JP4507658B2 - 環状アミノフェノール化合物、環状熱硬化性樹脂、その製造法、絶縁膜用材料、絶縁膜用コーティングワニス、及び、これらを用いた絶縁膜並びに半導体装置 - Google Patents
環状アミノフェノール化合物、環状熱硬化性樹脂、その製造法、絶縁膜用材料、絶縁膜用コーティングワニス、及び、これらを用いた絶縁膜並びに半導体装置 Download PDFInfo
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Description
半導体用途の有機材料としては、耐熱性、吸水性、電気特性、機械特性などに優れたポリベンゾオキサゾール樹脂があり、様々な分野への適用が試みられている。例えば、4,4'−ジアミノ−3,3'−ジヒドロキシビフェニルとテレフタル酸からなる構造を有するもの、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンとテレフタル酸からなる構造を有するポリベンゾオキサゾール樹脂等がある。
1. アミノフェノール構造を含む基を有する芳香族基を主鎖に有する環状アミノフェノール化合物、
2. 前記アミノフェノール構造を含む基は、o−アミノヒドロキシフェノキシ基である第1項に記載の環状アミノフェノール化合物、
3. 前記環状アミノフェノール化合物は、一般式(1)で表される構造を有する第2項に記載の環状アミノフェノール化合物、
6. 前記環状アミノフェノール化合物は、一般式(1)中のArとして、1つ以上のt−ブチル基を有するカリックス[4]アレーン誘導体またはカリックス[6]アレーン誘導体である第4項に記載の環状アミノフェノール化合物、
7. アミド結合の炭素上に有機基を有するアミドフェノール構造を含む置換基を有する芳香族基を主鎖に有する環状熱硬化性樹脂、
8. 前記アミドフェノール構造を含む置換基は、o−アミドヒドロキシフェノキシ基である第7項に記載の環状熱硬化性樹脂、
9. 前記環状熱硬化性樹脂は、一般式(4)で表される構造を有するものである第7項または第8項に記載の環状熱硬化性樹脂、
11. 前記環状熱硬化性樹脂は、一般式(5)で表される構造を有するものである第10項に記載の環状熱硬化性樹脂、
16. 第15項に記載の絶縁膜用材料と、該絶縁膜用材料を溶解若しくは分散させることが可能な有機溶媒を含むことを特徴とする絶縁膜用コーティングワニス、
17. 第15項に記載の絶縁膜用材料、又は、第16項に記載の絶縁膜用コーティングワニスを、加熱処理により、縮合反応及び架橋反応させて得られるポリベンゾオキサゾールを主構造とする樹脂の層からなることを特徴とする絶縁膜、
18. 半導体の多層配線用層間絶縁膜として用いる第17項に記載の絶縁膜、
19. 半導体の表面保護膜として用いる第17項に記載の絶縁膜、
20. 第18項に記載の絶縁膜からなる多層配線用層間絶縁膜及び/又は第19項に記載の絶縁膜からなる表面保護層を有することを特徴とする半導体装置、
を提供するものである。
そしてこのポリベンゾオキサゾール樹脂を主構造とする樹脂膜は、樹脂構造中に環状構造による中空を有するために、これにより得られる樹脂膜は低誘電率を達成し、耐熱性と電気特性を両立させた絶縁膜を得ることができる。
4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラエテン−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラエチン−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラエチニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(フェニルメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(2−フェニルエチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラナフチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(ナフチルメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(2−ナフチルエチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラビフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(ビフェニルメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(4−(フェニルメチレン)フェニル)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、
2,8,14,20−テトラ(4−(フェニルメチレン)フェニレンメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(4−(9−フェニルフルオレン)フェニレンメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラメチル−2,8,14,20―テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレンなどのカリックスレゾルカレン構造を有する化合物:、25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、5,11,17,23−テトラホルミル−25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、31,32,33,34,35−ペンタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[5]アレーン、5,11,17,23,29−ペンタ(1,1−ジメチルエチル)−31,32,33,34,35−ペンタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[5]アレーン、5,11,17,23,29−ペンタホルミル−31,32,33,34,35−ペンタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[5]アレーン、37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、5,11,17,23,29,35−ヘキサホルミル−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、43,44,45,46,47,48,49−ヘプタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[7]アレーン、5,11,17,23,29,35,41−ヘプタ(1,1−ジメチルエチル)−43,44,45,46,47,48,49−ヘプタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[7]アレーン、5,11,17,23,29,35,41−ヘプタホルミル−43,44,45,46,47,48,49−ヘプタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[7]アレーン、49,50,51,52,53,54,55,56−オクタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[8]アレーン、5,11,17,23,29,35,41,47−オクタ(1,1−ジメチルエチル)−49,50,51,52,53,54,55,56−オクタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[8]アレーン、5,11,17,23,29,35,41,47−オクタホルミル−49,50,51,52,53,54,55,56−オクタ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[8]アレーンなどのカリックスアレーン構造を有する化合物:、などをあげることができる。この中でも、一般式(4)を合成する際に用いる反応溶媒であるN,N−ジメチルホルムアミドやN−メチルピロリドンなどの極性溶媒への溶解性に優れる2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレンなどのメチルカリックスレゾルカレン誘導体、2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレンなどのフェニルカリックスレゾルカレン誘導体、5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーンなどのt−ブチルカリックス[4]アレーン誘導体、5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーンなどのt−ブチルカリックス[6]アレーン誘導体が好ましいが、これらに限定されるものではない。
4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラエテン−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラエチン−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラエチニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(フェニルメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(2−フェニルエチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラナフチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(ナフチルメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(2−ナフチルエチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラビフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(ビフェニルメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(4−(フェニルメチレン)フェニル)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(4−(フェニルメチレン)フェニレンメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラ(4−(9−フェニルフルオレン)フェニレンメチレン)−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,2’,8,8’,14,14’,20,20’−オクタフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラメチル―2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレンなどのカリックスレゾルカレン構造を有する化合物:、25,26,27,28−テトラキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、5,11,17,23−テトラホルミル−25,26,27,28−テトラキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、31,32,33,34,35−ペンタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[5]アレーン、5,11,17,23,29−ペンタ(1,1−ジメチルエチル)−31,32,33,34,35―ペンタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[5]アレーン、5,11,17,23,29−ペンタホルミル−31,32,33,34,35−ペンタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[5]アレーン、
37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42―ヘキサ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、5,11,17,23,29,35−ヘキサホルミル−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、43,44,45,46,47,48,49−ヘプタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[7]アレーン、5,11,17,23,29,35,41−ヘプタ(1,1−ジメチルエチル)−43,44,45,46,47,48,49−ヘプタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[7]アレーン、5,11,17,23,29,35,41−ヘプタホルミル−43,44,45,46,47,48,49―ヘプタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[7]アレーン、49,50,51,52,53,54,55,56−オクタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[8]アレーン、5,11,17,23,29,35,41,47−オクタ(1,1−ジメチルエチル)−49,50,51,52,53,54,55,56−オクタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[8]アレーン、5,11,17,23,29,35,41,47−オクタホルミル−49,50,51,52,53,54,55,56−オクタ(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[8]アレーンなどのカリックスアレーン構造を有する化合物:、などが挙げられ、一般式(4)中のRがメチル基の例としては、前期化合物において、ベンゾイルアミノ基をアセチルアミノ基としたもの、すなわち、4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アセチルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アセチルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、25,26,27,28−テトラキス(4−アセチルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28―テトラキス(4−アセチルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アセチルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アセチルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン:、などが挙げられ、一般式(4)中のRがフェニルエチニルナフチル基の例としては、前期化合物において、ベンゾイルアミノ基をフェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ基としたもの、すなわち、4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−フェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−フェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン、25,26,27,28−テトラキス(4−フェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28―テトラキス(4−フェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン、37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−フェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン、5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42―ヘキサ(4−フェニルエチニルナフチルカルボニルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン:、などをあげることができるが、これらに限定されるものではない。
この化合物を、水素雰囲気下でパラジウム−活性炭または白金−活性炭などで処理、または酸性条件下でスズ、あるいは塩化スズなどで処理することにより、一般式(1)で表される環状アミノフェノール化合物が得られる。
本発明の環状熱硬化性樹脂の内、一般式(4)で表される環状熱硬化性樹脂は、例えば、以下のルートによって合成することができる。
また、反応を促進するために、トリエチルアミン、N,N−ジメチルホルムアミドおよびピリジンなどの塩基を添加しても良い。
反応に使用される原料のモル比は、一般式(1)で表される化合物の水酸基に対して、カルボン酸ハロゲン化物またはカルボン酸エステル化物が、1当量倍以上、2当量倍以下であることが望ましく、好ましくは、1当量倍以上、1.5当量倍以下、更に好ましくは、1当量倍以上、1.1当量倍以下である。
また、前記上限値以上では、カルボン酸ハロゲン化物またはカルボン酸エステル化物が、一般式(1)で表される化合物の水酸基と反応する恐れがある。
また、反応時間としては、それぞれの化合物が有する反応の活性度や反応温度により、適宜決定すれば良いが、5分間以上、7日間以下が望ましく、好ましくは、10分間以上、12時間以下である。
上記の条件で反応させて得られる生成物は、水、ヘキサン、メタノールなどのような、前記生成物が溶解しない溶媒に、反応液を滴下あるいは注入して析出させ、析出物を濾過や遠心分離法などにより、溶液から分離して得ることができる。また、一般式(1)で表される化合物と、カルボン酸ハロゲン化物またはカルボン酸エステル化物を過不足なく反応させる場合、生成物が溶解する適当な溶媒中で反応を行い、反応終了後に、生成した塩などの不溶物が存在する場合には、それを除去し、目的物のみが溶解している状態の反応液を、そのまま目的の用途に用いても構わない。
前記エステル反応が、一般式(11)で表される化合物とメタノールとのエステル化反応である場合は、一般式(12)で表されるメチルエステル化物が得られる。また、前記ハロゲン化反応が、一般式(11)で表される化合物と塩化チオニルとの反応である場合は、一般式(13)で表される安息香酸塩化物が得られ、さらにメタノールと反応させることによりメチルエステル化物(一般式(12))が得られる。
次に、一般式(12)で表されるメチルエステル化合物と、一般式(14)で表されるアセチレンの片側がZ基で置換された化合物をカップリング反応させることによって、一般式(10’)で表されるアセチレン基を有する安息香酸エステル化物が得られる。前記カップリング反応において、例えば、パラジウムなどの遷移金属触媒を用いると良い。
前記脱離基Sとしては、触媒下のカップリング反応で、容易に芳香環から脱離する基が好ましく、フッ素、塩素、臭素およびヨウ素などのハロゲン原子、トリフロオロメタンスルホニロキシ基などが好ましく挙げられる。
また、上記で得られた安息香酸誘導体のアルカリ金属塩(一般式(15))を酸処理することによって、一般式(16)で表される安息香酸を得ることができる。
コーティングワニスを調製する場合の溶媒使用量としては、絶縁膜用材料を完全に溶解し得る量であれば、特に制限されず、その用途に応じて、使用量を適宜調整して用いる。一般的にはワニス中の溶媒含有量は、70〜95重量%程度が好ましい。
本発明の絶縁膜用材料及び絶縁膜は、半導体用層間絶縁膜や保護膜、多層回路の層間絶縁膜、フレキシブル銅張板のカバーコート、ソルダーレジスト膜、液晶配向膜等に用いることができる。
次に、前記接着性コーティング膜の上に、本発明の絶縁膜用材料の溶液を、前記同様の方法により、積層するように塗布して、塗膜を形成する。次いで、塗膜を、前記の条件でプリベークして、前記絶縁膜用材料の溶液中の有機溶剤を蒸発乾燥し、更に、加熱処理することにより、アミドフェノール構造がオキサゾール構造に閉環され、層間絶縁膜を形成することができる。
同様にして、樹脂膜を形成して表面保護膜とすることもできる。
(1)比誘電率
JIS−K6911に準拠し、周波数100kHzで、ヒューレットパッカード社製HP−4284A Precision LCRメーターを用いて測定を行った。
(2)耐熱性
セイコーインスツルメンツ(株)製TG/DTA6200を用いて、窒素ガス200mL/分フロー下、昇温速度10℃/分の条件により、重量減少5%の際の温度を測定した。
(3)ガラス転移温度(Tg)
セイコーインスツルメンツ(株)製DMS6100を用いて、窒素ガス300mL/分フロー下、測定周波数1Hz、昇温速度3℃/分の条件で、引張りモードで測定し、損失正接(tanδ)のピークトップ温度をガラス転移温度とした。
(4)吸水率
5cm角、厚み10μmの試験フィルムを、23℃の純水に24時間浸漬した後の、重量変化率を算出した。
(5)弾性率
エリオニクス社製の超微小硬度計ENT−1100を用い、最大荷重10mg、負荷速度1mg/secで測定を行った。
レゾルシノール66.1g(600mmol)、アセトアルデヒド26.4g(600mmol)、イオン交換水120ml、エタノール120ml溶液に濃塩酸60mlをゆっくり滴下した。75℃で2時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾物をイオン交換水500mlとエタノール500mlの混合溶液で2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、白桃色固体の2,8,14,20−テトラメチルカリックスレゾルカレン53.5gを得た(収率65%)。得られた2,8,14,20−テトラメチルカリックスレゾルカレン10g(18.4)、3−フルオロ−6−ニトロフェニル ベンジル エーテル43.6g(176.4mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド160mLの溶液に、炭酸カリウム50.0g(361mmol)を添加した。135℃で12時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水300mLに滴下した。析出した固体をメタノール300mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、黄色固体の2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン10.7gを得た(収率49%)。
得られた2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン9.9g(4.2mmol)および、10%パラジウム活性炭0.43g(0.4mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド60mLを、水素雰囲気下、室温で36時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水600mLに滴下した。析出した固体をイオン交換水600mLで3回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、褐色固体の2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン4.0gを得た(収率69.1%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ1.4−1.6(12H),δ4.4−5.2(20H),δ5.8−7.3(32H),δ8.4−9.7(8H)
IR(KBr,/cm):3371,3039,2948,1521,1514,1485
元素分析:[理論値]C:68.56%,H:5.18%,N:8.00%,O:18.27%、[実測値]C:67.03%,H:5.10%
実施例1で得た2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン1.5g(1.1mmol)、脱水N−メチルピロリドン6.0mLを乾燥窒素雰囲気下で溶解させた後、−10℃まで冷却した。ここに、安息香酸塩化物1.0g(9.0mmol)を、温度が5℃以上に上がらないように注意しながら、ゆっくりと添加した。添加後、20℃で2時間攪拌した。反応液をイオン交換水50mLに滴下した。析出した固体をメタノール50mLで2回洗浄し、さらにイオン交換水50mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、茶褐色固体の2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン0.38gを得た(収率15.9%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ1.4−1.6(12H),δ4.4−4.6(4H),δ6.1−6.8(16H)δ7.3−8.2(56H),δ9.5−9.6(8H),δ9.9−10.1(8H)
IR(KBr,/cm):3250,3031,2905,1645,1604
元素分析:[理論値]C:73.11%,H:4.69%,N:5.02%,O:17.19%、[実測値]C:75.21%,H:5.00%
実施例2で得られた2,8,14,20−テトラメチル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン0.3gを、N−メチル−2−ピロリドン2.0gに溶解し、孔径0.2μmのテフロン(R)フィルターで、ろ過してワニスを得た。このワニスを、スピンコーターを用いて、アルミニウムを蒸着したシリコンウエーハ上に塗布した。この際、熱処理後の膜厚が約0.5μmとなるように、スピンコーターの回転数と時間を設定した。塗布後、90℃のホットプレート上で240秒間乾燥した後、窒素を流入して酸素濃度を100ppm以下に制御したオーブンを用いて350℃で60分間加熱させることで、ベンゾオキサゾール化合物の皮膜を得た。皮膜上にアルミニウムを蒸着してパターンニングを行い、所定の大きさの電極を形成した。シリコンウエーハ側のアルミニウムと、この電極による容量を測定し、測定後に皮膜の電極隣接部を、酸素プラズマによりエッチングして、表面粗さ計により膜厚を測定することにより、周波数1MHzにおける誘電率を算出したところ2.99であった。耐熱性、Tg、吸水率、弾性率も併せて第1表にまとめた。
レゾルシノール41.7g(378mmol)、ベンズアルデヒド40.1g(378mmol)、エタノール230ml溶液に濃塩酸60mlをゆっくり滴下した。75℃で42時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾物をイオン交換水500mlで2回洗浄し、さらにエタノール500mlで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、緑色固体の2,8,14,20−テトラフェニルカリックスレゾルカレン72.0gを得た(収率96%)。得られた2,8,14,20−テトラフェニルカリックスレゾルカレン14.6g(18.4mmol)、3−フルオロ−6−ニトロフェニルベンジルエーテル43.6g(176.4mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド160mLの溶液に、炭酸カリウム50.0g(361mmol)を添加した。135℃で12時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水300mLに滴下した。析出した固体をメタノール300mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、黄色固体の2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン29.2gを得た(収率61%)。
得られた2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン20.0g(7.7mmol)および、10%パラジウム活性炭0.65g(0.61mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド120mLを、水素雰囲気下、室温で36時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水1200mLに滴下した。析出した固体をイオン交換水600mLで3回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、褐色固体の2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン7.80gを得た(収率62%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ4.6−5.6(20H),δ5.8−7.3(52H),δ8.4−9.7(8H)
IR(KBr,/cm):3365,3033,2952,1583,1521,1490
元素分析:[理論値]C:72.80%,H:4.89%,N:6.79%,O:15.52%、[実測値]C:73.30%,H:4.99%
実施例4で得た2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン1.0g(0.6mmol)、脱水N−メチルピロリドン6.0mLを乾燥窒素雰囲気下で溶解させた後、−10℃まで冷却した。ここに、4−エチニル安息香酸塩化物1.23g(5.1mmol)を、温度が5℃以上に上がらないように注意しながら、ゆっくりと添加した。添加後、20℃で2時間攪拌した。反応液をイオン交換水50mLに滴下した。析出した固体をメタノール50mLで2回洗浄し、さらにイオン交換水50mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、茶褐色固体の2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−(4−フェニルエチニル)ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン1.27gを得た(収率64.1%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ5.4−5.6(4H),δ6.1−6.8(36H),δ7.3−8.2(88H),δ9.5−9.6(8H),δ9.9−10.1(8H)
IR(KBr,/cm):3251,3030,2903,2214,1643,1600
元素分析:[理論値]C:80.47%,H:4.42%,N:3.41%,O:11.69%、[実測値]C:80.98%,H:4.51%
実施例5で得られた2,8,14,20−テトラフェニル−4,6,10,12,16,18,22,24−オクタキス(4−(4−フェニルエチニル)ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックスレゾルカレン0.3gを実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン(スガイ化学社製)50g(77.4mmol)、3−フルオロ−6−ニトロフェニルベンジルエーテル91.5g(370.0mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド400mLの溶液に、炭酸カリウム52.0g(376mmol)を添加した。135℃で12時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水3000mLに滴下した。析出した固体をメタノール600mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、白黄色固体の5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン76.1gを得た(収率63%)。
得られた5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン62.2g(39.9mmol)および、10%パラジウム活性炭1.60g(1.60mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド400mLを、水素雰囲気下、室温で36時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水4000mLに滴下した。析出した固体をイオン交換水600mLで3回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、褐色固体の5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン34.5gを得た(収率80.2%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ0.5−1.5(36H),δ4.5−5.2(16H),δ5.8−7.3(20H),δ8.4−9.7(4H)
IR(KBr,/cm):3361,3035,2956,1581,1519,1450
元素分析:[理論値]C:75.81%,H:7.11%,N:5.20%,O:11.88%、[実測値]C:75.00%,H:5.53%
実施例7で得た5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン1.5g(1.4mmol)、脱水N−メチルピロリドン8.0mLを乾燥窒素雰囲気下で溶解させた後、−10℃まで冷却した。ここに、4−エチニル安息香酸塩化物1.4g(5.8mmol)を、温度が5℃以上に上がらないように注意しながら、ゆっくりと添加した。添加後、20℃で2時間攪拌した。反応液をイオン交換水60mLに滴下した。析出した固体をメタノール50mLで2回洗浄し、さらにイオン交換水50mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、茶褐色固体の5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−(4−フェニルエチニル)ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン2.3gを得た(収率87.2%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ0.5−1.5(36H),δ4.5−4.9(8H),δ6.1−6.8(4H),δ6.9−7.2(8H),δ7.3−8.2(44H),δ9.5−9.6(4H),δ9.9−10.1(4H)
IR(KBr,/cm):3252,3028,2899,2212,1638,1612
元素分析:[理論値]C:81.16%,H:5.75%,N:2.96%,O:10.14%、[実測値]C:79.96%,H:5.11%
実施例8で得られた5,11,17,23−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)−25,26,27,28−テトラキス(4−(4−フェニルエチニル)ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[4]アレーン0.3gを実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン(スガイ化学社製)50g(51.4mmol)、3−フルオロ−6−ニトロフェニルベンジルエーテル91.5g(370.0mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド400mLの溶液に、炭酸カリウム52.0g(376mmol)を添加した。135℃で12時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水3000mLに滴下した。析出した固体をメタノール600mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、白黄色固体の5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン86.5gを得た(収率72%)。
得られた5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−ニトロ−3−ベンジルオキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン81.1g(34.7mmol)および、10%パラジウム活性炭2.10g(2.10mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド500mLを、水素雰囲気下、室温で36時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水5000mLに滴下した。析出した固体をイオン交換水600mLで3回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、褐色固体の5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン47.1gを得た(収率84.0%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ0.5−1.5(54H),δ4.5−5.2(24H),δ5.8−7.3(30H),δ8.4−9.7(6H)
IR(KBr,/cm):3361,3031,2957,1581,1517,1451
元素分析:[理論値]C:75.81%,H:7.11%,N:5.20%,O:11.88%、[実測値]C:75.70%,H:5.15%
実施例10で得た5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン1.5g(0.93mmol)、脱水N−メチルピロリドン8.0mLを乾燥窒素雰囲気下で溶解させた後、−10℃まで冷却した。ここに、4−エチニル安息香酸塩化物1.4g(5.8mmol)を、温度が5℃以上に上がらないように注意しながら、ゆっくりと添加した。添加後、20℃で2時間攪拌した。反応液をイオン交換水60mLに滴下した。析出した固体をメタノール50mLで2回洗浄し、さらにイオン交換水50mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、茶褐色固体の5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−(4−フェニルエチニル)ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン2.5gを得た(収率96.0%)。
得られた化合物に関する各種測定値を以下に示す。これらのデータは、得られた化合物が目的物であることを示している。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6,ppm):δ0.5−1.5(54H),δ4.5−4.9(12H),δ6.1−6.7(6H),δ6.9−8.2(78H),δ9.5−9.6(6H),δ9.9−10.1(6H)
IR(KBr,/cm):3249,3033,2908,2214,1642,1610
元素分析:[理論値]C:81.16%,H:5.75%,N:2.96%,O:10.14%、[実測値]C:82.23%,H:5.95%
実施例11で得られた5,11,17,23,29,35−ヘキサ(1,1−ジメチルエチル)−37,38,39,40,41,42−ヘキサ(4−(4−フェニルエチニル)ベンゾイルアミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)カリックス[6]アレーン0.3gを実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
実施例3において、350℃で60分加熱を250℃で60分加熱とする以外は、実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
実施例3において、350℃で60分加熱を400℃で60分加熱とする以外は、実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
ポリ(ヒドロキシフェニレンメチレン)(Mw3000,Mn980)12.9g(122mmol/1単位ユニット)、3−フルオロ−6−ニトロフェニル ベンジル エーテル36.2g(146mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド100mLの溶液に、炭酸カリウム50.0g(361mmol)を添加した。135℃で12時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水2000mLに滴下した。析出した固体をメタノール300mLで2回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、黄色固体のポリ((4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニレンメチレン)を得た。
得られたポリ((4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニレンメチレン)および、10%パラジウム活性炭4.90g(4.64mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド90mLを、水素雰囲気下、室温で36時間攪拌した後、反応液を濾過した。濾液をイオン交換水600mLに滴下した。析出した固体をイオン交換水600mLで3回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、褐色固体のポリ((4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニレンメチレン)(Mw5500,Mn1800)18.0gを得た。
さらに得られたポリ((4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニレンメチレン)を2.56g(12.0mmol/1単位ユニット)、脱水N−メチルピロリドン20.0mLを乾燥窒素雰囲気下で溶解させた後、−10℃まで冷却した。ここに、フェニルエチニル安息香酸塩化物3.18g(13.2mmol)を、温度が5℃以上に上がらないように注意しながら、ゆっくりと添加した。添加後、20℃で2時間攪拌した。反応液をメタノール50mLおよびイオン交換水450mLの混合液に滴下した。析出した固体をメタノール50mLおよびイオン交換水450mLの混合液で3回洗浄し、50℃で2日間減圧乾燥することにより、茶褐色固体のポリ((4−(フェニルエチニルベンゾイル)アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニレンメチレン)3.65gを得た。
得られた重合体を用い、実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
比較例1においてポリ(ヒドロキシフェニレンメチレン)(Mw3000,Mn980)12.9g(122mmol/1単位ユニット)を用いるかわりに、ポリ(ヒドロキシフェニレンフェニルメチレン)(Mw4000,Mn2080)26.5g(122mmol/1単位ユニット)を用いる以外は、比較例1と同様にして、茶褐色固体のポリ((4−(フェニルエチニルベンゾイル)アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニレンフェニルメチレン)6.72gを得た。
得られた重合体を用い、実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン3.296g(9.0mmol)を、乾燥したN−メチル−2−ピロリドン30mLに溶解し、この溶液に、5−フェニルエチニルイソフタル酸ジクロリド3.032g(10.0mmol)を、乾燥窒素下10℃で添加した。添加後、10℃で1時間撹拌した。攪拌後、10℃でトリエチルアミン2.024g(20.2mmol)を添加し、次いで、γ−ブチロラクトン10mLに、アルドリッチ社製ポリ(プロピレングリコール)ビス(2−アミノプロピルエーテル)2.0g(0.5mmol、数平均分子量4,000)を溶解した溶液を、乾燥窒素下10℃で添加した。添加後、10℃で1時間、続いて、20℃で20時間攪拌した。反応終了後、反応液をろ過して、トリエチルアミン塩酸塩を除去し、ろ過した液を、イオン交換水1Lとイソプロパノール0.1Lの混合溶液に滴下し、沈殿物を集めて乾燥することにより、共重合体5.92gを得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式会社製GPCを用いてポリスチレン換算で求めたところ、重量平均分子量23,300、分子量分布2.77であった。1H−NMRによる測定で、反応性オリゴマー成分の導入率は21重量%であった。
得られた重合体を用い、実施例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
比較例3において、350℃で60分加熱を250℃で60分加熱とする以外は、比較例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
比較例3において、350℃で60分加熱を400℃で60分加熱とする以外は、比較例3と同様にして、評価用サンプルを得て、測定結果を第1表にまとめた。
Claims (13)
- 一般式(1)で表される構造を有する環状アミノフェノール化合物。
- 前記環状アミノフェノール化合物が、一般式(1)におけるX1およびX2として、式(2)で表される基の中から選ばれる基を有するものである請求項1に記載の環状アミノフェノール化合物。
も1種の基で置換されていても良い。) - 前記環状アミノフェノール化合物は、一般式(1)中のX1およびX2として、少なくとも一方に、メチル基またはフェニル基を有するカリックスレゾルカレン誘導体である請求項2に記載の環状アミノフェノール化合物。
- 前記環状アミノフェノール化合物は、一般式(1)中のArとして、1つ以上のt−ブ
チル基を有するカリックス[4]アレーン誘導体またはカリックス[6]アレーン誘導体
である請求項2に記載の環状アミノフェノール化合物。 - 一般式(4)で表される構造を有する環状熱硬化性樹脂。
- 前記環状熱硬化性樹脂は、一般式(4)におけるX1およびX2として、式(2)で表される基の中から選ばれる基を有するものである請求項5に記載の環状熱硬化性樹脂。
も1種の基で置換されていても良い。) - 一般式(1)で表される構造を有する環状化合物と、カルボン酸ハロゲン化合物または
カルボン酸エステル化物とを縮合させてアミド結合を生成することを特徴とする、一般式
(4)で表される構造を有する環状熱硬化性樹脂の製造法。
- 請求項5または6のいずれかに記載の環状熱硬化性樹脂を含むことを特徴とする絶縁膜用材料。
- 請求項8に記載の絶縁膜用材料と、該絶縁膜用材料を溶解若しくは分散させることが可能な有機溶媒を含むことを特徴とする絶縁膜用コーティングワニス。
- 請求項8に記載の絶縁膜用材料、又は、請求項9に記載の絶縁膜用コーティングワニスを、加熱処理により、縮合反応及び架橋反応させて得られるポリベンゾオキサゾールを主構造とする樹脂の層からなることを特徴とする絶縁膜。
- 半導体の多層配線用層間絶縁膜として用いる請求項10に記載の絶縁膜。
- 半導体の表面保護膜として用いる請求項10に記載の絶縁膜。
- 請求項11に記載の絶縁膜からなる多層配線用層間絶縁膜及び/又は請求項12に記載の絶縁膜からなる表面保護層を有することを特徴とする半導体装置。
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