JP4507611B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置、及び電子機器 - Google Patents

有機エレクトロルミネッセンス装置、及び電子機器 Download PDF

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Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置、及び電子機器に関するものである。
電界発光を利用した有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子は、自己発光のため視認性が高く、かつ耐衝撃性に優れるなどの優れた特徴を有することから、各種表示装置における発光素子としての利用が注目されている。例えばトップエミッション型の有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置の場合、反射性金属膜からなる第1の電極(陽極)と、有機発光層を含む有機機能層と、透明導電膜よりなる第2の電極(陰極)とを設けた構造の有機EL素子を用いるのが一般的である。特に有機EL素子の駆動素子として薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor, 以下、TFTと略記する)等のスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型有機EL装置において、上記第1の電極は各TFTに接続された画素電極であり、上記第2の電極はマトリクス状に配置された複数の画素で共有するベタ状の共通電極である。
このような有機EL装置では、第1の電極(画素電極)にはTFTを通じて駆動電力が供給され、第2の電極(共通電極、共通陰極)との間の電圧に応じた駆動電流により有機EL素子が発光するようになっているが、パネルを大型化した場合に、比較的抵抗の大きい透明導電膜からなる共通電極において配線抵抗による電圧降下が生じ、それによって表示輝度の均一性が低下するという問題を有していた。そこで、パネル上に金属配線を設けて共通電極と接続することにより、上記共通電極での電圧降下を防止することが提案されている。
特開2001−345185号公報 特開2001−318556号公報
上記文献に記載の技術によれば、共通電極における電圧降下を防止する点では一定の効果を得ることができるが、パネルを40〜50インチにまで大型化すると、やはり補助配線の抵抗に起因する輝度むらが生じやすくなる。また、画素を高精細化した場合には、共通電極に接続する補助配線が細くなるために抵抗が増大し、輝度むらが生じやすくなる。
さらに本発明者の研究によれば、これらの技術等を用いて共通電極側の低抵抗化を行ったとしても、40インチを超える大型パネルでは有機EL素子の輝度むらが生じるのを防止することが困難であることが確認されている。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するために成されたものであって、配線抵抗に起因する電圧降下を効果的に防止することができ、もって輝度の均一化、低消費電力化を実現することにより、パネルの大型化、高精細化に容易に対応することが可能な有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することを目的としている。
本発明は、上記課題を解決するために、基体上に、各々が第1の方向に沿って配列された複数の有機EL素子を含む、第1の有機EL素子群と、第2の有機EL素子群と、前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層と、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第2の電源供給層と、を備え、前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
本発明は、上記課題を解決するために、基体上に、各々が第1の方向に沿って配列された複数の有機EL素子を含む、第1の有機EL素子群と、第2の有機EL素子群と、前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層と、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第2の電源供給層と、を備え、前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
本発明は、上記課題を解決するために、基体上に、各々が第1の方向に沿って配列された複数の有機EL素子を含む、第1の有機EL素子群と、第2の有機EL素子群と、前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、前記有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層及び第2の電源供給層と、を備え、前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
本発明は、上記課題を解決するために、基体上に、薄膜トランジスタを含む回路層と、該回路層と導電接続された有機EL素子とが設けられてなる有機エレクトロルミネッセンス装置であって、前記有機EL素子が、薄膜トランジスタと導電接続された画素電極と、対向電極との間に、発光層を含む有機機能層を挟持した構造を備えており、前記有機EL素子に電力を供給するための電源供給層が、前記薄膜トランジスタ及び前記画素電極の形成領域と平面的に重なるように、前記回路層と異なる層に設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
この構成においては、有機EL素子に電力を供給するための電源供給層が、前記薄膜トランジスタ及び画素電極の形成領域(すなわち画素領域)と平面的に重なって配置されているので、薄膜トランジスタに接続される各種配線のレイアウトに影響されず任意の幅ないし形状に電源供給層を形成することができる。従って、従来に比して電源供給線の幅を大きくでき、配線抵抗を低減できる。
有機エレクトロルミネッセンス装置の駆動回路において、有機EL素子の発光均一性に最も大きな影響を与えるのは対向電極の配線抵抗による電圧降下だが、電源供給線の配線抵抗も無視することはできず、先の従来技術を用いた有機EL装置においても画面を大型化すると輝度にむらが生じるのはこのためである。これに対して、本発明に係る構成では、この電源供給線における電圧降下を効果的に防止し得るものとなっており、大画面化した場合にも、有機EL素子を均一な輝度で発光させることができ、高画質表示が可能な有機EL装置を提供することができる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記第1の層は、前記基体と前記画素電極との間に設けられ、前記第1の電源供給層および前記第2の電源供給層が、前記基体と前記第1の層との間に設けられていることを特徴とする。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記画素電極は、前記発光層と前記基体の間に設けられ、前記発光層から発光された光は、前記対向電極側から出射されることを特徴とする。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記電源供給層が、前記基体と前記回路層との間に設けられていることが好ましい。この構成によれば、回路層を設ける工程以前に電源供給層を形成するので、回路層の形成工程以降の工程を変更することなく工程の移行が可能であり、設備レイアウトや製造プロセス設計上好ましい構成となる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記電源供給層が、平面略ベタ状の導電膜により形成されている構成とすることもできる。あるいは、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記電源供給層が、前記有機EL素子の一の配列方向に沿う平面視略ストライプ状の導電膜により形成されている構成とすることもできる。
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス装置では、電源供給層を構成する導電膜の形状は、有機EL素子の配置形態などに応じて適宜変更することができるが、いずれの形態とした場合にも回路層と異なる層に充分な配線幅をもって形成できるため、低抵抗の電源供給層となる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、基体上に、第1の色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された第1の有機EL素子群と、前記第1の色とは異なる第2の色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された第2の有機EL素子群と、前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層と、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第2の電源供給層と、を備え、前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、基体上に、第1の色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された第1の有機EL素子群と、前記第1の色とは異なる第2の色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された第2の有機EL素子群と、前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、前記有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層及び第2の電源供給層と、を備え、前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、基体上には、複数の走査線と複数の信号線に応じて区画された画素領域が設けられており、前記第1の電源供給層および前記第2の電源供給層が、前記画素領域を含む幅で設けられていることを特徴とする。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記基体上に複数色の前記有機EL素子が設けられるとともに、同色の前記有機EL素子が一方向に配列されてなる有機EL素子群を有しており、前記平面視略ストライプ状の導電膜が、前記有機EL素子群の延在方向に沿って配置されていることが好ましい。有機EL素子の有機機能層には、その発光色に応じて異なる駆動電圧を供給する必要が生じる場合があるが、上記構成を採用すれば、同一色の有機EL素子群に対して、1本の導電膜(電源供給線)により電力を供給することができ、かつその導電膜も十分な幅に形成することができるため、有機EL素子の輝度制御性を損なうことなく低抵抗の電源供給層を構成することができる。これにより、色バランスに優れ、かつ輝度の均一性にも優れた高画質の有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することができる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記第1の色と同色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された前記第1の有機EL素子群とは異なる第3の有機EL素子群と、前記第2の色と同色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された前記第2の有機EL素子群とは異なる第4の有機EL素子群と、
前記第3の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための前記第3の電源供給層と、前記第4の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための前記第4の電源供給層と、を備え、
前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士は、それぞれ互いに電気的に接続されている構成とすることもできる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記第1の色と同色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された前記第1の有機EL素子群とは異なる第3の有機EL素子群と、前記第2の色と同色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された前記第2の有機EL素子群とは異なる第4の有機EL素子群と、前記第3の有機EL素子群の各々に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための前記第3の電源供給層と、前記第4の有機EL素子群の各々に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための前記第4の電源供給層と、を備え、前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士は、それぞれ互いに電気的に接続されている構成とすることもできる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、同色の前記有機EL素子群に対応する前記導電膜同士が電気的に接続されている構成とすることもできる。このような構成とすることで、特定の導電膜に対して電流が集中するのを防止することができるので、大電流が流れた場合にも導電膜の抵抗による電圧降下を抑制し、有機EL素子群の輝度均一性を向上させることができる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士は、それぞれ互いに導電接続するための導電接続構造が、前記第1の層に設けられていることが好ましい。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記平面視略ストライプ状の導電膜同士を導電接続するための導電接続構造が、前記回路層に設けられていることが好ましい。この構成によれば、上記電源供給層の導電膜同士を接続する導電接続構造を、回路層に形成される配線等と同層に形成することができるので、回路層の形成工程にて上記導電接続構造を組み込むことができ、有機エレクトロルミネッセンス装置を効率的に製造可能となる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記回路層と有機EL素子との間に、前記対向電極と電気的に接続された補助導電層が設けられた構成とすることが好ましい。このような構成とするならば、対向電極側での電圧降下も効果的に防止され、発光輝度の均一性を大幅に高めて表示の高画質化を図ることができる。また、補助導電層を回路層よりも下層に設ける場合と比較して、対向電極との間に形成される絶縁層の数が減少するので、加工条件を緩和できるだけでなく、補助導電層と対向電極をより確実に導通させて信頼性を向上させることができる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記補助導電層と前記電源供給層は、金属膜からなり、前記補助導電層が、前記画素電極と前記第1の層とが導通するためのコンタクト部を除いて、前記第1の有機EL素子群および前記第2の有機EL素子群に含まれる複数の前記画素電極と平面的に重なるように設けられていることを特徴とする。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記補助導電層と前記電源供給層とが、いずれも金属膜からなるものとされ、前記補助導電層及び電源供給層が、薄膜トランジスタの平面領域まで延設されていることが好ましい。このような構成とすることで、金属以外の材料を使用した場合に比べて配線抵抗を低くすることができ、発光輝度のばらつきを抑制した高品質な表示が可能となる。さらに、有機EL素子からの出力光や、外部から入射した光を前記電源供給層、及び補助導電層により遮断することができるので、薄膜トランジスタの光リークが効果的に防止され、高信頼性の有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することができる。


本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記回路層が、前記薄膜トランジスタを構成する半導体膜を含む半導体層と、前記半導体層のチャネル領域と対向するゲート電極を含む第1配線層と、前記半導体層のソース/ドレイン領域と導電接続される信号配線を含む第2配線層と、前記半導体層、第1配線層、及び第2配線層の各層間に設けられた絶縁膜とを含む構成とすることができる。
また本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記半導体層に、前記薄膜トランジスタの半導体膜と同一材料からなる第1容量電極が形成され、前記第1配線層の前記第1容量電極と平面的に重なる領域に、前記ゲート電極と同一材料からなる第2容量電極が形成されており、前記第1容量電極及び第2容量電極と、これらの容量電極間に形成された絶縁膜とからなる保持容量が、前記画素電極と平面的に重なって配置されている構成とすることが好ましい。
このような構成とすることで、発光画素内に凹凸が少ない平坦面が形成されるので、その上に形成される発光層を含む有機層を形成する工程が容易になるだけでなく、EL素子の発光特性が安定し、信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することができる。さらに各有機EL素子を駆動する場合に所定輝度で安定に発光させることができ、ちらつきのない視認性に優れた表示を得ることができる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士をそれぞれ互いに導電接続するための導電接続構造を成す接続配線が、前記第1配線層及び/又は第2配線層に設けられていることが好ましい。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記第1配線層及び/又は第2配線層に、前記平面視略ストライプ状の導電膜同士を導電接続するための導電接続構造を成す接続配線が設けられていることが好ましい。この構成によれば、上記第1配線層ないし第2配線層の形成工程にて上記導電接続構造を回路層に作り込むことができ、高画質の有機エレクトロルミネッセンス装置を効率的に製造可能となる。
次に、本発明の電子機器は、先に記載の本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことを特徴としている。この構成によれば、表示領域内で均一な輝度が得られ、高画質の表示が可能な表示部を備えた電子機器が提供される。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明するが、本実施の形態は本発明の技術範囲を限定するものではない。尚、以下で参照する各図面においては、図面を見易くするために各部の大きさ等を適宜変更して示している。
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態の有機EL装置の回路構成図である。同図に示す有機EL装置100は、スイッチング素子としてTFT(薄膜トランジスタ)を用いたアクティブマトリクス方式の表示装置であり、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の有機EL素子が平面視でストライプ状に配列され、各有機EL素子を所望の階調にて発光させることでフルカラー表示を行えるようになっている。
有機EL装置100には、複数の走査線31と、走査線31に対して交差する方向に延びる複数の信号線32と、信号線32のそれぞれに並列に延びる複数の電源線36(R,G,B)とがそれぞれ格子状に配線されている。そして、走査線31と信号線32とにより区画された領域が画素領域Pとして構成されている。信号線32には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオラインおよびアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路104が接続されている。また、走査線31には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路105が接続されている。
各画素領域Pには、走査線31を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用TFT1と、このスイッチング用TFT1を介して信号線32から供給される画素信号を保持する保持容量4と、保持容量4によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用TFT2と、この駆動用TFT2を介して電源線36に電気的に接続したときに当該電源線36から駆動電流が流れ込む画素電極6と、対向電極39と、この画素電極6と対向電極39との間に挟持された有機機能層Yとが設けられている。画素電極6と対向電極39と有機機能層Yとにより有機EL素子Xが構成され、有機EL装置100は、この有機EL素子Xを主体とする画素領域Pをマトリクス状に配列した表示領域を備えている。
有機EL装置100において、走査線31が駆動されてスイッチング用TFT1がオンになると、そのときの信号線32の電位が保持容量4に保持され、保持容量4の状態に応じて、駆動用TFT2のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用TFT2のチャネルを介して、電源線36から画素電極6に所定電圧が印加され、陰極39との間に印加された電圧に応じた電流が有機機能層Yに流れ、係る電流量に応じた輝度で有機機能層Yが発光する。
次に、図2は、本実施形態の有機EL装置の1表示単位を構成するR,G,Bの3つの画素領域Pを示す平面構成図であり、図3(a)は図2のA−A’線に沿う部分断面構成図、(b)は、同B−B’線に沿う部分断面構成図である。本実施形態の有機EL装置では、図2に示す3つの画素領域Pにより1表示単位が構成されている。
図2に示すように、有機EL装置100には、複数(図示では2本)の走査線31と、これらの走査線31に直交して延びる複数(図示では3本)の信号線32が設けられており、走査線31及び信号線32に囲まれた領域が画素領域Pに対応している。画素領域Pにおいて、前記走査線31と信号線32との交差点に対応してスイッチング用TFT1が設けられており、このスイッチング用TFT1に駆動用TFT2及び保持容量4が接続されている。また、平面視ストライプ状に配列された複数の陽極導電膜(電源線)36からなる電源供給層を有しており、各陽極導電膜36は、対応する画素領域Pを含む幅を有して信号線32に沿う方向に延在している。
スイッチング用TFT1は、走査線31から延出されたゲート電極31aと、これに対向するチャネル領域11を有する平面視矩形状の半導体膜111と、チャネル領域11の両側に形成されたソース領域12とドレイン領域13とを有している。駆動用TFT2は、画素領域P内に形成された第2容量電極42(後述する。)から延出されたゲート電極42aと、これに対向するチャネル領域21を有する平面視矩形状の半導体膜112と、チャネル領域21の両側に形成されたソース領域22とドレイン領域23とを有している。
スイッチング用TFT1のソース領域12はコンタクトホールC10を介して信号線32と導電接続されており、スイッチング用TFT1のドレイン領域13と、駆動用TFT2のゲート電極42aとが中継導電層33、及びコンタクトホールC9,C8を介して導電接続されている。駆動用TFT2のソース領域22は中継導電層34を介して導電膜36に導電接続されており、TFT2のドレイン領域23は、中継導電層35を介して図示略の画素電極と接続されている。
画素領域Pの中央部に設けられた平面視略矩形状の第1容量電極41と第2容量電極42とは、図示略のゲート絶縁膜(58)を介して互いに対向配置されており、保持容量4を形成している。
次に、図3(a)に示す断面構造をみると、基板(基体)10上に、陽極導電膜36が形成されており、陽極導電膜36を覆って保護絶縁膜57が形成されている。有機EL装置100はトップエミッション型であり、従って基板10には、透明基板、不透明基板のいずれも適用することができ、ガラス、石英、樹脂、セラミックス等の種々の基板を用いることができる。陽極導電膜36の材料及び構造としては、低抵抗金属を有するものが好ましく、Al系金属を主体とする合金の単層や、Al系金属をサンドイッチさせた積層構造が好ましい。Al合金としては、例えばNdやCuが添加されたAl合金が一般的に知られている。Al系金属を有する積層構造としては、例えばTi系の膜によってサンドイッチさせてバリア性向上やヒロック防止を図った構成を採用することが好ましい。また、走査線31や信号線32と同じ材料や構成を採用してもよい。本実施形態では、Ti/Al/TiNの積層構造を採用している。
尚、これらの材料により陽極導電膜36等を形成する方法としては、スパッタ法が好適に採用されるが、スパッタ法以外にも、各種金属微粒子を溶媒に分散させた分散液を液滴吐出法によって所定のパターンで形成する方法などを採用してもよい。
保護絶縁膜57上には、シリコン等の半導体材料の薄膜を所定形状にパターニングしてなる半導体膜112及び第1容量電極41が設けられており、これらを覆ってゲート絶縁膜58が形成されている。このゲート絶縁膜58を介して、半導体膜112のチャネル領域21とゲート電極42aとが膜厚方向で対向しており、ゲート電極42aを覆って第1層間絶縁膜59が形成されている。上記保護絶縁膜57、ゲート絶縁膜58、第1層間絶縁膜59には、シリコン酸化膜等を用いるのが一般的である。
第1層間絶縁膜59及びゲート絶縁膜58を貫通して半導体膜112、第1容量電極41に達するコンタクトホールC1,C6,C7が形成されており、第1層間絶縁膜59、ゲート絶縁膜58、及び保護絶縁膜57を貫通して陽極導電膜36に達するコンタクトホールC5が形成されている。そして、中継導電層34が、コンタクトホールC1,C5,C6に対応する領域にパターン形成されることにより、駆動用TFT2のソース領域22と、第1容量電極41と、陽極導電膜36とが導電接続されている。また、コンタクトホールC7には中継導電層35の一部が埋設されており、これらの中継導電層34,35と同層に信号線32が形成されている。
中継導電層34,35、及び信号線32を覆って第2層間絶縁膜51が形成されている。第2層間絶縁膜51上には、陰極導電膜(補助導電層)37と、中継導電層6bとが形成されており、中継導電層6bは、第2層間絶縁膜51を貫通して中継導電層35に達するコンタクトホールC2を介して下層の中継導電層35と導電接続されている。また、中継導電層6bは、同層の陰極導電膜37に設けられた開口部内に配置され、互いに導通しないようになっている。上記第2層間絶縁膜51には、シリコン窒化膜などを用いるのが一般的である。
中継導電層6b及び陰極導電膜37を覆って平坦化絶縁膜52が形成されている。この平坦化絶縁膜52は、その表面平坦性が確保できるものであればアクリルやポリイミドなどの樹脂材料を用いても良いし、シリコン酸化膜などの無機材料を用いても良い。平坦化絶縁膜52上には画素電極6が形成されている。画素電極6の一部は、平坦化絶縁膜52に貫設されたコンタクトホールC3に埋設されて中継導電層6bと電気的に接続されている。
画素電極6の周端部に一部乗り上げるようにしてバンク(隔壁部材)7が設けられている。またバンク7および平坦化絶縁膜52には、陰極導電膜37と共通陰極(対向電極)39を導通させるためのコンタクトホールC4が形成されている。バンク7はアクリル樹脂等の樹脂材料により形成できる。なおバンク7は一層のアクリル樹脂から形成されているが、複数積層しても良いし、シリコン酸化膜などの無機材料との積層構造としても良い。
バンク7上には共通陰極39が形成されている。共通陰極39は、本実施形態の場合、ITO等の透明導電材料からなるものとされる。共通陰極39は、コンタクトホールC4を介して陰極導電膜37と導通接続されている。
尚、共通陰極39の表面には水分や酸素を遮断するための透明封止薄膜(図示略)が形成され、この透明封止膜上には透明な接着材を介して、ガラスやプラスチック、樹脂フィルム等の透明な保護部材(図示略)が貼り合わされている。
次に、図3(b)に示す断面構造をみると、基板10上に、陽極導電膜36、保護絶縁膜57、第1容量電極41、ゲート絶縁膜58、第2容量電極42、第1層間絶縁膜59、信号線32、第2層間絶縁膜51、陰極導電膜37、平坦化絶縁膜52、バンク7が順次積層されている。バンク7の内側には正孔注入層61と発光層62とを積層した有機機能層Yが形成されており、バンク7及び有機機能層Yを覆って共通陰極39が形成されている。上記画素電極6と有機機能層Yと共通陰極39とにより有機EL素子Xが形成されている。透明導電材料は有機機能層Yに対する電子注入性が比較的低いので、有機機能層Yの共通陰極39側に電子注入層を設けても良い。そして、上記第1容量電極41と第2容量電極42と、これらの間に挟まれたゲート絶縁膜58とからなる保持容量4が形成されている。
正孔注入層61を形成するための材料としては、導電性高分子材料が好適に採用され、例えば、PEDOT:PSS、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリピロール等を採用することができる。
また、発光層62を形成するための材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料を用いることができる。具体的には、ポリフルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料、例えば、ルブレン、ペリレン、9,10-ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の材料をドープして用いることもできる。
また、本実施形態の有機EL装置100は、カラー表示を行うべく構成されているので、各発光層62には、画素領域P毎に所定の発光色(R,G,B)を有するものが用いられる。
尚、発光層62と共通陰極39との間に必要に応じて設けられる電子注入層は、光透過性を有する程度の膜厚であることが好ましい。電子注入層の材料としては、特に限定されることなく、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン及びその誘導体、ベンゾキノン及びその誘導体、ナフトキノン及びその誘導体、アントラキノン及びその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン及びその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン及びその誘導体、ジフェノキノン誘導体、8−ヒドロキシキノリン及びその誘導体の金属錯体等が例示される。具体的には、先の正孔輸送層の形成材料と同様に、特開昭63−70257号、同63−175860号公報、特開平2−135359号、同2−135361号、同2−209988号、同3−37992号、同3−152184号公報に記載されているもの等が例示され、特に2−(4−ビフェニリル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス(8−キノリノール)アルミニウムが好適とされる。また、電子注入性を有する金属材料を2〜20nm程度の厚さに形成してもよい。
図4は、本実施形態の有機EL装置における積層構造を示す斜視構成図である。基板10上に複数の陽極導電膜36(R,G,B)からなる電源供給層が形成され、その上にTFTや保持容量等が形成された回路層48が形成されている。回路層48上には、第2層間絶縁膜51、陰極導電膜37、平坦化絶縁膜52、画素電極6、及びバンク7が積層されている。尚、図示は省略したが、バンク7に囲まれた領域の画素電極6上に有機機能層Yが形成され、この有機機能層Yとバンク7とを覆って共通陰極39が形成されている。
回路層48と陽極導電膜36とは、コンタクトホールC5を介して導電接続され、回路層48と画素電極6とは、コンタクトホールC2に埋設された中継導電層6b及びコンタクトホールC3を介して導電接続されている。
一方、陰極導電膜37は、平坦化絶縁膜52を貫通して設けられたコンタクトホールC4に埋設された中継導電層39aと、バンク7を貫通して中継導電層39aに至るコンタクトホールC12を介して先の共通陰極39と導電接続されている。上記中継導電層39aは、画素電極6と同層に形成されているが、画素電極6とは平面的に離間して配置され、互いに非導通状態とされている。
図5は、図4に示す回路層48を拡大して示す斜視構成図である。回路層48は、陽極導電膜36、保護絶縁膜57、ゲート絶縁膜58、及び第1層間絶縁膜59(不図示)を含んでなり、各絶縁膜の層間に形成されたTFT1,2や保持容量4を含むものである。図5において斜線を付した部材(走査線31及び第2容量電極42)は、第1層間絶縁膜59とゲート絶縁膜57との間に形成されており、それ以外の信号線32、中継導電層33〜35は、先の斜線を付した部材上に形成された第1層間絶縁膜59上に形成されている。中継導電層35にC21で示した領域は、図4に示したように、第2層間絶縁膜51に貫設されたコンタクトホールC2に埋設された中継導電層6bとのコンタクト領域である。
以上の構成を備えた本実施形態の有機EL装置100は、スイッチング用TFT1や駆動用TFT2が設けられた回路層48とは別の層として、平面ストライプ状の陽極導電膜36…からなる電源供給層を基板10との間に設けることとしたので、TFT1,2等に接続される信号線32や走査線31の配置によらず、有機EL素子への電源供給線を成す陽極導電膜36の幅を広げることが可能になっており、もって配線の低抵抗化を実現することができる。
従って、有機EL素子への電源供給経路での電圧降下を抑えることができ、有機機能層Yを所望の輝度で良好に発光させることができる。そして、例えば、大型の有機EL装置100において、当該構成を採用することによって、配線抵抗に起因する電圧降下や発熱を抑制し、発光輝度の均一化が可能となり、表示品質の向上を達成できる。
また、前記電源供給層は、基板10と回路層48との間に設けられているので、このような電源供給層を備えない従来構成の有機EL装置の製造工程から本実施形態の有機EL装置100の製造工程への移行を考えると、工程の変更が少なくてすむため都合がよい。すなわち、TFTを含む回路層48を形成する工程の前段に、基板上に導電膜36、及び保護絶縁膜57を形成する工程を配するのみで容易に工程の移行が可能である。
また、上記電源供給層とは別に、回路層48と有機EL素子Xとの間に、共通陰極39と電気的に接続される陰極導電膜(補助導電層)37が設けられているので、比較的抵抗の大きい透明導電材料からなる共通陰極39での電圧降下を、低抵抗の陰極導電膜37により防止できる。従って本実施形態によれば、有機EL素子Xの陽極側及び陰極側の双方で配線抵抗による電圧降下が効果的に抑制され、表示領域で均一な輝度を得ることができるようになっている。
また本有機EL装置100の表示領域においては、同色の有機機能層Yを備えた画素領域Pが一方向(信号線32延在方向)に配列されており、陽極導電膜36…は、同色の画素領域Pの配置に沿うように延在しているので、発光色毎に異なる駆動電圧を低抵抗の配線を介して供給することができるようになっている。これにより、有機機能層Yの発光色に応じて異なる駆動電流を容易かつ高効率に供給でき、色バランスや輝度を適切に制御して高画質の表示を得られるようになっている。
尚、上記陽極導電膜36の形状は、各色の画素領域Pの配列に応じて適宜変更することが可能であり、いかなる形状とした場合にも、基板10と回路層48との間の層全体を利用できるため、従来に比して低抵抗の電源供給層を構成でき、各画素の輝度及び消費電力の均一化を図ることができる。また、各色の有機機能層Yの駆動電圧がほぼ同じである場合や、モノクロの有機EL装置を構成する場合等にあっては、平面ベタ状の導電膜により上記電源供給層を構成しても良い。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2実施形態を図6を参照して説明する。本実施形態の有機EL装置は、図4に示した回路層48に代えて、図6に斜視構成を示す回路層148を備えたものであり、他の構成は先の第1実施形態と同様である。従って、図6において図4と共通の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図6に示す回路層148では、画素領域内の第2容量電極42と隣接して、信号線32と交差して延びる3本の接続配線55R,55G,55Bが設けられている。また各接続配線55R,55G,55Bと信号線32との交差点に対応して、中継導電層56が設けられている。中継導電層56は、第2容量電極42や走査線31と同層に設けられた導電部材である。図6左上にて斜線を付して示す信号線32、中継導電層33〜35、接続配線55R,55G,55Bは、図示略の第1層間絶縁膜59を介して先の第2容量電極42、走査線31、中継導電層56…上に形成されている。従って、接続配線55Rの延在方向において中継導電層56を挟んで両側の接続配線55R,55Rは、第1層間絶縁膜59を貫通するコンタクトホールC13、C14を介して中継導電層56と接続されることで、信号線32と交差して延びる1配線を成している。また接続配線55G,55Bも同様に構成されている。
そして、接続配線55Rは、第2容量電極42(R)が設けられた画素領域において、コンタクトホールC11Rを介して、下層側の陽極導電膜36(R)と導電接続されている。接続配線55Gは、第2容量電極42(G)が設けられた画素領域においてコンタクトホールC11Gを介して陽極導電膜36(G)と導電接続されている。接続配線55Bは、第2容量電極42(B)が設けられた画素領域においてコンタクトホールC11Bを介して陽極導電膜36(B)と導電接続されている。
このように、本実施形態の有機EL装置においては、電源供給層を成す陽極導電膜36が平面視ストライプ状に形成されて、同色の画素領域の配列方向に沿って延在するとともに、回路層148の走査線31に沿って延びる接続配線55R,55G,55Bにより互いに電気的に接続されたものとなっている。すなわち、赤色(R)の画素領域に対応する陽極導電膜36(R)同士が、接続配線55R(及び中継導電層56)により導電接続され、緑色(G)の画素領域に対応する陽極導電膜36(G)同士は、接続配線55G(及び中継導電層56)により導電接続され、青色(B)の画素領域に対応する陽極導電膜36(B)同士は、接続配線55B(及び中継導電層56)により導電接続されている。このような構成を採用することで、同一の駆動電圧を供給される同色の画素領域に対して、より均一に電力を供給することができるようになり、配線抵抗による電圧降下に起因する発光輝度のむらをさらに効果的に防止でき、高画質の表示を得ることができるようになる。
また、ある1ラインの有機EL素子群(X…)を高輝度点灯させる場合、当該有機EL素子群に接続された陽極導電膜36に電流が集中するが、本実施形態では、前記接続配線55R,55G,55Bにより複数の陽極導電膜36が互いに接続されているので、単一の陽極導電膜36にて電流集中が起こるのを防止でき、配線の実質的な低抵抗化を実現できる。
なお、本実施形態の接続配線55R、55G、55Bは、第2容量電極42および走査線31と同層に設けられた導電部材と、中継導電層33〜35および信号線32と同層に設けられた導電部材を組み合わせて形成したが、接続配線55R、55G、55Bをどちらか片方の導電部材で形成し、信号線は導電部材を組み合わせて形成しても良いのはもちろんである。
(電子機器)
以下、本発明の上記実施形態の有機EL表示装置を備えた電子機器の具体例について説明する。
図7は、大型の有機ELディスプレイ1200の一例を示した斜視図である。図7において、符号1202はディスプレイ本体、符号1203はスピーカーを示し、符号1201は上記実施形態の有機EL装置を用いた表示部を示している。このような電子機器の表示部に上記実施形態の有機EL装置を用いた場合、輝度むらが極めて少なく、また低消費電力の表示部を備えた電子機器を実現することができる。
尚、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば上記実施の形態で用いた陽極導電膜、及び陰極導電膜の平面形状、材料、各種コンタクトホールの配置等の具体的な構成は適宜変更が可能である。さらに、R、G、Bの各発光層をストライプ配置した場合について説明したが、本発明はこれに限られず、さまざまな配置構造を採用することができる。例えばストライプ配置の他、モザイク配置や、デルタ配置とすることもできる。
図1は、第1実施形態に係る有機EL装置の回路構成図。 図2は、同、部分平面構成図。 図3は、同、断面構成図。 図4は、第1実施形態に係る有機EL装置の分解斜視図。 図5は、同、回路層の拡大斜視図。 図6は、第2実施形態に係る有機EL装置の回路層を示す斜視構成図。 図7は、電子機器の一例を示す斜視構成図。
符号の説明
1,2 TFT(薄膜トランジスタ)、4 保持容量、6 画素電極(第1電極)、10 基体、31 走査線、32 信号線、33〜35 中継導電層、36 陽極導電膜(電源供給層)、37 陰極導電膜(補助導電層)、39 共通陰極(第2電極)、48,148 回路層、51,59 層間絶縁膜、52 平坦化絶縁膜、57 保護絶縁膜、58 ゲート絶縁膜、100 有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置、P 画素領域、X 有機EL素子、Y 有機機能層

Claims (13)

  1. 基体上に、
    各々が第1の方向に沿って配列された複数の有機EL素子を含む、第1の有機EL素子群と、第2の有機EL素子群と、
    前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、
    前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層と、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第2の電源供給層と、を備え、
    前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、
    前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、
    前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、
    前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
  2. 基体上に、
    第1の色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された第1の有機EL素子群と、前記第1の色とは異なる第2の色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された第2の有機EL素子群と、
    前記複数の有機EL素子に対応する複数のトランジスタと、
    前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第1の電源供給層と、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための第2の電源供給層と、
    を備え、
    前記有機EL素子は、画素電極と、対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に形成された発光層と、を有し、
    前記第1の電源供給層及び前記第2の電源供給層はそれぞれ、前記トランジスタを構成する第1の層とは異なる第2の層として設けられ、
    前記第1の電源供給層は、前記第1の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられ、
    前記第2の電源供給層は、前記第2の有機EL素子群に含まれる前記複数の有機EL素子が備える複数の前記画素電極及び前記複数のトランジスタと平面的に重なるように設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
  3. 前記第1の層は、前記基体と前記画素電極との間に設けられ、
    前記第1の電源供給層および前記第2の電源供給層が、前記基体と前記第1の層との間に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  4. 前記画素電極は、前記発光層と前記基体の間に設けられ、
    前記発光層から発光された光は、前記対向電極側から出射されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  5. 基体上には、複数の走査線と複数の信号線に応じて区画された画素領域が設けられており、
    前記第1の電源供給層および前記第2の電源供給層が、前記画素領域を含む幅で設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  6. 前記第1の色と同色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された前記第1の有機EL素子群とは異なる第3の有機EL素子群と、前記第2の色と同色の光を発光する複数の有機EL素子が配列された前記第2の有機EL素子群とは異なる第4の有機EL素子群と、
    前記第3の有機EL素子群含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための前記第3の電源供給層と、前記第4の有機EL素子群含まれる前記複数の有機EL素子に電流を供給するための前記第4の電源供給層と、を備え、
    前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士は、それぞれ互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  7. 前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士は、それぞれ互いに導電接続するための導電接続構造が、前記第1の層に設けられていることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  8. 前記第1の層が、前記トランジスタを構成する半導体膜を含む半導体層と、前記半導体層のチャネル領域と対向するゲート電極を含む第1配線層と、前記半導体層のソース/ドレイン領域と導電接続される信号配線を含む第2配線層と、前記半導体層、第1配線層、及び第2配線層の各層間に設けられた絶縁膜とを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  9. 前記第1の層が、前記トランジスタを構成する半導体膜を含む半導体層と、前記半導体層のチャネル領域と対向するゲート電極を含む第1配線層と、前記半導体層のソース/ドレイン領域と導電接続される信号配線を含む第2配線層と、前記半導体層、第1配線層、及び第2配線層の各層間に設けられた絶縁膜とを含み、
    前記第1の電源供給層と前記第3の電源供給層同士、および前記第2の電源供給層と前記第4の電源供給層同士をそれぞれ互いに導電接続するための導電接続構造を成す接続配線が、前記第1配線層及び/又は第2配線層に設けられていることを特徴とする請求項6および7のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  10. 前記半導体層に、前記トランジスタの半導体膜と同一材料からなる第1容量電極が形成され、
    前記第1配線層の前記第1容量電極と平面的に重なる領域に、前記ゲート電極と同一材料からなる第2容量電極が形成されており、
    前記第1容量電極及び第2容量電極と、これらの容量電極間に形成された絶縁膜とからなる保持容量が、前記画素電極と平面的に重なって配置されていることを特徴とする請求項8または9に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  11. 前記第1の層と前記有機EL素子との間に、前記対向電極と電気的に接続された補助導電層が設けられたことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  12. 前記補助導電層と前記電源供給層は、金属膜からなり、
    前記補助導電層が、前記画素電極と前記第1の層とが導通するためのコンタクト部を除いて、前記第1の有機EL素子群および前記第2の有機EL素子群に含まれる複数の前記画素電極と平面的に重なるように設けられていることを特徴とする請求項11に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
  13. 請求項1から12のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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