JP4505191B2 - 電子回路基板の製造装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、合成樹脂、ガラス、セラミック等の基板材料の表面に線幅が数μm〜数10μmの回路パターンとソルダーレジストパターンおよびシンボルマークを形成するための電子回路基板の製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子回路基板は、基板の表面上に回路パターンを形成された後、ソルダーレジストパターンが形成され、さらにシンボルマークを印刷されて製品になる。
はじめに、従来の回路パターン形成手順を説明する。
【0003】
図5は、従来の回路パターン形成手順を示す図であり、(a1)〜(f1)は製作例を、(a2)〜(f2)は基板の表面を示している。
同図(a1)および(a2)に示すように、両面基板12は、絶縁性の樹脂12aの上下表面に銅箔12bを貼り付けた構造になっている。
このような両面基板12の上部表面全面に、同図(b1)および(b2)に示すようにフォトレジスト13を塗布した後、同図(c1)および(c2)に示すように、形成しようとする回路パターンに応じた穴14aが形成されたフォトマスク14を両面基板12の上部に配置する。この状態でフォトマスク14の上部にレジスト露光装置15を配置し、フォトマスク14を光16により照射する。すると、穴14aに重なるフォトレジスト13が露光して、露光レジスト13aになる。
【0004】
その後、同図(d1)および(d2)に示すように、露光させた両面基板12を現像液浴槽17に浸漬し、現像液17aにより露光レジスト13aが除去された両面基板12を洗浄・乾燥した後、同図(e1)および(e2)に示すように、両面基板12をエッチング液浴槽18に浸漬する。すると、エッチング液18aにより、露光レジスト13aの下部にあった銅箔12bが溶解(エッチング)され、両面基板11表面に貼り付けられた銅箔12bは回路パターン部だけが残る。
【0005】
エッチングが終了した両面基板12を洗浄・乾燥した後、同図(f1)および(f2)に示すように、両面基板12をレジスト剥離溶液浴槽19に浸漬し、レジスト剥離溶液19aによりフォトレジスト13を除去した後、洗浄・乾燥することにより、回路パターンが形成される。
【0006】
次に、従来のソルダーレジストパターンおよびシンボルマークの印刷手順を説明する。
図6は、従来のソルダーレジストパターンおよびシンボルマークの印刷手順を示す図であり、(g1)〜(i1)は製作例を、(g2)〜(i2)は基板の表面を示す図である。
【0007】
同図(g1)に示すように、予めソルダーレジストパターンが形成されたマスクスクリーン20aを両面基板12の上部に配置する。マスクスクリーン20aは形成しようとするソルダーレジストパターンに応じて、ソルダーレジストインク22が透過するようにメッシュのパターンが形成されている。この状態で同図(g2)に示すように、ソルダーレジストインク22をマスクスクリーン20a上に配置し、スキージ21によりソルダーレジストインク22をマスクスクリーン20aから押し出すことにより両面基板12上にスクリーン印刷すると、同図(h1)および(h2)に示すように、ソルダーレジストパターン22aが形成される。
【0008】
ソルダーレジストパターンが形成された両面基板12を乾燥し、同図(i1)に示すように、形成しようとするシンボルマークパターンが形成されたマスクスクリーン20bを両面基板12の上部に配置する。マスクスクリーン20bは、シンボルマークインク23が透過するようにメッシュのパターンが形成されている。シンボルマークインク23をマスクスクリーン20b上に配置し、スキージ21によりシンボルマークインク23をマスクスクリーン20bから押し出すことにより両面基板12上にスクリーン印刷すると、同図(i2)に示すように、シンボルマーク印刷が完了する。シンボルマークパターン23aを乾燥させると、電子部品を表面実装可能な製品としての両面基板12(すなわち電子回路基板)が完成する。
【0009】
電子回路の微細化が進み、ビア(上層と下層に配置された導体を電気的に接続するための穴である。)のランドとラインとの間隔を数〜十数μmにすることが要求されるようになっている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の電子回路基板の製造手順では、回路パターンに対してソルダーレジストパターンを配置することが困難であり、ソルダーレジストパターンが例えばずれてランド上に配置されたり、回路パターンがむき出しになることがあったため、製品の歩留りが低下した。また、位置決め精度向上のため設備費が高価になった。
【0011】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、ソルダーレジストパターンを回路パターンに対して正確に位置決めすることができ、製品の歩留りを向上させることができる電子回路基板の製造装置を提供するにある。
【0012】
上記した課題は電子回路基板の製造装置として、溶液による回路パターン形成手段と、回路パターン形成手段で形成された回路パターンを乾燥させる加熱用レーザ照射手段と、溶液によるソルダーレジストパターン形成手段と、ソルダーレジストパターンを乾燥させる加熱用レーザ照射手段とが設けられたヘッド保持装置と、基板を載置するテーブルとを備え、前記ヘッド保持装置を前記テーブルに対向させて配置し、前記テーブルから前記基板を取り外すことなく、電子回路基板を形成することにより解決される。
【0013】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る電子回路基板製造装置の構成図であり、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)はヘッド部の拡大図である。
同図において、電子回路基板製造装置MのXテーブル31はX方向に配置されたX軸案内装置30上を位置決め自在である。Xテーブル31上には、Y方向にY軸案内装置32が配置されている。Yテーブル33はY軸案内装置32上を位置決め自在である。絶縁材料からなる基板1はYテーブル33上に固定されている。
【0014】
電子回路基板製造装置MのYテーブル33と対向する位置にはヘッド保持装置40が配置されている。ヘッド保持装置40のY方向には、インクジェットノズル2と、加熱用レーザヘッド4と、インクジェットノズル5と、加熱用レーザヘッド7と、インクジェットノズル8が順に配置されている。インクジェットノズル2と、インクジェットノズル5、インクジェットノズル8は、それぞれ複数がX方向に並べて配置されている。
【0015】
インクジェットノズル2は、導電性粒子が混入された、揮発性成分を含む流動体の液滴3を吐出する。加熱用レーザヘッド4、7は、レーザを出力する。インクジェットノズル5は、絶縁材料からなる流動体液滴6を吐出する。インクジェットノズル8は印刷用のインクを吐出する。
【0016】
次に、電子回路基板の製造手順を説明する。
図2、図3は、電子回路基板の製造手順を説明する模式図であり、上段は平面図、下段は側面図である。
【0017】
(1)第1の工程(回路パターン形成工程)
同図(a)に示すように、基板1をX方向(図の右方)に移動させながら、インクジェットノズル2により導電性粒子(図示を省略する)が混入された揮発性成分を含む流動体の液滴を回路パターンに合わせて吐出させ、基板1上に導電性パターン3aを形成する。
なお、回路パターンの線幅を数μm〜数10μmにする場合、液滴の直径を2μm前後、液滴に混入する導電性粒子の大きさを数nm〜50nm前後にすると、良い結果を得ることができる。
また、線幅10μmの回路パターンを形成する場合、液滴の直径を2μmとすると、1個の液滴が基板1表面上で直径5〜7μm程度に広がるので、液滴の基板1上での広がりが例えば50%程度重なるようにすると良い。
また、導電性粒子が混入した流動体としては、例えばハリマ化成工業株式会社の商品名「ナノペースト」を用いることができる。
【0018】
(2)第2の工程(回路パターン乾燥、固化工程)
同図(b)に示すように、所望の距離だけ基板1をY方向(図の下方)に移動させる。その後、基板1をX方向(図の左方)に移動させながらインクジェットノズル2により導電性粒子が混入された揮発性成分を含む流動体の液滴を回路パターンに合わせて吐出させ、基板1上に導電性パターン3aを形成する。
同時に、加熱用レーザヘッド4からレーザを照射し、第1の工程で形成された回路パターンを加熱することにより、揮発性成分を揮発させて乾燥させると共に、導電性粒子を積極的に固化させる。
また、図示の基板1の場合は、後述するソルダーレジストパターン6a形成工程を同時に行う。
【0019】
(3)第3の工程(ソルダーレジストパターン形成工程)
図3(c)に示すように、所望の距離だけ基板1をY方向(図の下方)に移動させる。その後、基板1をX方向(図の右方)に移動させながらインクジェットノズル5により基板1上にソルダーレジストパターン6aを形成する。
また、図示の基板1の場合、図3(c)に示すように、加熱用レーザヘッド7からレーザを照射し、第3の工程で形成されたソルダーレジストパターン6aを加熱することにより、揮発性成分を揮発させて固化ソルダーレジストパターン6bを形成する。
【0020】
(4)第4の工程(シンボルマーク印刷工程)
図4(d)に示すように、所望の距離だけ基板1をY方向(図の下方)に移動させる。その後、基板1をX方向(図の左方)に移動させながらインクジェットノズル8により、基板1上に、黒色またはそれに近い色の塗料であるシンボルマーク印刷用インクの液滴を吐出させてシンボルマーク9aを印刷する。そして、印刷塗布されたシンボルマーク9aを自然乾燥させる。
このように、基板1をYテーブル33から取り外す必要がないので、線幅が数μm〜数10μmの回路パターンに対してソルダーレジストパターンを正確に配置することができる。
なお、インクジェットノズル2、5、7に代えて、例えば、万年筆のペン先部と同様に、スリットを介してそれぞれのインクを流すようにしても良い。
また、回路パターンを形成するのに先立ち、基板1の表面を5μm程度に粗化させてもよい。
【0021】
(第2の実施形態)
図4は、本発明の第2の実施形態を示す図であり、インクジェットノズル2、加熱用レーザヘッド4、インクジェットノズル5、加熱用レーザヘッド7およびインクジェットノズル8をそれぞれ1個にした場合の基板作成手順を説明する図であり、(a1)〜(e1)は製造手順を、(a2)〜(e2)は基板表面を示す図である。
【0022】
この第2の実施形態の場合、上記第1の実施形態に比べてテーブルの移動回数が増加するため回路形成に要する時間が長くなるが、装置構成が簡単であり、制御が容易になる。
なお、動作は実質的に上記第1の実施形態と同じであるため、詳細な説明を省略する。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ソルダーレジストパターンを回路パターンに対して正確に位置決めすることができ、製品の歩留りを向上させることができる。また、洗浄工程を必要としないので、装置を構成が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子回路基板製造装置の構成図である。
【図2】本発明に係る電子回路基板の製造手順を説明する模式図である。
【図3】本発明に係る電子回路基板の製造手順を説明する模式図である。
【図4】本発明に係る他の電子回路基板の製造手順を説明する模式図である。
【図5】従来技術の説明図である。
【図6】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
1 基板
2 インクジェットノズル
4 加熱用レーザヘッド
5 インクジェットノズル
7 熱用レーザヘッド
8 インクジェットノズル
33 Yテーブル
Claims (2)
- 溶液による回路パターン形成手段と、前記回路パターン形成手段で形成された回路パターンを乾燥させる加熱用レーザ照射手段と、溶液によるソルダーレジストパターン形成手段と、前記ソルダーレジストパターンを乾燥させる加熱用レーザ照射手段とが設けられたヘッド保持装置と、基板を載置するためのテーブルとを備え、
前記ヘッド保持装置を前記テーブルに対向させて配置し、前記テーブルから前記基板を取り外すことなく、電子回路基板を形成することを特徴とする電子回路基板の製造装置。 - 溶液によるシンボルマーク形成手段を前記ヘッド保持装置に設けた、ことを特徴とする請求項1に記載の電子回路基板の製造装置。
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