JPH10182299A - 単結晶インゴットの方位設定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単結晶インゴットの方位設定作業の簡略化を
実現して労力の軽減並びに作業時間の短縮を図り、方位
設定作業の機械化、自動化及び生産効率の向上を実現し
た単結晶インゴットの方位設定方法を提供する。 【解決手段】 単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
求め、次いで設定角度量θ₁ 及びθ₂ を、式（１）： 【数１】θ₁ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｔａｎｘ°）・
・・・（１）及び式（２）： 【数２】θ₂ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₁ ）・
・・・（２） を用いて算出し、該単結晶インゴットをその中心軸を中
心にθ₁ 回動して円周方向の位置決めを行ない、さらに
該単結晶インゴットをＸ軸方向にθ₂ 回動することによ
り軸方向の位置決めを行なって単結晶インゴットの中心
軸を基準とした基準線と結晶面の法線とを一致させるよ
うに方位設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶インゴッ
ト、例えばシリコン単結晶インゴットの任意方向への方
位設定を簡単に行なうことができるようにした単結晶イ
ンゴットの方位設定方法に関する。

【０００２】

【関連技術】単結晶インゴット、例えばシリコン単結晶
インゴット等を切断する手段としてワイヤーソー装置が
知られている。このワイヤーソー装置においては、図１
７に示すごとく、互いに同一構成のメインローラと呼ば
れる３本（又は４本）の樹脂ローラ１０Ａ，１０Ｂ，１
０Ｃがそれらの軸を互いに平行に配置されている。

【０００３】該ローラ１０Ａ〜１０Ｃ表面に一定ピッチ
で形成されたリング状溝１４ａ，１４ｂ，１４ｃにワイ
ヤー１２が巻回されている。駆動モータ１６に接続され
た駆動ローラ１０Ｃからの回転をワイヤー１２を介し
て、従動ローラ１０Ａ，１０Ｂに伝える構造となってい
る。

【０００４】ワイヤー１２の始端側は、張力調節機構２
０を介してワイヤー巻取りドラム２２に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー１２の終端側は、張力調節機構３
０を介してワイヤー巻取りドラム３２に巻回されてい
る。２４及び３４はトルクモータである。

【０００５】単結晶インゴット４０は、例えば単結晶シ
リコンインゴットであり、そのオリエンテーションフラ
ット面が当て板４１の下面に接着剤によって接着され、
該当て板４１の上面はワークプレート４２の下面に接着
剤によって接着されている。

【０００６】このような構成により、駆動ローラ１０Ｃ
を回転させると、ワイヤー１２がその線方向に走行し、
これとともに砥粒を含む加工液がワイヤー１２に流し当
てられる。この状態で単結晶インゴット４０を下降さ
せ、ワイヤー１２に接触させると、ラッピング作用によ
り単結晶インゴット４０が切断され、多数枚のウェーハ
が同時に切断形成される。

【０００７】単結晶インゴットはＣＺ法又はＦＺ法によ
ってアズグローンの単結晶インゴットが製造された後、
円筒研削等の加工処理が施されて、ワイヤーソー装置に
よる切断の対象とされるものとなる。このように加工処
理された円筒状の単結晶インゴットは、その中心軸と結
晶面の法線とが一致していないのが普通である。

【０００８】ワイヤーソー装置による単結晶インゴット
の切断（スライス）処理は、単結晶インゴットの結晶面
を基準として行なわれる。単結晶インゴットの切断方法
としては、単結晶インゴットの結晶面とワイヤーの走行
方向、即ち切断方向とを一致させて切断する方法（ジャ
ストアングル）及び単結晶インゴットの結晶面とワイヤ
ーの走行方向、即ち切断方向とを一致させないで、互い
に所定の角度をなすようにして切断する方法（オフアン
グル）とが行なわれている。

【０００９】したがって、ワイヤーソー装置に単結晶イ
ンゴットをセットするにあたっては、ワイヤー走行方向
に対して単結晶インゴットの結晶面を、所定の切断態様
に応じて、角度をつけなかったり（ジャストアングルの
場合）、所定の角度をつけたり（オフアングルの場合）
することが必要であった。

【００１０】この時、単結晶インゴットの中心軸と結晶
面の法線とは、前述したごとく、通常は一致していない
ため、単結晶インゴットを切断する前には、その切断方
法に応じて単結晶インゴットの方位を修正又は設定する
必要があった。

【００１１】この単結晶インゴットのワイヤーソー装置
による切断前の方位設定は、図１８に示すフローチャー
トの手順に従って行なわれていた。図１８において、イ
ンゴットストッカーからインゴット４０を受取り（２０
０）、公知のＸ線方位測定装置によって、インゴット４
０の方位測定が行なわれる（２０２）。これにより、当
て板の貼付け位置を決め、その貼付け位置を真上に向け
る。

【００１２】この当て板の貼付け位置に当て板４１を接
着剤によって貼付ける（２０４）。ついで、該接着剤を
所定時間の放置によって硬化させる（２０６）。

【００１３】この貼付けられた当て板を介してワークプ
レート４２を接着剤によって貼付ける（２０８）。該接
着剤を所定時間の放置によって硬化させる（２１０）。

【００１４】上記のようにワークプレート４２を貼付け
たインゴットをワイヤーソー装置の切断位置に取付ける
（２１２）。この後、ゴニオメーターによって、前記し
た方位測定のデータに基づいて、該インゴットを回動す
ることにより、そのＸ軸方向のズレの補正を行ない（２
１４）、及びそのＹ軸方向のズレの補正を行なう（２１
６）ことによって、インゴットの方位の設定を行なう。
インゴットの方位設定後、ワイヤーソー装置によるイン
ゴットの切断処理が行なわれるものである（２１８）。

【００１５】従来のワイヤーソー装置における単結晶イ
ンゴット４０のワークプレート４２への固定方法は、当
て板４１を介して作業者が接着剤によって完全に固定す
るものである（図１７）。このような接着剤による固定
は、長時間の労力を必要とすることはいうまでもなく、
機械化又は自動化することは不可能であり、かつ一旦接
着してしまうとワークプレートに対する単結晶インゴッ
トの取付け角度の微調整を行なうことができないという
不都合があった。

【００１６】上記した従来の方法では、インゴット４０
の取付け角度の微調整が不可能なため、複数個の単結晶
インゴット４０を直線状に配列してワイヤーソー装置で
同時に切断する態様を実施することは難かしかった。な
ぜならば、この場合、複数個の単結晶インゴット４０の
方位をそれぞれ別々に微調整する必要があるが、その微
調整を行なうことが不可能であるからである。

【００１７】上記した従来方法におけるインゴットの方
位測定は、Ｘ線方位測定装置により単結晶インゴット端
面に対する結晶面の傾きをＸ軸（単結晶インゴットの中
心軸に直交する軸）方向及びＹ軸（単結晶インゴットの
中心軸及びＸ軸に直交する軸）方向に付いて測定してい
た（図１９）。

【００１８】そして、Ｘ軸方向及びＹ軸方向についての
単結晶インゴットの端面と結晶面の法線との間にズレが
ある場合には、単結晶インゴットをＸ軸（単結晶インゴ
ットの中心軸に直交する軸）方向及びＹ軸（単結晶イン
ゴットの中心軸及びＸ軸に直交する軸）方向に回動して
単結晶インゴットの端面と結晶面の法線とのズレを補正
して互いに一致させ（ジャストアングルの場合）、また
は両者間に所定の角度をつけて（オフアングルの場
合）、単結晶インゴットをセットすることが必要であっ
た。

【００１９】この単結晶インゴットの方位修正作業は、
ワイヤーソー装置の内部に単結晶インゴットを取り付け
た後、ゴニオメーターを用いて行なわれていたが、作業
するための場所が狭く、ワイヤーソー装置内のスラリー
等で汚れる上に、時間がかかり、かつ自動化もできない
等大変な労力を必要としていた。

【００２０】また、上記した従来の単結晶インゴットの
方位設定方法では、図２０に示すごとく、ワイヤーソー
装置による単結晶インゴット４０の切断開始時に、単結
晶インゴットの切断面に対してワイヤー１２の走行面が
傾いていることが多いため、切断開始時の全てのワイヤ
ー１２に単結晶インゴット４０の切断面が、同時に当た
ることはほとんどなく、そのため切断圧力等が不均一に
なり易く、不均一切断やスライスされたウェーハにソリ
が発生し易い等の不都合が生ずる原因の一つとされてい
た。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点に鑑みなされたもので、次のような解決
課題を有している。

【００２２】本発明の第１の目的は、単結晶インゴット
の方位設定作業の簡略化の実現、労力の軽減並びに作業
時間の短縮を図り、方位設定作業の機械化、自動化及び
生産効率の向上を実現した単結晶インゴットの方位設定
方法を提供することにある。

【００２３】本発明の第２の目的は、単結晶インゴット
の均一切断を実現することによりスライスされたウェー
ハにソリが発生しにくくなるようにした単結晶インゴッ
トの取付け方法を提供することにある。

【００２４】本発明の第３の目的は、複数本の単結晶イ
ンゴットを効率よくかつ正確に切断することを可能にし
た単結晶インゴットの同時切断方法を提供することにあ
る。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明の単結晶インゴットの方位設定方法は、
単結晶インゴットの中心軸に対する結晶面の法線の傾き
を、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並びに該中心軸及
びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について測定し、Ｘ軸方
向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を求め、次いで設
定角度量θ₁ 及びθ₂ を、式（１）：

【００２６】

【数９】 θ₁ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｔａｎｘ°）・・・・（１）

【００２７】及び式（２）：

【００２８】

【数１０】 θ₂ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₁ ）・・・・（２）

【００２９】を用いて算出し、該単結晶インゴットをそ
の中心軸を中心にθ₁ 回動して円周方向の位置決めを行
ない（図４）、さらに該単結晶インゴットをＸ軸方向に
θ₂ 回動することにより軸方向の位置決めを行なって
（図５）、単結晶インゴットの中心軸を基準とした基準
線と結晶面の法線とを一致させるように方位設定するこ
とを特徴とする。単結晶インゴットの中心軸を基準とし
た基準線とは当該中心軸と同一方向に延びる仮想的に設
定した基準線を意味する。

【００３０】本発明の単結晶インゴットの方位設定方法
第２の態様は、単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
求め、次いで設定角度量θ₃ 及びθ₄ を、式（３）：

【００３１】

【数１１】 θ₃ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎｙ°／ｔａｎ（ｘ°＋α°）｝・・・・（３）

【００３２】及び式（４）：

【００３３】

【数１２】 θ₄ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₃ ）・・・・・・・・・（４）

【００３４】〔式（３）において、α°は単結晶インゴ
ットの中心軸を基準とした基準線に対して設定されるべ
き結晶面の法線のＸ軸方向への傾きである。〕

【００３５】を用いて算出し、該単結晶インゴットをそ
の中心軸を中心にθ₃ 回動して円周方向の位置決めを行
ない、さらに該単結晶インゴットをＸ軸方向にθ₄ 回動
することにより軸方向の位置決めを行なって単結晶イン
ゴットの中心軸を基準とした基準線に対して結晶面の法
線がＸ軸方向にα°の傾きを有するように方位設定する
ことを特徴とする。

【００３６】本発明の単結晶インゴットの方位設定方法
第３の態様は、単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
求め、次いで設定角度量θ₅ 及びθ₆ を、式（５）：

【００３７】

【数１３】 θ₅ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｔａｎｘ°｝・・・・（５）

【００３８】及び式（６）：

【００３９】

【数１４】 θ₆ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｓｉｎθ₅ ｝・・・・（６）

【００４０】〔式（５）及び式（６）において、β°は
単結晶インゴットの中心軸に対して設定されるべき結晶
面の法線のＹ軸方向への傾きである。〕

【００４１】を用いて算出し、該単結晶インゴットをそ
の中心軸を中心にθ₅ 回動して円周方向の位置決めを行
ない、さらに該単結晶インゴットをＸ軸方向にθ₆ 回動
することにより軸方向の位置決めを行なって単結晶イン
ゴットの中心軸を基準とした基準線と結晶面の法線がＹ
軸方向にβ°の傾きを有するように方位設定することを
特徴とする。

【００４２】本発明の単結晶インゴットの方位設定方法
第４の態様は、単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
求め、次いで設定角度量θ₇ 及びθ₈ を、式（７）：

【００４３】及び式（８）：

【００４４】

【数１５】 θ₇ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｔａｎ（ｘ°＋α°）｝・・（７）

【００４５】

【数１６】 θ₈ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｓｉｎθ₇ ｝・・・・・・・（８）

【００４６】〔式（７）及び式（８）において、α°は
単結晶インゴットの中心軸を基準とした基準線に対して
設定されるべき結晶面の法線のＸ軸方向への傾きであ
り、β°は単結晶インゴットの中心軸に対して設定され
るべき結晶面の法線のＹ軸方向への傾きである。〕

【００４７】を用いて算出し、該単結晶インゴットをそ
の中心軸を中心にθ₇ 回動して円周方向の位置決めを行
ない、さらに該単結晶インゴットをＸ軸方向にθ₈ 回動
することにより軸方向の位置決めを行なって単結晶イン
ゴットの中心軸を基準とした基準線と結晶面の法線がＸ
軸方向にα°及びＹ軸方向にβ°の傾きを有するように
方位設定することを特徴とする。

【００４８】本発明の方位設定方法においては、任意の
方向に単結晶インゴットの結晶面を設定する方法とし
て、Ｘ線方位測定装置より得られた単結晶インゴットの
Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°に対して、
設定をしたい方位の角度分（Ｘ軸方向にα°及びＹ軸方
向にβ°）を加算又は減算し演算する事により、目的と
する方位設定を行う為の設定量であるθ₁ ，θ₂ 〜
θ₇ ，θ₈ を得、このθ₁ ，θ₂ 〜θ₇ ，θ₈ を用いて
任意の方向に単結晶インゴットの結晶面を設定すること
ができる。

【００４９】本発明の方位設定方法により、ワイヤーソ
ー装置の外部での単結晶インゴットの方位設定を容易と
し、複数の単結晶インゴットを１台のワイヤーソー装置
で同時に切断する事も可能となり、その他切断開始時の
ワイヤーソー装置の走行するワイヤーに単結晶インゴッ
トの切断面が同時に当たることとなり切断条件の改善
（均一切断等）も行う事が可能となる。

【００５０】本発明の単結晶インゴットの取付け方法の
第１の態様は、当て板を介してワークプレートに固定さ
れた単結晶インゴットを切断するワイヤーソー装置にお
いて用いられる単結晶インゴットの取付け方法であり、
当て板の貼付け位置を決めるための単結晶インゴットの
円周方向の位置決め工程と、該ワークの所定位置に当て
板を接着剤によって貼付ける工程と、該接着剤を硬化す
る工程と、単結晶インゴットの軸方向の位置決め工程
と、該軸方向位置決めを行なったワークをワークプレー
トに固定する工程とからなり、上記円周方向の位置決め
及び軸方向の位置決めの方法により行なうことを特徴と
する。

【００５１】上記したワーク取付け方法において、軸方
向位置決めを行なった後、ワークプレートに固定された
単結晶インゴットの軸方向位置決め位置を再確認する工
程を行なうようにすれば、単結晶インゴットの軸方向位
置決めミスが皆無となる利点がある。

【００５２】本発明の単結晶インゴットの取付け方法の
第２の態様は、当て板を介してワークプレートに固定さ
れた単結晶インゴットを切断するワイヤーソー装置にお
いて用いられる複数本の単結晶インゴットの取付け方法
であり、当て板の貼付け位置を決めるための単結晶イン
ゴットの円周方向の位置決め工程と、該単結晶インゴッ
トの所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程
と、該接着剤を硬化する工程と、単結晶インゴットの軸
方向の位置決め工程と、該軸方向位置決めを行なった単
結晶インゴットをワークプレートに固定する工程とから
なる１本目の単結晶インゴット取付けプロセスと；該１
本目の単結晶インゴット取付けプロセスと同様の工程か
らなる２本目以降の単結晶インゴット取付けプロセス
と；を有し、上記円周方向の位置決め及び軸方向の位置
決め方法により行なうことを特徴とする。

【００５３】前記軸方向位置決めを行なった後、ワーク
プレートに固定された長手方向の両端部に位置する単結
晶インゴットの軸方向位置決め位置を再確認する工程を
行なうようにすれば、長手方向の両端部に位置するワー
クの軸方向位置決めのミスが皆無となる利点がある。

【００５４】上記した単結晶インゴットの軸方向位置決
め位置の再確認は、一個のＸ線方位測定機を用い、一直
線状に配置された複数本の単結晶インゴットを１８０°
反転させることによって、長手方向の両端部に位置する
２本の単結晶インゴットの端面を測定することによって
行われる。

【００５５】上記した単結晶インゴットの取付け方法に
おける単結晶インゴットの本数を２本とすれば、その軸
方向位置決めは２本とも確実に行なわれる利点がある。

【００５６】前記ワークプレートにクランプ手段を設
け、該クランプ手段によって前記当て板を該ワークプレ
ートに取りつけることにより、単結晶インゴットを該ワ
ークプレートに固定するようにすれば、単結晶インゴッ
トのワークプレートへの固定作業が簡略化し、労力の軽
減並びに作業時間の短縮を図り、かつ単結晶インゴット
の取付け角度の微調整を行なうことが可能となる。

【００５７】上記した単結晶インゴットの取付け方法を
用いて直線状に配置固定された複数本の単結晶インゴッ
トは、ワイヤーソー装置によって同時に切断することが
可能となる。

【００５８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面中図１〜図１６に基づいて説明する。

【００５９】まず、インゴットの中心軸を基準とした基
準線と結晶面の法線とを一致させるように方位設定（ジ
ャストアングル）を行う場合について説明する。ここで
単結晶インゴットの中心軸を基準とした基準線とは、当
該中心軸と同一方向に延びる仮想的に設定した基準線を
意味するものである。図１において当該基準線はインゴ
ット中心軸と一致する仮想線である。

【００６０】ノッチ又はオリエンテーションフラット
（以下オリフラと略称する）を基準とした座標系内にＸ
線方位測定装置を使い単結晶インゴットの中心軸に対す
る結晶面の法線の傾きをＸ軸（単結晶インゴットの中心
軸に直交する）方向及びＹ軸（単結晶インゴットの中心
軸及びＸ軸に直交する軸）方向の２成分について測定す
る（図３）。

【００６１】測定したＸ軸方向及びＹ軸方向の傾き角を
それぞれｘ°，ｙ°とすると、単結晶インゴットの結晶
面の法線の位置は点（ｘ°，ｙ°）の位置となり、その
点とＸ軸のなす角度θ₁ がＹ軸方向のズレ量をキャンセ
ルする為に単結晶インゴットをその中心軸を中心に回動
する角度となり（図１〜図２）、下記の式（１）で表わ
される。

【００６２】

【数１７】 θ₁ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｔａｎｘ°）・・・・・（１）

【００６３】図１〜図２の（ｘ°，ｙ°）の点を座標の
交点である０点に戻すために、単結晶インゴットをＸ軸
方向に回動する角度θ₂ は、下記の式（２）で表わされ
る。

【００６４】

【数１８】 θ₂ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₁ ）・・・・・（２）

【００６５】次に、単結晶インゴットの中心軸を基準と
した基準線に対して結晶面の法線をＸ軸方向のみにα°
傾ける方位設定（オフアングル）を行なう場合には、Ｘ
軸方向の傾き角度をｘ°＋α°とすれば、同様に、単結
晶インゴットをその中心軸を中心に回動する角度θ
₃ は、下記の式（３）で表わされる。

【００６６】

【数１９】 θ₃ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎｙ°／ｔａｎ（ｘ°＋α°）｝・・・・（３）

【００６７】そして、単結晶インゴットをＸ軸方向に回
動する角度θ₄ は、下記の式（４）で表わされる。

【００６８】

【数２０】 θ₄ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₃ ）・・・・・・・・・（４）

【００６９】〔式（３）において、α°は単結晶インゴ
ットの中心軸を基準とした基準線に対して設定されるべ
き結晶面の法線のＸ軸方向への傾きである。〕

【００７０】また、単結晶インゴットの中心軸を基準と
した基準線に対して結晶面の法線をＹ軸方向のみにβ°
傾ける方位設定（オフアングル）を行なう場合には、Ｙ
軸方向の傾き角度をｙ°＋β°とすれば、同様に、単結
晶インゴットをその中心軸を中心に回動する角度θ₅ は
下記の式（５）で表わされる。

【００７１】

【数２１】 θ₅ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｔａｎｘ°｝・・・・（５）

【００７２】そして、単結晶インゴットをＸ軸方向に回
動する角度θ₆ は、下記の式（６）で表わされる。

【００７３】

【数２２】 θ₆ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｓｉｎθ₅ ｝・・・・（６）

【００７４】〔式（５）及び式（６）において、β°は
単結晶インゴットの中心軸を基準とした基準線に対して
設定されるべき結晶面の法線のＹ軸方向への傾きであ
る。〕

【００７５】さらに、単結晶インゴットの中心軸を基準
とした基準線に対して結晶面の法線をＸ軸方向にα°及
びＹ軸方向にβ°傾ける方位設定（オフアングル）を行
なう場合には、Ｘ軸方向の傾き角度をｘ°＋α°及びＹ
軸方向の傾き角度をｙ°＋β°とすれば、同様に、単結
晶インゴットをその中心軸に回動する角度θ₇ は下記の
式（７）で表わされる。

【００７６】

【数２３】 θ₇ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｔａｎ（ｘ°＋α°）｝・・（７）

【００７７】そして、単結晶インゴットをＸ軸方向に回
動する角度θ₈ は、下記の式（８）で表わされる。

【００７８】

【数２４】 θ₈ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｓｉｎθ₇ ｝・・・・・・・（８）

【００７９】〔式（７）及び式（８）において、α°は
単結晶インゴットの中心軸を基準とした基準線に対して
設定されるべき結晶面の法線のＸ軸方向への傾きであ
り、β°は単結晶インゴットの中心軸に対して設定され
るべき結晶面の法線のＹ軸方向への傾きである。〕

【００８０】次に本発明の単結晶インゴットの角度設定
方法の具体例について添付図面中、図６〜図８に基づい
て説明する。

【００８１】Ｘ線方位測定装置より得たｘ°、ｙ°の傾
き角に対し設定したい分だけ加算又は減算したｘ’°、
ｙ’°のデータで上記した演算式によりθ₁ ，θ₂ 〜θ
₇ ，θ₈ を求め補正すると、任意方向に方位を設定する
事ができる。

【００８２】図６に示した様な傾きを持った単結晶イン
ゴットをｘ°＝−０．１°、ｙ°＝−０．２°に方位を
設定する場合について説明する。

【００８３】

【表１】

【００８４】

【数２５】θ₁ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎ０．４／ｔａｎ０．
２）＝６３．４４°

【００８５】

【数２６】θ₂ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎ０．４／ｓｉｎ６
３．４４°）＝０．４４７°

【００８６】図７において、Ａ点は方位設定の為の計算
上の法線位置である。Ｂ点は実際の法線位置である。単
結晶インゴットを図７の状態からθ₁ ＝６３．４４°だ
け円周方向に回転させると図８の状態となる。図８にお
いて、Ｘ’軸及びＹ’軸は図７のＸ軸及びＹ軸をθ₁ ＝
６３．４４°回転させた位置を示す。

【００８７】図８において、θ₂ を０．４４７°修正す
るとＡ点は座標交点に来る。Ｂ点も同時にＡ点から交点
迄の距離分Ｘ軸上を−側に移動する。

【００８８】 Ａ点と交点の距離＝ｔａｎ０．４／ｓｉｎ６３．４４°
＝７．８０５^-3 Ｂ点と交点の距離＝ｔａｎ０．２／ｓｉｎ６３．４４°
＝３．９０２５^-3

【００８９】Ｂ点をＡ点の移動量分移動させると、３．
９０２５^-3−７．８０５^-3＝−３．９０２５^-3となり
Ｂ’点がｘ’°，ｙ’°の座標に対しｘ＝−０．１°、
ｙ＝−０．２°となる事がわかる。

【００９０】ついで、本発明で用いられるＸ線方位測定
装置について説明する。図１０はＸ線方位測定装置の側
面図である。

【００９１】同図において、２はＸ線方位測定装置で一
対の基準ガイドローラ３，３、ロータリーエンコーダ
４、当て板接着機構５、オリフラ又はノッチ合わせ機構
６及びＸ線発光機７及びＸ線受光機８を有している。該
基準ガイドローラ３，３は自転可能及び横方向への移動
可能とされている。

【００９２】該基準ガイドローラ３，３上に載置される
単結晶インゴット４０は、ロータリーエンコーダ４及び
Ｘ線発光機７及びＸ線受光機８により、そのＸ軸及びＹ
軸方向の傾きｘ°，ｙ°が測定される。また、この単結
晶インゴット４０は、該基準ガイドローラ３，３の運動
により円周方向に回転せしめられ円周方向の位置決めが
なされるとともに軸方向へ回動せしめられ軸方向の位置
決めも行なわれるようになっている。

【００９３】上記装置２を用いて当て板４１の単結晶イ
ンゴット４０への接着を次の〜の手順により行なう
ことができる。単結晶インゴット４０を基準ガイドロ
ーラ３，３の上に載置し、オリフラ又はノッチの位置を
あわせる。ロータリーエンコーダ４を" ０”にリセッ
トし、基準ガイドローラ３，３を回転させ、上記したθ
₁ の補正量にロータリーエンコーダ４の読値をあわせ
る。当て板接着機構５に当て板４１をセットし、接着
剤を塗布し、当て板４１を単結晶インゴット４０に接着
する。

【００９４】また、上記装置２を用いて次の〜の手
順により上記したｘ°，ｙ°を測定し、θ₁ ，θ₂ を算
出することができる。単結晶インゴットを基準ガイド
ローラ３，３に載置し、オリフラ又はノッチの位置をあ
わせる。ロータリーエンコーダ４を" ０”にリセット
し、９０°単位でのＸ軸及びＹ軸方向の傾きの角度デー
タを取り込む。Ｘ軸及びＹ軸方向の傾きの測定データ
を演算器に入力し、最大傾斜方向と傾斜角の方位修正デ
ータを得る。この修正最大傾斜方向がθ₁ （オリフラ又
はノッチを起点とする回転角度）であり、修正傾斜角が
θ₂ （単結晶インゴットの中心軸の水平方向回転角度）
である。

【００９５】以下に本発明において好適に使用されるワ
ーク取付け治具の一例を添付図面中、図１１及び図１２
に基づいて説明する。図１１はワーク取付け治具の断面
図及び図１２は図１１の側面図である。

【００９６】図中、５０はワーク取付け治具で、ワーク
プレート５２に取りつけられている。該ワークプレート
５２の幅方向の両端部には、貫通孔５４が穿設されてい
る。該貫通孔５４はその中央部に支持段部５５を有し、
その下部が径小孔５６及び上部が径大孔５７とされてい
る。該貫通孔５４には、外周面に雄ネジを形成した締付
ボルト５８がその先端部を該ワークプレート５２の下面
から下方に突出させた状態で回転可能に挿通されてい
る。

【００９７】６０は側面Ｌ字状のクランプ爪で、垂直方
向に立設する主体部６２と該主体部６２の下端から側方
に突出する締付部６４とからなり、該主体部６２の上面
には雌ネジを切ったネジ孔６６が開穿されている。該ネ
ジ孔６６には該締付ボルト５８の先端部が螺動可能に螺
合され、該締付ボルト５８を回転させることによって該
クランプ爪６０が上下するようになっている。

【００９８】該クランプ爪６０は、図示したごとく、そ
の一対がワークプレート５２の幅方向の両端部に互いに
相対向して設置され、この一対のクランプ爪６０，６０
によってクランプ手段が構成されている。このクランプ
手段は、該ワークプレート５２の長手方向にわたって複
数個設置され、後述する当て板６８の全長にわたって均
一に把持する作用を行う。

【００９９】６８は当て板で、長方形板状の幅広係止部
７０と該幅広係止部７０の下面中央部に設けられた幅狭
接合部７２とを有している。該幅狭接合部７２の下面に
は単結晶インゴット４０の外周形状に合わせてアールが
形成され、単結晶インゴット４０が接着剤Ｃによって接
着可能とされている。該当て板６８は特有の形状を有し
ており、従来の当て板の材料であるガラス材料やカーボ
ン材料では成型が困難であり、ガラス繊維＋エポキシ樹
脂、カーボン繊維＋エポキシ樹脂等のＦＲＰや成型が容
易なプラスチック材料、例えばポリアセタール、ポリカ
ーボネート、ポリイミド等の耐熱性及び機械的安定性に
優れた合成樹脂によって形成するのが好適である。

【０１００】該当て板６８の幅広係止部７０をワークプ
レート５２の下面とクランプ爪６０の締付部６４の上面
との間に挿入し、前記した締付ボルト５８を締付けるこ
とによって該クランプ爪６０が上昇し、該幅広係止部７
０は該ワークプレート５２と締付部６４の間に締付け固
定される。

【０１０１】該締付ボルト５８を緩めることによって該
クランプ爪６０は下降し、該締付部６４による当て板６
８の幅広係止部７０の締付は解除され、該当て板６８を
取外すことが可能となる。

【０１０２】該当て板６８の幅広係止部７０とクランプ
爪６０の主体部６２との間に第１クリアランス部７４，
７４が形成され、また、該当て板６８の幅狭接合部７２
とクランプ爪６０の締付部６４との間に第２クリアラン
ス部７６，７６が形成されるように各部材の寸法が調整
されている。

【０１０３】これらのクリアランス部７４，７６が存在
することによってワークプレート５２に対し当て板６８
及び単結晶インゴット４０を所望の角度だけひねること
ができ、したがって、単結晶インゴット４０の長手方向
の方位の修正を簡単に行なうことができるという利点が
ある。これらのクリアランス部７６，７６の幅は、ワー
クの寸法等に応じて変動させるが５〜１０ｍｍ程度あれ
ば充分である。

【０１０４】このように単結晶インゴット４０の長手方
向の方位の修正が簡単に行なえるようになると、従来方
法では不可能とされていた長手方向に複数個の単結晶イ
ンゴット４０を直線状に配列してワイヤーソー装置によ
って一挙に切断を行なうことが可能となる。なぜなら
ば、直線状に配設した複数個の単結晶インゴット４０の
方向をそれぞれ別々に微調整することが可能であるから
である。

【０１０５】上記した単結晶インゴット４０に当て板６
８を接着した構造体を該クランプ爪６０によって該ワー
クプレート５２に取付け固定する方法としては、作業者
が手動によって行なえばよいが、その他に取付け操作を
ワーク取付け装置を用いて自動的に行なうこともでき
る。

【０１０６】以下に、上記したワーク取付け治具を適用
したワーク取付け装置の一つの実施の形態について図１
３及び図１４に基づいて説明する。図１３はワーク取付
け装置の正面図及び図１４はワーク取付け装置の側面図
である。

【０１０７】図１３及び図１４において、８０はワーク
取付け装置Ａを構成するワーク支持台である。該ワーク
支持台８０は、床Ｆ上に設置される基台８２を有してい
る。該基台８２上には支持ブロック８４が設けられてい
る。

【０１０８】該支持ブロック８４の上面にはＶ字溝８６
が形成され、該Ｖ字溝８６を介して単結晶インゴット４
０を支持する。該基台８２にはパルスモータ８８が設け
られ、該パルスモータ８８の駆動により該支持ブロック
８４及び単結晶インゴット４０の水平方向の回動又はひ
ねりを行なうことができる。該単結晶インゴット４０に
は当て板６８が接着される。

【０１０９】９０はワークプレート５２を懸垂状態で保
持する逆Ｌ字状のワークプレートハンガーで、直立状の
ハンガー本体９２及び該ハンガー本体９２の上端から側
方に延長するアーム部材９４とから構成されている。

【０１１０】９６は床Ｆ上に該基台８２に並設されたガ
イドレールである。該ガイドレール９６には、該ハンガ
ー本体９２の下面に設けられたガイド溝９８を介して該
ワークプレートハンガー９０が摺動自在に取りつけられ
ている。

【０１１１】該基台８２と該ガイドレール９６との設置
位置は、該ワークプレート５２の下面側に設けられた相
対向するクランプ爪６０の間に当て板７０が挿通可能な
ようになっている。Ｄは電動ドライバーで、前記締付ボ
ルト５８を回動することによって該クランプ爪６０の締
付け及び解除の操作を行なう。

【０１１２】上記の構成により、その作用を説明する。
所定位置に当て板６８を接着した単結晶インゴット４０
を支持ブロック８４上に載置し、パルスモータ８８を駆
動してワーク４０の長手方向の方位の修正を行なう。こ
の方位置修正は、当て板６８がクランプ爪６０によって
締付け固定されるまでは随時行なうことができる。

【０１１３】ついで、ワークプレート５２のクランプ爪
６０を下降せしめ開いた状態として、該ワークプレート
ハンガー９０を該ガイドレール９６に沿って移動せし
め、該当て板６８が対向するワークプレート５２のクラ
ンプ爪６０間に位置した状態とする。

【０１１４】この状態で、電動ドライバーＤを用いて締
付ボルト５８を回動して該クランプ爪６０を上昇せしめ
て該当て板６８をクランプ爪６０によって締めつけ固定
する。このようにすれば、当て板６８と単結晶インゴッ
ト４０との構造体はワークプレート５２にクランプ爪６
０によって強固に固定された状態となる。このように一
体化したワークプレート５２、当て板６８及び単結晶イ
ンゴット４０をワイヤーソー装置の切断位置に移動し
て、従来と同様にワイヤーソー装置による単結晶インゴ
ット４０の切断作業を行なうことができる。

【０１１５】また、ワークプレート５２、当て板６８及
び単結晶インゴット４０の一体化構造体を複数個形成
し、それぞれ直線状に配列し、また必要に応じ各単結晶
インゴット４０の方位修正を行ない、ワイヤーソー装置
による切断位置において、これらの複数個のワーク４０
の切断作業を一挙に行なうことも可能である。

【０１１６】図１５は本発明方法を実施するための各装
置の配置を示す概略説明図である。図１５において、Ｍ
はワークストッカーで、単結晶インゴット４０を収納す
る。Ｎは、Ｘ線測定及び当て板貼付け装置、Ａは前述し
たワーク取付け装置、Ｐは位置決め位置再確認用Ｘ線測
定機及びＱはワーク取出部である。Ｘ線測定及び当て板
貼付け装置Ｎは、前記したＸ線方位測定装置２と同様の
構成を有している。

【０１１７】Ｘ線測定及び当て板貼付け装置Ｎは、不図
示のワークトレイ上から単結晶インゴット４０を取出
し、Ｘ線による方位測定を行ない、円周方向の位置決め
を行ない、当て板の貼付け位置を真上に向けるようにし
て当て板を貼付ける装置である。

【０１１８】ワーク取付け装置Ａは、前述したごとく、
当て板の貼付けてある単結晶インゴット４０をワークト
レイ上から取出し、単結晶インゴットの軸方向の位置決
めを行なって複数の単結晶インゴットをワークプレート
に取付ける装置である。

【０１１９】位置決め位置再確認用Ｘ線測定機Ｐは、上
記した単結晶インゴット４０の軸方向の位置決めが正確
に行なわれたか否かを再確認するために使用される。こ
の再確認の動作は、上記した位置決めが定常的に正確に
行なわれるようになれば不要となり、省略可能な工程で
ある。単結晶インゴットの端面によって方位測定を行な
うので、複数の単結晶インゴットを直線状に並べた場合
には、両端の２本だけの確認を行なうことになる。

【０１２０】ワーク取出部Ｑは、トレイ上の単結晶イン
ゴット４０をワイヤーソー装置に搬送するための専用台
車に乗せるためのリフターを有している。

【０１２１】なお、ＶはワークストッカーＭとＸ線測定
及び当て板貼付け装置Ｎ間の単結晶インゴットの搬送を
行なう出入コンベア、ＹはワークストッカーＭから単結
晶インゴットをワーク取付け装置Ａに取出すための取出
しコンベア、及びＺはワーク取出部Ｑからトレイをワー
クストッカーＭに収納するトレイ収納コンベアである。

【０１２２】続いて、本発明方法の工程を説明する。図
１６は、本発明方法の工程の一例（単結晶インゴットが
２本の場合）を示すフローチャートである。

【０１２３】図１６において、ワークストッカーＭから
単結晶インゴット４０を受取り（１００）、Ｘ線測定及
び当て板貼付け装置Ｎにおいて、まず、単結晶インゴッ
トの方位測定が行なわれる（１０２）。これにより、単
結晶インゴットの円周方向の位置決め（１０４）が行な
われ、当て板６８の貼付け位置を真上に向ける。

【０１２４】この当て板の貼付け位置に当て板６８を接
着剤Ｃによって貼付ける（１０６）。ついで、該接着剤
Ｃを所定時間の放置によって硬化させる（１０８）。

【０１２５】この当て板６８を貼付けた単結晶インゴッ
ト４０は、一旦ワークストッカーＭに戻され、次に、ワ
ーク取付け装置Ａにおいて、単結晶インゴットの軸方向
位置決めが行なわれる（１１０）。この軸方向の位置決
めが行なわれた単結晶インゴットは、ワークプレート５
２に取付け固定される（１１２）。

【０１２６】単結晶インゴット４０を一本だけワークプ
レート５２に取付けてワイヤーソー装置による切断を行
なう場合は、このまま次の位置決め位置確認用Ｘ線装置
Ｐによって軸方向の位置決めが正確に行なわれたかどう
かの確認が行なわれる（１１６）。位置決めが正確であ
れば、ワイヤーソー装置へ搬送される（１１８）。しか
し、位置決めが不正確な場合には、軸方向位置決め工程
（１１０）に戻されて再度の位置決めが行なわれ、正確
な位置決めが行なわれるまで繰り返される。

【０１２７】２本の単結晶インゴットをワークプレート
に取付ける場合には（図１３の例）、１本目の単結晶イ
ンゴットの取付けが完了したら、２本目の単結晶インゴ
ットの受取り（１００）が行なわれ、同様に方位測定
（１０２）、円周方向位置決め（１０４）、当て板貼付
け（１０６）、接着剤硬化（１０８）、軸方向位置決め
（１１０）、ワークプレートクランプ（１１２）の各工
程が行なわれる。

【０１２８】その後、１本目及び２本目の単結晶インゴ
ットについて、位置決め位置の再確認（１１６）が行な
われる。位置決め位置が２本とも正確であれば、ワイヤ
ーソー装置へ搬送される（１１８）。しかし、位置決め
位置が不正確な場合には、２本ともその位置が正確にな
るまで繰り返し軸方向位置決めが繰り返される。

【０１２９】図１３の例では、単結晶インゴットを２本
ワークプレートに取付ける例を示したが、１本でもよ
く、３本以上でも同様に実施できることはいうまでもな
い。なお、３本以上の単結晶インゴットの場合には、上
記した位置決め位置の再確認工程（１１６）は、両端に
位置する２本の単結晶インゴットにのみ行なわれ、内側
の単結晶インゴットの位置決め位置の再確認は行なわれ
ないこととなる。

【０１３０】本発明の単結晶インゴットの方位設定方法
によって方位設定した単結晶インゴットをワイヤーソー
装置に取付けてその切断を行えば、ワイヤーソー装置に
よる単結晶インゴットの切断開始時に、単結晶インゴッ
トの切断面に対してワイヤーの走行面が平行となってい
るため、切断開始時の全てのワイヤーに単結晶インゴッ
トの切断面が同時に当たることができ、そのため、切断
圧力が均一となり、均一切断が達成され、またスライス
されたウェーハにソリが発生しない等の利点がある。

【０１３１】

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明の単結晶イン
ゴットの方位設定方法によれば、単結晶インゴットの方
位設定作業の簡略化を実現して労力の軽減並びに作業時
間の短縮を図り、方位設定作業の機械化、自動化及び生
産効率の向上を実現することができるという効果を達成
する。

【０１３２】本発明の単結晶インゴットの取付け方法に
よれば、単結晶インゴットの均一切断を実現することに
よりスライスされたウェーハにソリが発生しにくくなる
という効果を達成する。

【０１３３】本発明の単結晶インゴットの同時切断方法
によれば、複数本の単結晶インゴットを効率よく正確に
切断することができるという効果を達成する。

【図面の簡単な説明】

【図１】単結晶インゴットの中心軸と結晶面との関係を
示す説明図である。

【図２】単結晶インゴットの端面側から見たＸ軸とＹ軸
との関係を示す図面である。

【図３】単結晶インゴットの中心軸とＸ軸方向の傾きｘ
°とＹ軸方向の傾きｙ°との位置関係を示す図面であ
る。

【図４】単結晶インゴットの円周方向へθ₁ 分だけ回転
する場合の態様を示す説明図である。

【図５】単結晶インゴットの軸方向へθ₂ 分だけ回動す
る場合の態様を示す説明図である。

【図６】本発明の単結晶インゴットの方位設定方法の具
体例における単結晶インゴットの傾きの１例を示す説明
図である。

【図７】図６において方位設定のための計算上の結晶面
の法線の位置及び実際の結晶面の法線の位置を示す説明
図である。

【図８】単結晶インゴットを円周方向にθ₁ 回転させた
場合の態様を示す説明図である。

【図９】本発明方法により方位設定がおこなわれた単結
晶インゴットとワイヤーの関係を示す概略説明図であ
る。

【図１０】Ｘ線軸方位測定装置の側面説明図である。

【図１１】ワーク取付け治具の正面図である。

【図１２】同上の側面図である。

【図１３】ワーク取付け装置の正面図である。

【図１４】図１３の一部断面説明図である。

【図１５】本発明の単結晶インゴットの取付け方法を実
施するための各装置の配置を示す概略説明図である。

【図１６】本発明の単結晶インゴットの取付け方法の工
程の一例を示すフローチャートである。

【図１７】従来のワイヤーソー装置の全体斜視図であ
る。

【図１８】従来の単結晶インゴットの取付け方法の工程
の一例を示すフローチャートである。

【図１９】単結晶インゴットのＸ軸方向及びＹ軸方向に
ついての補正の態様を示す概略説明図である。

【図２０】従来方法により方位設定が行われた単結晶イ
ンゴットとワイヤーの関係を示す概略説明図である。

【符号の説明】

２ Ｘ線方位測定装置 ３ 基準ガイドローラ ４ ロータリーエンコーダ ５ 当て板接着機構 ６ オリフラ、ノッチ合わせ機構 ７ Ｘ線発光機 ８ Ｘ線受光機 １０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ 樹脂ローラ １２ ワイヤー １４ａ、１４ｂ、１４ｃ リング状溝 １６ 駆動モータ ２０、３０ 張力調節機構 ２２、３２ ワイヤー巻取りドラム ２４、３４ トルクモータ ４０ 単結晶インゴット ４１、６８、７０ 当て板 ４２、５２ ワークプレート ５０ ワーク取付け治具 ５４ 貫通孔 ５５ 支持段部 ５６ 径小孔 ５７ 径大孔 ５８ 締付ボルト ６０ クランプ爪 ６２ 主体部 ６４ 締付部 ６６ ネジ孔 ７０ 幅広係止部 ７２ 幅狭接合部 ７４ 第一クリアランス部 ７６ 第二クリアランス部 ８０ ワーク支持台 ８２ 基台 ８４ 支持ブロック ８６ Ｖ字溝 ８８ パルスモータ ９０ ワークプレートハンガー ９２ ハンガー本体 ９４ アーム部材 ９６ ガイドレール ９８ ガイド溝 Ａ ワーク取付け装置 Ｃ 接着剤 Ｆ 床 Ｄ 電動ドライバー Ｍ ワークストッカー Ｎ Ｘ線測定及び当て板貼付け装置 Ｐ 位置決め位置再確認用Ｘ線測定機 Ｑ ワーク取出部 Ｖ 出入コンベア Ｙ 取出しコンベア Ｚ トレイ収納コンベア

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
   面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
   びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
   測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
   求め、次いで設定角度量θ₁ 及びθ₂ を、式（１）： 【数１】 θ₁ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｔａｎｘ°）・・・・（１） 及び式（２）： 【数２】 θ₂ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₁ ）・・・・（２） を用いて算出し、該単結晶インゴットをその中心軸を中
   心にθ₁ 回動して円周方向の位置決めを行ない、さらに
   該単結晶インゴットをＸ軸方向にθ₂ 回動することによ
   り軸方向の位置決めを行なって単結晶インゴットの中心
   軸を基準とした基準線と結晶面の法線とを一致させるよ
   うに方位設定することを特徴とする単結晶インゴットの
   方位設定方法。
2. 【請求項２】 単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
   面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
   びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
   測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
   求め、次いで設定角度量θ₃ 及びθ₄ を、式（３）： 【数３】 θ₃ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎｙ°／ｔａｎ（ｘ°＋α°）｝・・・・（３） 及び式（４）： 【数４】 θ₄ ＝ｔａｎ^-1（ｔａｎｙ°／ｓｉｎθ₃ ）・・・・・・・・・（４） 〔式（３）において、α°は単結晶インゴットの中心軸
   を基準とした基準線に対して設定されるべき結晶面の法
   線のＸ軸方向への傾きである。〕を用いて算出し、該単
   結晶インゴットをその中心軸を中心にθ₃ 回動して円周
   方向の位置決めを行ない、さらに該単結晶インゴットを
   Ｘ軸方向にθ₄ 回動することにより軸方向の位置決めを
   行なって単結晶インゴットの中心軸を基準とした基準線
   に対して結晶面の法線がＸ軸方向にα°の傾きを有する
   ように方位設定することを特徴とする単結晶インゴット
   の方位設定方法。
3. 【請求項３】 単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
   面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
   びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
   測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
   求め、次いで設定角度量θ₅ 及びθ₆ を、式（５）： 【数５】 θ₅ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｔａｎｘ°｝・・・・（５） 及び式（６）： 【数６】 θ₆ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｓｉｎθ₅ ｝・・・・（６） 〔式（５）及び式（６）において、β°は単結晶インゴ
   ットの中心軸を基準とした基準線に対して設定されるべ
   き結晶面の法線のＹ軸方向への傾きである。〕を用いて
   算出し、該単結晶インゴットをその中心軸を中心にθ₅
   回動して円周方向の位置決めを行ない、さらに該単結晶
   インゴットをＸ軸方向にθ₆ 回動することにより軸方向
   の位置決めを行なって単結晶インゴットの中心軸を基準
   とした基準線と結晶面の法線がＹ軸方向にβ°の傾きを
   有するように方位設定することを特徴とする単結晶イン
   ゴットの方位設定方法。
4. 【請求項４】 単結晶インゴットの中心軸に対する結晶
   面の法線の傾きを、該中心軸に直交するＸ軸の軸方向並
   びに該中心軸及びＸ軸に直交するＹ軸の軸方向について
   測定し、Ｘ軸方向の傾きｘ°及びＹ軸方向の傾きｙ°を
   求め、次いで設定角度量θ₇ 及びθ₈ を、式（７）： 【数７】 θ₇ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｔａｎ（ｘ°＋α°）｝・・（７） 及び式（８）： 【数８】 θ₈ ＝ｔａｎ^-1｛ｔａｎ（ｙ°＋β°）／ｓｉｎθ₇ ｝・・・・・・・（８） 〔式（７）及び式（８）において、α°は単結晶インゴ
   ットの中心軸を基準とした基準線に対して設定されるべ
   き結晶面の法線のＸ軸方向への傾きであり、β°は単結
   晶インゴットの中心軸を基準とした基準線に対して設定
   されるべき結晶面の法線のＹ軸方向への傾きである。〕
   を用いて算出し、該単結晶インゴットをその中心軸を中
   心にθ₇ 回動して円周方向の位置決めを行ない、さらに
   該単結晶インゴットをＸ軸方向にθ₈ 回動することによ
   り軸方向の位置決めを行なって単結晶インゴットの中心
   軸を基準とした基準線と結晶面の法線がＸ軸方向にα°
   及びＹ軸方向にβ°の傾きを有するように方位設定する
   ことを特徴とする単結晶インゴットの方位設定方法。
5. 【請求項５】 当て板を介してワークプレートに固定さ
   れた単結晶インゴットを切断するワイヤーソー装置にお
   いて用いられる単結晶インゴットの取付け方法であり、
   当て板の貼付け位置を決めるための単結晶インゴットの
   円周方向の位置決め工程と、該単結晶インゴットの所定
   位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、該接着
   剤を硬化する工程と、単結晶インゴットの軸方向の位置
   決め工程と、該軸方向位置決めを行なった単結晶インゴ
   ットをワークプレートに固定する工程とからなり、上記
   円周方向の位置決め及び軸方向の位置決めを請求項１〜
   ４のいずれか１項記載の方法により行なうことを特徴と
   する単結晶インゴットの取付け方法。
6. 【請求項６】 前記軸方向位置決めを行なった後、ワー
   クプレートに固定された単結晶インゴットの軸方向位置
   決め位置を再確認する工程をさらに有することを特徴と
   する請求項５記載の単結晶インゴットの取付け方法。
7. 【請求項７】 当て板を介してワークプレートに固定さ
   れた単結晶インゴットを切断するワイヤーソー装置にお
   いて用いられる複数本の単結晶インゴットの取付け方法
   であり、当て板の貼付け位置を決めるための単結晶イン
   ゴットの円周方向の位置決め工程と、該単結晶インゴッ
   トの所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程
   と、該接着剤を硬化する工程と、単結晶インゴットの軸
   方向の位置決め工程と、該軸方向位置決めを行なった単
   結晶インゴットをワークプレートに固定する工程とから
   なる１本目の単結晶インゴット取付けプロセスと；該１
   本目の単結晶インゴット取付けプロセスと同様の工程か
   らなる２本目以降の単結晶インゴット取付けプロセス
   と；を有し、上記円周方向の位置決め及び軸方向の位置
   決めを請求項１〜４のいずれか１項記載の方法により行
   なうことを特徴とする単結晶インゴットの取付け方法。
8. 【請求項８】 前記軸方向位置決めを行なった後、ワー
   クプレートに固定された長手方向の両端部に位置する単
   結晶インゴットの軸方向位置決め位置を再確認する工程
   をさらに有することを特徴とする請求項７記載の単結晶
   インゴットの取付け方法。
9. 【請求項９】 単結晶インゴットの軸方向位置決め位置
   の再確認を、一個のＸ線方位測定機を用い、一直線状に
   配置された複数本の単結晶インゴットを１８０°反転さ
   せることによって、長手方向の両端部に位置する２本の
   単結晶インゴットの端面を測定することによって行なう
   ことを特徴とする請求項８記載の単結晶インゴットの取
   付け方法。
10. 【請求項１０】 前記単結晶インゴットが２本であるこ
    とを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項記載の単結
    晶インゴットの取付け方法。
11. 【請求項１１】 前記ワークプレートにクランプ手段を
    設け、該クランプ手段によって前記当て板を該ワークプ
    レートに取りつけることにより、前記単結晶インゴット
    を該ワークプレートに固定するようにしたことを特徴と
    する請求項５〜１０のいずれか１項記載の単結晶インゴ
    ットの取付け方法。
12. 【請求項１２】 請求項７〜１１の方法によって直線状
    に配置固定された複数本の単結晶インゴットをワイヤー
    ソー装置によって同時に切断するようにしたことを特徴
    とする単結晶インゴットの同時切断方法。