JPH10128649A - ワイヤーソーのワーク固定方法およびその固定治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークを精度よく所定の方向に固定すること
ができ、装置の不稼働時間を極力短縮することができる
と共に、装置の構造を簡略化できること。 【解決手段】 ワイヤーソーのワーク固定部１４に第１
の方向について所定の位置へ装着されるよう着脱可能に
設けられた基体２１と、基体２１上で第１の方向につい
て位置調整可能に設けられた位置決め部材２２とを有
し、ワーク固定部１４に装着された基体２１上で、位置
決め部材２２をワイヤー１０に対して所定の基準位置に
位置可能に設けられた第１の方向治具２０と、第１の方
向治具２０上で第１の方向について所定の位置へ装着さ
れるよう着脱可能に設けられると共にワーク固定部１４
に第１の方向について所定の位置へ固定されるよう設け
られ、載置されたインゴット１２が、第１の方向につい
て所定の接着位置へ位置されると共に接着される接着台
３６とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、細線ワイヤーを用
いて硬質脆性材料にスライス切断等の加工を施すワイヤ
ー式切断装置（以下、「ワイヤーソー」という）へ、ワ
ークである例えばシリコン等の単結晶インゴットを、所
定の方向に固定するワイヤーソーのワーク固定方法およ
びその固定治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体材料、ガラス材料、セ
ラミック等の硬質で脆い材料に、細線ワイヤー（以下、
単に「ワイヤー」という）を用いて多数列の切断や溝入
れ等の加工を施す機械装置としては、マルチワイヤー式
切断装置（以下、「マルチワイヤーソー」という）があ
る。マルチワイヤーソーの従来例としては、本願出願人
が提案し、特開昭６０−１７２４５９号公報で開示され
たものがある。そのマルチワイヤーソーの構成を図７に
基づいて以下に説明する。図７に示すように、切断加工
手段Ａは、多角形（図７の従来例では矩形）の各頂点位
置に配設された複数（４個）の多溝滑車１５１、１５
２、１５３、１５４に、ワイヤーＷを一連に多数巻回
し、そのワイヤーＷの多数本並列して延びる下側水平部
分を硬質脆性材料からなる被加工物（以下、単に「ワー
ク」という）１０７に押圧接触させ、その接触部位に砥
粒懸濁液を供給しながらワイヤーＷを走行させることに
よってワーク１０７に切断加工を施す。なお、ワイヤー
Ｗの下側水平部分にワーク１０７を接触させて押圧する
ために、重錘１１４が用いられている。

【０００３】ワイヤーの給排装置Ｂは、前記接触部位に
ついて、逐次新線ワイヤーＷの供給と使用済みワイヤー
Ｗの送出とを行うためのワイヤー繰り出し手段とワイヤ
ー巻き取り手段とからなる。ワイヤー繰り出し手段は新
線ボビン１０３とその新線ボビン１０３を駆動させるモ
ータＭ１とから構成され、ワイヤー巻き取り手段は巻き
取りボビン１０４とその巻き取りボビン１０４を駆動さ
せるモータＭ２とから構成されている。また、ワイヤー
走行制御手段Ｃは、間隔をおいて上下に配設された第１
の固定滑車群１１９および第２の固定滑車群１２０と、
これら両固定滑車群１１９、１２０間において往復動自
在に配設されたスライダー１２１と、そのスライダー１
２１に装着された第１の動滑車群１２２および第２の動
滑車群１２３と、スライダー１２１および両動滑車群１
２２、１２３の重量と均衡するバランスウエイト１２４
と、スライダー１２１の往復動端に配設され、スライダ
ー１２１と係合によりワイヤー走行駆動モータＭ３の正
逆回転駆動切り換えを行うための一対のリミットスイッ
チ１２５ａ、１２５ｂとからなり、前記接触部位におけ
るワイヤーＷを周期的に往復走行させる。

【０００４】以上の構成を備えるマルチワイヤーソーに
よれば、ワイヤー走行制御手段Ｃによって、複数個の多
溝滑車１５１、１５２、１５３、１５４に巻回張架され
るワイヤーＷを、ワーク１０７に対して押圧される接触
部位において、ワイヤー張力を一定に保持して例えば毎
分８０〜３００ｍ程度の速度で走行させてワークを切断
することができる。また、ワイヤーの給排装置Ｂによっ
て、ワイヤー断線を生じることなく所期の加工能率を得
るために、新線ワイヤーを、例えば毎分０〜４ｍ程度逐
次切断加工部へ供給する一方で使用済みワイヤーを同量
切断加工部位から送り出すことができる。

【０００５】このように、マルチワイヤーソーは、一般
に複数個の多溝滑車にワイヤーを一連に多数回張架巻回
して延びる下側水平部分をワークに押圧接触させ、その
接触部位に砥粒懸濁液（以下、「スラリー」という）を
供給しながら、前記ワイヤーを走行させることにより、
被加工物に多数列の切断や溝入れ等の加工を施すもので
あり、ワイヤーを使用するため、切断しろが少なく、歩
留りが向上し、また他方式の機械的切断加工に比べて変
質層の発生がはるかに少ないという利点をもっている。

【０００６】このようなワイヤーソーにおいて、ワーク
を所定の位置に固定するには、従来、以下のような方法
がとられていた。先ず、ワークを水平面内と鉛直面内で
微小角度調整できるゴニオテーブル上に載せて接着す
る。ゴニオテーブルはワイヤーソーの本体内に装着され
ている。そして、ワイヤー列の上から顕微鏡でワークの
端面とワイヤー列の側縁部を覗き、ゴニオテーブルを水
平面内で回転させて、インゴットの端面をワイヤー列に
対して所定の角度にセットする。次に、ワークの端面に
ダイヤルゲージを当て、そのワークを上下動させて各位
置での目盛りを読み、ゴニオテーブルを鉛直面内で回転
させ、ワークの端面が所定の角度になるようにセットす
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スラリ
ーで汚れた装置の上で、前記の作業をするのは、作業者
にとって大きな負担であり、誤差が発生する要因にもな
るという課題があった。また、ミクロン単位の調整をす
る必要性があるため、セットには時間がかかり、装置の
稼働しない時間（不稼働時間）が増加するという課題も
あった。また、従来のようにワークの方位を調整できる
機能を、ワイヤーソーの装置本体上に搭載すると、装置
の構造が複雑となってしまう。特にスラリーがかかるこ
の部分は、スラリーの影響で消耗し易い。このため、交
換し易く、費用のかからない簡単な構造が望ましい。

【０００８】そこで、本発明の目的は、装置本体の外で
ワークを固定するための段取りを行うことで、ワークを
精度よく所定の方向に固定することができ、装置の不稼
働時間を極力短縮することができると共に、装置の構造
を簡略化できるワイヤーソーのワーク固定方法およびそ
の固定治具を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次の構成を備える。すなわち、本発明は、
ワークである硬質脆性材料に細線ワイヤーを用いて切断
等の加工を施すワイヤーソーにおいて前記ワークを所定
の方向に固定するワイヤーソーのワーク固定方法であっ
て、前記ワイヤーソーのワーク固定部に第１の方向につ
いて所定の位置へ着脱可能に設けられた第１の方向治具
の基体を、前記ワーク固定部に装着し、前記基体上で第
１の方向について位置調整可能に設けられた位置決め部
材を、前記細線ワイヤーに対して所定の基準位置に位置
させる工程と、前記第１の方向治具を前記ワーク固定部
から取り外し、該第１の方向治具上に第１の方向につい
て所定の位置へ着脱可能に設けられると共に前記ワーク
が接着される接着台を、前記第１の方向治具上に装着
し、該接着台上に載置されたワークを、前記位置決め部
材を所定の基準位置から位置調整することによって第１
の方向について所定の接着位置へ位置させると共に、該
接着台上に接着する工程と、以上の工程によってワイヤ
ーソーの外で前記接着台上に位置決めされたワークを、
該接着台と共に前記ワーク固定部に固定する工程とを備
えることを特徴とする。

【００１０】また、前記ワークを前記接着台上で第１の
方向について所定の接着位置へ位置させて接着した後、
前記第１の方向に直交する第２の方向について位置調整
する工程を備えることで、単結晶のシリコンからなるイ
ンゴットのスライス切断を行うときには結晶の方位と切
断方向とを一致させることを要するが、そのような場合
に好適に対応できる。

【００１１】また、本発明は、ワークである硬質脆性材
料に細線ワイヤーを用いて切断等の加工を施すワイヤー
ソーにおいて前記ワークを所定の方向に固定するワイヤ
ーソーのワーク固定治具であって、前記ワイヤーソーの
ワーク固定部に第１の方向について所定の位置へ装着さ
れるよう着脱可能に設けられた基体と、該基体上で第１
の方向について位置調整可能に設けられた位置決め部材
とを有し、前記ワーク固定部に装着された前記基体上
で、前記位置決め部材を前記細線ワイヤーに対して所定
の基準位置に位置可能に設けられた第１の方向治具と、
前記第１の方向治具上で第１の方向について所定の位置
へ装着されるよう着脱可能に設けられると共にワーク固
定部に第１の方向について所定の位置へ固定されるよう
設けられ、載置されたワークが、前記位置決め部材を所
定の基準位置から位置調整することによって第１の方向
について所定の接着位置へ位置されると共に該ワークが
接着される接着台とを具備することを特徴とするワイヤ
ーソーのワーク固定治具にもある。

【００１２】また、前記位置決め部材が、前記基体上に
位置調整可能に設けられた第１調整部材と、該第１調整
部材上に位置調整可能に設けられ、前記ワークに当接し
て該ワークの位置決めをする第２調整部材とを具備する
ことを特徴とすることで、ワークの方位合わせを容易に
行うことができる。

【００１３】また、前記第１調整部材と、前記第２調整
部材は、マイクロメータによって位置調整されること
で、非常に精度の高いワークの方位合わせを好適に行う
ことができる。

【００１４】また、前記第１の方向に直交する第２の方
向について位置調整する第２の方向調整手段を備えるこ
とで、単結晶のシリコンからなるインゴットのスライス
切断を行うときには結晶の方位と切断方向とを一致させ
ることを要するが、そのような場合に好適に対応でき
る。

【００１５】また、前記第１の方向とは水平面に平行な
面内の角度方向であり、前記第２の方向とは鉛直面に平
行な面内の角度方向であることで、重力の影響を好適に
得ることができ、信頼性の高いワイヤーソーを構成でき
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる好適な実施
の形態を添付図面と共に詳細に説明する。図１は、本発
明によるワーク固定治具を構成する第１の方向治具の一
実施例を示すと共に、その第１の方向治具がマルチワイ
ヤーソーに装着された状態（ワイヤーに対する位置関
係）を示している。図２は、図１の第１の方向治具がマ
ルチワイヤーソーに装着された状態を示した正面図であ
る。図３は、ツールスコープが取り付けられる際の位置
関係を示す図２の側面図である。また、図４は、前記第
１の方向治具によってワーク（インゴット）が接着台上
で位置決めされる状態を示す斜視図である。

【００１７】１０はワイヤーであり、ワークである硬質
脆性材料に切断等の加工を施すマルチワイヤーソーの細
線ワイヤーとして作用する。ワイヤー１０は、３個の多
溝滑車１１ａ、１１ｂ、１１ｃに一連に多数巻回されて
いる。多溝滑車１１ａは駆動モータに直結された駆動ロ
ーラであり、他の二つの多溝滑車１１ｂ、１１ｃは、多
溝滑車１１ａの駆動力に従動して回転する従動ローラと
して配されている。本実施例では３個の多溝滑車を配し
たが、従来技術で説明したように４個、或いは仕様によ
っては少なくとも２個以上であればよい。なお、マルチ
ワイヤーソーの構成については、従来技術の欄で説明し
たので、詳細な説明を省略する。ワークとしては、単結
晶のシリコンからなり、円柱状に成形されているインゴ
ット１２を例示してある。この単結晶シリコンからなる
インゴット１２をウェーハ上にスライスして、半導体チ
ップの原料となるシリコンウェーハが製造される。イン
ゴット１２の結晶の方位は、端面１２ａを基準として直
交する２方向について、通常Ｘ線によって測定される。
そして、その測定データに基づいて、インゴット１２が
所定の切断方向に固定されるのである。

【００１８】２０は第１の方向治具であり、基体２１
と、位置決め部材２２とを備える。基体２１は、インゴ
ット１２を所定の方向に固定するワイヤーソーのワーク
固定部１４に第１の方向について所定の位置へ装着され
るよう着脱可能に設けられている。ワーク固定部１４
は、マルチワイヤーソーの本体内に昇降可能に設けられ
ており、図２に示すように二筋のレール状の基礎台部１
４ａ、１４ｂを備えている。この基礎台部１４ａ、１４
ｂによって形成される凹溝部に、後述する接着台３６が
嵌められて固定される。

【００１９】第１の方向治具２０の基体２１の底部に
は、下駄の歯状に二筋形成された筋部２１ａ、２１ｂが
設けられている。この筋部２１ａ、２１ｂが、前記基礎
台部１４ａ、１４ｂの間に嵌まるように形成されてい
る。１５はワーク固定部の基準面であり、この基準面１
５に筋部２１ａの側面が突き当てられ、第１方位治具２
０が所定の位置へ位置決めされる。１６は固定ボルトで
あり、基礎台部１４ｂに貫通して設けれらた雌ねじ部に
螺合されて、先端がワーク固定部１４の内側（凹溝部
内）へ突出できるように装着されている。この固定ボル
ト１６は、基礎台部１４ｂの長手方向に複数配されてお
り、図２に示すようにねじ込まれることによって、基体
２１の筋部２１ｂの側面に当接して、第１の方向治具２
０を上述したように位置決めできると共にワーク固定部
１４上に好適に固定することができる。なお、固定ボル
ト１６は、本来、後述するように接着台３６を固定する
ために用いられる。すなわち、インゴット１２の切断の
際には、ワーク固定部１４に接着台３６が固定ボルト１
６によって直接固定された状態となり、第１の方向治具
２０はワーク固定部１４に固定されず、装置の外に置か
れる。

【００２０】位置決め部材２２は、基体２１上で第１の
方向について位置調整可能に設けられている。この位置
決め部材２２は、基体２１上に位置調整可能に設けられ
た第１調整部材２３と、その第１調整部材２３上に位置
調整可能に設けられ、インゴット１２の端面に当接して
そのインゴット１２の位置決めをする第２調整部材２４
とを備える。第１調整部材２３は、基体２１に対し、水
平面内で旋回（横旋回）できるように軸２３ａによって
軸着されており、第１マイクロメータ２６によって位置
調整される。第１マイクロメータ２６は、基体２１に固
定されており、先端部２６ａが第１調整部材２３に当接
するように配されている。第１調整部材２３は、基体２
１と第１調整部材２３との間に張設された第１スプリン
グ２７によって、前記先端部２６ａに当接するように常
時付勢されている。従って、第１マイクロメータ２６を
操作して先端部２６ａを出入することによって、第１調
整部材２３の第１方向である水平面内での角度調整（軸
２３ａを中心とする角度位置の調整）をすることができ
る。

【００２１】第２調整部材２４は、第１調整部材２３に
対し、水平面内で旋回できるように軸２４ａによって軸
着されており、第２マイクロメータ２８によって位置調
整される。第２マイクロメータ２８は、第１調整部材２
３に固定されており、先端部２８ａが第２調整部材２４
に当接するように配されている。第２調整部材２４は、
第１調整部材２３と第２調整部材２４との間に張設され
た第２スプリング２９によって、前記先端部２８ａに当
接するように常時付勢されている。従って、第２マイク
ロメータ２８を操作して先端部２８ａを出入することに
よって、第２調整部材２４の第１方向である水平面内で
の角度調整（軸２４ａを中心とする角度位置の調整）を
することができる。また、２５はエッジであり、インゴ
ット１２の端面に当接し、そのインゴット１２の水平面
内における角度について位置決めをするよう、第２調整
部材２４に線状に設けられている。

【００２２】以上のように構成された第１の方向治具２
０によれば、ワーク固定部１４に装着された基体２１上
で、位置決め部材２２の第２調整部材２４をワイヤー１
０に対して所定の基準位置に位置させることができる。
すなわち、ワイヤー１０に対し、第２調整部材２４のエ
ッジ２５が平行になるように、第２調整部材２４の位置
調整をすることができる。この調整作業は通常、図３に
示すように顕微鏡（ツールスコープ６０）を用いて行
う。

【００２３】また、第１の方向治具２０は、二筋のガイ
ド部２０ａ、２０ｂ、後方立設部３１に長手方向に移動
調整可能に配された押圧部材３０、および装着用ボルト
３２等を備える。二筋のガイド部２０ａ、２０ｂは、前
記二筋のレール状の基礎台部１４ａ、１４ｂと同様に平
行に設けられており、その基礎台部１４ａ、１４ｂと同
様の凹溝部を形成している。そのガイド部２０ａ、２０
ｂによって形成される凹溝部に、後述する接着台３６が
嵌まり、固定される。押圧部材３０は、接着台３６上に
載置されたインゴット１２の反対側の端面１２ｂに当接
し、インゴット１２の端面１２ａがエッジ２５に好適に
突き当てられるように押圧する。装着用ボルト３２は、
ガイド部２０ｂに複数が螺合されており、ねじ込むこと
で、接着台３６を第１の方向治具２０上に位置決めでき
ると共に固定できる。また、図２に示すように、３４は
側部位置決め片であり、Ｌ字状に形成されており、ガイ
ド部２０ａ長手方向の中途部に着脱可能に設けられ、イ
ンゴット１２の位置決めを行う際の、主に滑り止め部材
として用いられる。

【００２４】接着台３６は、ワーク固定部１４に第１の
方向（水平面に平行な面内の角度方向）について所定の
位置へ固定されるよう設けられると共に、同様に第１の
方向治具２０上で水平面内の角度方向について所定の位
置へ装着されるよう着脱可能に設けられている。すなわ
ち、接着台３６の一方の側面が、前記ガイド２０ａの内
側面（基準面）へ突き当てられて、接着台３６の第１の
方向の位置決めがなされ、装着用ボルト３２を締めつけ
ることで固定される。また、この接着台３６は、インゴ
ット１２が載置され、前記位置決め部材２２を所定の基
準位置から位置調整することによって、その載置された
インゴット１２が水平面内の角度方向について所定の接
着位置へ位置されると共に、そのインゴット１２が接着
される台として用いられる。なお、インゴット１２は、
通常ガラス板で形成されたダミーガラス３７を介して接
着台上に固定されている。ダミーガラス３７は、インゴ
ット１２をスライス状に切断する際に若干切り込まれる
捨て切り台として用いられ、接着台３６が切断されるこ
とを防止する。

【００２５】また、図５および図６に示すように、接着
台３６には、前記第１の方向（水平面に平行な面内の角
度方向）に直交する第２の方向（鉛直面に平行な面内の
角度方向）について位置調整する第２の方向調整手段３
８が備えられている。第２の方向調整手段３８は、接着
台の前側で裏面側から接着台３６に螺合された高さ調整
ボルト４０と、ねじロック用の円盤形のロックナット４
２とを備える。また、４４は支点部材であり、接着台の
後側で裏面に固定されており、曲面で基準台面４６ａに
当接（線接触）するように形成されている。高さ調整ボ
ルト４０の接着台３６との螺合状態を調整することで、
鉛直面に平行な面内の角度方向の位置調整ができ、ロッ
クナット４２を締めることによって、高さ調整ボルト４
０が緩まないように固定できる。高さ調整ボルト４０に
よって接着台３６の角度を調整する際に、接着台３６の
他端側は支点部材４４によって線接触になっているた
め、スムースに傾斜（角度調整）させることができる。

【００２６】図６に示すように、４６は第２の方向治具
であり、インゴット１２を、縦方向の角度方向（鉛直面
に平行な面内の角度方向）について位置調整する縦旋回
治具として設けられている。４７は定盤であり、基準台
面４６ａを備え、その基準台面４６ａ上に前記支点部材
４４に当接して接着台３６が滑らないように設けられた
ストッパー４７ａが取り付けられている。４８はスコヤ
であり、定盤４７上に載置されて基準台面４６ａに対し
て直角なガイド面４８ａを形成する。そのガイド面４８
ａに沿ってダイヤルゲージ５０が上下動可能に設けら
れ、そのダイヤルゲージ５０によってガイド面４８ａを
基準にした寸法を測定することができる。従って、予め
測定されたデータと合わせるように、高さ調整ボルト４
０によって調整することで、所定の角度にセットできる
のである。

【００２７】次に、上記構成の装置を用いて、インゴッ
ト１２をワイヤーソーのワーク固定部１４にセットする
方法について説明する。先ず、第１の方向治具２０をワ
イヤーソー本体のワーク固定部１４にセットする。第２
マイクロメータ２８をゼロ点にセットして、ワイヤー１
０と第２調整部材のエッジ２５とを同時に見ることがで
きるようにセットされたツールスコープ６０で覗きなが
ら、ワイヤー１０に対してエッジ２５が平行になるよう
に、第１マイクロメータ２６を操作して第１調整部材２
３を基体２１に対して移動調整することでセットする。
そして、第１の方向治具２０をワイヤーソー本体より取
り外す。以上の操作は、通常、ワイヤー１０を複数の多
溝滑車１１ａ、１１ｂ、１１ｃに巻き直したときだけ行
う。ワイヤー１０は溝１ピッチ分ずれて巻かれても切断
には支障がないため、そのずれを見過ごした場合には、
結晶方位と切断方向とがずれた状態で、その切断加工が
なされてしまう。従って、以上のゼロ点合わせは重要な
工程になる。なお、一つのドラムに巻かれたワイヤー１
０は、通常、インゴット１２を３本切断できる。従っ
て、一旦第２マイクロメータ２８がゼロ点である状態で
ワイヤー１０とエッジ２５との平行を合わせておけば、
後の２回分はゼロ点合わせをしなくてもよいことにな
る。

【００２８】次に、第１マイクロメータ２６を固定した
状態で、第２マイクロメータ２８によりインゴット１２
の第１の方向である水平面内での傾きをセットする。な
お、第１の方向の傾きの数値は、予め、方位測定機によ
り与えられている。そして、側部位置決め片３４をセッ
トし、接着台３６を第１の方向治具２０に取り付け、ダ
ミーガラス３７、インゴット１２の順に接着台３６に搭
載すると共に接着する。その接着は、接着台３６とダミ
ーガラス３７に接着剤を塗り、インゴット１２の端面１
２ａをエッジ２５に押し当てながら行えばよい。これに
よりインゴット１２の第１の方向の位置決めがなされ
る。インゴット１２をエッジ２５に押し当てるには、押
圧部材３０を用いる。接着剤としては、例えば、ワック
スやエポキシが用いられる。次に、接着されたインゴッ
ト１２を第１の方向治具２０より取り外し、第２の方向
治具４６の上に置く。ダイヤルゲージ５０でインゴット
１２の端面の鉛直平面内の角度方向（第２の方向）の傾
きを見ながら、高さ調整ボルト４０でセットする。な
お、第２の方向の傾きの数値は、予め、方位測定機によ
り与えられている。以上の工程が、外段取りとなる。

【００２９】そして、以上の外段取りによって準備さ
れ、接着台３６上に方向を出されて固定されたインゴッ
ト１２を、接着台３６と共にワイヤーソーのワーク固定
部１４に固定する。これにより、ワーク固定部１４と同
様の基準を持ったワーク固定治具上でインゴット１２を
位置決めする外段取りが行われ、その位置決めされたイ
ンゴット１２をワーク固定部１４へ移載することで即座
に位置決めがされることになる。

【００３０】以上の実施例では位置決め部材２２が２段
の調整部材２３、２４によって構成されたものについて
説明した。そのような構成にすることで、ゼロ点が明確
に設定されるため、位置合わせを容易且つ好適に行うこ
とができるが、本発明はこれに限らず、一段の調整部材
のみで位置調整することも可能である。また、図１の実
施例の第１調整部材２３および第１マイクロメータ２６
に相当する構成を設けず、第２マイクロメータ２８を基
体２１に移動可能に設けることで、図１の実施例と同様
な効果を得ることができる。すなわち、第２マイクロメ
ータ２８の目盛りをゼロ点に合わせた状態で、その第２
マイクロメータ２８を基体２１に対して移動させること
によってワイヤー１０とエッジ２５の平行を合わせ、そ
の時点で第２マイクロメータ２８を固定するという操作
ができれば、図１の実施例と同様に２段でワークの位置
決めをできる。以上、本発明につき好適な実施例を挙げ
て種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定され
るものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多く
の改変を施し得るのは勿論のことである。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、前記第１の方向治具と
前記接着台という構成を備えるワーク固定治具によっ
て、ワイヤーソー本体の外でワークを固定するための段
取りを好適に行うことができるため、いつでも作業がで
きると共に、作業者の負担を軽減できる。これにより、
ワークを精度よく所定の方向に固定することができ、ワ
イヤーソーの不稼働時間を極力短縮することができると
いう著効を奏する。また、ワイヤーソー本体の外でワー
ク固定治具を用いるため、ワイヤーソー本体内に設ける
装置の構造を簡略化でき、装置の耐久性等の信頼性を向
上できるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるワーク固定治具を構成する第１
方向治具の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１の第１の方向治具がマルチワイヤーソーに
装着された状態を示す正面図である。

【図３】ツールスコープが取り付けられる際の位置関係
を示す図２の側面図である。

【図４】図１の第１の方向治具に接着台とインゴットが
載置された状態を示す斜視図である。

【図５】接着台にインゴットが載置され接着された状態
を示す斜視図である。

【図６】第２の方向治具にインゴットが載置された状態
を示す側面図である。

【図７】マルチワイヤーソーの構造を説明する斜視説明
図である。

【符号の説明】

１０ ワイヤー １２ インゴット １４ ワーク固定部 ２０ 第１の方向治具 ２１ 基体 ２２ 位置決め部材 ２３ 第１調整部材 ２４ 第２調整部材 ２６ 第１マイクロメータ ２８ 第２マイクロメータ ３０ 押圧部材 ３６ 接着台 ３７ ダミーガラス ３８ 第２の方向調整手段 ４０ 高さ調整ボルト ４６ 第２の方向治具 ５０ ダイヤルゲージ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークである硬質脆性材料に細線ワイヤ
   ーを用いて切断等の加工を施すワイヤーソーにおいて前
   記ワークを所定の方向に固定するワイヤーソーのワーク
   固定方法であって、 前記ワイヤーソーのワーク固定部に第１の方向について
   所定の位置へ着脱可能に設けられた第１の方向治具の基
   体を、前記ワーク固定部に装着し、前記基体上で第１の
   方向について位置調整可能に設けられた位置決め部材
   を、前記細線ワイヤーに対して所定の基準位置に位置さ
   せる工程と、 前記第１の方向治具を前記ワーク固定部から取り外し、
   該第１の方向治具上に第１の方向について所定の位置へ
   着脱可能に設けられると共に前記ワークが接着される接
   着台を、前記第１の方向治具上に装着し、該接着台上に
   載置されたワークを、前記位置決め部材を所定の基準位
   置から位置調整することによって第１の方向について所
   定の接着位置へ位置させると共に、該接着台上に接着す
   る工程と、 以上の工程によってワイヤーソーの外で前記接着台上に
   位置決めされたワークを、該接着台と共に前記ワーク固
   定部に固定する工程とを備えることを特徴とするワイヤ
   ーソーのワーク固定方法。
2. 【請求項２】 前記ワークを前記接着台上で第１の方向
   について所定の接着位置へ位置させて接着した後、前記
   第１の方向に直交する第２の方向について位置調整する
   工程を備えることを特徴とする請求項１記載のワイヤー
   ソーのワーク固定方法。
3. 【請求項３】 ワークである硬質脆性材料に細線ワイヤ
   ーを用いて切断等の加工を施すワイヤーソーにおいて前
   記ワークを所定の方向に固定するワイヤーソーのワーク
   固定治具であって、 前記ワイヤーソーのワーク固定部に第１の方向について
   所定の位置へ装着されるよう着脱可能に設けられた基体
   と、該基体上で第１の方向について位置調整可能に設け
   られた位置決め部材とを有し、前記ワーク固定部に装着
   された前記基体上で、前記位置決め部材を前記細線ワイ
   ヤーに対して所定の基準位置に位置可能に設けられた第
   １の方向治具と、 前記第１の方向治具上で第１の方向について所定の位置
   へ装着されるよう着脱可能に設けられると共にワーク固
   定部に第１の方向について所定の位置へ固定されるよう
   設けられ、載置されたワークが、前記位置決め部材を所
   定の基準位置から位置調整することによって第１の方向
   について所定の接着位置へ位置されると共に該ワークが
   接着される接着台とを具備することを特徴とするワイヤ
   ーソーのワーク固定治具。
4. 【請求項４】 前記位置決め部材が、 前記基体上に位置調整可能に設けられた第１調整部材
   と、 該第１調整部材上に位置調整可能に設けられ、前記ワー
   クに当接して該ワークの位置決めをする第２調整部材と
   を具備することを特徴とする請求項３記載のワイヤーソ
   ーのワーク固定治具。
5. 【請求項５】 前記第１調整部材と、前記第２調整部材
   は、マイクロメータによって位置調整されることを特徴
   とする請求項４記載のワイヤーソーのワーク固定治具。
6. 【請求項６】 前記第１の方向に直交する第２の方向に
   ついて位置調整する第２の方向調整手段を備えることを
   特徴とする請求項３、４または５記載のワイヤーソーの
   ワーク固定治具。
7. 【請求項７】 前記第１の方向とは水平面に平行な面内
   の角度方向であり、前記第２の方向とは鉛直面に平行な
   面内の角度方向であることを特徴とする請求項３、４、
   ５または６記載のワイヤーソーのワーク固定治具。