共通の外径によ
ってスレーブ媒体２の両側にマスター担体３，４を位置
決めした後、押圧チャンバー１２をベースチャンバー１
１に接近移動させる。 【００３３】押圧チャンバー１２のシール材１３がベー
スチャンバー１１の鍔部１１ｂの内周面に摺接して、ス
レーブ媒体２およびマスター担体３，４を収容したホル
ダー１の内部空間６を密閉する。押圧チャンバー１２の
内面１２ａが他方のマスター担体４に接触して押圧状態
となる前に、真空吸引手段により内部空間６のエアー排
出を行って減圧し、内部を所定の圧力とする。 【００３４】さらに押圧チャンバー１２を下降作動さ
せ、スレーブ媒体２とマスター担体３，４間のエアー抜
きを行いつつ、押圧チャンバー１２の内面１２ａが他方
のマスター担体４に接触し、真空度に応じて作用する外
力（大気圧）による圧力で、ベースチャンバー１１に向
けてスレーブ媒体２とマスター担体３，４とに均一に密
着力を加え、所定の密着圧力で密着面にエアーが残留し
ていない状態で密着させる。 【００３５】その後、ホルダー１の両側に磁界印加装置
を接近させ、ホルダー１を回転させつつ磁界印加装置に
よって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、
マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パター
ンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。 【００３６】上記磁気転写時に印加された転写用磁界
は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレー
ブ媒体２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い
込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転
せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合
にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁
化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体
３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが両面同時
に転写記録される。 【００３７】磁気転写後には、真空吸引手段の吸引を停
止し、内部空間６を大気圧に開放すると共に、押圧チャ
ンバー１２をベースチャンバー１１から離間作動させ、
密着力を解放する。そして、他方のマスター担体４およ
びスレーブ媒体２を位置決めピン１４より離脱させ、ス
レーブ媒体２はホルダー１より取り出して次工程に搬出
され、新たなスレーブ媒体２がマスター担体４と共に搬
入セットされて、同様の磁気転写処理が繰り返される。 【００３８】本実施形態によれば、１つの位置決めピン
１４によりスレーブ媒体２および両マスター担体３，４
を共通に位置決めすることにより、簡易な構造で磁気転
写効率を高めることができる。 【００３９】なお、上記実施形態では、他方のマスター
担体４はスレーブ媒体２と共に脱着するようにしている
が、この他方のマスター担体４を押圧チャンバー１２の
内面１２ａに保持してもよい。その際、上記マスター担
体４の押圧チャンバー１２への保持は、前述のベースチ
ャンバー１１のように真空吸着や磁石によって行うもの
であるが、位置決めピン１４にマスター担体４の中心孔
４ａが嵌合するときには、保持力を低下させて位置決め
時の微小移動を可能とするのが好適である。例えば、真
空吸着のエアー吸引量を下げるか、磁石とマスター担体
４の距離を遠ざけることによって、保持力を低下すれば
よい。これによりマスター担体４の位置決め移動を容易
化し、調整が容易となり、無理な移動に伴うマスター担
体４と押圧チャンバー１２の擦れ、位置決めピン１４と
マスター担体４の中心孔４ａとの擦れによる発塵が低減
される。また、磁気転写に伴うマスター担体４の脱着が
不要となり処理効率を向上する点で有利となる。 【００４０】次に、図２は他の実施形態のホルダーを示
す概略断面図、図３はマスター担体の位置調整状態を示
す概略断面図、図４は図３の概略平面図である。 【００４１】本実施形態のホルダー１０は、上側の他方
のマスター担体４を押圧チャンバー１２に保持すると共
に、このマスター担体４は位置決めピン１４による位置
決めは行わずに、予め押圧チャンバー１２に対して位置
調整機構２０によって中心位置を合わせておくものであ
る。その他のホルダー１０の基本構造は前例と同様であ
り、同一部分には同一符号を付してその説明を省略す
る。 【００４２】本実施形態のホルダー１０は、ベースチャ
ンバー１１の内面１１ａの中心位置に位置決めピン１４
を備え、この位置決めピン１４の外径は、スレーブ媒体
２の中心孔２ａの内径および一方のマスター担体３の中
心孔３ａの内径と同一に設けられ、この共通の位置決め
ピン１４にそれぞれの中心孔２ａ，３ａを嵌合してスレ
ーブ媒体２および一方のマスター担体３を位置決め支持
する。この一方のマスター担体３は、ベースチャンバー
１１の内面１１ａに真空吸引または磁石により吸引固定
されるもので、磁気転写毎にスレーブ媒体２のみが脱着
される。 【００４３】他方のマスター担体４は上側の押圧チャン
バー１２の内面１２ａに、真空吸引または磁石により吸
引固定されるもので、その中心孔４ａの内径は位置決め
ピン１４の外径より大きく設定されている。この他方の
マスター担体４は押圧チャンバー１２の内面１２ａに、
その中心位置が押圧チャンバー１２の中心位置すなわち
位置決めピン１４の中心位置と正確に位置合わせされて
保持される。これにより上記マスター担体４とスレーブ
媒体２および一方のマスター担体３との密着時の位置決
めが行われる。 【００４４】上記押圧チャンバー１２に対するマスター
担体４の位置合わせは、図２および図３に示す位置調整
機構２０を用いて微調整移動されて行われる。この位置
調整機構２０は、マスター担体４の位置を検出する位置
観察手段２１と、マスター担体４を微小移動させる微動
手段２２とを備える。 【００４５】位置観察手段２１はＣＣＤカメラ、測定顕
微鏡等が用いられ、マスター担体４の転写パターンまた
は位置合わせ用のマークを観測してその位置を求めるも
のである。微動手段２２は、マスター担体４の周縁部に
接触してＸＹ方向に移動させる操作ピン２２ａを有する
移動アーム２２ｂと、該移動アーム２２ｂをＸＹ方向に
操作するＸＹステージ２２ｃ（図４参照）とを備え、上
記位置観察手段２１の観測結果に基づき、マスター担体
４の位置を微調整する。 【００４６】例えば、位置観察手段２１は、マスター担
体４の同心円上の複数の点がプロットされると、近似円
を描いて中心位置が求められる演算部（不図示）に連係
され、この演算部の信号に基づいて、マスター担体４の
中心が押圧チャンバー１２（位置決めピン１４）の中心
と一致するように、微動手段２２のＸＹステージ２２ｃ
をＸＹ方向に移動させ、移動アーム２２ｂを介して操作
ピン２２ａによってマスター担体４の位置を微動調整す
るようになっている。 【００４７】上記マスター担体４の位置調整後には、該
マスター担体４を移動不能に押圧チャンバー１２に固定
する。前述のように、マスター担体４は押圧チャンバー
１２へ真空吸着や磁石により保持されるものであるが、
前記位置調整手段２０によって位置調整する際には、保
持力を低下させて位置調整時の微小移動を可能とする。
例えば、真空吸着のエアー吸引量を下げるか、磁石とマ
スター担体４の距離を遠ざけるものである。これにより
マスター担体４の移動を容易化し、調整が容易となり、
無理な移動に伴うマスター担体４と押圧チャンバー１２
の擦れによる発塵が低減される。 【００４８】上記実施形態によれば、他方のマスター担
体４を位置決めピン１４に対して位置調整機構２０によ
り正確に位置合わせを行って押圧チャンバー１２に保持
したことにより、位置決めピン１４で位置決めされるス
レーブ媒体２および一方のマスター担体３との位置決め
精度が十分に確保できる。また、マスター担体４を一度
固定すれば、このマスター担体４を交換するまで位置調
整が不要となる。 【００４９】なお、上記実施形態では、ベースチャンバ
ー１１の位置決めピン１４によりスレーブ媒体２および
一方のマスター担体３を位置決めし、他方のマスター担
体４を位置調整機構２０によって押圧チャンバー１２に
対し位置合わせを行って保持しているが、これとは逆
に、ベースチャンバー１１の位置決めピン１４によりス
レーブ媒体２および他方のマスター担体４を位置決め
し、一方のマスター担体３を位置調整機構２０によって
ベースチャンバー１１に対し位置合わせを行って保持す
るようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一実施形態にかかる磁気転写装置のホ
ルダーの開状態を示す断面図 【図２】他の実施形態にかかる磁気転写装置のホルダー
の開状態を示す断面図 【図３】図２のホルダーにおけるマスター担体の位置調
整状態を示す概略断面図 【図４】図３の概略平面図 【符号の説明】 １ ホルダー ２ スレーブ媒体 2a 中心孔 ３，４ マスター担体 3a，4a 中心孔 ６ 内部空間 11 ベースチャンバー 12 押圧チャンバー 11a,12a 内面 14 位置決めピン 20 位置調整機構 21 位置観察手段 22 微動手段

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 接離移動するベースチャンバーと押圧チ
   ャンバーとの間に開閉される内部空間で、転写を受ける
   スレーブ媒体の片面または両面に、転写情報に対応した
   転写パターンを有するマスター担体を対峙密着させる磁
   気転写装置のホルダーにおいて、 少なくとも一枚の前記マスター担体と前記スレーブ媒体
   を、それぞれの同径に設けられた中心孔に嵌合し、共通
   に位置決めする位置決めピンを備えたことを特徴とする
   磁気転写装置のホルダー。