JP2002230751A - 磁気転写方法および磁気転写装置 - Google Patents

磁気転写方法および磁気転写装置

Info

Publication number
JP2002230751A
JP2002230751A JP2001339226A JP2001339226A JP2002230751A JP 2002230751 A JP2002230751 A JP 2002230751A JP 2001339226 A JP2001339226 A JP 2001339226A JP 2001339226 A JP2001339226 A JP 2001339226A JP 2002230751 A JP2002230751 A JP 2002230751A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording medium
magnetic recording
information carrier
master information
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001339226A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3424078B2 (ja
Inventor
Taizo Hamada
泰三 浜田
Hideyuki Hashi
秀幸 橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2001339226A priority Critical patent/JP3424078B2/ja
Priority to MYPI20015411A priority patent/MY122485A/en
Priority to US09/994,676 priority patent/US6762892B2/en
Publication of JP2002230751A publication Critical patent/JP2002230751A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3424078B2 publication Critical patent/JP3424078B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/50—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
    • G11B23/505—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
    • G11B5/865—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"

Landscapes

  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気転写のため密着状態にあるマスター情報担
体と磁気記録媒体とを、磁気転写後に容易かつ確実に分
離させること。 【解決手段】マスター情報担体２を磁気記録媒体１に密
着状態に重ね合わせる第１ステップと、前記密着状態に
おいて前記マスター情報担体２における情報信号に対応
したパターンを前記磁気記録媒体１に磁気転写する第２
ステップと、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体
とを互いに押圧する向きの押圧力を印加する一方、前記
マスター情報担体と前記磁気記録媒体との両密着面間に
ガスを圧送する第３ステップと、前記押圧力を解除し、
前記ガスの圧送を継続する第４ステップとを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスター情報担体
から磁気記録媒体に対して情報信号を磁気転写する磁気
転写方法およびこれに使用される磁気転写装置に関す
る。この磁気記録媒体には、全体または一部において磁
気記録が可能な媒体のすべてを含む。
【０００２】
【従来の技術】現在、ハードディスクドライブやその他
の磁気記録再生装置は、小型でかつ大容量のものを実現
するために、高記録密度化の傾向にある。このような高
記録密度化には、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング
サーボ技術が重要な役割を果たしている。現在のトラッ
キングサーボ技術では、磁気記録媒体にトラッキング用
サーボ信号やアドレス信号、クロック信号等の情報信号
がプリフォーマット記録されている。磁気ヘッドは、こ
れら情報信号を再生し、自己の位置を確認、修正しなが
ら正確にトラック上を走査する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、これら情報
信号は、磁気ヘッドが正確にトラック上を走査するため
の基準に用いる信号となる。したがって、情報信号は、
磁気記録媒体に対して正確に位置決めされて設けられる
ことが要求される。そのため、磁気記録媒体には、情報
信号の記録面に対して平坦性や平滑性に優れ、かつ、情
報信号を記録する際に微細な付着物が存在しないことが
求められる。
【０００４】情報信号を磁気記録媒体にプリフォーマッ
ト記録とする方法として、マスター情報担体に記録され
ている情報信号を、磁気記録媒体に磁気転写により面状
に一括する磁気転写方法がある。このような磁気転写で
は、マスター情報担体と磁気記録媒体とが密着状態で行
われる。この磁気転写後は、互いに密着状態にあるマス
ター情報担体と磁気記録媒体とを分離させることが必要
である。
【０００５】このような磁気転写においては、マスター
情報担体と磁気記録媒体が、高記録密度化により平滑か
つ平坦な密着面を有していると、マスター情報担体と磁
気記録媒体とが互いにより強く張り付いた状態となって
いるから、磁気転写後にマスター情報担体と磁気記録媒
体とを分離させることが容易でない。
【０００６】したがって、本発明の主目的は、磁気転写
のため密着状態にあるマスター情報担体と磁気記録媒体
とを、磁気転写後に容易かつ確実に分離させることので
きる磁気転写方法およびこれに用いる磁気転写装置を提
供することである。
【０００７】本発明の他の目的は、磁気転写後にマスタ
ー情報担体と磁気記録媒体とを容易に分離可能として、
マスター情報担体から情報信号が磁気転写される磁気記
録媒体を短時間に生産性良く、かつ、安定して製造でき
る磁気転写方法およびこれに用いる磁気転写装置を提供
することである。
【０００８】本発明のさらなる他の目的、特徴、利点
は、後述から明らかであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、マスター情報担体を磁気記録媒体に密着状
態に重ね合わせる第１ステップと、前記密着状態におい
て前記マスター情報担体における情報信号に対応したパ
ターンを前記磁気記録媒体に磁気転写する第２ステップ
と、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを互い
に押圧する向きの押圧力を印加する一方、前記マスター
情報担体と前記磁気記録媒体との両密着面間にガスを圧
送する第３ステップと、前記押圧力を解除し、前記ガス
の圧送を継続する第４ステップとを含む。
【００１０】本発明は、好ましくは、前記第１ステップ
において、前記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に
対向させ、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体と
の対向面間にガスを第１圧送圧力で圧送した後、その圧
送を停止して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体
とを密着させる。
【００１１】本発明は、さらに好ましくは、前記第１圧
送圧力が、０．１〜１ｋｇ／ｍｍ2である。
【００１２】本発明は、さらに好ましくは、前記第１ス
テップにおいて、前記マスター情報担体を吸引パッドに
吸引保持し、この保持状態で前記マスター情報担体を前
記磁気記録媒体に対向接近させ、前記マスター情報担体
と前記磁気記録媒体との対向面間に前記磁気記録媒体の
中心孔を介してガスを第１圧送圧力で圧送した後、その
圧送を停止するとともに前記吸引パッドの吸引圧力と同
じ吸引圧力で前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体
との対向面間からガスを吸引して前記マスター情報担体
と前記磁気記録媒体とを密着させる。
【００１３】本発明は、さらに好ましくは、前記第３ス
テップで、前記磁気記録媒体の中心孔の面積をＳ、前記
マスター情報担体に対する押圧力をＦ、前記密着解除用
のガスの圧力をＰ4として、Ｆ≧Ｐ4×Ｓの関係に設定す
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面に示す
実施の形態に基づいて説明する。
【００１５】最初に、図１を参照して、本発明の実施形
態に従う磁気転写装置を説明する。磁気記録媒体１は、
中央領域に内外に貫通する中心孔１ａを有するものであ
って、ドーナツ円盤状のアルミニウム基板の表面にＣｏ
等からなる強磁性薄膜がスパッタリング法などの成膜技
術によって成膜されて構成されている。磁気記録媒体１
において強磁性薄膜が成膜されている表面は、マスター
情報担体２から情報信号が磁気転写される被磁気転写面
となる。
【００１６】マスター情報担体２は、磁気記録媒体１よ
り大径形状を有し、磁気記録媒体１の被磁気転写面に接
触するように重ね合わされて配置される。マスター情報
担体２が磁気記録媒体１より大径とするのは、マスター
情報担体２の外周縁が、その製造過程で、チャッキング
されたりして汚染されているような場合、マスター情報
担体２と磁気記録媒体１とを重ね合わせて密着させたと
き、マスター情報担体２の外周縁が磁気記録媒体１の被
磁気転写面に影響させないようにするためである。
【００１７】マスター情報担体２は、磁気記録媒体１の
被磁気転写面に接触する表面に、磁気記録媒体１に対し
て磁気転写すべき情報信号に対応した微細な配列パター
ン形状の強磁性薄膜からなる信号領域が設けられてい
る。マスター情報担体２において強磁性薄膜が成膜され
ている表面は、磁気記録媒体１の情報信号被転写面に情
報信号を磁気転写するための磁気転写面となる。
【００１８】スピンドル３は、磁気記録媒体１を保持す
る保持機構として、その先端部に磁気記録媒体１を位置
決め保持するチャック部３ａを備える。スピンドル３
は、磁気記録媒体１の中心孔１ａに連通した圧送吸引孔
３ｂを有しており、その圧送吸引孔３ｂは、ガス管やダ
クトを介して給排気装置などのガス圧送吸引機構に接続
されている。
【００１９】そして、このガス圧送吸引機構によりガス
が吸引されると、磁気記録媒体１とマスター情報担体２
との対向面間が負圧状態となる。
【００２０】この結果、マスター情報担体２が磁気記録
媒体１の方向に吸引され、マスター情報担体２に磁気記
録媒体１が位置決めされた状態で重ね合わされる。この
とき、磁気記録媒体１とマスター情報担体２との間には
若干の隙間があり、その隙間を通して外部からガスが吸
引される。ガスの種類としては空気、窒素ガス、その他
がある。
【００２１】吸引パッド４は、マスター情報担体を保持
する保持機構として、マスター情報担体２においてその
磁気転写面に対し反対側となる面つまり背面側のほぼ中
央部を吸引することにより、マスター情報担体２を吸引
保持する。そのため、吸引パッド４は、マスター情報担
体２を吸引するための吸引孔４ａを有し、また、マスタ
ー情報担体２に当接する先端部にはその吸引孔４ａに連
通する凹部４ｂが設けられている。吸引パッド４の凹部
４ｂの内径は、磁気記録媒体１の中心孔１ａの径とほぼ
同じである。
【００２２】この吸引パッド４の吸引孔４ａには、ガス
管やダクトを介してガス圧送吸引機構が装着されてい
る。このガス圧送吸引機構を始動させることにより、マ
スター情報担体２は吸引パッド４に吸引される。
【００２３】すなわち、マスター情報担体２は、吸引パ
ッド４で吸引されて吸着される。そのときの吸引圧力Ｐ
1は、吸引パッド４内が外部圧よりも低くなるように設
定される。マスター情報担体２の磁気転写面は、この吸
引圧力Ｐ1により、外周部から中央部に向って内方向
に、すなわち吸引パッド４側に凹んだ状態となる。
【００２４】例えば、マスター情報担体２として、約
０．５ｍｍ厚のシリコンウエハを使用した場合、０．３
〜１ｋｇ／ｃｍ2の範囲の圧力で吸引パッド４により吸
引すれば、マスター情報担体２を吸引パッド４で吸引し
たとき、ほぼ中央部が吸引パッド４側に凹んだ状態で保
持される。
【００２５】このようにマスター情報担体２の磁気転写
面を凹ませるのは、マスター情報担体２と磁気記録媒体
１との対向面に密閉ないしはほぼ密閉の空間を形成し、
その対向面間に対するガスの圧送および吸引を行いやす
くなるからである。
【００２６】着磁用ヘッド５は、マスター情報担体２か
ら磁気記録媒体１に情報信号を磁気転写するためのもの
である。着磁用ヘッド５が発生する磁界により、マスタ
ー情報担体２に形成された情報信号に対応した磁化パタ
ーンで磁気記録媒体１に情報信号が磁気転写される。
【００２７】着磁用ヘッド５の磁気ギャップ形状は、マ
スター情報担体２に対向する面において、記録再生用磁
気ヘッドのトラッキング走査軌道と同じ円弧になってい
る。着磁用ヘッド５におけるマスター情報担体２に対向
する面は扇形状であり、その一辺が、記録再生用磁気ヘ
ッドのトラッキング走査軌道と同じ円弧になっている。
したがって、着磁用ヘッド５の磁気ギャップに発生する
磁界の方向は、トラッキング走査軌道と常に垂直とな
る。これによって、マスター情報担体２の強磁性薄膜
は、全てのトラックにおいて、記録再生用磁気ヘッドの
トラッキング走査方向と垂直な方向、すなわち、記録再
生用磁気ヘッドの磁気ギャップ長方向と同じ方向に磁化
される。
【００２８】図２を参照して、マスター情報担体２の一
例を説明すると、マスター情報担体２の磁気転写面に
は、ほぼ放射状に情報信号領域２ａが形成されている。
周方向で離れて隣り合う情報信号領域２ａ，２ａ間は放
射状の溝２ｂになっている。
【００２９】図２の点線で囲んだ部分Ａの拡大図である
図３を参照して、情報信号領域２ａには、磁気記録媒体
としての磁気記録媒体１に記録されるべきディジタル情
報信号、例えばプリフォーマット記録に対応する位置
に、上記情報信号に対応したパターン形状で強磁性薄膜
からなる磁性部によるマスター情報パターンが形成され
ている。
【００３０】図３においてハッチングされている部分
は、強磁性薄膜によって構成されたマスター情報パター
ンである。このマスター情報パターンは、クロック信
号、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報信号等の
各々の領域をトラック長さ方向に順次配列したものであ
る。このマスター情報パターンは一例であり、磁気記録
媒体に記録されるディジタル情報信号に応じて、マスタ
ー情報パターンの構成や配置等を適宜決定することとな
る。
【００３１】例えば、ハードディスクドライブのよう
に、磁気記録媒体の強磁性薄膜に、まずリファレンス信
号を記録し、そのリファレンス信号に基づきトラッキン
グ用サーボ信号などのプリフォーマット記録を行う場
合、本発明によるマスター情報担体を用いて磁気記録媒
体の強磁性薄膜に、あらかじめプリフォーマット記録に
用いるリファレンス信号のみを磁気転写する。次いで、
その磁気記録媒体をドライブの筐体内に組み込み、トラ
ッキング用サーボ信号などのプリフォーマット記録は、
磁気記録媒体ドライブの磁気ヘッドを使用して行うよう
にしてもよい。
【００３２】図２、図３に示した領域の一部断面を示す
図４を参照して、マスター情報担体２は、シリコンウエ
ハ基板などの非磁性材料からなる円盤状の基体１０の一
主面、すなわち磁気記録媒体１の表面が接触する側の表
面に、情報信号に対応する複数の微細な配列パターン形
状で凹部１０ａを形成し、その基体１０の凹部１０ａに
磁性部である強磁性薄膜１１を埋め込む形態で形成する
ことにより構成されている。１０ｂは強磁性薄膜１１の
表面を示す。
【００３３】ここで、強磁性薄膜１１としては、硬質磁
性材料、半硬質磁性材料、軟質磁性材料を問わず、多く
の種類の磁性材料を用いることができ、磁気記録媒体に
ディジタル情報信号を磁気転写できるものであればよ
い。例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｆｅ−Ｃｏ合金などを用いる
ことができる。なお、マスター情報が記録される磁気記
録媒体の種類によらずに十分な磁気転写用記録磁界を発
生させるためには、磁性材料の飽和磁束密度が大きいほ
どよい。特に、２０００エルステッドを超える高保磁力
の磁気ディスクや磁性層の厚みの大きいフレキシブルデ
ィスクに対しては、飽和磁束密度が０．８テスラ以下に
なると十分な記録を行うことができない場合があるの
で、一般的には、０．８テスラ以上、好ましくは１．０
テスラ以上の飽和磁束密度を有する磁性材料が用いられ
る。
【００３４】また、強磁性薄膜１１の厚さは、ビット長
や磁気記録媒体の飽和磁化や磁性層の膜厚によるが、例
えばビット長約１μｍ、磁気記録媒体の飽和磁化約５０
０ｅｍｕ／ｃｃ、磁気記録媒体の磁性層の厚さが約２０
ｎｍの場合では、５０ｎｍ〜５００ｎｍ程度あればよ
い。
【００３５】次に、マスター情報担体２の製造方法を説
明する。
【００３６】すなわち、シリコンウエハ基板の表面に、
レジスト膜を成膜する。次いで、フォトリソグラフィ法
のようなレーザビームまたは電子ビームを用いたリソグ
ラフィ技術によってレジスト膜を露光、現像してパター
ニングする。次いで、ドライエッチング等によってエッ
チングして、情報信号に対応した微細な凹凸形状を形成
する。次いで、Ｃｏ等からなる強磁性薄膜をスパッタリ
ング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ
法、めっき法等により成膜する。次いで、いわゆるリフ
トオフ法によってレジスト膜を除去する。これによっ
て、凹部に強磁性薄膜が埋め込まれた形態でかつ情報信
号に対応した磁性部を備えたマスター情報担体が得られ
る。
【００３７】なお、マスター情報担体の表面に凹凸形状
を形成する方法は上述の方法に限定されるものではな
く、例えば、レーザ、電子ビームまたはイオンビームを
用いて微細な凹凸形状を直接形成したり、機械加工によ
って微細な凹凸形状を直接形成してもよい。
【００３８】次に、本発明の磁気転写方法の概要を説明
する。
【００３９】本発明は、マスター情報担体２と磁気記録
媒体１との密着状態での磁気転写後に、その密着状態を
解除するため、マスター情報担体２と磁気記録媒体１と
の密着面にガスを圧送することで、そのガス圧力で、密
着状態にあるマスター情報担体２と磁気記録媒体１とを
その内側から強制的に引き離すものである。
【００４０】このとき、マスター情報担体２と磁気記録
媒体１とは強く密着しているから、ガスを前記密着面間
に圧送するのみでは、その密着解除が良好に行うことが
できない。マスター情報担体２は、吸引パッド４に保持
され、磁気記録媒体１はスピンドル３に保持された状態
で、互いに密着されているから、前記密着面間にガスを
圧送するのみでは、マスター情報担体２に対する保持力
と磁気記録媒体１に対する保持力が弱い方が、ガス圧力
で先に解除されてしまう。そこで、マスター情報担体２
と磁気記録媒体１とを、押圧力でもって、互いに押圧さ
せておいて、密着解除用のガスを圧送する。つまり、引
き離したい両者を、逆に押圧力で互いに押圧する。
【００４１】ただし、この押圧の場合、マスター情報担
体２と磁気記録媒体１とを全面的に同様に押圧するので
はなく、ガスを密着面に流入させる箇所を除いて押圧す
る。このことで、マスター情報担体２と磁気記録媒体１
は、共に、吸引パッド４とスピンドル３から離脱せず
に、ガスを密着面間に圧送でき、これによって、両者を
分離できる。
【００４２】ガスの流入箇所は密着面に連なる部位であ
れば、原則的に、どこでもよいが、好ましくは、中心部
分がよい。ハードディスクをはじめとして通常のディス
ク状の磁気記録媒体の場合、そのチャッキングのための
中心孔を流入箇所とするのがよい。
【００４３】押圧力をかける方向は、通常は、マスター
情報担体２の保持機構である吸引パッド４において、磁
気記録媒体１に向かう押圧力をかけるのが好ましいが、
それとは逆に磁気記録媒体１の保持機構であるスピンド
ル３においてマスター情報担体１に向かう押圧力をかけ
てもよく、あるいは相互に押圧力をかけても構わない。
【００４４】このようにしてマスター情報担体２と磁気
記録媒体１との密着状態が解除されと、次には、押圧力
を解除してマスター情報担体２と磁気記録媒体１とを互
いに引き離して分離する。
【００４５】次に、本発明の磁気転写方法を詳細に説明
する。
【００４６】まず、図５に示すように、マスター情報担
体２を吸引パッド４の先端の凹部４ｂにより吸引圧力Ｐ
1で吸引する。このとき、マスター情報担体２は、その
ほぼ中央部が吸引パッド４側に凹んだ状態で保持され
る。
【００４７】次いで、吸引パッド４に吸着されたマスタ
ー情報担体２を、スピンドル３に装着された磁気記録媒
体１に近接させる。
【００４８】ここで、磁気記録媒体１として、例えば内
径（Ｄｍ）２５ｍｍ、外径９５ｍｍのディスクを用いた
場合、マスター情報担体２の外径は１００ｍｍ程度が適
当である。また、吸引パッド４の先端部の内径、すなわ
ち凹部４ｂの内径（Ｄｐ）は、磁気記録媒体１の中心孔
１ａの径とほぼ同じ径とすることが好ましい。さらに、
本発明は様々なサイズのディスクに使用することが可能
であるが、本発明の方法に用いるマスター情報担体２の
外径は磁気記録媒体１の外径よりもやや大きい外径とす
ることが好ましい。
【００４９】次いで、図６に示すように、磁気記録媒体
１とマスター情報担体２とを近接させて対向させるとと
もに、スピンドル３の圧送吸引孔３ｂを通して磁気記録
媒体１とマスター情報担体２との対向面間にガスを圧送
する。これにより、磁気記録媒体１とマスター情報担体
２の両対向面に付着している微細なゴミなどが取り除か
れ、両対向面が清浄化される。このとき、圧送するガス
の圧力Ｐ2は０．３〜１ｋｇ／ｃｍ2の範囲が適当であ
る。
【００５０】この工程により磁気記録媒体１とマスター
情報担体２の両対向面から微細なゴミなどが除去される
が、１μｍ以下の超微細なゴミなどはこの処理によって
も除去されない場合がある。このような超微細なゴミの
うち、磁気記録媒体１に付着したものは、後の工程にお
いてマスター情報担体２と磁気記録媒体１の両対向面
(一方は磁気転写面、他方は被磁気転写面)を密着させた
後、マスター情報担体２と磁気記録媒体１とを分離する
ことにより、磁気記録媒体１から完全に除去される。
【００５１】このようにして、微細なゴミを除去した後
は、図７に示すようにスピンドル３の圧送吸引孔３ｂを
通してのガスの圧送を停止し、マスター情報担体２と磁
気記録媒体１とを密着させる。
【００５２】その後、図８に示すように、マスター情報
担体２の中央部の凹みが平坦となる吸引圧力Ｐ3でスピ
ンドル３を通して吸引する。このとき、スピンドル３の
吸引圧力Ｐ3を吸引パッド４の吸引圧力Ｐ1と同じ圧力に
することにより、マスター情報担体２の凹みがなくな
り、平坦なディスク状となり、磁気記録媒体１とマスタ
ー情報担体２は、互いに良好に密着する。
【００５３】その後、前記密着状態で、着磁用ヘッド５
により転写磁界を印加してマスター情報担体２に形成さ
れた情報信号の配列パターンを、情報信号の磁化パター
ンとして磁気記録媒体１に磁気転写する。
【００５４】磁気転写が完了した段階で、同じく図８に
示すように、吸引パッド４に押圧力Ｆを印加する。押圧
力Ｆは、マスター情報担体２や磁気記録媒体１に垂直で
マスター情報担体２を磁気記録媒体１に押し付ける方向
に印加される。
【００５５】この状態で、次にスピンドル３の吸引(吸
引圧力Ｐ3)を停止して、図９に示すように、スピンドル
３を通して圧送圧力Ｐ4のガスをマスター情報担体２と
磁気記録媒体１の密着面間に向けて圧送する。この瞬間
に、その圧送圧力Ｐ4によってマスター情報担体２がス
ピンドル３から離れる方向に受ける力をＦｍ（図示せ
ず）とすると、 Ｆｍ＝Ｐ4×Ｓ である。ここで、Ｓは磁気記録媒体１の中心孔１ａの面
積である。
【００５６】もし、押圧力Ｆ＝０ならば、すなわちマス
ター情報担体２に対して押圧力Ｆを印加しないのであれ
ば、マスター情報担体２は、密着している磁気記録媒体
１を張り付けたまま圧送圧力Ｐ４による力Ｆｍによって
記録媒体保持体であるスピンドル３から離れてしまう。
その結果、マスター情報担体２と磁気記録媒体１との間
にガスが圧送できず、マスター情報担体２と磁気記録媒
体１とを離間することが困難になる。
【００５７】本発明によれば、 Ｆ≧Ｆｍ＝Ｐ4×Ｓ の関係で設定することにより、マスター情報担体２がス
ピンドル３から浮き上がらないので、図２に示した溝２
ｂを通ってマスター情報担体２と磁気記録媒体１との間
にガスが圧送される。その結果、マスター情報担体２の
磁気転写面と磁気記録媒体１の被磁気転写面との間にガ
スが入り込み、密着が解除される。
【００５８】次に、図１０に示すように、吸引パッド４
の押圧力Ｆを取り除くと、マスター情報担体２と吸引パ
ッド４は空気圧Ｐ4により磁気記録媒体１から浮上す
る。浮上量は数μｍから数十μｍである。
【００５９】次に、図１１に示すように、マスター情報
担体２を磁気記録媒体１から完全に引き離すために、吸
引パッド４を引き離し速度Ｖ1で磁気記録媒体１から遠
ざける。このとき、マスター情報担体２と磁気記録媒体
１との間の空間増加率をＱｍとすると、 Ｑｍ＝(π×Ｄｏ2×Ｖ1)／４ である。ここで、Ｄｏは磁気記録媒体１の外径である。
一方、圧力Ｐ4で圧送されるガスがマスター情報担体２
と磁気記録媒体１のとの間の空間に充填される量は単位
時間あたり、 Ｑ＝π×Ｄｉ4×Ｐ4／（１２８×μ×Ｌ） である（ハーゲン・ポアズイユの法則）。ここで、Ｄｉ
はスピンドル３に供給されるガスの通路（圧送吸引孔３
ｂに連なる流路：図示せず）における直径であり、Ｌは
ガス通路の長さ、μはガス（ガス）の粘性係数である。
【００６０】もし、ＱｍがＱより大きいならば、空間の
増大にガスの充填が追いつかず、マスター情報担体２と
磁気記録媒体１との間が負圧になる。こうなると、磁気
記録媒体１はマスター情報担体２に張り付いたままとな
ってしまって、マスター情報担体２とともにスピンドル
３から離れてしまう。
【００６１】本発明によれば、吸引パッド４の引き離し
速度Ｖ1を Ｖ1≦（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） とすることにより、 Ｑｍ≦Ｑ となり、空間の増大に対して十分なガスの充填が行われ
るため、マスター情報担体２と磁気記録媒体１との間の
空間が負圧になることが無く、確実に両者を引き離すこ
とができる。
【００６２】さらに、本発明によれば、図１２に示すよ
うに、マスター情報担体２と磁気記録媒体１との距離Ｄ
が１００μｍ以上になった時点で、吸引パッド４の引き
離し速度をＶ2に変更する。ここでＶ2は Ｖ2≧（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） となる十分大きな速度とする。マスター情報担体２と磁
気記録媒体１との距離Ｄが１００μｍ以上であれば、ス
ピンドル３からのガスの供給に加えて磁気記録媒体１の
周囲の空間からも十分な外気が供給されるので、Ｖ2は
上述した制限を受けない十分大きな速度とすることがで
き、転写記録動作の高速化が図られる。
【００６３】以下、具体例を説明する。
【００６４】情報信号を有するディスク状マスター情報
担体２として、外径１００ｍｍ、厚み０．５２５ｍｍの
シリコンウエハを用い、また磁気記録媒体１として、外
径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚み０．８ｍｍの磁気記録
媒体（３．５インチ磁気記録媒体）を用いて、マスター
情報担体から磁気記録媒体への情報の転写記録を行っ
た。
【００６５】このとき、図５において、吸引パッド４の
凹部４ｂの内径Ｄｐもスレーブディスクの内径と同じく
２５ｍｍとし、吸引圧力Ｐ1は４０ｋＰａに設定した。
図６において、スピンドル３へ送るガスの圧力Ｐ2は１
０ｋＰａに設定した。また、図１におけるＰ3はＰ1と同
じ吸引圧力に設定し、図９におけるスピンドル３へ送る
ガスの圧力Ｐ4は５ｋＰａに設定した。
【００６６】また図９において、圧力Ｐ4によってマス
ター情報担体２がスピンドル３から離れる方向に受ける
力Ｆｍは、 Ｆｍ＝Ｐ4×Ｓ＝５０００×π×（０．０２５）2／４≒
２．４５Ｎ であるので（Ｎ：ニュートン）、吸引パッド４の押圧力
Ｆは、一例として、 Ｆ＝２．９Ｎ ≧Ｆｍ とした。
【００６７】また図１１において、スピンドル３の圧送
吸引孔３ｂにガスを圧送する管路（図示せず）の直径Ｄ
ｉは４ｍｍとし、管路の長さは１．５ｍとした。そし
て、吸引パッドの移動速度Ｖ1は Ｖ1≦（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） とするので、実際の値を代入すると、 Ｖ1≦｛５０００×（０．００４）4｝／｛３２×１．８
１×１０-5×(０．０９５）2×１．５｝≒０．１６３
ｍ／ｓ となり、Ｖ1は０．１ ｍ／ｓ とした。
【００６８】また、図１２において Ｖ2は０．３ ｍ
／ｓとした。
【００６９】このような方法で磁気記録媒体に磁気転写
を行った結果、転写後に磁気記録媒体１とマスター情報
担体２とを確実かつ高速に分離することができた。
【００７０】なお、着磁用ヘッド５により転写磁界を印
加してマスター情報担体２の情報を磁気記録媒体１に磁
気転写する原理について説明する。
【００７１】最初に、図１３に示すように、着磁用ヘッ
ド５を磁気記録媒体１に近づけた状態で、磁気記録媒体
１の中心軸を回転軸として磁気記録媒体１と平行に着磁
用ヘッド５を回転させることにより、図１４において矢
印で示すように磁気記録媒体１を予め一方向に磁化する
（初期磁化）。
【００７２】次に、磁気記録媒体１にマスター情報担体
２を位置決めし、マスター情報担体２の強磁性薄膜１１
（図１７参照）が形成されている面と磁気記録媒体１と
が均一に密着するように重ね合わせる。その後、図１５
に示すように、着磁用ヘッド５による磁界の方向を初期
磁化とは逆方向にする。また、スピンドル３に保持され
ている磁気記録媒体１の中心を回転中心として、マスタ
ー情報担体２と平行に着磁用ヘッド５を回転させる。こ
れにより、マスター情報担体２に直流励磁磁界を印加す
る。
【００７３】これにより、マスター情報担体２の強磁性
薄膜１１が磁化され、そしてマスター情報担体２に重ね
合わせた磁気記録媒体１の所定の領域１ｂに、図１６に
示すように強磁性薄膜１１による磁性部のパターン形状
に対応した情報信号が記録される。なお、図１６に示す
矢印は、このとき、磁気記録媒体１に転写記録される磁
化パターンの磁界の方向を示している。
【００７４】図１７はその磁化処理時の様子を示す。図
１７に示すように、マスター情報担体２を磁気記録媒体
である磁気記録媒体１に密着させた状態で、マスター情
報担体２に外部から磁界を印加して強磁性薄膜１１を磁
化することによって、磁気記録媒体１の強磁性薄膜から
なる磁気記録層１ｃに情報信号を磁気転写することがで
きる。すなわち、非磁性の基体１０に所定の配列パター
ン形状で強磁性薄膜１１を形成して構成したマスター情
報担体２を用いることにより、ディジタル情報信号を磁
気記録媒体である磁気記録媒体１に磁気的に磁気転写す
ることができる。
【００７５】なお、マスター情報担体２のパターンを磁
気記録媒体１に転写記録する際の方法として、上述のよ
うにマスター情報担体２を磁気記録媒体１に接触させた
状態で外部磁界を印加する方法以外に、マスター情報担
体２の強磁性薄膜１１をあらかじめ磁化させておき、そ
の状態でマスター情報担体２を磁気記録媒体１に密着す
るように接触させる方法であってもディジタル情報信号
を磁気転写することができる。
【００７６】上述磁気転写装置を、コントローラを含め
て、図１８および図１９を参照して説明する。
【００７７】この磁気転写装置は、上述したスピンドル
３、吸引パッド４および着磁用ヘッド５に加えてガス圧
送吸引機構２０、荷重機構２１、移動機構２２およびコ
ントローラ２３を有する。
【００７８】スピンドル３は、磁気記録媒体１を保持す
る保持機構、吸引パッド４は、マスター情報担体２を保
持する保持機構と称することができる。また、スピンド
ル３、吸引パッド４、および移動機構２２を含めて保持
密着機構と称することができる。
【００７９】ガス圧送吸引機構２０は、例えば電磁ポン
プで構成され、スピンドル３の圧送吸引孔３ｂおよび吸
引パッド４の吸引孔４ａそれぞれとガス管やダクトで接
続され、コントローラ２３からの制御信号に応答してそ
れらに対してガスを圧送および吸引する。
【００８０】荷重機構２１は、吸引パッド４を介してマ
スター情報担体２に対して押圧力Ｆを印加する。
【００８１】移動機構２２は、マスター情報担体２を磁
気記録媒体１に対して接近および引き離すなどの移動を
行う。この場合の引き離しを速度Ｖ1，Ｖ2に切り換えて
行うことができる。
【００８２】コントローラ２３は、上述した磁気転写の
ため、着磁用ヘッド５、ガス圧送吸引機構２０、荷重機
構２１、移動機構２２に対して図１９のフローチャート
に従う制御を行う。
【００８３】(ステップｎ１)まず、ガス圧送吸引機構２
０を駆動制御して吸引パッド４の吸引孔４ａを介して吸
引圧力Ｐ1でガスを吸引する。この吸引圧力Ｐ1は、以下
のステップすべてにおいて印加する。
【００８４】(ステップｎ２)次いで、移動機構２２を駆
動制御してマスター情報担体２を磁気記録媒体１に近接
対向させる。
【００８５】(ステップｎ３)続いて、ガス圧送吸引機構
２０を駆動制御してスピンドル３の圧送吸引孔３ｂを通
してガスを圧送圧力Ｐ2で圧送する。
【００８６】(ステップｎ４)次いで、ガス圧送吸引機構
２０を駆動制御してスピンドル３の圧送吸引孔３ｂを通
してのガスの圧送を停止(圧送圧力Ｐ2＝０)してマスタ
ー情報担体２と磁気記録媒体１とを密着させる。
【００８７】(ステップｎ５)次いで、ガス圧送吸引機構
２０を駆動制御してスピンドル３の圧送吸引孔３ｂから
吸引圧力Ｐ3でガスを吸引する。このときの吸引圧力Ｐ3
を吸引パッド４の吸引圧力Ｐ1と同じ圧力にする。磁気
記録媒体１とマスター情報担体２とを良好な密着状態に
する。
【００８８】(ステップｎ６)次いで、前記ステップｎ５
における圧力状態で、磁気記録媒体１とマスター情報担
体２とが密着した状態で、着磁用ヘッド５を駆動制御し
て転写磁界を印加してマスター情報担体２に形成された
情報信号の配列パターンを、情報信号の磁化パターンと
して磁気記録媒体１に転写記録する。
【００８９】(ステップｎ７)次いで、転写記録が完了し
た段階で、荷重機構２１を駆動制御して吸引パッド４に
押圧力Ｆを印加する。
【００９０】(ステップｎ８)この状態で、ガス圧送吸引
機構２０を駆動制御してスピンドル３におけるガスの吸
引を停止(吸引圧力Ｐ3＝０)するとともに、ガス圧送吸
引機構２０を駆動制御してスピンドル３を通して圧送圧
力Ｐ4のガスを圧送する。
【００９１】(ステップｎ９)次いで、荷重機構２１を駆
動制御して吸引パッド４に対する押圧力Ｆを取り除くこ
とによりマスター情報担体２をスピンドル３の吸引孔３
ｂからの圧送圧力Ｐ 4により磁気記録媒体１から浮上さ
せる。
【００９２】(ステップｎ１０)次いで、移動機構２２を
駆動制御してマスター情報担体２を磁気記録媒体１から
完全に引き離すために、吸引パッド４を引き離し速度Ｖ
1で磁気記録媒体１から遠ざける。
【００９３】(ステップｎ１１)次いで、マスター情報担
体２と磁気記録媒体１との距離Ｄが１００μｍ以上にな
った時点で、移動機構２２を駆動制御して吸引パッド４
の引き離し速度をＶ2に変更する。
【００９４】以上のコントローラ２３による制御によ
り、磁気転写のため密着状態にあるマスター情報担体２
と磁気記録媒体１とを、磁気転写後に容易かつ確実に分
離させることができる。このコントローラ２３は、マイ
クロコンピュータを内蔵させ、このマイクロコンピュー
タにおける図１９のフローチャートを実行するソフトウ
エア処理により前記磁気転写の制御を行うことができ
る。
【００９５】マイクロコンピュータで構成されるコント
ローラ２３は、前記ソフトウエアを実行するためのプロ
グラムメモリに、また、Ｐ1〜Ｐ4、Ｆ≧Ｆｍ＝Ｐ4×
Ｓ、Ｑｍ＝(π×Ｄｏ2×Ｖ1)／４、Ｑ＝π×Ｄｉ4×Ｐ4
／（１２８×μ×Ｌ）、 Ｑｍ≦Ｑ、Ｖ2≧（Ｐ4×Ｄｉ
4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ）、などの演算式およびこ
の演算式に基づく演算に必要な数値データをデータメモ
リに記憶していて、ＣＰＵにおいて、それらの数値や演
算式をもとに、前記各ステップを実行するようになって
いる。
【００９６】なお、これらガス圧送吸引機構２０、荷重
機構２１、移動機構２２およびコントローラ２３をユニ
ット構成にしてもよい。また、ガス圧力や荷重や移動距
離の検知にセンサを設け、このセンサ出力をコントロー
ラ２３に帰還させ、コントローラ２３においては、セン
サ出力から各ステップの実行を図るようにしてもよい。
【００９７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マスター情報担体を磁気記録媒体に密着状態に重ね合わ
せる第１ステップと、前記密着状態において前記マスタ
ー情報担体における情報信号に対応したパターンを前記
磁気記録媒体に磁気転写する第２ステップと、前記マス
ター情報担体と前記磁気記録媒体とを互いに押圧する向
きの押圧力を印加する一方、前記マスター情報担体と前
記磁気記録媒体との両密着面間にガスを圧送する第３ス
テップと、前記押圧力を解除し、前記ガスの圧送を継続
する第４ステップとを含む磁気転写方法としたから、磁
気転写のため密着状態にあるマスター情報担体と磁気記
録媒体とを、磁気転写後に容易かつ確実に分離させるこ
とができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に従う磁気転写装置の要部を
示す断面図
【図２】図１のマスター情報担体の部分平面図
【図３】図１の磁気記録媒体に磁気転写される情報信号
の配列パターンを示す図
【図４】図１のマスター情報担体の拡大部分断面図
【図５】図１の磁気転写装置の磁気転写工程における断
面図
【図６】図１の磁気転写装置の他の磁気転写工程におけ
る断面図
【図７】図１の磁気転写装置のさらに他の磁気転写工程
における断面図
【図８】図１の磁気転写装置のさらに他の磁気転写工程
における断面図
【図９】図１の磁気転写装置のさらに他の磁気転写工程
における断面図
【図１０】図１の磁気転写装置のさらに他の磁気転写工
程における断面図
【図１１】図１の磁気転写装置のさらに他の磁気転写工
程における断面図
【図１２】図１の磁気転写装置のさらに他の磁気転写工
程における断面図
【図１３】図１の磁気転写装置の磁気転写工程における
磁気記録媒体に磁界を印加している状況を示す一部破断
の斜視図
【図１４】図１３に示す工程により一方向に着磁された
磁気記録媒体の状況を模式的に示す斜視図
【図１５】図１の磁気転写装置により磁気記録媒体に情
報信号を転写記録している状況を示す一部破断の斜視図
【図１６】図１５に示す工程により情報信号が記録され
た磁気記録媒体の状況を模式的に示す斜視図
【図１７】図１５に示す工程により磁気記録媒体に情報
信号を転写記録した場合の磁化パターンの様子を説明す
るための断面図
【図１８】本発明の他の実施形態に従う磁気転写装置の
構成図
【図１９】図１８のコントローラの動作フローチャート
【符号の説明】
１ 磁気記録媒体 １ａ 中心孔 ２ マスター情報担体 ３ スピンドル ３ａ チャック部 ３ｂ 圧送吸引孔 ４ 吸引パッド ４ａ 吸引孔

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】マスター情報担体を磁気記録媒体に密着状
    態に重ね合わせる第１ステップと、 前記第１ステップにおける前記密着状態において前記マ
    スター情報担体における情報信号に対応したパターンを
    前記磁気記録媒体に磁気転写する第２ステップと、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを互いに押
    圧する向きの押圧力を印加する一方、前記マスター情報
    担体と前記磁気記録媒体との両密着面間にガスを圧送す
    る第３ステップと、 前記第３ステップにおける前記押圧力を解除し、前記ガ
    スの圧送を継続する第４ステップと、 を含む磁気転写方法。
  2. 【請求項２】前記第１ステップにおいて、前記マスター
    情報担体を前記磁気記録媒体に対向させ、前記マスター
    情報担体と前記磁気記録媒体との対向面間にガスを第１
    圧送圧力で圧送した後、その圧送を停止して前記マスタ
    ー情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させる、請求項
    １に記載の磁気転写方法。
  3. 【請求項３】前記第１ステップにおいて、前記第１圧送
    圧力が、０．１〜１ｋｇ／ｍｍ2である請求項２に記載
    の磁気転写方法。
  4. 【請求項４】前記第１ステップにおいて、前記マスター
    情報担体を吸引パッドに吸引保持し、この保持状態で前
    記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に対向接近さ
    せ、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との対向
    面間に前記磁気記録媒体の中心孔を介してガスを第１圧
    送圧力で圧送した後、その圧送を停止するとともに前記
    吸引パッドの吸引圧力と同じ吸引圧力で前記マスター情
    報担体と前記磁気記録媒体との対向面間からガスを吸引
    して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着
    させる請求項１ないし３いずれかに記載の磁気転写方
    法。
  5. 【請求項５】前記第３ステップにおいて、前記押圧力
    を、前記磁気記録媒体の中心孔の面積をＳ、前記マスタ
    ー情報担体に対する押圧力をＦ、前記密着解除用のガス
    の圧力をＰ4として、Ｆ≧Ｐ4×Ｓの関係に設定する請求
    項１ないし４いずれかに記載の磁気転写方法。
  6. 【請求項６】前記第４ステップの後、前記マスター情報
    担体を前記磁気記録媒体から所定の引き離し速度で引き
    離す第５ステップを有し、前記第５ステップにおいて
    は、前記速度をＶ1、前記磁気記録媒体の外径をＤｏ、
    前記ガスの通路の直径をＤｉ、前記通路の長さをＬ、ガ
    スの粘性係数をμとして、 Ｖ1≦（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） の関係に設定する請求項１ないし５いずれかに記載の磁
    気転写方法。
  7. 【請求項７】前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体
    との引き離しにおいて、前記速度Ｖ1に対して、前記マ
    スター情報担体と前記磁気記録媒体との離間寸法が所定
    値を超えたときに増速して引き離し速度Ｖ2となし、そ
    の増速した引き離し速度Ｖ2を、 Ｖ2≧（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） の関係に設定する請求項６に記載の磁気転写方法。
  8. 【請求項８】前記マスター情報担体が、円盤状であり、
    また、前記磁気記録媒体が、円盤状の磁気ディスクであ
    り、前記マスター情報担体は、前記磁気記録媒体より大
    径形状とされている請求項１ないし７いずれかに記載の
    磁気転写方法。
  9. 【請求項９】磁気記録媒体にマスター情報担体を対向さ
    せた状態で前記磁気記録媒体の中心孔を介して該磁気記
    録媒体と前記マスター情報担体との対向面間にガスを第
    １圧送圧力で圧送する第１ステップと、 前記第１ステップにおけるガスの圧送を停止して前記マ
    スター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させる第２
    ステップと、 前記第２ステップにおける前記密着状態において前記マ
    スター情報担体における情報信号に対応したパターンを
    前記磁気記録媒体に磁気転写する第３ステップと、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを互いに押
    圧する向きの押圧力を印加する一方、前記マスター情報
    担体と前記磁気記録媒体との両密着面間に該磁気記録媒
    体の中心孔を介してガスを第２圧送圧力で圧送する第４
    ステップと、 前記第４ステップにおける前記押圧力を解除し、前記第
    ４ステップにおけるガスの圧送を継続する第５ステップ
    と、 を含む磁気転写方法。
  10. 【請求項１０】前記第１ステップにおいて、前記マスタ
    ー情報担体の背面側を吸引パッドによる第１吸引圧力で
    吸引して前記マスター情報担体を前記吸引パッドに保持
    し、この吸引保持状態で前記マスター情報担体を前記磁
    気記録媒体に対向接近させ、この対向状態で前記磁気記
    録媒体の中心孔を介して前記マスター情報担体と前記該
    磁気記録媒体との対向面間にガスを圧送する請求項９に
    記載の磁気転写方法。
  11. 【請求項１１】前記第２ステップにおいて、前記磁気記
    録媒体の中心孔に対する前記ガスの圧送を停止させると
    ともに、前記磁気記録媒体の中心孔を介して前記マスタ
    ー情報担体と前記該磁気記録媒体との対向面間からガス
    を前記第１吸引圧力と同じ圧力で吸引して前記マスター
    情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させる請求項９ま
    たは１０に記載の磁気転写方法。
  12. 【請求項１２】前記第４ステップにおいて、前記押圧力
    を、前記磁気記録媒体の中心孔の面積をＳ、前記マスタ
    ー情報担体に対する押圧力をＦ、前記密着解除用のガス
    の圧力をＰ4として、Ｆ≧Ｐ4×Ｓの関係に設定する請求
    項９ないし１１いずれかに記載の磁気転写方法。
  13. 【請求項１３】マスター情報担体を吸引パッドによる第
    １吸引圧力で吸引保持する第１ステップと、 前記第１ステップにおける前記吸引保持状態で前記マス
    ター情報担体を磁気記録媒体に向けて対向接近させる第
    ２ステップと、 前記第２ステップにおける前記対向状態で前記磁気記録
    媒体の中心孔を介して前記マスター情報担体と前記磁気
    記録媒体との対向面間にガスを圧送する第３ステップ
    と、 前記第３ステップにおける前記圧送を停止するととも
    に、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との対向
    面間をスピンドルの圧送吸引孔を介して第２吸引圧力で
    吸引して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを
    密着させる第４ステップと、 前記第４ステップにおける前記密着状態において前記マ
    スター情報担体における情報信号に対応したパターンを
    前記磁気記録媒体に磁気転写する第５ステップと、 前記第４および第５ステップにおいて前記密着状態にあ
    る前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを押圧す
    る向きの押圧力を印加する一方、前記マスター情報担体
    と前記磁気記録媒体との両密着面間にガスを圧送する第
    ６ステップと、 前記第６ステップにおける前記押圧力を解除し、前記ガ
    スの圧送を継続する第７ステップと、 を含む磁気転写方法。
  14. 【請求項１４】前記第１ステップにおける前記第１吸引
    圧力を前記マスター情報担体の磁気転写面を凹ませる大
    きさに設定する一方、前記第４ステップにおける前記第
    ２吸引圧力を前記第１吸引圧力と同じ大きさに設定す
    る、請求項１３に記載の磁気転写方法。
  15. 【請求項１５】前記第６ステップにおいて前記磁気記録
    媒体の中心孔の面積をＳ、前記マスター情報担体に対す
    る押圧力をＦ、前記密着解除用のガスの圧力をＰ4とし
    て、Ｆ≧Ｐ4×Ｓの関係に設定する請求項１３または１
    ４に記載の磁気転写方法。
  16. 【請求項１６】前記第７ステップの後、前記マスター情
    報担体を前記磁気記録媒体から引き離す第８ステップを
    有し、前記第８ステップにおいては、前記マスター情報
    担体と前記磁気記録媒体との引き離しの第１速度を
    Ｖ1、前記磁気記録媒体の外径をＤｏ、前記ガスの通路
    の直径をＤｉ、前記通路の長さをＬ、ガスの粘性係数を
    μとして、 Ｖ1≦（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） の関係に設定する請求項１３ないし１５いずれかに記載
    の磁気転写方法。
  17. 【請求項１７】前記第８ステップが、前記マスター情報
    担体と前記磁気記録媒体との引き離し距離が所定値を超
    えたとき、前記引き離し速度を第１速度Ｖ1から第２速
    度Ｖ2に増速する請求項１６に記載の磁気転写方法。
  18. 【請求項１８】前記第２速度Ｖ2を、Ｖ2≧（Ｐ4×Ｄ
    ｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ 2×Ｌ）の関係に設定する請求
    項１７に記載の磁気転写方法。
  19. 【請求項１９】前記速度Ｖ1から前記速度Ｖ2へ切り換え
    るときの前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との
    離間寸法を１００μｍ以上に設定する請求項１８に記載
    の磁気転写方法。
  20. 【請求項２０】前記マスター情報担体として、ディスク
    状の基体上に強磁性薄膜からなる磁性部を所定の情報信
    号に対応する配列パターン形状になるように形成したも
    のを用い、そのマスター情報担体を前記磁気記録媒体に
    密着状態で重ね合わせるとともに、前記マスター情報担
    体の前記磁性部を磁化することにより、前記マスター情
    報担体に形成された情報信号の配列パターンを情報信号
    の磁化パターンとして前記磁気記録媒体に転写記録する
    ことを特徴とする請求項１３ないし１９いずれかに記載
    の磁気転写方法。
  21. 【請求項２１】マスター情報担体と磁気記録媒体との対
    向面に対してガスの圧送および吸引を行うガス圧送吸引
    機構と、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを互いに押
    圧する向きの押圧力を印加する荷重機構と、 前記ガス圧送吸引機構および前記荷重機構を駆動制御す
    るコントローラと、 を有し、 前記コントローラは、前記マスター情報担体と前記磁気
    記録媒体とが密着している状態において前記荷重機構を
    駆動制御して前記磁気転写後に前記マスター情報担体と
    前記磁気記録媒体とを互いに押圧する向きの押圧力を印
    加する第１ステップと、前記ガス圧送吸引機構を駆動制
    御して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との両
    対向面間にガスを圧送する第２ステップと、前記荷重機
    構を駆動制御して前記押圧力を解除し、前記ガス圧送吸
    引機構を駆動制御して前記ガスの圧送を継続する第３ス
    テップとを実行する磁気転写装置。
  22. 【請求項２２】前記コントローラは、前記第１および第
    ２ステップにおいて、前記荷重機構と前記ガス圧送吸引
    機構とを、前記押圧力をＦ、前記ガスの圧力をＰ4、前
    記磁気記録媒体の中心孔の面積をＳとしたとき、Ｆ≧Ｐ
    4×Ｓの関係のもとに駆動制御する請求項２１に記載の
    磁気転写装置。
  23. 【請求項２３】マスター情報担体と磁気記録媒体とを保
    持し、かつ、互いに密着させる保持密着機構と、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との対向面に
    ガスの圧送および吸引を行うガス圧送吸引機構と、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを互いに押
    圧する向きの押圧力を印加する荷重機構と、 前記マスター情報担体から前記磁気記録媒体に情報信号
    を磁気転写するための着磁用ヘッドと、 前記ガス圧送吸引機構、前記荷重機構および前記着磁用
    ヘッドを駆動制御するコントローラと、 を有し、 前記コントローラは、前記保持密着機構を駆動制御して
    前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させ
    る第１ステップと、その密着状態において前記着磁用ヘ
    ッドを駆動制御して前記マスター情報担体における情報
    信号に対応したパターンを前記磁気記録媒体に磁気転写
    させる第２ステップと、前記荷重機構を駆動制御して前
    記磁気転写後に前記マスター情報担体と前記磁気記録媒
    体とを互いに押圧する向きの押圧力を印加する第３ステ
    ップと、前記ガス圧送吸引機構を駆動制御して前記マス
    ター情報担体と前記磁気記録媒体との両対向面間にガス
    を圧送する第４ステップと、前記荷重機構を駆動制御し
    て前記押圧力を解除し、前記ガス圧送吸引機構を駆動制
    御して前記ガスの圧送を継続する第５ステップとを実行
    する磁気転写装置。
  24. 【請求項２４】前記保持密着機構が、ガス圧送吸引孔を
    有するスピンドルを含み、前記スピンドルがそのガス圧
    送吸引孔を前記磁気記録媒体の中心孔に連通した状態で
    該磁気記録媒体をその背面側で保持し、 前記ガス圧送吸引機構が、前記スピンドルのガス圧送吸
    引孔および前記磁気記録媒体の中心孔を介して前記マス
    ター情報担体と前記磁気記録媒体との対向面間にガスを
    圧送および吸引可能とされ、 前記コントローラが、前記ガス圧送吸引機構を駆動制御
    して前記各ステップを実行する請求項２３に記載の磁気
    転写装置。
  25. 【請求項２５】前記保持密着機構が、ガス吸引孔を有す
    るとともに前記マスター情報担体の背面側を吸引して該
    マスター情報担体を保持する吸引パッドを含み、 前記ガス圧送吸引機構が、前記吸引パッドのガス吸引孔
    を介して前記ガスを吸引可能とされ、 前記コントローラが、前記ガス圧送吸引機構を駆動制御
    して前記吸引パッドに対して第１吸引圧力で前記マスタ
    ー情報担体を吸引保持させ、前記荷重機構を駆動制御し
    て前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを接近対
    向させると、前記ガス圧送吸引機構を駆動制御して前記
    スピンドルのガス圧送吸引孔からガスを圧送し、その
    後、前記第１吸引圧力と同じ第２吸引圧力で前記スピン
    ドルのガス圧送吸引孔からガスを吸引する、請求項２３
    または２４に記載の磁気転写装置。
  26. 【請求項２６】前記コントローラは、前記第３および第
    ４ステップにおいて、前記荷重機構と前記ガス圧送吸引
    機構とを、前記押圧力をＦ、前記ガスの圧力をＰ4、前
    記磁気記録媒体の中心孔の面積をＳとしたとき、Ｆ≧Ｐ
    4×Ｓの関係のもとに駆動制御する請求項２３ないし２
    ５いずれかに記載の磁気転写装置。
  27. 【請求項２７】前記吸引パッドは、その先端に前記磁気
    記録媒体の中心孔と同じ内径の凹部を有する、請求項２
    ６に記載の磁気転写装置。
  28. 【請求項２８】前記コントローラは、第５ステップの
    後、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との引き
    離しの速度をＶ1、前記磁気記録媒体の外径をＤｏ、前
    記ガスの通路の直径をＤｉ、前記通路の長さをＬ、ガス
    の粘性係数をμとして、Ｖ1≦（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２
    ×μ×Ｄｏ2×Ｌ）の関係に設定して、マスター情報担
    体と磁気記録媒体とを引き離す第６ステップを実行する
    請求項２３ないし２７いずれかに記載の磁気転写装置。
  29. 【請求項２９】前記コントローラは、前記マスター情報
    担体と前記磁気記録媒体との引き離しにおいて、前記速
    度Ｖ1に対して、前記マスター情報担体と前記磁気記録
    媒体との離間寸法が所定値を超えたときに増速して引き
    離し速度Ｖ2とし、その増速した引き離し速度Ｖ2を、 Ｖ2≧（Ｐ4×Ｄｉ4）／（３２×μ×Ｄｏ2×Ｌ） の関係に設定する請求項２８に記載の磁気転写装置。
JP2001339226A 2000-11-28 2001-11-05 磁気転写方法および磁気転写装置 Expired - Fee Related JP3424078B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001339226A JP3424078B2 (ja) 2000-11-28 2001-11-05 磁気転写方法および磁気転写装置
MYPI20015411A MY122485A (en) 2000-11-28 2001-11-27 Magnetic transferring method and magnetic transferring apparatus
US09/994,676 US6762892B2 (en) 2000-11-28 2001-11-28 Magnetic transferring method and magnetic transferring apparatus

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000-361176 2000-11-28
JP2000361176 2000-11-28
JP2001339226A JP3424078B2 (ja) 2000-11-28 2001-11-05 磁気転写方法および磁気転写装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002230751A true JP2002230751A (ja) 2002-08-16
JP3424078B2 JP3424078B2 (ja) 2003-07-07

Family

ID=26604717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001339226A Expired - Fee Related JP3424078B2 (ja) 2000-11-28 2001-11-05 磁気転写方法および磁気転写装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6762892B2 (ja)
JP (1) JP3424078B2 (ja)
MY (1) MY122485A (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6980380B2 (en) * 2001-12-28 2005-12-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Master information carrier and method for manufacturing magnetic disk
US20060098317A1 (en) * 2004-11-08 2006-05-11 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of disk delivery of magnetic transfer apparatus, disk holding apparatus and magnetic transfer method and apparatus using same
JP2006202401A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気転写用マスターディスク、磁気記録媒体、及び磁気記録装置
US20060203366A1 (en) * 2005-03-11 2006-09-14 Fuji Photo Film Co., Ltd. Transfer master, transfer holder, transfer apparatus, and magnetic recording medium
US7695667B2 (en) * 2006-03-01 2010-04-13 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method and apparatus for separating a stamper from a patterned substrate
JP2011243264A (ja) * 2010-05-20 2011-12-01 Fuji Electric Co Ltd 磁気記録媒体、および、磁気記録媒体の製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0778337A (ja) 1993-09-10 1995-03-20 Sony Corp 磁気記録転写装置
JP3323743B2 (ja) 1996-07-22 2002-09-09 松下電器産業株式会社 マスター情報担体および磁気記録媒体の製造方法
MY125761A (en) * 1999-04-27 2006-08-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method and apparatus for manufacturing a magnetic recording medium with pre-format recording signals transferred and redorded by using a master information carrier

Also Published As

Publication number Publication date
US20020063981A1 (en) 2002-05-30
JP3424078B2 (ja) 2003-07-07
MY122485A (en) 2006-04-29
US6762892B2 (en) 2004-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100378759B1 (ko) 자기기록매체 제조방법, 자기기록매체, 및 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치
JPH10269566A (ja) マスター情報担体およびこれを用いて情報信号を磁気記録媒体に記録するマスター情報磁気記録装置
JP2002100038A (ja) 転写装置、転写用カートリッジ、及び転写方法
KR20020035776A (ko) 자기전사방법 및 장치 및 자기기록매체
JP2002163823A (ja) 磁気転写装置
JP3424078B2 (ja) 磁気転写方法および磁気転写装置
WO2000065579A1 (fr) Procede et dispositif de transfert magnetique
US20010055167A1 (en) Magnetic information transfer method and apparatus thereof
JP3775589B2 (ja) 磁気転写装置
US20060139785A1 (en) Magnetic transfer method and apparatus
JP3343340B2 (ja) ディスク状磁気記録媒体の製造方法および磁気転写装置
JP3731813B2 (ja) 磁気転写装置
JP2004079060A (ja) 磁気転写用マスター担体
JP3337024B2 (ja) 磁気ディスクの製造方法
JP2006268950A (ja) 磁気転写用マスターディスクの製造方法、磁気転写用マスターディスク、及び磁気記録媒体
JP3587455B2 (ja) 磁気転写用マスタ洗浄装置及び方法、又はこれらを用いた磁気記録再生装置
JP3587461B2 (ja) 磁気ディスクの製造方法
JP2000195046A (ja) 磁気転写用マスタ―担体
JP3595282B2 (ja) 基盤洗浄装置、これに用いる洗浄用基盤、これらを用いた洗浄方法
JP3587462B2 (ja) 磁気転写装置
JP2002319128A (ja) マスター情報磁気記録装置および磁気記録媒体の製造方法
JP2002183948A (ja) 磁気転写方法および磁気転写装置
JP3693952B2 (ja) 磁気転写装置
JP4044065B2 (ja) 磁気転写用マスター担体、磁気転写方法
JP2003248922A (ja) 磁気転写方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502

Year of fee payment: 10

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees