KR101564627B1

KR101564627B1 - 와이어소 가공상태 감시장치 및 그것이 설치된 와이어소

Info

Publication number: KR101564627B1
Application number: KR1020140149226A
Authority: KR
Inventors: 김성렬; 김철민; 황경환; 김노원; 허수미; 정우창
Original assignee: 한국생산기술연구원
Priority date: 2014-10-30
Filing date: 2014-10-30
Publication date: 2015-11-02
Also published as: WO2016068526A1

Abstract

본 발명의 목적은 음향감지센서(AE센서)와 더불어 하중측정센서를 와이어소에 설치함으로써 잉곳의 가공중 발생하는 이상상태를 보다 효과적으로 감시할 수 있는 구조의 와이어소 가공상태 감시장치 및 그것이 설치된 와이어소를 제공하는 것이다. 이에 따라 본 발명은, 잉곳이 하부에 부착되는 잉곳지그에 결합되어, 잉곳의 가공상태를 감시하기 위한 와이어소 가공상태 감시장치에 있어서, 상기 잉곳지그의 상부에 결합되거나 상기 잉곳지그와 일체로 형성되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트와 설정간격을 두고 상기 하부플레이트의 상측에 위치하는 상부플레이트와, 상기 하부플레이트에 설치되어 음향을 감지하는 음향감지센서와, 상기 하부플레이트 또는 상기 상부플레이트에 설치되어 상기 잉곳의 가공중 상기 하부플레이트가 전달받는 하중을 3축방향에서 감지하는 3축 하중측정센서와, 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트와 상기 설정간격을 유지하고 외력에 의해 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 상기 하부플레이트와 상기 상부플레이트를 서로 체결하는 체결수단과, 상기 음향감지센서와 상기 3축 하중측정센서의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하는 컨트롤러, 및 상기 컨트롤러의 판단결과에 따라 가공상태를 표시하는 표시수단을 포함하며, 상기 잉곳이 그 하측에 위치하는 와이어에 절입시, 상기 하부플레이트를 상기 상부플레이트로 접근시키려는 하중을 받아 상기 3축 하중측정센서의 감지부에 상측방향의 예압을 가하게 되는 것을 특징으로 한다.

Description

와이어소 가공상태 감시장치 및 그것이 설치된 와이어소{MONITORING APPARATUS FOR ANOMALY STATE OF WIRE SAW AND WIRE SAW WITH THE SAME}

본 발명은 음향감지센서 및 3축 하중측정센서를 이용하여 가공상태를 감시하고 이상상태의 종류를 판별함으로써 작업자의 신속한 대처가 가능하도록 하는 감시장치에 관한 것으로서, 특히 와이어소의 가공 중 이상상태를 감지하기에 적합한 감시장치이다.

와이어소는 메인롤러 사이에 복수의 와이어열을 배치하고 주행하는 와이어에 잉곳을 절입함으로써 한번에 많은 수의 웨이퍼를 생산하는 가공장치이다.

와이어소에 의해 이루어지는 가공 중에 와이어단선, 잉곳손상 등과 같은 이상상태가 발생할 수 있고, 그러한 이상상태에서 가공이 이루어지면 고가의 잉곳소재를 낭비하게 되고, 와이어 등 장비에도 치명적 손상을 입히게 된다.

따라서, 이상상태를 조기에 감지하고 작동을 정지시키거나 별도 조치를 취함으로써 잉곳 및 장비의 손상을 방지하고 작업을 효율적으로 진행시킬 수 있다.

도 1은 한국공개특허 제10-2011-0118969호에 기재된 것으로서, 와이어소와 같이 취성재료를 가공하는 장치에서 가공상태를 감시하기 위한 장치가 개시되어 있다.

도 1을 참조하면, 취성재료 척킹지그에 장착되는 AE센서(1), 그 AE센서에 의한 감지값을 변환하는 신호처리장치(2)와, 그 변환된 감지값에 의한 가공상태를 표준가공상태와 함께 출력하는 감시수단(3)을 포함한다. 이에 따라, 취성재료의 가공상태를 실시간으로 감시할 수 있다.

그러나, AE센서(1)에 의한 감지값은 취성재료의 가공 중 그 가공의 이상상태 발생 뿐 아니라, 외부 진동의 전달에 의해서도 그 감지값에 큰 영향을 받게 되고, AE센서가 감지한 감지값만으로는 가공 중 발생한 이상상태의 종류에 대하여 정확히 판별하기 어려운 문제가 있다.

한편, 도 2는 한국특허등록공고 특1995-0011754호에 기재된 것으로서, 피삭재료(9)를 가공하는 공구(8)에 부착되어 AE신호를 감지하는 AE센서(5)와, 공구(8)의 절삭력을 측정하는 공구동력계(6)에 의해 공구(8)의 상태를 감시하고, 공구파괴가 발생하면 작동정지명령을 내릴 수 있는 절삭상태 모니터링장치에 관한 것이다.

그러한 종래의 절삭상태 모니터링장치는 NC절삭시스템에 관한 것으로서, 선삭이 이루어지는 절삭장치에 적합한 구성이다.

그러나, 취성재료인 잉곳을 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어소의 경우에는 절단가공에 따른 하중의 발생방향이 선삭의 경우와 차이가 있고, 가공불량의 형태도 선삭을 위한 절삭장치와는 큰 차이가 있는 바, AE센서와 하중측정센서를 함께 사용하여 와이어소의 가공불량상태를 감시하기 위해서는 이상상태를 정확히 감시할 수 있도록 개선된 구조가 필요하다.

본 발명은 상기와 같은 관점에서 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 음향감지센서와 더불어 하중측정센서를 와이어소에 설치함으로써 잉곳의 가공중 발생하는 이상상태를 보다 효과적으로 감시할 수 있는 구조의 와이어소 가공상태 감시장치 및 그것이 설치된 와이어소를 제공하는 것이다.

이에 따라 본 발명은, 잉곳이 하부에 부착되는 잉곳지그에 결합되어, 잉곳의 가공상태를 감시하기 위한 와이어소 가공상태 감시장치에 있어서, 상기 잉곳지그의 상부에 결합되거나 상기 잉곳지그와 일체로 형성되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트와 설정간격을 두고 상기 하부플레이트의 상측에 위치하는 상부플레이트와, 상기 하부플레이트에 설치되어 음향을 감지하는 음향감지센서와, 상기 하부플레이트 또는 상기 상부플레이트에 설치되어 상기 잉곳의 가공중 상기 하부플레이트가 전달받는 하중을 상기 상부플레이트의 지지를 받아 3축방향에서 감지하는 3축 하중측정센서와, 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트와 상기 설정간격을 유지하고 외력에 의해 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 상기 하부플레이트와 상기 상부플레이트를 서로 체결하는 체결수단과, 상기 음향감지센서와 상기 3축 하중측정센서의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하는 컨트롤러, 및 상기 컨트롤러의 판단결과에 따라 가공상태를 표시하는 표시수단을 포함하며, 상기 잉곳이 그 하측에 위치하는 와이어에 절입시, 상기 하부플레이트를 상기 상부플레이트로 접근시키려는 하중을 받아 상기 3축 하중측정센서의 감지부에 상하방향의 예압을 가하게 되는 것을 특징으로 한다.

다른 관점에서 본 발명은 잉곳을 다수의 디스크형태로 절단하기 위해 다수의 열이 형성되어 주행하는 와이어와, 상기 와이어에 절입될 잉곳이 하면에 부착된 잉곳지그와, 상기 잉곳지그의 상부에 결합되는 가공상태감시장치를 포함하는 와이어소에 있어서, 상기 가공상태감시장치는, 상기 잉곳지그의 상부에 결합되거나 상기 잉곳지그와 일체로 형성되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트와 설정간격을 두고 상기 하부플레이트의 상측에 위치하는 상부플레이트와, 상기 하부플레이트에 설치되어 음향을 감지하는 음향감지센서와, 상기 하부플레이트 또는 상기 상부플레이트에 설치되어 상기 잉곳의 가공 중 상기 하부플레이트가 전달받는 하중을 상기 상부플레이트의 지지를 받아 3축방향에서 감지하는 3축 하중측정센서와, 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트와 상기 설정간격을 유지하고 외력에 의해 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 상기 하부플레이트와 상기 상부플레이트를 서로 체결하는 체결수단과, 상기 음향감지센서와 상기 3축 하중측정센서의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하는 컨트롤러, 및 상기 컨트롤러의 판단결과에 따라 가공상태를 표시하는 표시수단을 포함하되, 상기 잉곳이 그 하측에 위치하는 와이어에 절입시, 상기 하부플레이트를 상기 상부플레이트로 접근시키려는 하중을 받아 상기 3축 하중측정센서의 감지부에 상하방향의 예압을 가하게 되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 하부플레이트와 상기 상부플레이트의 사이에는 탄성체가 설치되어 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트로 접근시 상기 탄성체가 탄성압축되어 하중을 부담하는 것을 다른 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 체결수단은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서, 각 상기 체결수단은 봉형상으로 형성되어 상기 하부플레이트에 고정되고 상기 상부플레이트의 체결공에 삽입되며, 상단에 머리부가 형성되어 그 머리부가 상기 상부플레이트에 걸린 상태가 되고, 상기 체결공은 상기 봉형상의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트에 대하여 측방향으로 움직일 수 있는 것을 또 다른 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 체결수단은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서, 각 상기 체결수단은 봉형상으로 형성되어 상기 상부플레이트에 고정되고 상기 하부플레이트의 체결공에 삽입되며, 하단에 머리부가 형성되어 그 머리부가 상기 하부플레이트에 걸린 상태가 되고, 상기 체결공은 상기 봉형상의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 상기 하부플레이트가 상기 상부플레이트에 대하여 측방향으로 움직일 수 있는 것을 또 다른 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 3축은, 측방향 중 상기 잉곳이 절입되는 와이어의 주행방향이 X축이고 그 와이어의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며, 그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고, 상기 컨트롤러는 상기 음향감지센서에 의한 감지신호의 강도변화율이 설정시간동안 기준치 이하를 유지하고, 상기 3축 하중측정센서에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위를 벗어난 것으로 판단된 경우에는, 상기 표시수단이 기구부의 비틀림에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 또 다른 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 3축은, 측방향 중 상기 잉곳이 절입되는 와이어의 주행방향이 X축이고 그 와이어의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며, 그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고, 상기 컨트롤러는 상기 음향감지센서에 의한 감지신호의 강도변화율이 설정시간동안 기준치 이하를 유지하고, 상기 3축 하중측정센서에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내이며, 상기 3축 하중측정센서에서 측정한 z축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내인 것으로 판단된 경우에는, 상기 표시수단이 와이어 마모에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 또 다른 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 3축은, 측방향 중 상기 잉곳이 절입되는 와이어의 주행방향이 X축이고 그 와이어의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며, 그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고, 상기 컨트롤러는 상기 음향감지센서에 의한 감지신호의 강도변화율이 설정시간동안 기준치 이하를 유지하고, 상기 3축 하중측정센서에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내이며, 상기 3축 하중측정센서에서 측정한 z축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위를 벗어난 것으로 판단된 경우에는, 상기 표시수단이 와이어텐션 또는 z축 이송상태에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 또 다른 특징으로 한다.

본 발명은 음향감지센서(AE센서)와 더불어 하중측정센서(Force센서)를 함께 설치하여 그 측정값으로부터 잉곳절단가공 중의 이상상태를 판단하고 있으므로 가공중 발생하는 이상상태를 보다 효과적으로 정확히 판별하고 감시할 수 있다.

특히, 본 발명은 잉곳이 와이어에 절입되는 과정에서 와이어에 의해 지지하중을 받아 하부플레이트와 상부플레이트 사이에서 하중을 측정하는 3축 하중측정센서가 예압을 받은 상태로 측정이 이루어지는 바, 가공중 발생하는 Z축방향(상하방향)의 하중을 상측방향(+)과 하측방향(-)에 대하여 모두 측정이 가능하여 정확한 감시가 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명은 상부플레이트와 하부플레이트 사이에 설치된 탄성체가, 와이어로 잉곳을 절입시키는 절입력 및 와이어의 지지력에 의해 하부플레이트에 전달되는 하중을 탄성압축에 의해 흡수함으로써, 3축 하중측정센서의 감지부가 Z축방향(상하방향)의 하중을 모두 부담하지 않도록 하여 그 3축 하중측정센서의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 체결수단이 상부플레이트 또는 하부플레이트의 체결공에 삽입되어 상부플레이트와 하부플레이트를 체결함에 있어서, 체결공과 유격을 형성하고 있다. 이는, 하부플레이트가 상부플레이트에 대하여 측방향으로 이동가능하게 구성하여 체결수단이 3축 하중측정센서의 측방향(X축 및 Y축방향)의 하중측정을 방해하지 않는 구조이므로, 그 측방향 하중변화에 대한 측정이 정확히 이루어질 수 있고, 이상상태에 대한 정확한 판단이 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명은 음향감지센서와 하중측정센서의 측정값을 바탕으로 와이어소의 가공중 발생하는 이상상태를 기구부의 비틀림, 와이어 마모, 와이어텐션 또는 z축 이송상태에 관한 경고 등으로 구체적으로 관리자에게 통지하고 있는 바, 관리자가 가공중 이상상황에 신속히 대처하고 적절한 조치를 취할 수 있게 한다.

도 1은 종래 AE센서를 이용하여 취성재료를 가공하는 장치에서 가공상태를 감시하기 위한 장치의 블록구성도
도 2는 종래 AE센서와 공구동력계에 의해 공구의 상태를 감시하는 절삭상태 모니터링장치의 구성설명도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 와이어소에 설치되는 가공상태 감시장치의 구성을 도시하는 분해사시도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 와이어소에 설치되는 가공상태 감시장치의 구성을 도시하는 단면구성도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 와이어소에 설치되는 가공상태 감시장치의 변형된 구성을 도시하는 단면구성도
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 와이어소에 설치되는 가공상태 감시장치에서 잉곳절단이 이루어지는 과정에서 하중이 발생하는 작용을 설명하는 설명도
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 와이어소에 설치되는 가공상태 감시장치에서 컨트롤러의 판단 및 제어과정을 설명하는 블록순서도
도 8의 (a) 및 (b)는 AE신호의 Hit 개수 및 Hit 설정시간폭을 산출하는 신호처리방식을 설명하는 설명도
도 9는 와이어 단선이 발생한 경우의 AE신호의 발생패턴을 도시하는 설명도
도 10의 (a) 및 (b)는 AE신호의 급격한 이벤트발생 상태와 연속적 레벨상승 상태를 나타내는 예시도
도 11은 와이어소의 가공과정 중 하중측정센서가 측정한 X축, Y축, Z축의 하중의 레벨패턴을 비교하기 위한 마스크앤리미트설정값의 범위에 대한 예시도

본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 보다 상세하게 설명한다.

도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소는, 잉곳(15)을 다수의 디스크형태로 절단하기 위해 다수의 열이 형성되어 주행하는 와이어(10)와, 상기 와이어(10)에 절입될 잉곳(15)이 하면에 부착되는 잉곳지그(20)와, 상기 잉곳지그(20)의 상부에 결합되는 가공상태감시장치를 포함한다.

상기 와이어(10)는 잉곳(15)을 절단하기 위해 지속적으로 주행하는 것으로서, 서로 나란히 배열되는 복수의 메인롤러 사이를 복수회 감아 돌도록 설치한다. 이에 따라 메일롤러 사이에서 서로 나란한 다수의 와이어 열이 형성되고, 그 와이어(10)에 잉곳(15)이 상측에서부터 절입됨으로써 잉곳(15)이 다수의 디스크형태로 절단될 수 있다.

상기 와이어(10)에 절입되는 잉곳(15)은 와이어(10)의 상측에 위치하는 잉곳지그(20)에 장착된다.

상기 잉곳지그(20)는 판상블록으로 형성되고 그 하면에 잉곳(15)이 부착되는 것으로서, 잉곳(15)은 왁스와 같은 접착제(21)에 의해 잉곳지그(20) 하면에 고정된 상태이다.

상기 잉곳(15)은 원주형상, 사각기둥형상 또는 본 실시예의 도면에 도시된 바와 같은 팔각기둥형상이 될 수 있다.

상기 가공상태감시장치는 잉곳지그(20)의 상부에 결합되는 것으로서, 와이어(10)가 잉곳(15)을 절단하는 가공으로 인해 발생하는 음향 및 하중을 잉곳지그(20)를 통해 전달받고, 전달받은 음향 및 하중으로부터 가공의 이상상태를 판별하는 장치이다.

상기 가공상태감시장치는 잉곳지그(20)의 상부에 결합되거나 잉곳지그(20)와 일체로 형성되는 하부플레이트(30)와, 상기 하부플레이트(30)와 설정간격을 두고 하부플레이트(30)의 상측에 위치하는 상부플레이트(40)와, 상기 하부플레이트(30)에 설치되어 음향을 감지하는 음향감지센서(51)와, 상기 하부플레이트(30) 또는 상부플레이트(40)에 설치되어 잉곳(15)의 가공 중 하부플레이트(30)가 전달받는 하중을 상기 상부플레이트(40)의 지지를 받아 3축방향에서 감지하는 3축 하중측정센서(55)와, 상기 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)와 설정간격을 유지하고 외력에 의해 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 하부플레이트(30)와 상부플레이트(40)를 서로 체결하는 체결수단(61)과, 상기 음향감지센서(51)와 3축 하중측정센서(55)의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하는 컨트롤러(70), 및 그 컨트롤러(70)의 판단결과에 따라 가공상태를 표시하는 표시수단(75)을 포함한다.

상기 하부플레이트(30)는 판상블록으로 형성되어 그 하면에 잉곳지그(20)가 결합됨으로써 잉곳지그(20)로부터 음향 및 하중을 전달받는다. 음향의 전달이 보다 원활할 수 있도록 하부플레이트(30)의 하면에 잉곳지그(20)의 상부가 밀착된 상태로 고정되는 것이 바람직하고, 잉곳지그(20)와 하부플레이트(30)를 일체로 하여 잉곳지그(20)를 하부플레이트(30)로 사용하는 것도 가능하다.

상기 상부플레이트(40)는 하부플레이트(30)와 설정간격을 두고 하부플레이트(30)의 상측에 위치하는 것으로서, 상부플레이트(40)도 판상블록의 형태로 형성되고, 와이어소의 프레임에 의해 그 위치가 지지된다.

상부플레이트(40)에는 체결수단(61)에 의해 하부플레이트(30)가 하측에서 설정간격을 유지하면서 걸린 상태로 설치된다.

상기 체결수단(61)은 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)와 상기 설정간격을 유지하고 외력에 의해 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 하부플레이트(30)와 상부플레이트(40)를 서로 체결하는 것이다.

보다 상세하게는 상기 체결수단(61)은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서, 각 체결수단(61)은 봉형상으로 형성되어 하부플레이트(30)에 고정되고 상부플레이트(40)의 체결공(46)에 삽입된다.

이를 위해 하부플레이트(30)는 체결수단(61)이 고정될 수 있도록 고정나선공(36)이 형성되고, 상부플레이트(40)는 그 고정나선공(36)에 대응하는 위치에 체결공(46)이 형성됨으로써 체결수단(61)이 상부플레이트(40)의 체결공(46)을 통과하여 하부플레이트(30)의 고정나선공(36)에 나선결합된다.

또한, 체결수단(61)에는 상단에 머리부(61a)가 형성되어 그 머리부(61a)가 상기 상부플레이트(40)에 걸린 상태가 된다. 즉, 상부플레이트(40)의 체결공(46)은 상기 머리부(61a)가 걸림되도록 상부가 더 큰 직경으로 머리부수용부(46a)가 형성되어 머리부(61a)가 체결공(46)에 빠지지 않고 걸림될 수 있다.

또한, 상기 체결공(46)은 봉형상인 체결수단(61)의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 체결수단(61)이 좌우로 유격(b)을 가지도록 함으로써, 체결수단(61)이 상부플레이트(40)에 걸린 상태에서 하부플레이트(30)에 결합되면 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)에 대하여 측방향(X축 및 Y축방향)으로 상기 유격(b)의 범위에서 움직일 수 있도록 한다.

이는 하부플레이트(30)에 작용하는 측방향의 하중을 상기 체결수단(61)이 모두 담당하지 않도록 함으로써, 3축 하중측정센서(55)의 감지부(55a)에 측방향의 하중이 전달되어 3축 하중측정센서(55)가 X축 또는 Y축인 측방향으로 작용하는 하중을 측정할 수 있도록 하기 위함이다.

전술한 구성은 체결수단(61)에 의해 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)에 매달려 있으면서도, 하부플레이트(30)가 외력에 의해 상측 및 좌우측 방향으로 모두 움직일 수 있는 유격을 가지는 구성이다.

상기 체결수단(61)과 관련한 구성은 그 체결수단(61)이 상부플레이트(40)에 고정되는 것으로 변경하는 것도 가능하다.

즉, 도 5를 참고하면, 상기 체결수단(61)이 다수의 위치에 각각 설치되되, 각 체결수단(61)은 봉형상으로 형성되어 상부플레이트(40′)에 고정되고 하부플레이트(30′)의 체결공(36)에 삽입되며, 체결수단(61)의 하단에는 머리부(61a)가 형성되어 그 머리부(61a)가 상기 하부플레이트(30)에 걸린 상태가 되도록 설치한다. 또한, 상기 체결공(36)은 봉형상인 체결수단(61)의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)에 대하여 측방향으로 움직일 수 있도록 구성하는 것이다.

한편, 도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 하부플레이트(30)와 상부플레이트(40) 사이에는 탄성체인 탄성패드(80)가 설치된다.

즉, 상기 하부플레이트(30)와 상부플레이트(40) 사이에 발생한 설정간격을 상기 탄성패드(80)가 채우도록 하여 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)로 접근시 탄성패드(80)가 탄성압축되어 하중을 부담하도록 하는 것이 바람직하다.

즉, 잉곳(15)의 절입력을 지지하는 와이어(10)의 지지력에 의해 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)에 가하는 하중은 상당히 큰 하중이 작용할 수 있고, 잉곳(15)을 절입하는 이송장치 등의 이상으로 상하방향(Z축방향)으로 과도한 하중이 발생될 수 있다. 이에 따라, 그 하중을 3축 하중측정센서(55)의 감지부(55a)가 담당하게 되어 3축 하중측정센서(55)가 손상될 수 있는 바, 탄성압축되는 탄성패드(80)가 그 하중을 부담하여 3축 하중측정센서(55)에는 일부 하중만이 전달되게 함으로써 3축 하중측정센서(55)를 보호하기 위함이다.

한편, 상기 음향감지센서(AE센서)(51)는 가공에 의해 발생하는 음향방출(Acoustic emission)신호를 감지하는 센서로서, 하부플레이트(30)에 설치되어 잉곳(15)의 절단과정 중 잉곳지그(20) 및 하부플레이트(30)를 통해 전달되는 음향을 감지하고 있다.

상기 음향감지센서(51)는 도 3에서 도시된 바와 같이, 복수의 위치, 보다 바람직하게는 하부플레이트(30)의 중심을 중심으로 하여, 정삼각형을 이루는 3개의 위치에서 하부플레이트(30)에 매입설치되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 3축 하중측정센서(Force센서)(55)는 하부플레이트(30)에 매입설치되고 그 센서의 상부에 형성된 감지부(55a)가 상부플레이트(40)에 접촉한 상태로 설치됨으로써 잉곳(15)의 가공 중 하부플레이트(30)가 전달받는 하중을 3축방향에서 감지하고 있다. 실질적으로, 하부플레이트(30)가 3축 하중측정센서(55)를 상부플레이트(40)로 미는 하중을 3축 하중측정센서(55)가 측정하는 것이므로, 상부플레이트(40)의 지지를 받아 3축 하중측정센서(55)의 측정이 이루어지는 것이라 할 수 있고, X축 및 Y축에 대한 측정도 고정된 상태의 상부플레이트(40)가 3축 하중측정센서(55)를 측방향에서 지지해 줄 수 있기 때문에 측정이 가능한 것이라 할 수 있다.

본 실시예에서 상기 3축은 측방향 중 잉곳(15)이 절입되는 와이어(10)의 주행방향이 X축이고 그 와이어(10)의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며, 그 X축 및 Y축에 모두 직각인 방향이 Z축으로 설정된다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 잉곳(15)의 길이방향에 직각인 방향으로 와이어(10)가 주행하여 절단이 이루어지므로, 하측플레이트의 측방향 중 상기 잉곳(15)의 길이방향에 직각인 방향이 X축이고 상기 잉곳(15)의 길이방향이 Y축이 되며, 상하방향이 X축 및 Y축에 모두 직각이므로 Z축으로 설정된다.

상기 컨트롤러(70)는 음향감지센서(51)와 3축 하중측정센서(55)의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하고, 그 판단결과를 바탕으로 표시수단(75) 및 와이어소의 각 기기를 제어하는 부분이다.

표시수단(75)은 컨트롤러(70)의 제어신호를 받아 이상상태의 종류를 표시함으로써 관리자가 그 이상상태에 따른 조치를 취할 수 있도록 경고하고 있다.

상기 컨트롤러(70)가 음향감지센서(51)와 3축 하중측정센서(55)의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상을 판단하는 과정은 도 7에 도시되어 있고, 후술하기로 한다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소의 작용을 설명한다.

와이어소의 가공이 시작되면, 잉곳(15) 및 잉곳지그(20)와 그것에 결합된 하부플레이트(30) 및 상부플레이트(40)가 하강하여 잉곳(15)이 주행하는 와이어(10)에 절입된다.

잉곳(15)이 하측을 향해 설정속도로 와이어(10)에 절입되어 와이어(10)를 누르면, 잉곳(15)이 와이어(10)로부터 지지력을 받게 되는 바, 와이어(10)는 잉곳(15)과 잉곳지그(20) 및 그것이 결합된 하부플레이트(30)를 받치는 하중을 잉곳(15)에 상측방향으로 가하는 것이다.

그 하중은 정상가공상태에서 하부플레이트(30)를 상부플레이트(40)에 접근시키는 방향의 하중으로서, 탄성패드(80)를 압축시키고, 3축 하중측정센서(55)에 Z축 방향의 하중으로 측정된다.

이와 같은 작용은 체결수단(61)이 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)와 설정간격을 유지하도록 걸린 상태에서 외력에 의해 하부플레이트(30)가 상부플레이트(40)를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 서로 체결하고 있는 구조에 의해 가능하다.

또한, 탄성패드(80)가 와이어(10)로 잉곳(15)을 절입시키는 절입력 및 와이어(10)의 지지력에 의해 하부플레이트(30)에 전달되는 하중을 탄성압축에 의해 흡수함으로써 3축 하중측정센서(55)의 감지부(55a)가 모두 부담하지 않도록 하여 그 3축 하중측정센서(55)의 파손을 방지한다.

정상적인 가공이 진행되는 과정에서 그와 같은 Z축 방향의 하중이 3축 하중측정센서(55)의 감지부(55a)에 상측방향의 예압을 가하게 되고, 그 예압이 기준값으로 설정되어 Z축 방향의 하중의 증가 및 감소량이 모두 측정되고, 그 ±변화량이 모두 감시될 수 있다.

한편, 절단작업시 잉곳(15)과 와이어(10)의 마찰에 의해 와이어(10)가 주행하는 방향으로 잉곳(15)이 편향된 힘을 받게 되는 바, 와이어(10)가 주행하는 측방향, 즉 X축 방향으로 와이어(10)가 잉곳(15)에 전달하는 하중을 3축 하중측정센서(55)가 감지할 수 있다.

이는 상부플레이트(40)에 형성된 체결공(46)은 봉형상인 체결수단(61)의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 체결수단(61)이 좌우로 유격(b)을 가지고 있으므로 잉곳(15)과 결합된 하부플레이트(30)가 측방향의 하중을 받으면 상부플레이트(40)의 큰 간섭없이 3축 하중측정센서(55)가 측방향인 X축 방향의 하중을 측정할 수 있기 때문에 가능하다.

만일, 하부플레이트(30)가 측방향 중 X축에 직각인 Y축 방향으로 하중을 받더라도 전술한 이유로 3축 하중측정센서(55)가 Y축 방향에 대하여 하중을 측정할 수 있음은 물론이다.

한편, 하부플레이트(30)에 매입설치된 음향감지센서(51)(AE센서)는 와이어(10)가 잉곳(15)을 절단하는 과정에서 발생한 음향이 잉곳(15)과 잉곳지그(20)를 거쳐 하부플레이트(30)로 전달되므로 실시간으로 감지할 수 있다.

다음은 본 발명의 실시예에 따른 음향감지센서(51)(AE센서)에 의해 AE신호와, 3축 하중측정센서(Force센서)(55)에 의한 하중측정신호를 수신하는 컨트롤러(70)가, 와이어소의 가공작동시 발생하는 이상상태를 판별하고 제어하는 과정을 설명한다.

도 7을 참조하면, 먼저, 음향감지센서(51) 및 하중측정센서(55)로부터 측정된 AE신호(음향값) 및 Force신호(하중값)가 실시간으로 컨트롤러(70)로 전송된다.(S11 단계)

컨트롤러(70)는 AE신호를 RMS(Root Mean Square)로 변환하고(S12 단계), AE신호의 RMS값을 사전 설정된 기준값과 비교한다(S13 단계). 기준값보다 AE신호의 RMS값이 작으면 AE신호(음향값) 및 Force신호(하중값)를 획득하는 과정이 반복된다.

만일, AE신호의 RMS값이 기준값 이상이면, 그 측정시점 전후에서 설정시간동안의 AE신호 측정값을 획득하여 급격한 이벤트인지를 판단한다. (S15 단계)

급격한 이벤트인지의 여부는 설정시간동안의 AE신호 측정값에서 설정치 이상의 값이 일시적(설정시간 이하동안 발생후 소멸)으로 발생하는지 여부를 확인하여 알 수 있다. 또는, 감지신호의 강도변화율이 설정치 이상인 상태가 일시적으로 발생하는지 여부를 판단하여 확인할 수도 있다. 도 10을 참조하면, (a)와 같이 설정치(k) 이상의 AE신호 측정값이 일시적으로 발생 즉, 설정시간이하의 시간간격(T1,T2,T3)동안 발생하는 경우를 급격한 이벤트로 분류하고, (b)와 같이 설정치 이상의 값이 설정시간 이상의 시간(T4)동안 지속되는 경우는 급격한 이벤트로 분류할 수 없다.

만일, 급격한 이벤트인 경우, 피크(peak)신호가 나타나는 개수인 Hit개수가 Hit설정개수보다 작으면(S16-S17 단계), 가공상태이상에 대한 경고를 표시수단(75)에 표시하도록 하고(S18 단계), Hit개수가 Hit설정개수 이상이면, Hit폭이 설정시간폭보다 작은지를 판단한다.(S19 단계)

AE신호를 분석하여 Hit개수를 산출하는 처리방식은 도 8의 (a)에 예시되어 있고, Hit폭을 산출하는 처리방식은 도 8의 (b)에서 예시되어 있다.

그 판단결과 Hit폭(Hit Duration)이 Hit설정 시간폭보다 작으면, 표시수단(75)에 와이어(10) 또는 잉곳(15)의 이상에 대한 경고를 한다.(S20 단계)

만일, Hit폭이 Hit설정 시간폭 이상이면, 와이어(10)단선으로 표시수단(75)에 표시한 후, 와이어소 전체 장비의 작동을 정지시킨다.(S21 단계) 도 9는 와이어 단선인 경우의 AE신호를 도시하는 것으로서, Hit개수가 비교적 많이 나타나고, Hit폭(Hit Duration)(T)이 비교적 길게 나타나고 있음을 알 수 있다.

전술한 단계 중 급격한 이벤트인지 여부를 판단한 결과, 급격한 이벤트가 아닌 것으로 판단한 경우에는, 설정시간동안의 AE신호 측정값이 연속적 레벨상승인지 판단한다. (S31 단계)

만일, 설정시간동안의 AE신호 측정값이 급격한 이벤트가 아니고, 연속적 레벨상승도 아닌 경우에는 AE신호 및 Force신호를 획득하는 초기단계가 다시 반복시작된다.

연속적 레벨 상승은 설정시간동안 시간의 경과에 따라 AE신호 측정값의 계속적 상승이 나타나는지를 판단하는 것이고, 그 AE신호의 레벨패턴이 도 10의 (b)에 예시되어 있다.

만일, 설정시간동안의 AE신호 측정값이 연속적 레벨상승이면, Force신호의 X축 및 Y축의 레벨패턴을 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값과 비교한다.(S32 단계)

Force신호의 X축 및 Y축의 레벨패턴은 X축 및 Y축 각각에 대한 소정시간 측정되는 Force신호의 레벨이 변화하는 형태이고, 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값은 통상의 Mask&Limit 테스트법을 이용하여 X축 및 Y축 각각에 대해 Force신호의 패턴이 유지되어야 하는 경계영역을 사전에 설정한 것이다. 도 11에 와이어소의 X,Y,Z축에 대하여 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값을 설정(파란색 부분 이내로 설정)한 예를 도시하고 있다.

이에 따라, Force신호의 X축 및 Y축의 레벨패턴이 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값 이내에 있지 않으면(S33 단계), 와이어소의 절삭을 위한 기구부에서 X축 또는 Y축방향으로 과도한 힘을 받아 비틀림이 발생하고 있음을 표시수단(75)에 표시한다.(S34 단계)

만일, Force신호의 X축 및 Y축의 레벨패턴이 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값 이내에 있으며, Force신호의 Z축의 레벨패턴을 Z축에 관한 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값과 비교한다.(S41 단계)

만일, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내이며, Force신호의 Z축의 패턴이 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값 이내에 있으면(S42 단계), 관리자가 주의를 기울일 수 있도록 표시수단(75)을 통해 와이어마모상태에 대하여 경고한다.(S43 단계)

또한, Force신호의 Z축의 패턴이 마스크앤리미트(Mask&Limit) 설정값 이내에 있지 않으면, 와이어소의 절삭을 위한 기구부에서 Z축인 상하방향으로 과도한 힘을 받는 것을 의미하므로, 표시수단(75)을 통해 와이어텐션 또는 z축 이송상태에 이상이 있음을 경고한다.(S44 단계)

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 상기의 실시예는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 있는 일 실시예에 불과하며, 동업계의 통상의 기술자에 있어서는, 본 발명의 기술적인 사상 내에서 다른 변형된 실시가 가능함은 물론이다.

10; 와이어 15; 잉곳
20; 잉곳지그 21; 접착제
30; 하부플레이트 36; 고정나선공
40; 상부플레이트 46; 체결공
46a; 머리부수용부 51; 음향감지센서(AE센서)
55; 3축 하중측정센서(Force센서) 55a; 감지부
61; 체결수단 61a; 머리부
70; 컨트롤러 75; 표시수단
80; 탄성패드

Claims

잉곳(15)이 하부에 부착되는 잉곳지그(20)에 결합되어, 잉곳(15)의 가공상태를 감시하기 위한 와이어소 가공상태 감시장치에 있어서,
상기 잉곳지그(20)의 상부에 결합되거나 상기 잉곳지그(20)와 일체로 형성되는 하부플레이트(30)와,
상기 하부플레이트(30)와 설정간격을 두고 상기 하부플레이트(30)의 상측에 위치하는 상부플레이트(40)와,
상기 하부플레이트(30)에 설치되어 음향을 감지하는 음향감지센서(51)와,
상기 하부플레이트(30) 또는 상기 상부플레이트(40)에 설치되어 상기 잉곳(15)의 가공중 상기 하부플레이트(30)가 전달받는 하중을 상기 상부플레이트(40)의 지지를 받아 3축 방향에서 감지하는 3축 하중측정센서(55)와,
상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)와 상기 설정간격을 유지하고 외력에 의해 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 상기 하부플레이트(30)와 상기 상부플레이트(40)를 서로 체결하는 체결수단(61)과,
상기 음향감지센서(51)와 상기 3축 하중측정센서(55)의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하는 컨트롤러(70), 및
상기 컨트롤러(70)의 판단결과에 따라 가공상태를 표시하는 표시수단(75)을 포함하며,
상기 잉곳(15)이 그 하측에 위치하는 와이어(10)에 절입시, 상기 하부플레이트(30)를 상기 상부플레이트(40)로 접근시키려는 하중을 받아 상기 3축 하중측정센서(55)의 감지부(55a)에 상하방향의 예압을 가하게 되는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
제1항에 있어서,
상기 하부플레이트(30)와 상기 상부플레이트(40)의 사이에는 탄성체가 설치되어 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)로 접근시 상기 탄성체가 탄성압축되어 하중을 부담하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 체결수단(61)은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서,
각 상기 체결수단(61)은 봉형상으로 형성되어 상기 하부플레이트(30)에 고정되고 상기 상부플레이트(40)의 체결공(46)에 삽입되며,
상단에 머리부(61a)가 형성되어 그 머리부(61a)가 상기 상부플레이트(40)에 걸린 상태가 되고,
상기 체결공(46)은 상기 봉형상의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)에 대하여 측방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 체결수단(61)은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서,
각 상기 체결수단(61)은 봉형상으로 형성되어 상기 상부플레이트(40)에 고정되고 상기 하부플레이트(30)의 체결공(36)에 삽입되며,
하단에 머리부(61a)가 형성되어 그 머리부(61a)가 상기 하부플레이트(30)에 걸린 상태가 되고,
상기 체결공(36)은 상기 봉형상의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)에 대하여 측방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 3축은,
측방향 중 상기 잉곳(15)의 길이방향에 직각인 방향이 X축이고 상기 잉곳(15)의 길이방향이 Y축이며,
그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고,
상기 컨트롤러(70)는
상기 음향감지센서(51)에 의한 감지신호가 연속적 레벨상승의 상태인 것으로 판단하고, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위를 벗어난 것으로 판단한 경우에는,
상기 표시수단(75)이 기구부의 비틀림에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 3축은,
측방향 중 상기 잉곳(15)의 길이방향에 직각인 방향이 X축이고 상기 잉곳(15)의 길이방향이 Y축이며,
그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고,
상기 컨트롤러(70)는
상기 음향감지센서(51)에 의한 감지신호가 연속적 레벨상승의 상태인 것으로 판단하고, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내인 것으로 판단하며, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 z축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내인 것으로 판단한 경우에는,
상기 표시수단(75)이 와이어 마모에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 3축은,
측방향 중 상기 잉곳(15)의 길이방향에 직각인 방향이 X축이고 상기 잉곳(15)의 길이방향이 Y축이며,
그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고,
상기 컨트롤러(70)는
상기 음향감지센서(51)에 의한 감지신호가 연속적 레벨상승의 상태인 것으로 판단하고, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내이며, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 z축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위를 벗어난 것으로 판단한 경우에는,
상기 표시수단(75)이 와이어텐션 또는 z축 이송상태에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 와이어소의 가공상태 감시장치
잉곳(15)을 다수의 디스크형태로 절단하기 위해 다수의 열이 형성되어 주행하는 와이어(10)와,
상기 와이어(10)에 절입될 잉곳(15)이 하면에 부착된 잉곳지그(20)와,
상기 잉곳지그(20)의 상부에 결합되는 가공상태감시장치를 포함하는 와이어소에 있어서,
상기 가공상태감시장치는,
상기 잉곳지그(20)의 상부에 결합되거나 상기 잉곳지그(20)와 일체로 형성되는 하부플레이트(30)와,
상기 하부플레이트(30)와 설정간격을 두고 상기 하부플레이트(30)의 상측에 위치하는 상부플레이트(40)와,
상기 하부플레이트(30)에 설치되어 음향을 감지하는 음향감지센서(51)와,
상기 하부플레이트(30) 또는 상기 상부플레이트(40)에 설치되어 상기 잉곳(15)의 가공 중 상기 하부플레이트(30)가 전달받는 하중을 상기 상부플레이트(40)의 지지를 받아 3축 방향에서 감지하는 3축 하중측정센서(55)와,
상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)와 상기 설정간격을 유지하고 외력에 의해 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)를 향해 접근하는 것을 허용하는 상태로 상기 하부플레이트(30)와 상기 상부플레이트(40)를 서로 체결하는 체결수단(61)과,
상기 음향감지센서(51)와 상기 3축 하중측정센서(55)의 감지신호를 전송받아 가공상태의 이상유무를 판단하는 컨트롤러(70), 및
상기 컨트롤러(70)의 판단결과에 따라 가공상태를 표시하는 표시수단(75)을 포함하되,
상기 잉곳(15)이 그 하측에 위치하는 와이어(10)에 절입시, 상기 하부플레이트(30)를 상기 상부플레이트(40)로 접근시키려는 하중을 받아 상기 3축 하중측정센서(55)의 감지부(55a)에 상하방향의 예압을 가하게 되는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소
제8항에 있어서,
상기 하부플레이트(30)와 상기 상부플레이트(40)의 사이에는 탄성체가 설치되어 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)로 접근시 상기 탄성체가 탄성압축되어 하중을 부담하는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 체결수단(61)은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서,
각 상기 체결수단(61)은 봉형상으로 형성되어 상기 하부플레이트(30)에 고정되고 상기 상부플레이트(40)의 체결공(46)에 삽입되며,
상단에 머리부(61a)가 형성되어 그 머리부(61a)가 상기 상부플레이트(40)에 걸린 상태가 되고,
상기 체결공(46)은 상기 봉형상의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)에 대하여 측방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 체결수단(61)은 복수개가 다수의 위치에 설치되는 것으로서,
각 상기 체결수단(61)은 봉형상으로 형성되어 상기 상부플레이트(40)에 고정되고 상기 하부플레이트(30)의 체결공(36)에 삽입되며,
하단에 머리부(61a)가 형성되어 그 머리부(61a)가 상기 하부플레이트(30)에 걸린 상태가 되고,
상기 체결공(36)은 상기 봉형상의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 유격을 가짐으로써, 상기 하부플레이트(30)가 상기 상부플레이트(40)에 대하여 측방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 3축은,
측방향 중 상기 잉곳(15)이 절입되는 와이어(10)의 주행방향이 X축이고 그 와이어(10)의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며,
그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고,
상기 컨트롤러(70)는
상기 음향감지센서(51)에 의한 감지신호가 연속적 레벨상승의 상태인 것으로 판단하고, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위를 벗어난 것으로 판단한 경우에는,
상기 표시수단(75)이 기구부의 비틀림에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 3축은,
측방향 중 상기 잉곳(15)이 절입되는 와이어(10)의 주행방향이 X축이고 그 와이어(10)의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며,
그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고,
상기 컨트롤러(70)는
상기 음향감지센서(51)에 의한 감지신호가 연속적 레벨상승의 상태인 것으로 판단하고, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내이며, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 z축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내인 것으로 판단한 경우에는,
상기 표시수단(75)이 와이어 마모에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 3축은,
측방향 중 상기 잉곳(15)이 절입되는 와이어(10)의 주행방향이 X축이고 그 와이어(10)의 주행방향에 직각인 방향이 Y축이며,
그 X축 및 Y축에 모두 직각인 상하방향이 Z축으로 설정되고,
상기 컨트롤러(70)는
상기 음향감지센서(51)에 의한 감지신호가 연속적 레벨상승의 상태인 것으로 판단하고, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 X축 및 Y축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위 이내이며, 상기 3축 하중측정센서(55)에서 측정한 z축 레벨패턴이 마스크앤리미트설정값의 범위를 벗어난 것으로 판단한 경우에는,
상기 표시수단(75)이 와이어텐션 또는 z축 이송상태에 관한 경고표시를 하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가공상태 감시장치를 구비한 와이어소