JP2002319128A - マスター情報磁気記録装置および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスター情報に対応する凹凸形状パターンを
有するマスター情報担体を用いて磁気記録媒体に情報を
静的に記録する際、マスター情報担体と磁気記録媒体と
を均一に密着させ、信頼性の高いプリフォーマット記録
を行う。 【解決手段】 凹凸形状パターンが形成された領域と凹
凸形状パターンが形成されていない領域とが設けられた
マスター情報担体31a,31bを用いる。マスター情報担体
と磁気記録媒体32とを密着させる密着手段と、マスター
情報担体と磁気記録媒体とを位置合わせするための手段
と、マスター情報担体の凸部表面に形成された強磁性薄
膜を励磁するための磁界を印加する磁界印加手段35a,35
bとを備える。密着手段の一例は、マスター情報担体の
凹凸形状パターンが形成されていない領域に設けた複数
の貫通孔39を通して、マスター情報担体と磁気記録媒体
との間を排気装置36a,36bによって排気する構成を含
む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大容量、高記録密
度の磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体へ、マ
スター情報担体を用いて所定の情報信号を予め記録する
ためのマスター情報磁気記録装置、およびマスター情報
担体を用いた磁気記録媒体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】小型かつ大容量の磁気記録再生装置を実
現するために、記録密度を高めることが益々求められて
いる。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブにあっては、面記録密度が１Ｇｂｉｔ／ｉｎ２
（１．５５Ｍｂｉｔ／ｍｍ２）を超える装置がすでに商
品化されており、数年後には面記録密度１０Ｇｂｉｔ／
ｉｎ２（１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ２）の装置の実用化が
予測されるほど、急激な技術進歩が認められる。

【０００３】このような高記録密度化を可能とした技術
的背景として、媒体性能、ヘッド・ディスクインターフ
ェース性能の向上、パーシャルレスポンス等の新規な信
号処理方式の出現があり、これらによる線記録密度の向
上が高記録密度化に大きく寄与してきた。しかしながら
近年では、トラック密度の増加傾向が線記録密度の増加
傾向を大きく上回っている。これには、従来の誘導型磁
気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れている磁
気抵抗素子型ヘッドの実用化が寄与している。現在、磁
気抵抗素子型ヘッドを用いることにより、わずか数μｍ
のトラック幅で記録された信号を良好なＳＮ比で再生す
ることができる。ヘッド性能のさらなる向上に伴い、近
い将来にはトラックピッチがサブミクロン領域に達する
ものと予想されている。

【０００４】このような狭トラックをヘッドが正確に走
査し、良好なＳＮ比で信号を再生するためには、ヘッド
のトラッキングサーボ技術が重要な役割を担う。このよ
うなトラッキングサーボ技術に関しては、例えば、日本
応用磁気学会誌、Vol. 20, No. 3, p. 771 (1996)、山
口、「磁気ディスク装置の高精度サーボ技術」に詳細な
内容が開示されている。この文献によれば、現在のハー
ドディスクドライブでは、ディスクの１周、すなわち36
0度の角度において、一定の角度間隔でトラッキング用
サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が
記録された領域を設けている。このような情報信号を予
め記録することを、プリフォーマット記録という。磁気
ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を再生することによ
り、ヘッドの位置を確認し、必要に応じて修正しながら
正確にトラック上を走査することができる。

【０００５】上述のトラッキング用サーボ信号、アドレ
ス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラ
ック上を走査するための基準信号であるので、その記録
に際して、ヘッド位置決め精度が高いことが要求され
る。例えば、日本応用磁気学会第９３回研究会資料、93
-5, p. 35 (1996)、植松他、「メカ・サーボ、ＨＤＩ技
術の現状と展望」に記載された内容によれば、現在のハ
ードディスクドライブでは、ディスクをドライブに組み
込んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを
厳密に位置制御しながらプリフォーマット記録を行って
いる。

【０００６】このようなサーボ信号、アドレス情報信
号、再生クロック信号等のプリフォーマット記録は、近
年商品化された大容量フレキシブルディスクまたはディ
スクカートリッジが着脱可能なリムーバブルハードディ
スク用媒体についても同様に、専用のサーボ記録装置を
用いて行われている。

【０００７】このような専用のサーボ記録装置を用いた
磁気ヘッドによるプリフォーマット記録には、以下のよ
うな課題があった。

【０００８】第１に、磁気ヘッドによる記録は基本的に
ヘッドと媒体との相対移動による線記録であるため、専
用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを厳密に位置制
御しながら記録を行う上記の方法では、プリフォーマッ
ト記録に多くの時間を要する。さらに、専用のサーボ記
録装置がかなり高価である。従って、プリフォーマット
記録に要するコストが高くなる。

【０００９】この課題は、磁気記録装置のトラック密度
が向上するほど深刻になる。ディスク径方向のトラック
数が増加することに加えて、以下の理由によってもプリ
フォーマット記録に要する時間が長くなる。つまり、ト
ラック密度が向上するほどヘッドの位置決めに高精度が
要求されるため、ディスクの１周においてトラッキング
用サーボ信号等の情報信号を記録するサーボ領域を設け
る角度間隔を小さくしなければならない。このため高記
録密度の装置ほどディスクにプリフォーマット記録すべ
き信号量が多くなり、多くの時間を要することになる。

【００１０】また、磁気ディスク媒体は小径化の傾向に
あるものの、依然として３．５インチや５インチの大径
ディスクに対する需要も多い。ディスクの記録面積が大
きいほどプリフォーマット記録すべき信号量が多くな
る。このような大径ディスクのコストパフォーマンスに
関しても、プリフォーマット記録に要する時間が大きく
影響している。

【００１１】従来のプリフォーマット記録における第２
の課題は、ヘッド・媒体間のスペーシング、および、記
録ヘッドの先端ポール形状に起因して記録磁界が広がる
ため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化
遷移が急峻性に欠けるという点である。

【００１２】磁気ヘッドによる記録は、基本的にヘッド
と媒体との相対移動による動的線記録であるため、ヘッ
ド・媒体間のインターフェース性能の観点から、一定量
のヘッド・媒体間スペーシングを設けざるを得ない。ま
た、現在の磁気ヘッドは通常、記録と再生を別々に担う
２つのエレメントを有する構造上、記録ギャップの前縁
側ポール幅が記録トラック幅に相当し、後縁側ポール幅
は記録トラック幅の数倍以上に大きくなっている。

【００１３】上記の２点は、いずれも、記録トラック端
部における記録磁界の広がりを生じる要因となり、結果
的にプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷
移が急峻性に欠ける、あるいはトラック端両側に消去領
域を生じるという結果を生ずる。現在のトラッキングサ
ーボ技術では、ヘッドがトラックを外れて走査した際の
再生出力の変化量に基づいてヘッドの位置検出を行って
いる。従って、サーボ領域間に記録されたデータ信号を
再生する際のようにヘッドがトラック上を正確に走査し
たときのＳＮ比に優れることだけではなく、ヘッドがト
ラックを外れて走査したときの再生出力変化量、すなわ
ちオフトラック特性が急峻であることが要求される。従
って、上述のようにプリフォーマット記録されたトラッ
ク端部の磁化遷移が急峻性に欠けると、今後のサブミク
ロントラック記録における正確なトラッキングサーボ技
術の実現が困難になる。

【００１４】上記のような磁気ヘッドによるプリフォー
マット記録における２つの課題を解決する手段に関して
は、既に様々な技術が提案されている。

【００１５】例えば特開昭６３−１８３６２３号公報に
は、第１の課題に対する解決策として、磁気転写技術を
用いたトラッキングサーボ信号等の複写技術が開示され
ている。この磁気転写技術を用いれば、プリフォーマッ
ト記録の際の生産性が改善されることは事実である。し
かしながら、この磁気転写技術は、フレキシブルディス
クのように保磁力が比較的低く、面記録密度が小さい磁
気ディスク媒体には有効であるが、今日のハードディス
ク媒体のように数百メガビットからギガビットオーダー
の面記録密度を担う分解能を備えた高保磁力媒体に対し
て使用することは不可能である。

【００１６】磁気転写技術においては、転写効率を確保
するために、被転写ディスク保磁力の１．５倍程度の振
幅の交流バイアス磁界を印加する必要がある。マスター
ディスクに記録されたマスター情報は磁化パターンであ
るので、この交流バイアス磁界によってマスター情報が
消磁されないようにするためには、マスターディスクの
保磁力は被転写ディスクの保磁力の３倍程度以上である
ことが要求される。現在の高密度ハードディスク媒体の
保磁力は高面記録密度を担うために１５００〜２５００
エルステッドもある。さらに将来の１０ギガビットオー
ダーの面記録密度を担うためには、この値は３０００〜
４０００エルステッドにも達することが予想される。つ
まりマスターディスクには、現状において４５００〜７
５００エルステッド、将来的には９０００〜１２０００
エルステッドの保磁力が要求されることになる。

【００１７】マスターディスクにおいてこのような保磁
力を実現することは、磁性材料の選択の面から困難であ
る。さらに、現在の磁気記録技術では、このような高保
磁力を有するマスターディスクにマスター情報を記録す
ることができない。従って、磁気転写技術においては、
マスターディスクにおいて実現可能な保磁力値を考慮す
ると、必然的に被転写ディスクの保磁力に制約を受ける
ことになる。

【００１８】また、例えば特開平７−１５３０６０号公
報には、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報信
号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を有するデ
ィスク媒体用基板をスタンパにより形成し、この基板上
に磁性層を形成するプリエンボストディスク技術が開示
されている。この技術は、前述の２つの課題の両方に対
して有効な解決策となる。しかしながら、ディスク表面
の凹凸形状が記録再生時のヘッドの浮上特性（あるいは
接触記録の場合には媒体とのコンタクト状態）に影響を
及ぼし、その結果、ヘッド・媒体インターフェース性能
に問題を生じることが予想される。また、スタンパで製
造される基板は基本的にプラスチック基板であるため、
媒体性能の確保のために必要な磁性層成膜時の基板加熱
ができず、必要な媒体ＳＮ比が確保されないという問題
もある。

【００１９】このように、プリフォーマット記録に関す
る前述の課題に対して、特開昭６３−１８３６２３号公
報または特開平７−１５３０６０号公報に記載された技
術は、媒体ＳＮ比、インターフェース性能等の他の重要
な性能を犠牲にすることとなり、真に有効な解決策とは
ならない。

【００２０】別のプリフォーマット記録技術が特願平８
−１９１８８９号の明細書に記載されている。この記録
技術では、基体の表面に情報信号に対応する凹凸形状が
形成され、この凹凸形状の少なくとも凸部の表面が強磁
性材料で形成されているマスター情報担体の表面を、磁
気記録媒体の表面に接触させることにより、マスター情
報担体表面の凹凸形状に対応する磁化パターンを磁気記
録媒体に記録する。

【００２１】マスター情報担体の凸部表面を形成する強
磁性材料として好ましくは、高飽和磁束密度を有する軟
質磁性膜、あるいは基体面内保磁力が４０ｋＡ／ｍ以下
の硬質もしくは半硬質磁性膜を用いる。さらに好ましく
は、マスター情報担体表面を磁気記録媒体表面に接触さ
せる際に、マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁
性材料を励磁するための直流磁界、あるいは磁化パター
ンの記録を助成するための交流バイアス磁界を印加す
る。これにより、特開昭６３−１８３６２３号公報また
は特開平７−１５３０６０号公報に記載された技術に関
して先に述べた課題をも解決することができる。

【００２２】上記の特願平８−１９１８８９号の明細書
に記載されている記録技術は、従来の専用のサーボ記録
装置を用いた磁気ヘッドによるプリフォーマット記録に
おける課題、あるいは特開昭６３−１８３６２３号公報
または特開平７−１５３０６０号公報に開示された技術
の課題に関して、以下のような特徴を有している。

【００２３】特願平８−１９１８８９号の明細書に記載
された記録技術では、一方向に磁化されたマスター情報
担体表面の凸部の強磁性材料が発生する記録磁界によ
り、マスター情報担体の凹凸形状に対応した磁化パター
ンが磁気記録媒体に記録される。すなわち、マスター情
報担体表面に、トラッキング用サーボ信号、アドレス情
報信号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を形成
することにより、これらの情報信号のプリフォーマット
記録を磁気記録媒体に行うことができる。

【００２４】この記録技術では、凹凸形状による磁気抵
抗変化に起因して凸部の強磁性材料から生ずる漏れ磁界
により記録が行われる。従って、その記録メカニズム
は、磁気ヘッドの記録ギャップから生ずる漏れ磁界によ
り記録を行う従来の磁気ヘッドを用いる記録と基本的に
は同様である。しかし、従来の磁気ヘッドによる記録が
ヘッドと媒体との相対移動による動的線記録であるのに
対し、上記の構成による記録はマスター情報担体と媒体
との相対移動を伴わない静的な面記録であるということ
ができる。このような特徴により、特願平８−１９１８
８９号の明細書に記載された記録技術は、プリフォーマ
ット記録に関する前述の課題に対して、以下のように有
効な解決策を提供する。

【００２５】第１に、この記録技術は面記録であるた
め、プリフォーマット記録に要する時間が従来の磁気ヘ
ッドによる記録に比べて非常に短い。また、磁気ヘッド
を厳密に位置制御しながら記録を行うための高価なサー
ボ記録装置が不要である。従って、プリフォーマット記
録に関する生産性を大幅に向上することができるととも
に、生産コストを低減することができる。

【００２６】第２に、この記録技術はマスター情報担体
と媒体との相対移動を伴わない静的記録であるため、マ
スター情報担体表面と磁気記録媒体表面とを密着させる
ことにより、記録時の両者間のスペーシングを最小限に
することができる。さらに、磁気ヘッドによる記録のよ
うに、記録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がり
を生じることもない。このためプリフォーマット記録さ
れたトラック端部の磁化遷移は、従来の磁気ヘッドによ
る記録に比べて優れた急峻性を有する。その結果、より
正確なトラッキングが可能となる。

【００２７】また、特願平８−１９１８８９号の明細書
に記載された記録技術は、特開昭６３−１８３６２３号
公報に開示された磁気転写技術や特開平７−１５３０６
０号公報に開示されたプリエンボストディスク技術に関
して述べたような問題を生じることはない。つまり、プ
リフォーマット記録される磁気記録媒体の構成や磁気特
性に制約を受けることはない。

【００２８】例えば、特開昭６３−１８３６２３号公報
に開示された磁気転写技術において、磁化パターンによ
り記録されたマスター情報を備えるマスターディスク
は、それ自体が磁気記録媒体であるために相応の磁気記
録媒体分解能を必要とする。このため、マスターディス
ク磁性層の磁束密度および膜厚を十分に大きくすること
ができず、発生する転写磁界の大きさが非常に小さいも
のとなってしまう。またマスター情報は磁化パターンに
より記録されているため、ダイビットの突き合わせ磁化
による減磁を生じ、磁化遷移領域における転写磁界勾配
も緩やかである。このような弱い転写磁界によっても十
分な転写効率を確保するために、磁気転写技術において
は、被転写ディスク保磁力の１．５倍程度もの振幅の交
流バイアス磁界を印加する必要がある。結果的に前述の
ように、被転写ディスクの保磁力が制約を受け、記録密
度の比較的低いフレキシブルディスク等にしか使用する
ことができなかった。

【００２９】これに対して、特願平８−１９１８８９号
の明細書に記載されたマスター情報担体は、マスター情
報を凹凸形状パターンとして有しており、その凹凸形状
による磁気抵抗変化に起因して凸部の強磁性材料から生
ずる漏れ磁界により記録を行う点が磁気ヘッドによる記
録に似ている。磁気転写技術におけるマスターディスク
のように磁気記録媒体としての分解能を必要としないの
で、マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁性材料
の磁束密度および体積を従来の磁気ヘッドと同等まで大
きくすることにより、磁気ヘッドと同等の大きな記録磁
界を発生することができる。これにより、通常のフレキ
シブルディスク、ハードディスク、さらには将来のギガ
ビット記録を担う高保磁力媒体に至るまで、あらゆる磁
気記録媒体に対して十分な記録能力を発揮することがで
きる。

【００３０】また、特開平７−１５３０６０号公報に開
示されたプリエンボストディスク技術は、前述のように
プリフォーマット記録されるディスク媒体の基板材料と
形状に制約を受けるため、媒体成膜時の基板温度に関係
する媒体ＳＮ比性能およびヘッドの浮上特性（接触記録
の場合は媒体とのコンタクト状態）に関してヘッド・媒
体インターフェース性能を犠牲にしていた。これに対
し、特願平８−１９１８８９号の明細書に記載された記
録技術は、上記のようにプリフォーマット記録される磁
気記録媒体の基板材料や表面形状においては何らの制約
も受けない。

【００３１】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、特願平
８−１９１８８９号の明細書に記載された記録技術は、
プリフォーマット記録される磁気記録媒体の構成や磁気
特性を問わずに静的な面記録を行うことができる技術を
提供するものであり、媒体ＳＮ比、インターフェース性
能等の他の重要性能を犠牲にすることなく、良好なプリ
フォーマット記録を効率的に行うことができる優れた技
術である。

【００３２】しかしながら、この記録技術を真に効果的
なものとするためには、マスター情報担体と磁気記録媒
体との間に均一な密着性を実現する必要がある。両者間
に均一な密着性が実現されない場合は、スペーシングロ
スに起因して充分な記録信号強度が得られず、従って良
好なＳＮ比を確保できないおそれがある。さらに、記録
磁界の広がりに起因してトラック端部の磁化遷移が急峻
性に欠け、充分なオフトラック特性が得られないおそれ
がある。

【００３３】そこで、本発明は、マスター情報を凹凸形
状パターンとして有するマスタ情報担体を用いて記録媒
体に情報を静的に記録する技術において、マスター情報
担体に対して磁気記録媒体を均一に密着させて、信頼性
の高いプリフォーマット記録を行うことができる手段を
提供することを目的とする。

【００３４】

【課題を解決するための手段】本発明によるマスター情
報磁気記録装置は、基体の表面に、強磁性薄膜よりな
り、情報信号に対応する凹凸形状パターンが形成された
領域と、前記凹凸形状パターンが形成されていない領域
とが設けられたマスター情報担体を用いて、強磁性層を
有する磁気記録媒体に前記マスター情報担体の情報信号
を記録するための装置である。そして、前記マスター情
報担体と前記磁気記録媒体とを密着させる密着手段と、
前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わ
せを行うための手段と、前記マスター情報担体の凸部表
面に形成された強磁性薄膜を励磁するための磁界を印加
する磁界印加手段とを備えている。

【００３５】本発明によるマスター情報磁気記録装置の
第１の具体構成は、前記凹凸形状パターンが形成されて
いない領域の少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマ
スター情報担体を用い、前記密着手段は、前記マスター
情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状態で、前
記マスター情報担体の貫通孔を通して前記マスター情報
担体と前記磁気記録媒体との間に存在する気体を排気す
ることにより、前記マスター情報担体の凹凸形状パター
ンと前記磁気記録媒体とを密着させるように構成されて
いることを特徴とする。

【００３６】本発明によるマスター情報磁気記録装置の
第２の具体構成は、前記凹凸形状パターンが形成されて
いない領域の少なくとも一部分の表面高さを前記凹凸形
状パターンが形成された領域の表面高さよりも低くした
マスター情報担体を用い、前記密着手段は、前記マスタ
ー情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状態で、
前記マスター情報担体の凹凸形状が形成されていない領
域と前記磁気記録媒体との間に存在する気体を排気する
ことにより、前記マスター情報担体の凹凸形状パターン
と前記磁気記録媒体とを密着させるように構成されてい
ることを特徴とする。

【００３７】上記のようなマスター情報磁気記録装置を
用いることにより、マスター情報担体に対して磁気記録
媒体を均一に密着させることができ、信頼性の高いプリ
フォーマット記録を行うことができる。

【００３８】また、前記密着手段が、前記マスター情報
担体および前記磁気記録媒体を挟み付ける一対のフラン
ジと、前記一対のフランジの周部を互いに締め付ける手
段とを備えていることが好ましい。上記の排気による密
着手段がこの機械的な締め付け手段をも備えることによ
り、マスター情報担体と磁気記録媒体とのさらに均一な
密着が得られる。つまり、通常、中央部に設けられる排
気ダクトによるマスター情報担体と磁気記録媒体との中
央部に集中しやすい吸引力（大気圧）を補うように、周
部を機械的に締め付けることにより、マスター情報担体
及び磁気記録媒体の反りが抑制され両者が均一に密着す
る。さらに、前記一対のフランジと前記マスター情報担
体および前記磁気記録媒体との間の少なくとも一方に弾
性部材を介装することにより、マスター情報担体と磁気
記録媒体とが一層均一に密着する。

【００３９】また、前記マスター情報担体と前記磁気記
録媒体との位置合わせを行うための手段として、前記マ
スター情報担体に、マーカーが配置されていることが好
ましい。

【００４０】本発明による磁気記録媒体の製造方法は、
基体の表面に、強磁性薄膜よりなり、情報信号に対応す
る凹凸形状パターンが形成された領域と、前記凹凸形状
パターンが形成されていない領域とが設けられたマスタ
ー情報担体を用いて、強磁性層を有する磁気記録媒体に
前記マスター情報担体の情報信号を記録する方法であ
る。そして、前記マスター情報担体と前記磁記録媒との
位置合わせを行う位置合わせ工程と、前記マスター情報
担体と前記磁気記録媒体とを密着させる密着工程と、前
記マスター情報担体の強磁性薄膜を励磁するための磁界
を印加する磁界印加工程とを有する。

【００４１】本発明による磁気記録媒体の製造方法の第
１の具体構成は、前記凹凸形状パターンが形成されてい
ない領域の少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマス
ター情報担体を用い、前記密着工程において、前記マス
ター情報担体と前記磁気記録体とを接触させた状態で、
前記マスター情報担体の貫通孔を通して前記マスター情
報担体と前記磁気記録媒体との間に存在する気体を排気
することを特徴とする。

【００４２】本発明による磁気記録媒体の製造方法の第
２の具体構成は、前記凹凸形状パターンが形成されてい
ない領域の少なくとも一部分の表面高さを、前記凹凸形
状パターンが形成された領域の表面高さよりも低くした
マスター情報担体を用い、前記密着工程において、前記
マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状
態で、前記マスター情報担体の凹凸形状パターンが形成
されていない領域と前記磁気記録媒体との間に存在する
気体を排気することを特徴とする。

【００４３】上記のような磁気記録媒体の製造方法によ
り、マスター情報担体に対して磁気記録媒体を均一に密
着させることができ、信頼性の高いプリフォーマット記
録を行うことができる。

【００４４】また、前記密着工程において、前記マスタ
ー情報担体および前記磁気記録媒体を一対のフランジで
挟み付け、前記一対のフランジの周部を互いに締め付け
ることが好ましい。上記の排気による密着に加えて、こ
の機械的な締め付けをも行うことにより、マスター情報
担体と磁気記録媒体とのさらに均一な密着が得られる。

【００４５】また、前記位置合わせ工程において、前記
マスター情報担体に配置されたマーカを用いて、前記マ
スター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行
うことが好ましい。

【００４６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１から図８を用いて説明する。

【００４７】（実施の形態１）図３は、マスター情報担
体に形成された情報信号を磁気記録媒体に記録するため
の本発明による装置の第１実施形態を示す断面図であ
る。図中、３１ａ、３１ｂはマスター情報担体、３２は
ハードディスク、３３は上フランジ、３４は下フラン
ジ、３５ａ，３５ｂは永久磁石、３６ａ，３６ｂは排気
装置、３７ａ，３７ｂは三方弁、３０はＯリングであ
る。永久磁石１５ａ，１５ｂの磁化方向は紙面の裏から
表への向きである。

【００４８】マスター情報担体３１ａ，３１ｂの表面に
は、例えば図１に示すように、情報信号に対応した微細
な凹凸形状が形成された領域１２が、所定の角度間隔で
設けられている。この領域１２の一部（図１中の領域
Ａ）を拡大したものを図２に示す。トラッキング用サー
ボ信号、クロック信号およびアドレス情報信号のそれぞ
れの領域がトラック長さ方向に順番に配置されている。
図２においてハッチングを施してある部分が凸部であ
り、凸部表面はＣｏ等の強磁性材料で形成されている。

【００４９】このような情報信号に対応した微細な凹凸
形状をマスター情報担体の表面に形成する方法を以下に
説明する。まず、表面粗度が細かく平坦性の良いガラス
基板表面にＣｏ等で構成される強磁性薄膜をスパッタリ
ング法により成膜する。次に、例えばフォトリソグラフ
ィ法のようなレーザビームまたは電子ビームを用いたリ
ソグラフィ技術を用いてレジスト膜を露光、現像した
後、ドライエッチング等によって凹凸形状を形成する。
あるいは基板表面にレジスト膜を形成・パターニングし
た後、Ｃｏ等で構成される強磁性薄膜を成膜してレジス
ト膜を除去する、いわゆるリフトオフ法によって凹凸形
状を形成する。

【００５０】なお凹凸形状を形成する方法はこれらに限
られず、例えばレーザ、電子ビームまたはイオンビーム
を用いて、あるいは機械加工によって、微細な凹凸形状
を直接加工してもよい。また、強磁性薄膜をガラス基板
に形成する方法は、スパッタリング法に限らず、真空蒸
着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、めっき法
等、従来から行われている一般的な薄膜形成方法を用い
ることができる。

【００５１】情報信号に対応した微細な凹凸形状の凸部
表面と凹部底面との段差は、マスター情報が記録される
磁気記録媒体の表面性およびマスター情報のビットサイ
ズにもよるが、一般的には０．０５μｍ以上、好ましく
は０．１μｍ以上とする。一実施例において、０．５μ
ｍとした。

【００５２】凹凸形状の凸部表面を形成する強磁性薄膜
材料はＣｏに限らない。硬質磁性材料、半硬質磁性材
料、軟質磁性材料を問わず、多くの種類の磁性材料を用
いることができる。マスター情報が記録される磁気記録
媒体の種類によらず十分な記録磁界を発生するためには
磁性材料の飽和磁束密度が大きいほどよい。特に２００
０エルステッドを超える高保磁力磁気ディスクや磁性層
厚の大きいフレキシブルディスクに対しては、飽和磁束
密度が０．８テスラ以下になると十分な記録が行われな
い場合があるので、一般的には０．８テスラ以上、好ま
しくは１．０テスラ以上の飽和磁束密度を有する磁性材
料を用いる。

【００５３】図１に示すように、マスター情報担体１１
の情報信号に対応した凹凸形状が形成された領域１２以
外の領域に貫通孔１３が設けられている。貫通孔１３
は、マスター情報担体の基板がガラスの場合、超音波加
工やレーザ加工、ウエットエッチング等の公知の加工方
法を用いて形成することができる。貫通孔の径はできる
だけ小さく、貫通孔の数はできるだけ多い方が好まし
い。一実施例において、超音波加工を用いて直径１ｍｍ
の貫通孔を３ｍｍ四方にひとつの割合で形成した。

【００５４】マスター情報担体に形成された情報信号を
磁気記録媒体であるハードディスクに記録する際に、マ
スター情報パターンの中心をハードディスクの中心に合
わせてから密着させる必要がある。この位置合わせを容
易にするために、図１に示すように、マスター情報担体
１１の内周部にマーカー１４が形成されている。マーカ
ー１４は、情報信号に対応した凹凸形状と同時に形成さ
れる。このマスター情報担体１１の内周部に形成された
マーカー１４はハードディスクの内周を位置合わせする
ように形成されているが、ハードディスクの外周を位置
合わせするように、マスター情報担体１１の外周部にマ
ーカーを形成してもよい。

【００５５】本実施形態において、マスター情報担体に
形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディス
クに記録する手順を図３、４および５を用いて説明す
る。本実施形態では、大気圧を利用してマスター情報担
体３１ａ，３１ｂとハードディスク３２とを全面的かつ
均一に密着させる。マスター情報担体３１ａ，３１ｂと
ハードディスク３２との間に存在する空気をマスター情
報担体３１ａ，３１ｂに設けられた貫通孔３９を通して
排気することにより、ハードディスク３２がマスター情
報担体３１ａ，３１ｂに押し付けられ、マスター情報担
体３１ａ，３１ｂに形成された凹凸形状パターンの凸部
表面とハードディスク３２とが密着する。この後、永久
磁石３５ａ，３５ｂを用いて、マスター情報担体３１
ａ，３１ｂに形成された凹凸形状パターンの凸部表面の
強磁性薄膜を磁化させることにより、凹凸形状に対応し
た情報信号をハードディスク３２に記録する。以下に手
順を詳しく述べる。

【００５６】まず、図５に示すように、永久磁石５２を
用いてハードディスク３２を円周方向に沿って矢印５１
の方向に予め磁化させておく。なお、永久磁石に代えて
電磁石を用いてもよい。次に図３に示すように、下フラ
ンジ３４の溝にＯリング３０を装着し、この上にマスタ
ー情報担体３１ｂおよびハードディスク３２を重ねる。
この際、前述のようにマスター情報パターンの中心とハ
ードディスク３２の中心とを合わせるためのマーカー
（図１の１４）がマスター情報担体３１ｂに設けてある
ので、このマーカーをハードディスク３２の内周に合わ
せる。さらにハードディスク３２の上にマスター情報担
体３１ａ，そしてＯリング３０を溝に装着した上フラン
ジ３３を重ねる。この際も上記と同様に、マスター情報
担体３１ａの内周部に設けられたマーカーをハードディ
スク３２の内周に合わせる。

【００５７】上側の三方弁３７ａを操作して排気装置３
６ａにより、上フランジ３３とマスター情報担体３１ａ
との間の空気を吸引する。下側の三方弁３７ｂは、下フ
ランジ３４とマスター情報担体３１ｂとの空間が大気圧
になるように切り替えておく。マスター情報担体３１ａ
とハードディスク３２との間の空気がマスター情報担体
３１ａに設けられた貫通孔３９を通して排気されること
により、ハードディスク３２はマスター情報担体３１ａ
に押し付けられ、両者が全面的に密着する。次に図４
（ａ）に示すように、永久磁石３５ａを上フランジに平
行に、かつ、排気ダクト３８ａを中心に回すことによ
り、直流励磁磁界４１ａを印加する。この操作により、
マスター情報担体３１ａに形成された凹凸形状パターン
の凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応し
た情報信号がハードディスク３２に記録される。前述し
たように、ハードディスク３２は予め永久磁石等を用い
て円周方向に沿って初期磁化させておくが、この初期磁
化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石３５ａによ
り印加する磁界の方向とは同一であっても逆であっても
よい。一実施例では逆方向とした。

【００５８】次に、下側の三方弁３７ｂを操作して排気
装置３６ｂにより、下フランジ３４とマスター情報担体
３１ｂとの間の空気を吸引する。上側の三方弁３７ａ
は、上フランジ３３とマスター情報担体３１ａとの空間
が大気圧になるように切り替えておく。マスター情報担
体３１ｂとハードディスク３２との間の空気がマスター
情報担体３１ｂに設けられた貫通孔３９を通して排気さ
れることにより、ハードディスク３２はマスター情報担
体３１ｂに押し付けられ、両者が全面的に密着する。

【００５９】図４（ｂ）に示すように、永久磁石３５ｂ
を下フランジ３４に平行に、かつ、排気ダクト３８ｂを
中心に回すことにより直流励磁磁界４１ｂを印加する。
この操作により、マスター情報担体３１ｂに形成された
凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜が磁化され
て、凹凸形状に対応した情報信号がハードディスク３２
に記録される。一実施例では、ハードディスク３２の初
期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石３５ｂ
により印加する磁界の方向とを逆にした。

【００６０】以上の手順により、ハードディスク３２の
両面に短時間でプリフォーマット記録を行うことができ
る。マスター情報担体に形成された凹凸形状パターンの
凸部表面の強磁性薄膜を磁化するのに永久磁石を用いる
代わりに、電磁石を用いてもよい。また、永久磁石とマ
スター情報担体との間に上フランジ３３または下フラン
ジ３４が介在している状態でマスター情報担体表面の強
磁性薄膜を磁化することになるので、上フランジ３３お
よび下フランジ３４の材質は黄銅鋼等の非磁性材である
ことが好ましい。

【００６１】本実施形態において、磁気記録媒体がハー
ドディスクでなくフレキシブルディスクである場合、マ
スター情報担体に設けた貫通孔が大きいとフレキシブル
ディスクが貫通孔に吸い込まれて変形し、プリフォーマ
ット記録が正確な場所に行われなかったり、記録される
べき信号が欠落することになる。従って、前述したよう
に貫通孔の大きさはできるだけ小さく、かつ、できるだ
け多くの貫通孔を設けることが好ましい。このようにす
ることにより、ハードディスクだけでなくフレキシブル
ディスクにも信頼性の高いプリフォーマット記録を行う
ことができる。また、本実施形態は、磁気記録媒体の両
側にマスター情報担体を配置するので、磁気記録媒体の
両面に短時間で効率良くプリフォーマット記録を行うこ
とができ、生産性の向上に寄与し得る。

【００６２】（実施の形態２）図７は、マスター情報担
体に形成された情報信号を磁気記録媒体に記録するため
の本発明による装置の第２実施形態を示す断面図であ
る。図中、７１はマスター情報担体、７２はハードディ
スク、７３は上フランジ、７４は下フランジ、７５は永
久磁石、７０は弾性板である。また７６は排気装置、７
７は三方弁、７８は排気ダクト、７９は上フランジ７３
と下フランジ７４を固定するためのボルトである。

【００６３】マスター情報担体７１の表面には、例えば
図６（ａ）に示すように、情報信号に対応した微細な凹
凸形状が形成された領域６２が所定の角度間隔で設けら
れている。この領域に記録される情報信号の具体例は、
第１実施形態と同様に図２に示されている。このような
凹凸形状は、第１実施形態で説明したように、表面粗度
が細かく平坦性の良いガラス基板表面にＣｏ等で構成さ
れる強磁性薄膜をスパッタリング法により成膜した後、
例えばフォトリソグラフィ法のようなレーザビームまた
は電子ビームを用いたリソグラフィ技術を用いてレジス
ト膜を露光、現像した後ドライエッチング等によって形
成される。

【００６４】図６に示すように、本実施形態では、マス
ター情報担体６１の情報信号に対応した凹凸形状が形成
されている領域６２および外周部（図６（ａ）の白ヌキ
部分）の表面高さに比べて、他の領域６３（図６（ａ）
のハッチング部分）の表面高さを低くしてある。以下、
この領域６３を凹部領域という。図６（ｂ）は、図６
（ａ）における円周方向の一点鎖線Ａ−Ａに沿う断面を
示している。領域６２上には、例えば図２に示すような
情報信号に対応した凹凸形状が形成されている。この凹
凸形状を前述のようにして形成した後、凹部領域６３を
機械加工、超音波加工、レーザ加工等の公知の加工方法
を用いて形成する。凹凸形状が形成された領域６２と凹
部領域６３との段差は、マスター情報担体６１の基板の
厚さにもよるが数１０μｍ以上、好ましくは１００μｍ
以上とする。

【００６５】マスター情報担体６１に形成された情報信
号を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する際
に、マスター情報パターンの中心をハードディスクの中
心に合わせて密着させる必要がある。本実施形態のマス
ター情報担体６１内周部にも第１実施形態と同様に、図
６に示すようなマーカー６４が形成され、これによって
ハードディスクの内周が位置合わせされる。この場合
も、マーカーの形成位置はマスター情報担体６１内周部
に限らず、ハードディスクの外周を位置合わせするよう
に、マスター情報担体６１の外周部にマーカーを形成し
てもよい。

【００６６】本実施形態において、マスター情報担体に
形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディス
クに記録する手順を図７および８を用いて説明する。本
実施形態では、マスター情報担体７１の情報信号に対応
した凹凸形状が形成されている領域とハードディスク７
２とを大気圧を利用して均一に密着させ、さらにマスタ
ー情報担体７１とハードディスク７２とを機械的に圧接
させる。情報信号に対応した凹凸形状が形成されていな
い凹部領域の表面高さを、凹凸形状が形成されている領
域の表面高さよりも低くしておくことによって、マスタ
ー情報担体７１とハードディスク７２との間に空隙がで
きる。この空隙の空気を排気することによって、マスタ
ー情報担体７１の情報信号に対応した凹凸形状が形成さ
れている領域とハードディスク７２とが密着する。この
後、永久磁石７５を用いて、マスター情報担体に形成さ
れた凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化さ
せることにより、凹凸形状に対応した情報信号をハード
ディスク７２に記録する。以下に手順を詳しく述べる。

【００６７】まず、図５に示すように、永久磁石５２を
用いてハードディスク７２を円周方向に沿って矢印５１
の方向に予め磁化させておく。次に、図７に示すよう
に、下フランジ７４に弾性板７０、ハードディスク７
２、マスター情報担体７１を順番に重ねる。弾性板７０
の中央にはハードディスク７２と同程度の大きさの貫通
孔が形成されている。マスター情報担体７１をハードデ
ィスク７２に重ねる際は、前述のマーカー（図６の６
４）をハードディスク７２の内周に合わせる。最後にマ
スター情報担体７１上に弾性板７０および上フランジ７
３を重ねる。弾性板７０には、シリコンゴム等の弾性を
有する種々の材料を用いることができる。

【００６８】三方弁７７を操作して、マスター情報担体
７１の情報信号に対応した凹凸形状が形成されていない
凹部領域と、ハードディスク７２との間の空気を排気装
置７６により排気する。これによって情報信号に対応し
た凹凸形状が形成されている領域とハードディスク７２
とが密着する。本実施形態では排気ダクト７８を装置の
中央に配置してあるため、マスター情報担体７１の中央
での排気コンダクタンスが大きい。従って、ハードディ
スク７２の中央孔からの排気による負圧がマスター情報
担体７１の中央部に大きく作用する一方、外周部にはあ
まり強く作用せず、その結果、マスター情報担体７１の
外周部とハードディスクとの密着性が悪くなる可能性が
ある。

【００６９】そこで、本実施形態では、上フランジ７３
とマスター情報担体７１との間、および、下フランジ７
４とハードディスク７２との間に弾性板７０をそれぞれ
設け、さらに上フランジ７３と下フランジ７４とをボル
ト７９を用いて接続している。そして、ボルト７９の締
め付けトルクを調整することにより、マスター情報担体
７１とハードディスク７２とが適切に圧接されるように
している。このようにして、マスター情報担体７１の情
報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域とハー
ドディスク７２とが均一に密着する。

【００７０】最後に図８に示すように、永久磁石７５を
上フランジ７３に平行に、かつ円周方向に沿って回すこ
とにより、直流励磁磁界８１を印加する。この操作によ
り、マスター情報担体７１に形成された情報信号に対応
した凹凸形状の凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸
形状に対応した情報信号がハードディスク７２に記録さ
れる。前述のように、ハードディスク７２はあらかじめ
永久磁石等を用いて円周方向に初期磁化させておくが、
この初期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石
７５により印加する磁界の方向とは同一であっても逆で
あってもよい。一実施例では逆方向とした。なお、第１
実施形態でも述べたように、永久磁石とマスター情報担
体との間に上フランジ７３が介在している状態でマスタ
ー情報担体表面の強磁性薄膜を磁化することになるの
で、上フランジ７３の材質は黄銅鋼等の非磁性材料であ
ることが好ましい。

【００７１】上述のように、本実施形態ではマスター情
報担体の情報信号に対応した凹凸形状が形成されていな
い領域の表面高さを、凹凸形状が形成されている領域の
表面高さよりも低くすることにより、マスター情報担体
とハードディスクとの間に空隙をつくる。そして、この
空隙の空気を排気することによって凹凸形状が形成され
ている領域をハードディスクと密着させる。さらに、マ
スター情報担体とハードディスクを機械的に圧接させる
手段を設けることによって、信頼性の一層高いプリフォ
ーマット記録を可能にしている。

【００７２】

【発明の効果】本発明のマスター情報磁気記録装置によ
れば、マスター情報担体と磁気記録媒体とを位置合わせ
するする手段、及び密着させる手段を有することによ
り、マスター情報担体と磁気記録媒体とを均一に密着さ
せ、信頼性の高いプリフォーマット記録を実現すること
ができる。

【００７３】また、凹凸形状が形成されていない領域の
少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマスター情報担
体を用い、その貫通孔からマスター情報担体と磁気記録
媒体との間に存在する空気を排気することにより、ある
いは、凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一
部分の表面高さを凹凸形状が形成された領域の表面高さ
よりも低くしたマスター情報担体を用い、凹凸形状が形
成されていない領域と磁気記録媒体との間に存在する気
体を排気することにより、マスター情報担体と磁気記録
媒体とを均一に密着させる効果を更に高めて、より信頼
性の高いプリフォーマット記録を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るマスター情報担体
の構造を模式的に示す平面図

【図２】図１のＡ部拡大図であり、マスター情報担体の
表面に形成された情報信号に対応した凹凸形状パターン
の一例を示す

【図３】図１のマスター情報担体の情報信号を磁気記録
媒体に記録するマスター情報磁気記録装置の構成を示す
図

【図４】図３のマスター情報磁気記録装置を用いてマス
ター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録する方法
を示す図

【図５】磁気記録媒体を予め初期磁化する方法の一例を
示す図

【図６】本発明の第２実施形態に係るマスター情報担体
の平面構造および断面構造を模式的に示す図

【図７】図６のマスター情報担体の情報を磁気記録媒体
に記録するマスター情報磁気記録装置の構成を示す図

【図８】図７のマスター情報磁気記録装置を用いてマス
ター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録する方法
を示す図

【符号の説明】

１１，３１ａ，３１ｂ，６１，７１ マスター情報担体 １２ ６２ 情報信号に対応した凹凸形状が形成されて
いる領域 １３，３９ 貫通孔 １４，６４ ハードディスク内周位置合わせ用マーカー ３２，７２ ハードディスク ３３，７３ 上フランジ ３４，７４ 下フランジ ３５ａ，３５ｂ，７５ 永久磁石 ３６ａ，３６ｂ，７６ 排気装置 ３７ａ，３７ｂ，７７ 三方弁 ３８ａ，３８ｂ，７８ 排気ダクト ３０ Ｏリング ４１ａ，４１ｂ，８１ 直流励磁磁界 ６３ 凹部領域 ７０ 弾性板 ７９ ボルト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 領内 博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 東間 清和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 石田 達朗 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基体の表面に、強磁性薄膜よりなり、情
   報信号に対応する凹凸形状パターンが形成された領域
   と、前記凹凸形状パターンが形成されていない領域とが
   設けられたマスター情報担体を用いて、強磁性層を有す
   る磁気記録媒体に前記マスター情報担体の情報信号を記
   録するマスター情報磁気記録装置であって、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させ
   る密着手段と、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わ
   せを行うための手段と、 前記マスター情報担体の凸部表面に形成された強磁性薄
   膜を励磁するための磁界を印加する磁界印加手段とを備
   えているマスター情報磁気記録装置。
2. 【請求項２】 前記凹凸形状パターンが形成されていな
   い領域の少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマスタ
   ー情報担体を用い、 前記密着手段は、前記マスター情報担体と前記磁気記録
   媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体の貫
   通孔を通して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体
   との間に存在する気体を排気することにより、前記マス
   ター情報担体の凹凸形状パターンと前記磁気記録媒体と
   を密着させるように構成されている請求項１記載のマス
   ター情報磁気記録装置。
3. 【請求項３】 前記凹凸形状パターンが形成されていな
   い領域の少なくとも一部分の表面高さを前記凹凸形状パ
   ターンが形成された領域の表面高さよりも低くしたマス
   ター情報担体を用い、 前記密着手段は、前記マスター情報担体と前記磁気記録
   媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体の凹
   凸形状が形成されていない領域と前記磁気記録媒体との
   間に存在する気体を排気することにより、前記マスター
   情報担体の凹凸形状パターンと前記磁気記録媒体とを密
   着させるように構成されている請求項１記載のマスター
   情報磁気記録装置。
4. 【請求項４】 前記密着手段が、前記マスター情報担体
   および前記磁気記録媒体を挟み付ける一対のフランジ
   と、前記一対のフランジの周部を互いに締め付ける手段
   とを備えている請求項１〜３のいずれかに記載のマスタ
   ー情報磁気記録装置。
5. 【請求項５】 前記一対のフランジと前記マスター情報
   担体および前記磁気記録媒体との間の少なくとも一方に
   介装された弾性部材をさらに備えている請求項４記載の
   マスター情報磁気記録装置。
6. 【請求項６】 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒
   体との位置合わせを行うための手段として、前記マスタ
   ー情報担体に、マーカーが配置されていることを特徴と
   する請求項１記載のマスター情報磁気記録装置。
7. 【請求項７】 基体の表面に、強磁性薄膜よりなり、情
   報信号に対応する凹凸形状パターンが形成された領域
   と、前記凹凸形状パターンが形成されていない領域とが
   設けられたマスター情報担体を用いて、強磁性層を有す
   る磁気記録媒体に前記マスター情報担体の情報信号を記
   録する磁気記録媒体の製造方法であって、 前記マスター情報担体と前記磁記録媒との位置合わせを
   行う位置合わせ工程と、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させ
   る密着工程と、 前記マスター情報担体の強磁性薄膜を励磁するための磁
   界を印加する磁界印加工程とを有する磁気記録媒体の製
   造方法。
8. 【請求項８】 前記凹凸形状パターンが形成されていな
   い領域の少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマスタ
   ー情報担体を用い、 前記密着工程において、前記マスター情報担体と前記磁
   気記録体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体
   の貫通孔を通して前記マスター情報担体と前記磁気記録
   媒体との間に存在する気体を排気することを特徴とする
   請求項７記載の磁気記録媒体の製造方法。
9. 【請求項９】 前記凹凸形状パターンが形成されていな
   い領域の少なくとも一部分の表面高さを、前記凹凸形状
   パターンが形成された領域の表面高さよりも低くしたマ
   スター情報担体を用い、 前記密着工程において、前記マスター情報担体と前記磁
   気記録媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担
   体の凹凸形状パターンが形成されていない領域と前記磁
   気記録媒体との間に存在する気体を排気することを特徴
   とする請求項７記載の磁気記録媒体の製造方法。
10. 【請求項１０】 前記密着工程において、前記マスター
    情報担体および前記磁気記録媒体を一対のフランジで挟
    み付け、前記一対のフランジの周部を互いに締め付ける
    ことを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の磁気
    記録媒体の製造方法。
11. 【請求項１１】 前記位置合わせ工程において、前記マ
    スター情報担体に配置されたマーカを用いて、前記マス
    ター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行う
    ことを特徴とする請求項７記載の磁気記録媒体の製造方
    法。