JP4500744B2 - 少なくとも1つの単結晶の測定、方位づけ及び固定のための方法及び装置 - Google Patents
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Description
基準方向としての回転テーブルの軸に対する単結晶の結晶格子を方位づけするための、及び、単結晶の方位づけされた固定のための傾斜調整および固定のためのデバイスを有する少なくとも1つの結晶ホルダ用のレセプタクルを備えた回転テーブルと、
単結晶のブラッグ角及び単結晶の表面に対する所定の格子面の傾斜角度に基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して固定されるx線源および検出器であって、互いに対しても固定されるx線源および検出器からなる設備にして、この設備は回転テーブルに対して垂直に調整可能であり、当該設備によってx線反射の複数の測定を実行することにより、回転テーブルの軸に対する単結晶の格子面の法線の角度が回転テーブルの少なくとも1回転中に決定され、その際、検出器は、所定の格子面のx線反射を受容するためだけのマスクを有していて、当該決定される角度を用いて、単結晶の結晶格子の方位づけのための調整および固定のためのデバイスの調整値を計算する設備と、
方位づけされた態様で固定される少なくとも1つの単結晶を収容するように機能する支持材用の調整デバイスと、を備え、調整デバイスが回転テーブルの軸に対して垂直に向けられるように機能する。
2 回転テーブル
3 結晶ホルダ
4 外部フレーム
5 ジンバル懸架式内部ホルダフレーム
6 調整ねじ
7 カウンタスプリング
8 レセプタクル
9 ベース
10 挿入可能な中間ベース
11 傾斜軸
12 傾斜軸
13 x線ビーム
14 x線源
15 検出器
16 垂直に向けられた直線ガイド
17 検出器窓
18 支持材
19 接着剤層
20 補助支持材
21 ガイド
22 接着横材
23 調整デバイス
24 磁気ストリップ
25 直線ガイド
51 内部ホルダフレーム
R 所望の反射
NE 格子面
X−X 回転テーブル2の軸
Claims (14)
- 少なくとも1つの単結晶の測定、方位づけおよび固定のための方法であって、
結晶格子の方位づけを決定するために回転テーブル上で前記単結晶を傾斜調整可能に位置決めするステップと、
単結晶のブラッグ角及び単結晶の表面に対する所定の格子面の傾斜角度に基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して固定されるx線源と検出器の設備であって、互いに対しても固定されるx線源と検出器の設備によって、前記回転テーブルの少なくとも一回転の間に、x線反射の複数の測定を実行し、その際、検出器は、所定の格子面のx線反射を受容するためだけのマスクを有しているステップと、
前記x線反射の複数の測定に基づいて、前記回転テーブルの軸に対する格子面の法線の角度を決定するステップと、
前記単結晶の固定前に基準方向として機能する前記回転テーブルの軸に対して前記決定された角度に基づいて、前記単結晶の方位づけを行うステップと、
前記基準方向と同一方向に向けられる支持材に、前記方位づけされた単結晶の最終的な固定を実行するステップと、
を有する方法。 - 前記単結晶が、2つの傾斜軸の周りで傾斜調整可能であるように前記回転テーブル上に位置決めされ、
前記回転テーブルの軸に対する格子面の法線の角度を決定するために、前記回転テーブル上に位置決めされた前記単結晶が回転させられる場合に、前記傾斜軸の交点が、x線反射を前記単結晶の複数の格子面で生成するx線ビームの反射点として機能する、請求項1に記載の方法。 - 前記決定された角度に基づいて達成された方位づけが再検査され、当該再検査された方位づけに、前記回転テーブルの軸に対して偏差がある場合には、方位づけおよび固定が再度行われる、請求項2に記載の方法。
- 複数の単結晶が積層を形成するために連続的に上下に位置決めされ、測定され、所定の態様で方位づけされ、固定され、続いて前記積層された単結晶が前記基準方向に向けられる前記支持材に同時に固定して連結される、請求項1に記載の方法。
- 積層を形成するために上下に配置される前記単結晶が、接着剤によって互いに連結される、請求項4に記載の方法。
- 接着剤層が方位づけされた態様で既に固定された単結晶に塗布され、前記単結晶を連結するために、測定、方位づけおよび固定の前に積層を形成するために設けられる別の単結晶が前記接着剤層上に配置される、請求項5に記載の方法。
- 前記接着剤の硬化時間が、別の単結晶の測定、方位づけおよび固定に必要な時間を超える、請求項6に記載の方法。
- 前記共通の支持材に連結するために機能する補助支持材が、位置決めの前に各単結晶で結晶の方位づけされた態様に配置される、請求項1に記載の方法。
- 前記共通の支持材に連結された前記単結晶が、測定面として機能する元の結晶面に対して略垂直である結晶面で適切なx線反射によって実際に実現される前記結晶格子の方位づけに対して検査される、請求項4に記載の方法。
- 前記結晶格子に対する所望の切断方向の方位づけを再検査するために、前記回転テーブルの軸に対して垂直な積層方向で移動可能であるように単結晶の積層が位置決めされ、測定対象の単結晶上にx線反射点を位置決めすることができる、請求項9に記載の方法。
- 少なくとも1つの単結晶の測定、方位づけおよび固定のための装置であって、
基準方向としての回転テーブル軸(X−X)に対する前記単結晶の結晶格子を方位づけするための、及び、前記単結晶の方位づけされた固定のための、傾斜調整・固定デバイスを有する少なくとも1つの結晶ホルダ用のレセプタクルを備えた回転テーブルと、
前記単結晶のブラッグ角及び単結晶の表面に対する所定の格子面の傾斜角度に基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して固定されるx線源および検出器であって、互いに対しても固定されるx線源と検出器からなる設備にして、当該設備は、前記回転テーブルに対して垂直に調整可能であり、当該設備によって、x線反射の複数の測定を実行することにより、前記回転テーブル軸(X−X)に対する前記単結晶の前記格子面の法線の角度が、前記回転テーブルの少なくとも1回転中に決定され、その際、検出器は、所定の格子面のx線反射を受容するためだけのマスクを有していて、前記決定された角度を用いて、前記単結晶の前記結晶格子の方位づけのための前記調整・固定デバイスの調整値を計算する設備と、
方位づけされた態様で固定される少なくとも1つの単結晶を収容するように機能する支持材用の調整デバイスであって、前記回転テーブル軸に対して垂直に向けられるように機能する調整デバイスと、
を備えて成る装置。 - 前記結晶ホルダが、単結晶用のジンバル懸架式内部ホルダフレームと、当該内部ホルダフレームに固定される前記単結晶を調整および固定するための第2の調整デバイスと、を備えた外部フレームを備えて成る、請求項11に記載の装置。
- 水平ガイドが、前記外部フレームにおける前記第1の調整デバイス用に設けられる、請求項12に記載の装置。
- 前記回転テーブル軸(X−X)に垂直に延在する案内方向を有する直線ガイドが、前記回転テーブル上に方位づけされた態様で固定された前記少なくとも1つの単結晶を備えた前記支持材を収容するために設けられる、請求項13に記載の装置。
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