JP4516086B2 - 磁気抵抗効果素子及びその製造方法、磁気メモリ、磁気ヘッド並びに磁気記録装置 - Google Patents
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Description
また一方、大小二つの磁性体の「くびれ」を有するワイヤに磁壁を閉じ込め、大きなくびれでは低抵抗(情報「0」)、小さなくびれでは高抵抗(情報「1」)、さらに「0」と「1」の書き換えは、磁壁を電流ドライブにてくびれ間を移動させる素子がある。本発明者は、スパッタNiFe(パーマロイ)膜をイオンミリングで2次元的および3次元的に絞り込んだ形状にしたポイントコンタクトにおいて、およそ10〜20%の磁気抵抗効果(MR)が生ずることを確認した(非特許文献1及び2)。
しかし、この公知例の場合、基準磁性部と磁区制御部との間に微小接触部に用いる磁性体を挟みこまれてしまう。
また、本発明の他の一態様によれば、絶縁体層と、前記絶縁体層を挟んで積層された第1及び第2の強磁性体層と、前記第2の強磁性体層と積層された磁性バイアス層と、前記絶縁体層の側面と前記第2の強磁性体層の側面と前記磁性バイアス層の側面に不連続に形成され、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とを電気的に接続する強磁性体からなる接続部と、を有する磁気抵抗効果素子を備え、前記第1の強磁性体層の磁化と前記第2の強磁性体層の磁化は、互いに略反対方向に固着されてなり、前記接続部が前記第1の強磁性体層に接する面積と前記接続部が前記第2の強磁性体層に接する面積とが異なっており、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層との間で電流を流すことにより前記接続部内に形成される磁壁を移動させて書き込みを行うことを特徴とする磁気メモリが提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、上記の磁気抵抗効果素子を備え、特定の書き込みワード線とビット線とに書き込み電流を流し、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層との間で電流を流すことにより書き込みを行うことを特徴とする磁気メモリが提供される。
図1は、本発明の実施の形態にかかる磁気抵抗効果素子の断面構造を表す概念図である。 また、図2は、この磁気抵抗効果素子を矢印Aの方向から眺めた概念図である。
島状体60A、60Bのそれぞれは、例えば、単結晶の結晶粒としてもよく、または、島状体60A、60Bのそれぞれを多結晶としてもよい。例えば、最狭部60Pの近傍の磁性体は、絶縁体層50の側面上で、例えば、互いに異なる向きに配向した結晶粒60A、60Bを接続させた構造を有するものとすることができる。そして、結晶粒60A、60Bの結晶粒界が、磁壁を閉じ込めるポイントコンタクトとすることができる。結晶粒60A、60Bのサイズは、通常の形成条件によれば、最大でも10〜20nmであり、成長の初期段階では3〜5nm程度である。従って、このようなふたつの結晶粒60A、60Bが接続された最狭部60Pの粒界の幅は、十分に小さく、狭いポイントコンタクトが形成される。その結果として、高い磁気抵抗効果が得られる。つまり、第1の強磁性体層30の磁化方向と第2の強磁性体層の40の磁化方向の相対的な関係を、高い感度で検出することが可能となる。
図30に表したように、下部電極1、磁気感受部2、絶縁部3、基準磁性部4を成膜する。絶縁部3と基準磁性部4は、磁気感受部2よりも小さく形成されている。そして、この状態で磁性体7を成膜する。磁性体7は、島状に成長し、成膜量を徐々に増やすと、磁性感受部2と基準磁性部4との段差部部分が成膜された磁性体7によって導通する箇所が表れる。
その後、図31に表したように、磁区制御部5と上部電極6を基準磁性部4の上に成膜する。
なお、島状体60A、60Bのそれぞれを多結晶により形成した場合でも、これら島状体60A、60Bが接続している部分の面積が十分に小さければ、同様の効果を得ることが可能である。
また、第1及び第2の強磁性体層30、40と接続部60の材料としては、例えば、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、または、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、マンガン(Mn)及びクロム(Cr)よりなる群から選択された少なくともいずれかの元素を含む合金、酸化物、窒化物あるいはホイスラー合金、あるいは鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、マンガン(Mn)及びクロム(Cr)の少なくともいずれかの元素を含む化合物半導体または酸化物半導体であり、強磁性を有するものを挙げることができる。
例えば、第2の強磁性体層の磁化を外部磁界に感応して可変とする場合には、NiFe(パーマロイ)などの保磁力が相対的に低い材料を用い、電子散乱を起こす接続部60の材料としては電子分極率が高いFe系をベースにしたFe、FeCo、FeCoNi、ホイスラー合金などの材料を用いることで、高磁界感度と高抵抗変化を得ることができる。
また、図4(a)は、この磁気抵抗効果素子を矢印Aの方向から眺めた概念図であり、図4(b)はその一部拡大図である。なお、図3以降の図については、既出の図に関して説明したものと同様の要素には同一の符号を付して、詳細な説明は適宜省略する。
本具体例においては、第1の強磁性体層30の主面上に、絶縁体層50と第2の強磁性体層40の積層体の側面が立設されている。そして、図1及び図2に関して前述したものと同様に、接続部60が第1の結晶粒60Aと第2の結晶粒60Bとを有し、これら結晶粒60A、60Bが接触した結晶粒界とされている。この最狭部60Pが、ポイントコンタクトとして作用する。このようにしても、図1及び図2に関して前述したもの同様の効果が得られる。
本具体例においても、図5に関して前述したものと同様に、第1の強磁性体層30の主面上に、絶縁体層50と第2の強磁性体層40の積層体の側面が立設されている。そして、図3及び図4に関して前述したものと同様に、接続部60は第1の強磁性体層30から絶縁体層50を越えて第2の強磁性体層40に至るように形成されている。このようにしても、図3及び図4に関して前述したもの同様の効果が得られる。
また、本具体例の場合、接続部60を形成する際に、第1の強磁性体層30の主面上から接続部60が成長を開始し、絶縁体層50の側面を覆って第2の強磁性体層40にまで至るように成長させることが容易となる。この場合、接続部60に形成される磁壁の面積は、第1の強磁性体層30に近い側において大きく、第2の強磁性体層40に近い側においては小さくなる。つまり、接続部60に流す電流の方向に応じて、磁気抵抗が大きくなるか小さくなるかの方向を予め決めることが容易となり、磁気メモリの素子構造を形成しやすいという効果も得られる。
本具体例においては、第1の強磁性体層30の主面上に段差が形成され、絶縁体層50と第2の強磁性体層40の側面は、この段差に略連続して立設されている。そして、図1及び図2に関して前述したものと同様に、接続部60が第1の結晶粒60Aと第2の結晶粒60Bとを有し、これら結晶粒60A、60Bが接触した結晶粒界とされている。この最狭部60Pが、ポイントコンタクトとして作用する。このようにしても、図1及び図2に関して前述したもの同様の効果が得られる。
本具体例においても、図7に関して前述したものと同様に、第1の強磁性体層30の主面上に段差が形成され、絶縁体層50と第2の強磁性体層40の積層体の側面は、この段差の上に設けられている。そして、図3及び図4に関して前述したものと同様に、接続部60は第1の強磁性体層30から絶縁体層50を越えて第2の強磁性体層40に至るように形成されている。このようにしても、図3及び図4に関して前述したもの同様の効果が得られる。
本具体例においても、接続部60を形成する際に、第1の強磁性体層30の主面上から接続部60が成長を開始し、絶縁体層50の側面を覆って第2の強磁性体層40にまで至るように成長させることが容易となる。この場合、接続部60に形成される磁壁の面積は、第1の強磁性体層30に近い側において大きく、第2の強磁性体層40に近い側においては小さくなる。つまり、接続部60に流す電流の方向に応じて、磁気抵抗が大きくなるか小さくなるかの方向を予め決めることが容易となり、磁気メモリの素子構造を形成しやすいという効果が得られる。
本実施例の磁気抵抗効果素子においては、接続部60にポイントコンタクトとなる最狭部60Pが形成され、大きな磁気抵抗効果が得られる。そして、第1の強磁性体層30の磁化Mが磁気記録媒体からの信号磁界により変化し、この変化を高い感度で検出することができる。
磁気抵抗効果素子は、上述したトレンチを有する構造だけでなく、メサを有する構造とすることもできる。すなわち、第1の強磁性体層30の主面上に、第2の強磁性体層40と絶縁体層50からなるメサが形成されている。そして、メサの側壁に接続部60が形成され、最狭部60Pが設けられている。
以上まとめると、トレンチまたはメサの側面、すなわち接続部60が形成される側面は、磁化固着層の磁化の方向に対して垂直よりは平行に近いことが望ましい。
まず、下部電極となる下シールド110として、厚み1.5μm程度のNiFe膜を、図示しない基板の上に形成する。その表面を研磨して平坦化した後、図14(a)に表したように、厚み3nm程度のTaからなる下ギャップ膜130、厚み5nm程度のNiFeからなる第1の強磁性体層30、厚み5nm程度のアルミナからなる絶縁体層50、厚み3nm程度のNiFeからなる第2の強磁性体層40、厚み13nm程度のPtMnなどの反強磁性体からなる磁性バイアス層80、厚み3nm程度のTaからなるキャップ層(図示せず)を順次形成する。
次に、図15(b)に表したように、有機溶剤によりマスク300のリフトオフを行い、さらに必要に応じて絶縁体層70の表面を平坦化する。
また、図18は、本実施例の磁気抵抗効果素子の模式斜視図である。
一方、再生すなわち読み出しの際には、臨界電流密度以下の電流値をもって通電することで、磁壁を移動させることなく抵抗値を検出できる。
図19(a)は接続部60に「くびれ」がない場合を表す。すなわち、図3、図4及び図6に関して前述したものと同様に、接続部60のうちで、破線L2よりも上の部分60Uは、第2の強磁性体層40と交換結合している場合が多い。従って、磁壁は、破線L1の部分、破線L2の部分、またはL1とL2との間の部分に形成されることが多い。図19(a)に表した具体例の場合には、破線L1からL2にかけて、接続部60の断面積は連続的に変化する。
これに対して、図19(b)に表した具体例の場合には、破線L1と破線L2との間に、「くびれ」による断面積が小さい部分L3がある。
図20に表した曲線Aは図19(a)に対応し、磁壁の位置が破線L1からL2に移動するにつれて、接続部60の断面積とコンダクタンスは連続的に変化する。これに対して、曲線Bは図19(b)に対応し、磁壁の位置が破線L1からL2に移動する間に、破線L3の位置で接続部60の断面積とコンダクタンスに極小が表れる。なおここで、磁気抵抗効果素子の抵抗は、接続部60に形成される磁壁の面積に反比例する。
次に、図22(b)に表したように、有機溶剤によりマスク300のリフトオフを行い、さらに必要に応じて絶縁体層70の表面を平坦化する。
本実施例においては、第1の強磁性体層30、絶縁体層50、第2の強磁性体層40からなる積層体の側面が逆テーパ状に形成されている。すなわち、積層体の側面は、第1の強磁性体層30から第2の強磁性体層40に向けて、外側にはり出すように傾斜している。そして、この側面に接続部60が形成されている。このように、逆テーパ状の側面を形成し、そこに接続部60を形成してもよい。
本実施例においては、第1の強磁性体層30と第2の強磁性体層40の側面に対して、絶縁体層50の側面が相対的に後退している。そして、この側面に接続部60が形成されている。このように、絶縁体層50の側面を後退させ、そこに接続部60を形成してもよい。本実施例においては、後退した段差部分において、磁壁がさらに捉えられやすくなり、磁気抵抗効果の向上につながる。
本実施例においては、第1の強磁性体層30と第2の強磁性体層40の側面に対して、絶縁体層50の側面が相対的に突出している。そして、この側面に接続部60が形成されている。このように、絶縁体層50の側面を突出させ、そこに接続部60を形成してもよい。本実施例においては、突出した段差部分において、磁壁がさらに捉えられやすくなり、磁気抵抗効果の向上につながる。
次に、本発明の第6の実施例として、本発明の磁気抵抗効果素子10を搭載した磁気メモリについて説明する。すなわち、図1〜図25に関して説明した本発明の磁気抵抗効果素子10を用いて、例えば、メモリセルがマトリクス状に配置されたランダムアクセス磁気メモリ(magnetic random access memory)などの磁気メモリを実現できる。
すなわち、同図は、メモリセルをアレイ状に配置した場合の実施形態の回路構成を示す。アレイ中の1ビットを選択するために、列デコーダ350、行デコーダ351が備えられており、ビット線334とワード線332によりスイッチングトランジスタ330がオンになり一意に選択され、センスアンプ352で検出することにより磁気抵抗効果素子10を構成する磁気記録層に記録されたビット情報を読み出すことができる。
すなわち、本発明は各具体例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが可能であり、これらすべては本発明の範囲に包含される。
Claims (16)
- 絶縁体層と、
前記絶縁体層を挟んで積層された第1及び第2の強磁性体層と、
前記第2の強磁性体層と積層された磁性バイアス層と、
前記絶縁体層の側面に不連続に形成され、前記第2の強磁性体層と前記磁性バイアス層との界面に介在せず、強磁性体からなり、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とを電気的に接続する接続部と、
を備え、
前記接続部は、非磁性元素を含有してなることを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 絶縁体層と、
前記絶縁体層を挟んで積層された第1及び第2の強磁性体層と、
前記第2の強磁性体層と積層された磁性バイアス層と、
前記絶縁体層の側面と前記第2の強磁性体層の側面と前記磁性バイアス層の側面に不連続に形成され、強磁性体からなり、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とを電気的に接続する接続部と、
を備え、
前記接続部は、非磁性元素を含有してなることを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記第1及び第2の強磁性体層と前記磁性バイアス層は、前記絶縁体層の前記側面と略連続する側面をそれぞれ有し、
前記接続部は、前記第1の強磁性体層の前記側面と、前記第2の強磁性体層の前記側面と、を接続してなることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記第2の強磁性体層は、前記絶縁体層の前記側面と略連続する側面を有し、
前記絶縁体層の前記側面と前記第2の強磁性体層の前記側面は、前記第1の強磁性体層の主面の上に立設され、
前記接続部は、前記第1の強磁性体層の前記主面と、前記第2の強磁性体層の前記側面と、を接続してなることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記第1の強磁性体層は、その主面上に段差を有し、
前記第2の強磁性体層は、前記絶縁体層の前記側面と略連続する側面を有し、
前記絶縁体層の前記側面と前記第2の強磁性体層の前記側面は、前記第1の強磁性体層の前記段差と略連続して立設され、
前記接続部は、前記第1の強磁性体層の前記主面と、前記第2の強磁性体層の前記側面と、を接続してなることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記接続部は、第1の島状体と、前記絶縁層の前記側面において前記第1の島状体と接触した第2の島状体と、を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記接続部は、前記絶縁層の前記側面の上から前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とにそれぞれ延在した島状体を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記非磁性元素は、酸素(O)、金(Au)、白金(Pt)及び銅(Cu)よりなる群から選択された少なくともいずれかであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1及び第2の強磁性体層のいずれか一方の磁化は、固着され、
前記第1及び第2の強磁性体層のいずれか他方の磁化は、外部磁界により可変とされたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気抵抗効果素子。 - 絶縁体層を挟んで積層された第1及び第2の強磁性体層と前記第2の強磁性体層と積層された磁性バイアス層とを形成する工程と、
前記絶縁体層の側面に強磁性体を不連続に形成して前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とを電気的に接続し且つ非磁性元素を含有してなる接続部を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記積層する工程と、前記接続部を形成する工程と、の間に、前記第2の強磁性体層と前記絶縁体層とを選択的に除去して前記側面を形成する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項10記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 絶縁体層と、
前記絶縁体層を挟んで積層された第1及び第2の強磁性体層と、
前記第2の強磁性体層と積層された磁性バイアス層と、
前記絶縁体層の側面に不連続に形成され、前記第2の強磁性体層と前記磁性バイアス層との界面に介在せず、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とを電気的に接続する強磁性体からなる接続部と、
を有する磁気抵抗効果素子を備え、
前記第1の強磁性体層の磁化と前記第2の強磁性体層の磁化は、互いに略反対方向に固着されてなり、前記接続部が前記第1の強磁性体層に接する面積と前記接続部が前記第2の強磁性体層に接する面積とが異なっており、
前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層との間で電流を流すことにより前記接続部内に形成される磁壁を移動させて書き込みを行うことを特徴とする磁気メモリ。 - 絶縁体層と、
前記絶縁体層を挟んで積層された第1及び第2の強磁性体層と、
前記第2の強磁性体層と積層された磁性バイアス層と、
前記絶縁体層の側面と前記第2の強磁性体層の側面と前記磁性バイアス層の側面に不連続に形成され、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層とを電気的に接続する強磁性体からなる接続部と、
を有する磁気抵抗効果素子を備え、
前記第1の強磁性体層の磁化と前記第2の強磁性体層の磁化は、互いに略反対方向に固着されてなり、前記接続部が前記第1の強磁性体層に接する面積と前記接続部が前記第2の強磁性体層に接する面積とが異なっており、
前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層との間で電流を流すことにより前記接続部内に形成される磁壁を移動させて書き込みを行うことを特徴とする磁気メモリ。 - 請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気抵抗効果素子を備え、
特定の書き込みワード線とビット線とに書き込み電流を流し、前記第1の強磁性体層と前記第2の強磁性体層との間で電流を流すことにより書き込みを行うことを特徴とする磁気メモリ。 - 請求項1〜9のいずれか1つ記載の磁気抵抗効果素子を備え、磁気記録媒体に磁気的に記録された情報の読み取りを可能としたことを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項15記載の磁気ヘッドを備えたことを特徴とする磁気記録装置。
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