JP2002150555A - 磁気転写方法および装置並びに磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスター担体からスレーブ媒体にサーボ信号
のような情報信号の磁気転写を行うについて塵埃付着に
起因するマスター担体とスレーブ媒体との密着不良によ
る転写品質の劣化を防止する。 【解決手段】 情報信号を担持したマスター担体３とス
レーブ媒体２とを密着させて転写用磁界を印加して磁気
転写を行う際に、密着手段10に情報担持面を鉛直方向に
向けて保持したマスター担体３に対し、記録面を鉛直方
向に向けてスレーブ媒体２を搬送し、マスター担体３と
スレーブ媒体２とを密着させ、密着面を鉛直方向に向け
て磁気転写を行い、浮遊する塵埃等の付着堆積を防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスター担体に担
持した情報をスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写方法
および磁気転写装置並びに磁気転写された磁気記録媒体
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気転写は、マスター担体とスレーブ媒
体を密着させた状態で転写用磁界を印加し、マスター担
体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁気
パターンをスレーブ媒体の記録面に転写記録するもので
ある。この磁気転写方法としては、例えば特開昭６３−
１８３６２３号公報、特開平１０−４０５４４号公報、
特開平１０−２６９５６６号公報等に開示されている。

【０００３】これらの磁気転写においては、磁気転写す
る際に、マスター担体は情報担持面を水平状態にして保
持され、またスレーブ媒体も記録面を水平状態にして搬
送され、両者を水平状態で密着させて磁気転写用磁界を
印加して磁気転写を行うようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な磁気転写において、マスター担体の繰り返し使用によ
り、マスター担体は表面に塵埃が付着して汚染される。
このマスター担体に付着する塵埃としては、周辺環境で
発生しているもの、スレーブ媒体に付着していたもの、
マスター担体とスレーブ媒体との接触により発生するマ
スター担体およびスレーブ媒体の削れカスなどがあげら
れる。

【０００５】これらの塵埃がスレーブ媒体とマスター担
体との密着面に介在した状態で磁気転写を行うと、塵埃
付着部を中心とし周辺に及ぶ範囲までマスター担体とス
レーブ媒体の密着が確保できず、所定信号レベルのパタ
ーン転写ができずに磁気転写品質が低下する。記録した
信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に
得られずに信頼性が低下するという問題があった。

【０００６】上記付着塵埃はマスター担体とスレーブ媒
体の密着を繰り返すことで、そのマスター担体表面への
付着力が助長され、以降の磁気転写したスレーブ媒体の
すべてに同様またはそれ以上のパターン転写不良が生
じ、多数の不良品の発生原因となる。さらに、これら付
着物により、マスター担体表面を変形させ、正常な機能
を損なう問題がある。

【０００７】特に、前述のように従来の磁気転写では、
マスター担体は情報担持面を水平状態にして保持され、
スレーブ媒体は記録面を水平状態にして搬送されるため
に情報担持面または記録面の一方が上方を向き、搬送工
程、密着工程などにおいて、装置可動部から発生する粉
塵等の周囲に浮遊している塵埃が重力によって落下し、
上記マスター担体またはスレーブ媒体の水平面に付着蓄
積され、密着面間に介在することになる。

【０００８】本発明はこのような問題に鑑みなされたも
ので、マスター担体とスレーブ媒体との密着における塵
埃の付着に伴う転写品質の劣化を防止し信頼性の高い磁
気転写が行えるようにした磁気転写方法および磁気転写
装置並びに磁気記録媒体を提供することを目的とするも
のである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気転写方法
は、情報信号を担持したマスター担体とスレーブ媒体と
を密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転
写方法において、情報担持面を鉛直方向に向けて保持し
たマスター担体に対し、記録面を鉛直方向に向けてスレ
ーブ媒体を搬送し、前記マスター担体の情報担持面とス
レーブ媒体の記録面とを密着させることを特徴とするも
のである。

【００１０】また、本発明の磁気転写装置は、情報信号
を担持したマスター担体とスレーブ媒体とを密着させ転
写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置におい
て、情報担持面を鉛直方向に向けてマスター担体を保持
しスレーブ媒体と密着させる密着手段と、該密着手段に
記録面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体を搬送する搬送
手段と、前記密着手段に保持したスレーブ媒体およびマ
スター担体に対して転写用磁界を印加する磁界生成手段
とを備えたことを特徴とするものである。

【００１１】前記スレーブ媒体は、マスター担体に密着
させる以前に表面の微小突起または付着塵埃を除去する
クリーニング処理が必要に応じて施されるもので、この
クリーニング工程においても記録面を鉛直方向に向けて
行うのが好ましい。また、必要に応じてスレーブ媒体の
初期磁化が行われるが、その際にも記録面を鉛直方向に
向けて行うのが好ましい。一方、マスター担体において
は、スレーブ媒体と密着させる以前に、付着した塵埃を
除去するクリーニング処理が必要に応じて施される場合
があり、これらの工程においても可及的に情報担持面を
鉛直方向に向けて行うのが好ましい。

【００１２】前記密着手段は１枚または２枚のマスター
担体を位置決め保持し、位置決め搬送されたスレーブ媒
体の片面または両面にマスター担体を押圧密着させ、こ
の密着したものまたは磁界生成手段を相対的に回転させ
て磁気転写を行うものである。

【００１３】スレーブ媒体はフレキシブルディスクまた
はハードディスクであり、このスレーブ媒体を公知の搬
送手段（搬送コンベヤ、ロボットハンド等）によって保
持し、順次搬送すると共に、前記密着手段に保持したマ
スター担体に対して搬送する。

【００１４】磁界生成手段は、電磁石装置または永久磁
石装置が採用され、マスター担体とスレーブ媒体との密
着部分の片側または両側から転写用磁界を印加する。

【００１５】なお、上記磁気転写方法としては、最初に
スレーブ媒体をトラック方向に直流磁化する初期磁化を
施し、このスレーブ媒体と転写する情報に対応する微細
凹凸パターンに磁性層が形成されたマスター担体とを密
着させてスレーブ媒体面の初期直流磁化方向と略逆向き
の方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行うものが好
ましい。前記情報としてはサーボ信号が好適である。

【００１６】本発明の磁気記録媒体は、上記のような磁
気転写方法および／または磁気転写装置により磁気転写
された情報信号がサーボ信号であることを特徴とするも
のである。

【００１７】

【発明の効果】上記のような本発明によれば、情報担持
面を鉛直方向に向けて保持したマスター担体に対し記録
面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体を搬送し両者を密着
させて磁気転写を行うことにより、マスター担体および
スレーブ媒体への塵埃付着量を低減できる。これによ
り、付着物が介在してマスター担体とスレーブ媒体との
密着不良により発生する転写信号の劣化を防止すること
ができ、品質の安定した磁気転写が実施でき信頼性の向
上を図ることができ、マスター担体のクリーニング工程
の低減、マスター担体の破損防止による長寿命化が図れ
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図１は本発明の一つの実施の形態にかかる
磁気転写方法を実施する磁気転写装置の転写状態を示す
要部斜視図である。図２は密着手段の分解斜視図、図３
は他の実施の形態の密着手段の分解斜視図である。ま
た、図４は磁気転写の基本工程を示す図である。なお、
各図は模式図でありその厚み等は実際の寸法とは異なる
比率で示している。

【００１９】図１および図２に示す磁気転写装置１は両
面同時転写を行うものであり、基本的には、スレーブ媒
体２（磁気記録媒体）の両側記録面にサーボ信号に対応
する情報信号を担持した２枚のマスター担体３，４を密
着させ転写用磁界を印加して磁気転写を行う。この装置
１は、情報担持面を鉛直方向に向けて２枚のマスター担
体３，４を保持しスレーブ媒体２の両面に密着させる密
着手段１０と、該密着手段１０に記録面を鉛直方向に向
けてスレーブ媒体２を搬送する不図示の搬送手段と、前
記密着手段１０に保持したスレーブ媒体２およびマスタ
ー担体３，４に対して転写用磁界を印加する磁界生成手
段１１とを備えてなる。

【００２０】その磁気転写方法としては、情報担持面を
鉛直方向に向けて保持したマスター担体３，４に対し、
記録面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体２を搬送し、マ
スター担体３，４の情報担持面とスレーブ媒体２の記録
面とを密着させ、これを回転させつつ、両側から磁界生
成手段１１によって転写用磁界を印加し、マスター担体
３，４に担持した情報を磁気的にスレーブ媒体２の両面
に同時に転写記録するものである。

【００２１】密着手段１０は、スレーブ媒体２の一方の
記録面にサーボ信号等の情報を転写する第１のマスター
担体３を吸着保持する第１圧接部材８と、スレーブ媒体
２の他方の記録面にサーボ信号等の情報を転写する第２
のマスター担体４を吸着保持する第２圧接部材９とを備
え、第１圧接部材８と第２圧接部材９は不図示の移動機
構により接離移動可能に設けられている。これにより鉛
直方向に向いた各圧接面の中心位置を合わせた状態で、
スレーブ媒体２の両面に第１のマスター担体３と第２の
マスター担体４とを密着させる。

【００２２】図示のスレーブ媒体２は、円盤状の記録メ
ディア２ａの中心部にハブ２ｂが固着されてなるフレキ
シブルディスクであり、記録メディア２ａはフレキシブ
ルなポリエステルシート等からなる円盤状のベースの両
面に磁性体層が形成された記録面を有する。このスレー
ブ媒体２を公知の搬送手段（搬送コンベヤ、ロボットハ
ンド等）によって記録面を鉛直方向に向けて保持し、順
次搬送すると共に、密着手段１０の離間した状態の第１
のマスター担体３と第２のマスター担体４の間に搬送す
る。なお、スレーブ媒体２としては、ハードディスクで
あってもよい。このハードディスクについても搬送手段
によって記録面を鉛直方向に向けた状態で密着手段１０
に搬送する。

【００２３】前記第１のマスター担体３および第２のマ
スター担体４はディスク状に形成され、その片面にスレ
ーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸パターン（図
４により後述する）による転写情報担持面を有し、これ
と反対側の面が第１圧接部材８および第２圧接部材９に
保持される。この第１のマスター担体３および第２のマ
スター担体４は、必要に応じてスレーブ媒体２との密着
性を高めるために、微細凹凸パターンの形成部以外の位
置でかつ後述の吸気孔８ｃに連通しない位置に微細な孔
が表裏を貫通して形成されて、スレーブ媒体２との密着
面間のエアを吸引排出するように設けられる。

【００２４】第１圧接部材８（第２圧接部材９も同様）
は、内面側にマスター担体３の大きさに対応した吸着面
８ｂが設けられ、吸気孔８ｃがほぼ均等に開口して、マ
スター担体３を吸引保持するようになっている。第１圧
接部材８および第２圧接部材９は一方または両方が軸方
向に移動可能に設けられ、図示しない開閉機構（押圧機
構、締結機構等）によって開閉作動するものであり、互
いに所定の圧力で圧接される。外周には鍔部８ａ，９ａ
を有し閉作動時には両側の圧接部材８，９の鍔部８ａ、
９ａが当接して内部を密閉状態に保持する。第１圧接部
材８の中心部には、スレーブ媒体２のハブ２ｂの中心孔
に係合して位置決めするピン８ｄが形成されている。ま
た、第１圧接部材８および第２圧接部材９は図示しない
回転機構に連係されて磁界印加時に一体に回転駆動され
る。

【００２５】なお、密着手段１０におけるマスター担体
３，４の保持構造は、上記のような吸着保持に限らず、
嵌合保持、ピン係合保持などの構造が適宜採用可能であ
る。

【００２６】磁界生成手段１１は、密着手段１０の両側
に配設された電磁石装置５，５を備えてなり、この電磁
石装置５は密着手段１０の半径方向に延びるギャップ５
１を有するコア５２にコイル５３が巻き付けられてな
る。ギャップ５１に発生する磁力線の向きは、密着手段
に保持されたスレーブ媒体２のトラック方向（円周トラ
ックの接線方向）と平行である。なお、磁界生成手段１
１としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成し
てもよい。

【００２７】また、磁界生成手段１１は、密着手段１０
の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置５，５
が接離移動するか、電磁石装置５，５間に密着手段１０
が挿入するように電磁石装置５，５または密着手段１０
が移動するようになっている。

【００２８】そして、密着手段１０においては、同じ第
１のマスター担体３および第２のマスター担体４により
複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであ
り、それぞれ中心位置を合わせて第１のマスター担体３
および第２のマスター担体４を保持させておく。そし
て、第１圧接部材８と第２圧接部材９とを離間した開状
態で、記録面を鉛直方向に向けて搬送したスレーブ媒体
２を中心位置を合わせてセットした後、第１圧接部材８
と第２圧接部材９とを接近させて閉作動し、スレーブ媒
体２の両面にマスター担体３，４を密着させる。その
後、左右両側の電磁石装置５，５の移動または密着手段
１０の移動によって、密着手段１０の両面に電磁石装置
５，５を接近させ、密着手段１０を回転させつつ電磁石
装置５，５によって転写用磁界を印加して、第１のマス
ター担体３および第２のマスター担体４の転写情報をス
レーブ媒体２の記録面に磁気的に転写記録する。磁界生
成手段１１を回転移動するように設けてもよい。

【００２９】磁気転写が終了した後には、密着手段１０
を開作動して密着状態を解放し、転写後のスレーブ媒体
２を取り出して排出搬送する。この転写後のスレーブ媒
体２の搬送においては水平状態で行ってもよい。

【００３０】なお、前記スレーブ媒体２は、マスター担
体３に密着させる以前に表面の微小突起または付着塵埃
を除去するクリーニング処理が必要に応じて施されるも
ので、このクリーニング工程においても記録面を鉛直方
向に向けて行うようにする。また、後述のようにスレー
ブ媒体２は予め初期磁化が行われるが、その際にも記録
面を鉛直方向に向けて行うのが好ましい。一方、マスタ
ー担体３においては、スレーブ媒体２と密着させる以前
に、付着した塵埃を除去するクリーニング処理が必要に
応じて施される場合があり、これらの工程においても可
及的に情報担持面を鉛直方向に向けて行う。

【００３１】本実施の形態によれば、スレーブ媒体２の
両面にマスター担体３，４を密着させて磁気転写を行う
際に、それぞれのマスター担体３，４を情報担持面を鉛
直方向に向けて保持すると共に、スレーブ媒体２を記録
面を鉛直方向に向けて搬送して密着させることにより、
装置可動部から発生する塵埃および周囲に浮遊する塵埃
が落下して情報担持面および記録面に付着堆積するのが
防止でき、両者の密着面間への塵埃の介在によるマスタ
ー担体３，４とスレーブ媒体２との密着不良に起因する
転写品質の劣化を防止することができ、良好な磁気転写
を効率よく継続することができる。

【００３２】図３は他の実施の形態を示す密着手段２０
の分解斜視図であり、片面転写を行う例である。密着手
段２０は、スレーブ媒体２の片側記録面にサーボ信号等
の情報を転写する１枚のマスター担体３を保持する第１
圧接部材８と、スレーブ媒体２の他側記録面に接触する
弾性体２１（クッション材）を保持する第２圧接部材９
とを備え、これらは中心位置を合わせた状態で圧接さ
れ、スレーブ媒体２の片面にマスター担体３を反対面に
弾性体２１を密着させる。すなわち、前記実施の形態に
おける第２のマスター担体４が弾性体２１に変更され、
その他は同様に構成されている。

【００３３】弾性体２１は弾性特性を有する材料により
円盤状に形成され、第２圧接部材９に保持されている。
弾性体２１の材料は、密着圧力印加時にスレーブ媒体２
の表面形状に追従変形し、マスター担体３からスレーブ
媒体２の引き剥がし時に圧力印加前の表面性に復元する
特性を備えている。弾性体２１の具体的材料としては、
シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジ
エンゴム、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴムな
ど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが使
用できる。弾性体２１のスレーブ媒体２と接する面の形
状は、マスター担体３と平行な平面形状、またはスレー
ブ媒体２側に凸形状に形成される。

【００３４】本実施形態の密着手段２０においては、マ
スター担体３により複数のスレーブ媒体２に対する磁気
転写を行うものであり、まず情報担持面を鉛直方向に向
けて中心位置を合わせてマスター担体３を保持してお
く。そして、第１圧接部材８と第２圧接部材９とを離間
した開状態で、搬送手段により記録面を鉛直方向に向け
て搬送されたスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセッ
トした後、第１圧接部材８と第２圧接部材９とを接近さ
せて閉作動しスレーブ媒体２の片面にマスター担体３を
弾性体２１の押圧により密着させる。その後、前記と同
様に密着手段２０の両面に左右の電磁石装置５を接近さ
せ、密着手段２０を回転させつつ電磁石装置５によって
転写用磁界を印加して、マスター担体３の転写情報をス
レーブ媒体２の片面に磁気的に転写記録する。その後、
別工程でスレーブ媒体２の反対面に他のマスター担体４
を密着させて同様に磁気転写を行う。なお、磁界生成手
段１１は片側の電磁石装置５のみでもよい。

【００３５】本実施の形態による片面転写においても、
前記と同様に、スレーブ媒体２およびマスター担体３
を、その記録面および情報担持面を鉛直方向に向けて搬
送、密着、転写を行うことにより、塵埃が落下して情報
担持面および記録面に付着堆積するのが防止でき、密着
不良に起因する転写品質の劣化を防止することができ、
良好な磁気転写を効率よく継続することができる。

【００３６】次に、図４は磁気転写の基本態様を示す図
であって、密着面を水平状態にして示している。(ａ)は
磁場を一方向に印加してスレーブ媒体２を初期直流磁化
する工程、(ｂ)はマスター担体３とスレーブ媒体２とを
密着して反対方向に磁界を印加する工程、(ｃ)は磁気転
写後の状態をそれぞれ示す図である。

【００３７】まず図４(ａ)に示すように、スレーブ媒体
２に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方向に印加して予
め初期磁化(直流消磁)を行う。その後、図４(ｂ)に示す
ように、このスレーブ媒体２の磁気記録面とマスター担
体３の基板３１の微細凹凸パターンに磁性層３２（金属
薄膜層）が被覆されてなる情報担持面とを密着させ、ス
レーブ媒体２のトラック方向に前記初期磁界Ｈinとは逆
方向に転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その
結果、図４(ｃ)に示すように、スレーブ媒体２の磁気記
録面（トラック）にはマスター担体３の情報担持面の磁
性層３２の密着突部と凹部空間との形成パターンに応じ
た情報（サーボ信号）が磁気的に転写記録される。前記
初期磁化は、密着手段１０内で磁界生成手段１１によっ
て行うか、それ以前の工程で行うか、磁気転写装置１に
供給する以前のスレーブ媒体２に行う。

【００３８】なお、上記マスター担体３の基板３１の凹
凸パターンが図４のポジパターンと逆の凹凸形状のネガ
パターンの場合であっても、初期磁界Ｈinの方向および
転写用磁界Ｈduの方向を上記と逆方向にすることによっ
て同様の情報が磁気的に転写記録できる。

【００３９】前記基板３１がＮｉなどによる強磁性体の
場合はこの基板３１のみで磁気転写は可能で、前記磁性
層３２（軟磁性層）は被覆しなくてもよいが、転写特性
の良い磁性層３２を設けることでより良好な磁気転写が
行える。基板３１が非磁性体の場合は磁性層３２を設け
ることが必要である。

【００４０】強磁性金属による基板３１に磁性層３２を
被覆した場合に、基板３１の磁性の影響を断つために、
基板３１と磁性層３２との間に非磁性層を設けることが
好ましい。さらに最上層にダイヤモンドライクカーボン
（ＤＬＣ）等の保護膜を被覆し、この保護膜により接触
耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。ＤＬＣ
保護膜の下層にＳｉ膜をスパッタリング等で形成するよ
うにしてもよい。

【００４１】マスター担体について説明する。マスター
担体の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガ
ラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等
を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法、フ
ォトファブリケーション法等によって行われる。

【００４２】スタンパー法は、表面が平滑なガラス板
（または石英板）の上にスピンコート等でフォトレジス
トを形成し、このガラス板を回転させながらサーボ信号
に対応して変調したレーザー光（または電子ビーム）を
照射し、フォトレジスト全面に所定のパターン、例えば
各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサー
ボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応
する部分に露光する。その後、フォトレジストを現像処
理し、露光部分を除去しフォトレジストによる凹凸形状
を有する原盤を得る。次に、原盤の表面の凹凸パターン
をもとに、この表面にメッキ（電鋳）を施し、ポジ状凹
凸パターンを有するＮｉ基板を作成し、原盤から剥離す
る。この基板をそのままマスター担体とするか、または
凹凸パターン上に必要に応じて非磁性層、軟磁性層、保
護膜を被覆してマスター担体とする。

【００４３】また、前記原盤にメッキを施して第２の原
盤を作成し、この第２の原盤を使用してメッキを行い、
ネガ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。さ
らに、第２の原盤にメッキを行うか樹脂液を押し付けて
硬化を行って第３の原盤を作成し、第３の原盤にメッキ
を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成しても
よい。

【００４４】一方、前記ガラス板にフォトレジストによ
るパターンを形成した後、エッチングしてガラス板に穴
を形成し、フォトレジストを除去した原盤を得て、以下
前記と同様に基板を形成するようにしてもよい。

【００４５】金属による基板の材料としては、Ｎｉもし
くはＮｉ合金を使用することができ、この基板を作成す
る前記メッキは、無電解メッキ、電鋳、スパッタリン
グ、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法が適
用できる。基板の凹凸パターンの深さ（突起の高さ）
は、８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲が好ましく、より好ま
しくは１５０ｎｍ〜６００ｎｍである。この凹凸パター
ンはサーボ信号の場合は、半径方向に長く形成される。
例えば、半径方向の長さは０．３〜２０μｍ、円周方向
は０．２〜５μｍが好ましく、この範囲で半径方向の方
が長いパターンを選ぶことがサーボ信号の情報を担持す
るパターンとして好ましい。

【００４６】マスター担体の磁性層（軟磁性層）の形成
は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオン
プレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などによ
り成膜する。磁性層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合
金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、
Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭ
ｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎ
ｉ合金（ＮｉＦｅ）が用いることができる。特に好まし
くはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。磁性層の厚みは、
５０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好まし
くは１５０ｎｍ〜４００ｎｍである。また磁性層の下層
に下地層として設ける非磁性層の材料としては、Ｃｒ、
ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、
Ｒｕ、Ｃ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂ等を用い
る。この非磁性層は基板が強磁性体の場合における信号
品位の劣化を抑制できる。

【００４７】なお、磁性層の上にＤＬＣ等の保護膜を設
けることが好ましく、潤滑剤層を設けても良い。また保
護膜として５〜３０ｎｍのＤＬＣ膜と潤滑剤層が存在す
ることがさらに好ましい。また、磁性層と保護膜の間
に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤は、ス
レーブ媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、
摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化を改善する。

【００４８】前記原盤を用いて樹脂基板を作製し、その
表面に磁性層を設けてマスター担体としてもよい。樹脂
基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート・ポリメチ
ルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル
・塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ
樹脂、アモルファスポリオレフィンおよびポリエステル
などが使用可能である。耐湿性、寸法安定性および価格
などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にバ
リがある場合は、バーニシュまたはポリッシュにより除
去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを
使用して、原盤にスピンコート、バーコート塗布で形成
してもよい。樹脂基板のパターン突起の高さは、５０〜
１０００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは２０
０〜５００ｎｍの範囲である。

【００４９】前記樹脂基板の表面の微細パターンの上に
磁性層を被覆しマスター担体を得る。磁性層の形成は、
磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ
ーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成
膜する。

【００５０】一方、フォトファブリケーション法は、例
えば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗
布し、サーボ信号のパターンに応じたフォトマスクを用
いた露光、現像処理により、情報に応じたパターンを形
成する。次いで、エッチング工程により、パターンに応
じて基板のエッチングを行い、磁性層の厚さに相当する
深さの穴を形成する。次いで、磁性材料を真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成
膜手段、メッキ法により、形成した穴に対応した厚さで
基板の表面まで磁性材料を成膜する。次いで、フォトレ
ジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばり
がある場合は取り除くと共に、表面を平滑化する。

【００５１】スレーブ媒体について述べる。スレーブ媒
体としては塗布型磁気記録媒体、あるいは金属薄膜型磁
気記録媒体を用いる。塗布型磁気記録媒体としては高密
度フレキシブルディスクなどの市販媒体が挙げられる。
金属薄膜型磁気記録媒体については、まず磁性材料とし
てはＣｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰ
ｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、Ｃｏ
Ｎｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、Ｆｅ
ＣｏＮｉ）を用いることができる。これは磁束密度が大
きいこと、スレーブ媒体２と同じ方向（面内記録なら面
内方向、垂直なら垂直方向）の磁気異方性を有している
ことが、明瞭な転写が行えるため好ましい。そして磁性
材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性をつけるため
に非磁性の下地層を設けることが好ましい。結晶構造と
格子常数を磁性層に合わすことが必要である。そのため
にはＣｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、
ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一つの実施の形態に係る磁気転写装置
の転写状態を示す要部斜視図

【図２】密着手段の分解斜視図

【図３】密着手段の他の実施の形態にかかる分解斜視図

【図４】磁気転写方法の基本工程を示す図

【符号の説明】

１ 磁気転写装置 ２ スレーブ媒体 ３，４ マスター担体 ５ 電磁石装置 ８，９ 圧接部材 10，20 密着手段 11 磁界生成手段 21 弾性体

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 情報信号を担持したマスター担体とスレ
   ーブ媒体とを密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を
   行う磁気転写方法において、 情報担持面を鉛直方向に向けて保持したマスター担体に
   対し、記録面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体を搬送
   し、前記マスター担体の情報担持面とスレーブ媒体の記
   録面とを密着させることを特徴とする磁気転写方法。
2. 【請求項２】 情報信号を担持したマスター担体とスレ
   ーブ媒体とを密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を
   行う磁気転写装置において、 情報担持面を鉛直方向に向けてマスター担体を保持しス
   レーブ媒体と密着させる密着手段と、該密着手段に記録
   面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体を搬送する搬送手段
   と、前記密着手段に保持したスレーブ媒体およびマスタ
   ー担体に対して転写用磁界を印加する磁界生成手段とを
   備えたことを特徴とする磁気転写装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の方法および／または請
   求項２に記載の装置により磁気転写された情報信号がサ
   ーボ信号であることを特徴とする磁気記録媒体。