TWI694318B - 診斷系統 - Google Patents

Abstract

一種診斷系統，就具備複數個可動部(34、35、36、37)的設備裝置(1)進行診斷，該複數個可動部係透過不同的致動器(27、33、36、373)驅動者，該診斷系統具備檢測部(11、81)及取得部(3、4、5)，該檢測部係輸出與因複數個可動部中的各者被驅動而搖動對應的檢測波形者，該取得部係取得檢測部輸出的檢測波形者。

Description

診斷系統

本揭示係涉及就設備裝置進行診斷的診斷系統者。

日本特開2014-007376號公報中已記載就熱流進行檢測的熱流感測器。

發明人檢討利用此熱流感測器就製造設備裝置等的設備裝置的動作進行診斷的情形。此情況下，發明人著眼於：在設備裝置中設置複數個可動部的情形多。並且，注意到：在此等複數個可動部分別配置感測器的情況下，恐感測器的數量會很多。 　　此外，發明人注意到：在此等複數個可動部分別配置感測器的情況下，為了統合該等之種類不同的複數個感測器的訊號，進行總計、處理及判定的系統會變複雜。進行總計、處理及判定的系統變複雜時，需要高速的演算功能及大量的記憶體。 　　此外，發明人注意到：未與各可動部直接相關，可動部未動作時仍可能產生的某因素的異常，係難以利用為了個別的可動部而設置的感測器檢測出。 　　此等事項亦適用於使用熱流感測器以外的檢測部的情況。 　　本揭示係目的在於提供一種診斷系統，可基於少量的檢測部的輸出而進行複數個可動部的動作的診斷。 　　依本揭示的一態樣時，診斷系統係一種診斷系統，就具備透過不同的致動器而驅動的複數個可動部的設備裝置進行診斷，具備檢測部及取得部，該檢測部係輸出與因複數個可動部中的各者被驅動而搖動對應的檢測波形者，該取得部係取得檢測部輸出的檢測波形者。 　　作成如此使得檢測部可檢測出因複數個可動部被驅動而產生的搖動。因此，變得可基於少量的檢測部的輸出而進行複數個可動部的動作的診斷。

(第1實施方式) 　　以下，說明有關第1實施方式。如示於圖1，製造設備系統具備：製造設備裝置1、可程式化邏輯控制器(以下稱為PCL)2、計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5。計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5構成取得部。 　　製造設備裝置1係用於實現一製程的一部分的設備，該製程係用於製造各種的產品者。如示於圖2、圖3，製造設備裝置1具有：檢測部11、進料輸送器20A、排出輸送器20B、機器人30及設備基底部40。此外，製造設備裝置1具有螺栓12a、12b、12c、12d、13a、13b、14a、14b。 　　檢測部11係供於就檢測部11以外的製造設備裝置1的舉動進行檢測用的感測器。進料輸送器20A係用於使供應至製造設備裝置1的托板P接近機器人30的裝置。排出輸送器20B，係使托板P從機器人30遠離而供應至製造設備裝置1的外部的裝置。製造設備系統之中，檢測部11、PLC2、計測判定裝置3、主機裝置4、及管理裝置5構成就製造設備裝置1進行診斷的診斷系統。 　　於托板P係載置未圖示的工件。工件係上述的製程中的作為加工對象的構材。機器人30，係從進料輸送器20A取得托板P而予以移動至排出輸送器20B的裝置。 　　設備基底部40係進料輸送器20A、排出輸送器20B、載置機器人30從而成為製造設備裝置1的基底部。例如，設備基底部40可置於地板之上。或者，設備基底部40亦可固定在置於地板的其他構材。 　　進料輸送器20A具有：腳部21a、腳部21b、機台22、第1滑輪23a、第2滑輪23b、主帶24、第3滑輪25a、第4滑輪25b、副帶26、馬達27、外殼28。 　　腳部21a的下端部係經由螺栓12a、12b固定地緊固於設備基底部40從而連結。腳部21b的下端部係經由螺栓12c、12d固定地緊固於設備基底部40從而連結。腳部21a及腳部21b之上端部係固定於機台22。螺栓12a、12b、12c、12d對應於安裝媒介。 　　機台22係板狀的構材。在機台22的最遠離機器人30之側的端部安裝第1滑輪23a，在最靠近機器人30之側的端部安裝第2滑輪23b。於機台22之上側面及下側面係安裝環狀的主帶24。此外，於機台22係外殼28被固定。 　　第1滑輪23a具有旋轉軸，以可繞此旋轉軸旋轉的方式安裝於機台22的遠離機器人30之側的端部。第2滑輪23b具有旋轉軸，以可繞此旋轉軸旋轉的方式安裝於機台22的靠近機器人30之側的端部。第1滑輪23a的旋轉軸與第2滑輪23b的旋轉軸相對於彼此平行。 　　主帶24具有環狀的帶的形狀。於主帶24的內周側的一端係第1滑輪23a的外周進行接觸。於主帶24的內周側的另一端係第2滑輪23b的外周進行接觸。第3滑輪25a的旋轉動力經由主帶24傳至第1滑輪23a，故第1滑輪23a、第2滑輪23b、主帶24一起同步旋轉。 　　此外，在主帶24的內周側且第1滑輪23a與第2滑輪23b之間配置機台22。主帶24可相對於機台22移動。 　　第3滑輪25a具有旋轉軸，以可繞此旋轉軸進行旋轉的方式安裝於外殼28。第3滑輪25a的旋轉軸係固定地連接於第2滑輪23b的旋轉軸。因此，第3滑輪25a係與第2滑輪23b同軸且與第2滑輪23b同步旋轉。 　　第4滑輪25b具有旋轉軸，以可繞此旋轉軸進行旋轉的方式安裝於外殼28。第4滑輪25b的旋轉軸係固定地連接於馬達27的輸出軸。因此，第3滑輪25a係與馬達27的輸出軸同軸且與該輸出軸同步旋轉。 　　副帶26具有環狀的帶的形狀。於副帶26的內周側的一端係第3滑輪25a的外周進行接觸。於主帶24的內周側的另一端係第4滑輪25b的外周進行接觸。第4滑輪25b的旋轉動力經由副帶26傳至第3滑輪25a，故第3滑輪25a、第4滑輪25b、副帶26一起同步旋轉。 　　馬達27係依來自PLC2的屬電訊號的控制訊號而作動從而產生旋轉動力的致動器。馬達27作動時，馬達27的輸出軸旋轉，第4滑輪25b亦與此輸出軸同步旋轉。如此一來，第4滑輪25b的旋轉動力經由副帶26傳達至第3滑輪25a。此結果，副帶26及第3滑輪25a亦與第4滑輪25b同步旋轉。 　　此外，第3滑輪25a旋轉時，第2滑輪23b亦與第3滑輪25a同步旋轉。如此一來，第2滑輪23b的旋轉動力經由主帶24傳達至第1滑輪23a。此結果，主帶24及第1滑輪23a亦與第2滑輪23b同步旋轉。 　　藉此，馬達27作動時主帶24的外周之中比機台22靠上側的部分朝接近機器人30的方向移動。因此，載置於主帶24的外周之中比機台22靠上側的部分的托板P係與主帶24一起朝接近機器人30的方向移動。 　　此外，排出輸送器20B具有與進料輸送器20A同等的構成。因此，排出輸送器20B亦以與進料輸送器20A同等的機構而作動。此外，排出輸送器20B的馬達27亦為依來自PLC2的屬電訊號的控制訊號而作動從而產生旋轉動力的致動器。 　　因此，於排出輸送器20B，馬達27作動時主帶24的外周之中比機台22靠上側的部分朝遠離機器人30的方向移動。因此，載置於主帶24的外周之中比機台22靠上側的部分的托板P係與主帶24一起朝遠離機器人30的方向移動。 　　機器人30具有：安裝基底部31、機器人基底部32、馬達33、可動殼34、桿體35、線性致動器36、手指部37。安裝基底部31及機器人基底部32係機器人30之中在作動時不作用為可動部的構材。 　　安裝基底部31係於下端經由螺栓14a、14b固定地緊固於設備基底部40從而連結。此外安裝基底部31，係於上端經由螺栓13a、13b固定地緊固於機器人基底部32從而連結。如此，安裝基底部31，係介於設備基底部40與機器人基底部32之間將機器人基底部32相對於設備基底部40固定地支撐。 　　機器人基底部32的下端部係經由螺栓13a、螺栓13b固定地緊固於安裝基底部31從而連結。此外，於機器人基底部32之上端部係被固定馬達33的主體部。因此，機器人基底部32係對應於就機器人30的可動部進行支撐的支撐部。 　　馬達33係依來自PLC2的屬電訊號的控制訊號而作動從而產生旋轉動力的致動器。馬達33作動時，馬達33的輸出軸以軸X為中心進行旋轉。 　　可動殼34係固定於馬達33的輸出軸。此外，可動殼34係收納桿體35的一部分及線性致動器36。桿體35係在被透過線性致動器36支撐之下，相對於可動殼34移動於上下方向DR。 　　線性致動器36係固定於可動殼34。線性致動器36係依來自PLC2的屬電訊號的控制訊號而作動從而產生直線移動的動力的馬達。線性致動器36作動時，桿體35被透過線性致動器36驅動，相對於可動殼34移動於上下方向DR。 　　作成如此使得馬達33作動時，可動殼34、桿體35、線性致動器36及手指部37作為整體以軸X為中心進行旋轉。此時，安裝基底部31、機器人基底部32不旋轉而維持停止。 　　此外，線性致動器36作動時，桿體35及手指部37作為整體移動於上下方向DR。此時，安裝基底部31、機器人基底部32、馬達33、可動殼34不移動而維持停止。 　　手指部37係安裝於桿體35的比可動殼34靠下側的端部，具有托板制動器371、臂件372、夾具致動器373、夾具374。 　　托板制動器371係固定於桿體35的最下端的方塊狀的構材。此托板制動器371係供接觸於被透過進料輸送器20A而移動的托板P從而使托板P的移動停止用的構材。 　　臂件372係在比可動殼34靠下方且比托板制動器371靠上方而固定於桿體35，支撐夾具致動器373。 　　夾具致動器373係固定於臂件372並依來自PLC2的屬電訊號的控制訊號而作動從而驅動夾具374的致動器。夾具致動器373係驅動夾具374從而可切換夾具374的開閉。 　　夾具374係被透過夾具致動器373驅動從而開閉的構材。夾具374關閉使得物品被把持於夾具374。夾具374打開使得物品被開放。 　　檢測部11係如示於圖4、圖5具有：間隔物110、彈性變形構材111、熱流感測器112。機器人基底部32與安裝基底部31被以螺栓13a、13b緊固，在機器人基底部32與安裝基底部31之間夾住間隔物110、彈性變形構材111、熱流感測器112。 　　如示於圖5，間隔物110係薄片狀的構材，在與彈性變形構材111、熱流感測器112不於上下方向DR重疊的狀態下，夾在安裝基底部31與機器人基底部32之間。 　　間隔物110之上下方向DR的厚度係以彈性變形構材111被壓縮為合理的厚度的方式而調整。上下方向DR係彈性變形構材111被壓縮的壓縮方向。間隔物110可為例如上下方向DR的厚度為2mm的不銹鋼製的平板。 　　彈性變形構材111係從安裝基底部31或機器人基底部32受力而彈性變形的薄片狀的構材。彈性變形構材111係與熱流感測器112於上下方向DR重疊。因此，機器人基底部32、彈性變形構材111、熱流感測器112、安裝基底部31係依此順序於上下方向DR重疊。 　　彈性變形構材111係楊氏模量比安裝基底部31、機器人基底部32、間隔物110、熱流感測器112低(亦即容易變形)。彈性變形構材111可為例如上下方向DR的厚度為2mm的橡膠硬度50的橡膠(例如氟橡膠(註冊商標))。或者，彈性變形構材111亦能以楊氏模量遠高於橡膠的材料而構成。 　　如此，彈性變形構材111及熱流感測器112夾在機器人基底部32與安裝基底部31之間。作成如此可比未作成如此的情況更加確實地進行：使機器人30的複數個可動部被驅動所致的搖動反映於彈性變形構材111的變形。 　　此外，間隔物110設定在安裝基底部31與機器人基底部32之間的彈性變形構材111與熱流感測器112的空間。此間隔物110之上下方向DR的高度增加時，在安裝基底部31與機器人基底部32之間的彈性變形構材111及熱流感測器112的空間之上下方向DR的寬度增加。因此，間隔物110之上下方向DR的高度增加時，彈性變形構材111之上下方向DR的安裝厚度增加。 　　因此，透過調整間隔物110之上下方向DR的高度，從而可調整彈性變形構材111的彈性變形量。在此例係間隔物110對應於彈性變形調整構材。 　　降低間隔物110之上下方向DR的高度而增加彈性變形構材111的壓縮率時，彈性變形構材111變硬，試圖回復原本的厚度的斥力亦變強。因此，具有亦易於追從檢測對象的急劇的搖動的好處。另一方面，搖動之力弱時輸給彈性變形構材111的斥力而搖動本身被抑制，亦具有無法進行正確的計測的缺點。因此，優選上依作為檢測對象的搖動的速度、力，與彈性變形構材111的硬度、楊氏模量一起亦調整壓縮率。 　　此彈性變形構材111係在機器人30未作動的狀態(以下稱為基本狀態)下成為被機器人基底部32與熱流感測器112夾住而被壓縮於上下方向DR的狀態。 　　由於機器人基底部32的搖動，機器人基底部32與安裝基底部31之間的間隔產生變化，彈性變形構材111伸縮變形。彈性變形構材111從基本狀態被壓縮於上下方向DR時，彈性變形構材111會發熱。此外，彈性變形構材111從基本狀態被伸長於上下方向DR時，彈性變形構材111會吸熱。 　　熱流感測器112，係與彈性變形構材111接觸且與彈性變形構材111於上下方向DR重疊，從而可檢測彈性變形構材111的熱的流動。作成如此使得熱流感測器112可檢測與因複數個可動部被驅動而發生的搖動相應的熱的流動。因此，變得可基於1個熱流感測器112的輸出而進行複數個可動部的動作的診斷。熱流感測器112之上下方向DR的厚度係例如0.3mm。 　　間隔物110、彈性變形構材111、熱流感測器112之上下方向DR的厚度分別為2mm、2mm、0.3mm的情況下，在基本狀態下的彈性變形構材111的壓縮率係15％。 　　另外，間隔物110與安裝基底部31的固定、間隔物110與機器人基底部32的固定、彈性變形構材111與機器人基底部32的固定、彈性變形構材111與熱流感測器112的固定、及熱流感測器112與安裝基底部31的固定，係皆以接著劑或黏著帶實現。 　　如示於圖6、圖7，熱流感測器112具有以下構造：絕緣基材A100、表面保護構材A110、背面保護構材A120被一體化，在此被一體化者的內部第1、第2層間連接構材A130、A140交替串列連接。絕緣基材A100、表面保護構材A110、背面保護構材A120係膜狀，以熱塑性樹脂等的具有可撓性的樹脂材料而構成。 　　絕緣基材A100係形成在其厚度方向貫穿的複數個第1、第2導孔A101、A102。於第1、第2導孔嵌入以彼此不同的金屬、半導體等的熱電材料而構成的第1、第2層間連接構材A130、A140。透過配置於絕緣基材A100的表面A100a的表面導體圖案A111而構成第1、第2層間連接構材A130、A140中的其中一者的連接部。透過配置於絕緣基材A100的背面A100b的背面導體圖案A121構成第1、第2層間連接構材A130、A140中的另一者的連接部。 　　熱通量就熱流感測器112，於其厚度方向通過時，於第1、第2層間連接構材A130、A140中的其中一者的連接部與另一者的連接部產生溫度差。藉此，因塞貝克效應而於第1、第2層間連接構材A130、A140產生熱電勢。熱流感測器112將此熱電勢(例如電壓)作為感測器訊號而輸出。 　　作成如此的構成使得即使彈性變形構材111的變形量為超微米級，仍可透過熱流感測器112檢測彈性變形構材111的變形所致的熱的流動。 　　PLC2控制製造設備裝置1的致動器(亦即，進料輸送器20A的馬達27、排出輸送器20B的馬達27、馬達33、線性致動器36、夾具致動器373)。 　　更具體而言，設備擔當的作業員使用未圖示的操作面板而向PLC2指示製造設備裝置1的自動運轉時，PLC2係為了反覆多數次實現既定的機械動作循環，將控制訊號向上述致動器輸出。此情況下，PLC2對主機裝置4輸出動作開始訊號，接收其的主機裝置4對計測判定裝置3輸出計測判定開始的訊號。此外，在休息時間等作業員利用相同的工作面板向PLC2指示製造設備裝置1的停止時，PLC2使上述致動器的作動停止從而停止製造設備裝置1。與其同時PLC2係向主機裝置4輸出動作停止訊號，接收其的主機裝置4對計測判定裝置3送出計測判定停止的訊號。 　　1個機械動作循環係例如如示於圖8包含：首先使進料輸送器20A作動的行程、接著使機器人30作動的行程、最後使排出輸送器20B作動的行程。 　　在使進料輸送器20A作動的行程，PLC2實現托板搬送區塊如此的動作區塊。在此托板搬送區塊，PLC2使進料輸送器20A進行搬送托板P而接近機器人30的動作。具體而言，PLC2，係向進料輸送器20A的馬達27輸出控制訊號，從而使馬達27作動。藉此，主帶24如上述般旋轉。此結果，載置於主帶24上的托板P朝接近機器人30的方向移動。然後PLC2驅動馬達27，直到托板P接觸機器人30的托板制動器371。然後PLC2係在托板P接觸機器人30的托板制動器371時，停止馬達27的驅動，與此同時結束托板搬送區塊。 　　在使機器人30作動的行程，PLC2將動作開始、夾持、上升、搬送進給、下降、鬆開、上升、搬送送回、下降如此的8個動作區塊依此順序不中斷地依序實現。 　　在動作開始區塊，PLC2執行各種初始化處理，用於開始機器人30的動作。於動作開始區塊係不使任何致動器作動，機器人30的可動部不被驅動。 　　在夾持區塊，PLC2向夾具致動器373輸出夾持用的控制訊號。藉此，夾具致動器373實現夾持驅動。亦即，夾具致動器373使夾具374移動於關閉的方向。此結果，夾具374把持托板P之上端部。夾持區塊持續預先設定的時間。 　　在緊接著夾持區塊後之上升區塊，PLC2向線性致動器36輸出上升用的控制訊號。藉此，線性致動器36實現上升驅動。亦即，線性致動器36使桿體35上升既定距離。此結果，與桿體35及手指部37上升同時，被夾具374把持的托板P亦上升而從進料輸送器20A的主帶24分離。線性致動器36持續上升驅動上述既定距離時，線性致動器36之上升驅動結束，上升區塊結束。 　　在搬送進給區塊，PLC2向馬達33輸出進給用的控制訊號。藉此，馬達33以軸X為中心順向旋轉既定角度從而實現進給驅動。藉此，可動殼34、桿體35、線性致動器36、手指部37旋轉於圖3中順時鐘方向。此結果，被夾具374把持的托板P從進料輸送器20A的主帶24之上方，朝排出輸送器20B的主帶24之上方，以弧形而移動。馬達33旋轉上述既定角度時，馬達33的進給驅動結束。搬送進給區塊的開始至既定期間經過後，搬送進給區塊結束。在搬送進給區塊的結束時點，被夾具374把持的托板P係位於排出輸送器20B的主帶24之上方。 　　在緊接著搬送進給區塊後的下降區塊，PLC2向線性致動器36輸出下降用的控制訊號。藉此，線性致動器36實現下降驅動。亦即，線性致動器36使桿體35下降既定距離。此結果，與桿體35及手指部37下降同時，被夾具374把持的托板P亦下降而抵接於排出輸送器20B的主帶24。線性致動器36進行下降驅動上述既定距離時，線性致動器36之下降驅動結束，下降區塊結束。 　　在鬆開區塊，PLC2向夾具致動器373輸出鬆開用的控制訊號。藉此，夾具致動器373實現鬆開驅動。亦即，夾具致動器373使夾具374移動於打開的方向。此結果，夾具374將托板P開放。鬆開區塊持續預先設定的時間。 　　在緊接著鬆開區塊後之上升區塊，PLC2向線性致動器36輸出上升用的控制訊號。藉此，線性致動器36實現上升驅動。亦即，線性致動器36使桿體35上升既定距離。此結果，桿體35及手指部37上升。此時，夾具374未把持托板P。線性致動器36持續上升驅動上述既定距離時，線性致動器36之上升驅動結束，上升區塊結束。 　　在搬送送回區塊，PLC2向馬達33輸出送回用的控制訊號。藉此，馬達33以軸X為中心與搬送進給區塊時逆向旋轉既定角度從而實現送回驅動。藉此，可動殼34、桿體35、線性致動器36、手指部37於圖3中逆時鐘方向旋轉上述既定角度。此結果，夾具374從排出輸送器20B的主帶24之上方，朝進料輸送器20A的主帶24之上方，以弧形而移動。馬達33旋轉上述既定角度時，馬達33的送回驅動結束，搬送送回區塊結束。在搬送送回區塊的結束時點，夾具374及托板制動器371係位於進料輸送器20A的主帶24之上方。 　　在緊接著搬送送回區塊後的下降區塊，PLC2向線性致動器36輸出下降用的控制訊號。藉此，線性致動器36實現下降驅動。亦即，線性致動器36使桿體35下降既定距離。此結果，與桿體35及手指部37下降同時，夾具374及托板制動器371亦下降而到達進料輸送器20A的主帶24的正上方。線性致動器36持續下降驅動上述既定距離時，線性致動器36之下降驅動結束，下降區塊結束。在下降區塊結束的階段，托板P成為載置於排出輸送器20B的主帶24上的狀態。 　　在使排出輸送器20B作動的行程，PLC2實現托板搬送區塊如此的動作區塊。在此托板搬送區塊，PLC2使排出輸送器20B進行將托板P搬送而遠離機器人30的動作。具體而言，PLC2向排出輸送器20B的馬達27輸出控制訊號，從而使馬達27作動。藉此，主帶24如上述般旋轉。此結果，載置於主帶24上的托板P朝遠離機器人30的方向移動。另外，此托板搬送區塊亦可在緊接著使機器人30作動的行程中的鬆開區塊後，與上升區塊同時並行實現。 　　如此，在上述複數個動作區塊間，複數個致動器的動作態樣及複數個可動部的動作態樣不同。亦即，複數個致動器之中何者作動及複數個可動部之中何者動作在上述複數個動作區塊間不同。 　　進料輸送器20A、排出輸送器20B、機器人30進行如此的動作時，透過作為致動器的馬達27、馬達33、線性致動器36、夾具致動器373的驅動，使得可動部移動。可動部係第1滑輪23a、第2滑輪23b、主帶24、第3滑輪25a、第4滑輪25b、副帶26、可動殼34、桿體35、線性致動器36、托板制動器371、臂件372、夾具致動器373、夾具374。 　　此等可動部被透過不同的致動器而驅動。例如，可動殼34被透過馬達33而驅動，而桿體35不僅馬達33而亦被透過線性致動器36驅動。 　　此外，托板P接觸托板制動器371時，托板制動器371稍微移動。 　　此外，PLC2係將顯示上述的各種動作區塊的切換時點的同步訊號輸出至計測判定裝置3。 　　如上述的機械動作循環的結果，進料輸送器20A、排出輸送器20B、機器人30的可動部各者被驅動而移動時，該可動部的重心會靜態地及動態地變動。進料輸送器20A、排出輸送器20B的可動部的重心的變動係經由設備基底部40、安裝基底部31傳至檢測部11。此外，機器人30的可動部的重心的變動係經由機器人基底部32傳至檢測部11。 　　例如，由於機器人30的可動部的重心的變動，機器人基底部32因本身的彈性變形及螺栓13a、13b的彈性變形而相對於安裝基底部31搖動。檢測部11係被夾在機器人基底部32與安裝基底部31之間而安裝，檢測機器人基底部32的搖動。因此，透過檢測部11使得可進行在機器人基底部32的前端的複數個可動部的動作、施加的力的狀態監視。進料輸送器20A、排出輸送器20B方面亦同。 　　更具體而言，因應機器人基底部32的彈性變形量及螺栓13a、13b的彈性變形量依可動部的重心的變動而發生時間變化，檢測部11的彈性變形構材111會收縮及伸長。彈性變形構材111收縮時在彈性變形構材111的內部產生熱。如此一來，產生從彈性變形構材111的內部朝向外部的熱通量。熱流感測器112係輸出與此熱通量的方向及大小相應的訊號。 　　彈性變形構材111伸長時彈性變形構材111吸熱。如此一來，產生從彈性變形構材111的外部朝向內部的熱通量。熱流感測器112輸出與此熱通量的方向及大小相應的訊號。 　　計測判定裝置3係皆具有未圖示的CPU、RAM、ROM、快閃記憶體等的電腦。CPU執行記憶於ROM、快閃記憶體的程式，該執行時使用RAM作為作業區域。透過如此的CPU的作動，使得計測判定裝置3實現記述於該程式的功能。RAM、ROM、快閃記憶體係非過渡性實體記憶媒體。計測判定裝置3係從主機裝置4接收上述的計測判定開始的訊號時，使作動開始，從主機裝置4接收上述的動作停止訊號時，使作動停止。 　　於計測判定裝置3係輸入熱流感測器112輸出的訊號。輸入的訊號的波形(亦即，檢測波形)62係一般而言成為如示於圖9的波形。計測判定裝置3係以實時進行利用此檢測波形62下的判定，故與主機裝置4係獨立而構成。亦即計測判定裝置3係構成為不與主機裝置4共用演算裝置(亦即CPU)。作成如此使得可提高診斷功能的實時性能。另外，計測判定裝置3可與主機裝置4共用工作記憶體(亦即RAM)亦可不共用。 　　在圖9係橫軸表示時間，縱軸表示訊號的輸出等級(例如輸出電壓)。彈性變形構材111的從內部往外部的熱通量越大，輸出等級變越高，彈性變形構材111的從外部往內部的熱通量越大，輸出等級變越低。彈性變形構材111的從內部往外部的熱通量為零的情況下，輸出等級亦成為零。 　　如示於圖9，時點T0至時點T1的訊號為進料輸送器20A的托板搬送區塊的訊號。此托板搬送區塊中，於緊接著時點T1之前，存在訊號的振幅變大的部分。此振幅的增大係因托板P接觸托板制動器371而發生。亦即，托板P接觸托板制動器371時的托板制動器371的振動經由桿體35、可動殼34、馬達33傳至機器人基底部32。然後此結果，彈性變形構材111變形，從熱流感測器112輸出的訊號的振幅增大。 　　時點T1至時點T2的訊號為在動作開始區塊的訊號。於此區塊係進料輸送器20A、排出輸送器20B、機器人30的可動部不動作，故訊號的振幅為大致零。 　　時點T2至時點T3的訊號為在夾持區塊的訊號。於此期間的後半，存在訊號的振幅稍微變大的部分。此振幅的增大係因夾具374把持托板P而發生。亦即，托板P抓住夾具374時的夾具374的振動經由夾具致動器373、臂件372、桿體35、可動殼34、馬達33傳至機器人基底部32。然後此結果，彈性變形構材111變形，從熱流感測器112輸出的訊號的振幅增大。 　　時點T3至時點T4的訊號為在緊接著夾持區塊後之上升區塊的訊號。於此區塊係桿體35、手指部37及托板P上升，使得訊號的振幅相較下變大。於此上升區塊，桿體35之上升結束時，訊號的振幅回復至大致零。此上升區塊的開始時點T3至訊號的振幅回復至大致零為止時間越長，托板P的質量越大。 　　時點T4至時點T5的訊號為在搬送進給區塊的訊號。於此區塊係可動殼34、桿體35、線性致動器36、手指部37、托板P繞軸X迴旋使得訊號的振幅變非常大。於此搬送進給區塊，馬達33的輸出軸的旋轉結束時，製造設備裝置1靜定，訊號的振幅回復至大致零。此搬送進給區塊的開始時點T4至訊號的振幅回復至大致零為止時間越長，托板P的質量越大。 　　時點T5至時點T6的訊號為在緊接著搬送進給區塊後的下降區塊的訊號。於此區塊係桿體35、手指部37及托板P下降，使得訊號的振幅稍微變大。其中，比起在緊接著夾持區塊後之上升區塊的訊號的振幅，在此下降區塊的訊號的振幅較小。於此下降區塊，桿體35之下降結束時，訊號的振幅回復至大致零。 　　時點T6至時點T7的訊號為在鬆開區塊的訊號。於此期間中托板P的把持被開放時的反彈被訊號的振幅變動所反映。 　　時點T7至時點T8的訊號為在緊接著鬆開區塊後之上升區塊的訊號。於此區塊雖桿體35、及手指部37上升，惟托板P不上升，故比起緊接著夾持區塊後之上升區塊，訊號的振幅較小。 　　時點T8至時點T9的訊號為在搬送送回區塊的訊號。於此區塊係可動殼34、桿體35、線性致動器36、手指部37繞軸X與搬送進給區塊時相反地迴旋，使得訊號的振幅變大。其中，於此區塊中托板P不迴旋，故比起搬送進給區塊，訊號的振幅較小。 　　時點T9至時點T10的訊號為在緊接著搬送送回區塊後的下降區塊的訊號。於此區塊係桿體35、手指部37下降。於緊接著時點T10之前，訊號的振幅相較下變大。 　　計測判定裝置3係如上述般實現記述於程式的功能，從而基於來自如此的熱流感測器112的輸出訊號，使用複數種類的判定演算法進行判定。以下，將判定演算法稱為判定配方。 　　具體而言，計測判定裝置3係基於從PLC2輸出的同步訊號，特定在現階段何動作區塊為執行中。從PLC2輸出的同步訊號係例如顯示階梯狀的歷時變化的訊號，該階梯狀的歷時變化係每次當前的動作區塊切換時值在該切換時點會上升者。 　　並且計測判定裝置3係在執行中的動作區塊發生切換的時點，重新基於區塊配方對應資訊選出與已開始執行的動作區塊賦予對應的1個或複數個判定配方，執行選出的判定配方。 　　亦即，計測判定裝置3係就複數個動作區塊中的各者，就在1個機械動作循環中輸出的檢測波形62之中在該動作區塊所輸出的時間區間，依與該動作區塊對應的判定配方而進行診斷。 　　區塊配方對應資訊係記錄於計測判定裝置3的快閃記憶體。於區塊配方對應資訊係記錄複數個動作區塊與複數個判定配方之間的賦予對應的資訊。計測判定裝置3係如後述，從主機裝置4取得此區塊配方對應資訊而記錄。 　　如此，計測判定裝置3係將1個檢測波形62分為與複數個動作區塊對應的複數個時間區間。並且計測判定裝置3係對於該等時間區間中的各者，依按照與該時間區間對應的動作區塊下的判定配方而進行診斷。透過作成如此，使得可基於在1個機械動作循環中的檢測波形62容易地進行適於複數個可動部的動作態樣的診斷。 　　以下，說明有關判定配方界定的具體的判定內容。計測判定裝置3係基於從熱流感測器112輸出的訊號與既定的標準值的比較結果，判定製造設備裝置1為如何的狀態。 　　具體而言，計測判定裝置3係在實現1個判定配方之際，進行示於圖10的流程圖的處理。計測判定裝置3係首先在S100，在與該判定配方對應的動作區塊中取得從熱流感測器112輸出的訊號。 　　接著計測判定裝置3係在S103，進行取得的訊號與判定參數的比較。計測判定裝置3亦可預先從主機裝置4取得判定參數的值。或者，計測判定裝置3亦可基於標準波形61算出判定參數。接著計測判定裝置3係在S106，基於S103的比較結果，判定製造設備裝置1的狀態。 　　例如，說明有關與進料輸送器20A的托板搬送區塊的2個判定配方。於此等判定配方，計測判定裝置3係於S103，對標準波形、在緊接著之前的S100從熱流感測器112取得的訊號的波形(以下稱為檢測波形)雙方，進行絕對值化及接續絕對值化的移動平均算出。在絕對值化係算出在作為對象的波形的各取樣點的輸出等級的絕對值。在移動平均算出係被絕對值化的波形的各取樣點的輸出等級成為包含該取樣點而連續的複數個取樣點的平均值。 　　於圖11示出被絕對值化前的標準波形61及檢測波形62。標準波形61係如後述般，以管理裝置5作成，經由主機裝置4交給計測判定裝置3。 　　此外，於圖12示出對標準波形61進行絕對值化與接續其的移動平均算出後的波形66、及對檢測波形62進行絕對值化與接續其的移動平均算出後的波形67。在圖11、圖12的時點Tx與時點Ty之間的期間係機器人30的托板制動器371擋住搬送至進料輸送器20A的托板P的期間。 　　相對於正常的標準波形61、66，托板P的移動速度因進料輸送器20A的主帶24的磨耗等的理由而降低時，如檢測波形62、67般擋住的時間延遲，且擋住之際的衝撃力降低。計測判定裝置3係於此等判定配方，將如此的檢測波形62、67的發生判定為異常。 　　具體而言，計測判定裝置3係此等判定配方之中於屬其中一個判定配方的碰撞能量判定配方，在S103，如示於圖12，將比波形66的峰值低的第1閾值Va及比第1閾值Va低的第2閾值Vb，與波形67的峰值進行比較。第1閾值Va、第2閾值Vb係判定參數。 　　並且，波形67的峰值比第2閾值Vb低的情況下，在S106，判定為進料輸送器20A存在異常。此外，波形67的峰值為第1閾值Va以上的情況下，在S106，判定進料輸送器20A為正常。此外，波形67的峰值不足第1閾值Va且第2閾值Vb以上的情況下，在S106判定為屬進料輸送器20A雖無異常惟接近進料輸送器20A的交換時期的警告狀態。 　　第1閾值Va及第2閾值Vb可為波形66的峰值越大而為越大的值。例如，第1閾值Va、第2閾值Vb可分別為波形66的峰值的0.9倍、0.8倍。 　　此外，計測判定裝置3係此等判定配方之中於屬其他一個判定配方的碰撞時點判定配方，在S103，如示於圖12，將比實現波形66的峰值的時點晚的第1時點Ta及比第1時點Ta晚的第2時點Tb，與實現波形67的峰值的時點進行比較。第1時點Ta、第2時點Tb係分別為閾值且判定參數。 　　並且，實現波形67的峰值的時點比第2時點Tb晚的情況下，在S106，判定為進料輸送器20A存在異常。此外，實現波形67的峰值的時點在第1時點Ta以前的情況下，在S106，判定進料輸送器20A為正常。此外，實現波形67的峰值的時點比第1時點Ta晚且在第2時點Tb以前的情況下，在S106，判定為屬進料輸送器20A雖無異常惟接近進料輸送器20A的交換時期的警告狀態。 　　第1時點Ta及第2時點Tb可為實現波形66的峰值的時點越晚而越晚的時點。 　　接著，說明有關作為與緊接著夾持區塊後之上升區塊對應的判定配方的第1機器人上升判定配方。於第1機器人上升判定配方，計測判定裝置3係於S103，如示於圖13，就標準波形61與檢測波形62雙方，算出屬在該上升區塊的上限峰值與下限峰值的差的峰寬DP1、DP2。上限峰值係最大的極大值，下限峰值係最小的極小值。 　　在該上升區塊的波形61、62係就機器人30的夾具374在將保持把持托板P之下抬起時的狀態進行繪示的波形。例如因托板上P的工件落下等的原因使得質量減低的情況下，該影響如示於圖13般在檢測波形62顯現為振幅的降低。此情況下，計測判定裝置3係判定為機器人30存在異常。 　　具體而言，計測判定裝置3係於第1機器人上升判定配方，在S103，比較峰寬DP2與參照寬度DPx。並且，峰寬DP2為參照寬度DPx以上時，計測判定裝置3在S106判定機器人30為正常。此外，峰寬DP2比參照寬度DPx小時，計測判定裝置3在S106判定為機器人30發生異常。參照寬度DPx係基於峰寬DP1設定為比峰寬DP1小的值。例如，參照寬度DPx可為峰寬DP1的0.9倍。參照寬度DPx係閾值並為判定參數。 　　接著，說明有關作為與緊接著夾持區塊後之上升區塊對應的判定配方的第2機器人上升判定配方。於第2機器人上升判定配方，計測判定裝置3係在S103，如示於圖14，就在與該上升區塊對應的期間內的檢測波形62的複數個取樣點中的各者，與上限波形61a及下限波形61b進行比較。 　　具體而言，計測判定裝置3係就該複數個取樣點中的各者，判定該取樣點的輸出等級是否落入上限波形61a的與該取樣點相同的時點的輸出等級以下且下限波形61b的該時點的輸出等級以上的標準範圍。在圖14之例，輸出等級未落入該標準範圍的取樣點在期間Tz中存在複數個。 　　並且，計測判定裝置3係判定該複數個取樣點之中輸出等級未落入該標準範圍的取樣點的總數是否存在既定個數以上。既定個數可為1，亦可為5，亦可為10。 　　並且，計測判定裝置3係該總數不足該既定個數的情況下，計測判定裝置3在S106判定機器人30為正常。此外，計測判定裝置3係該總數為該既定個數以上的情況下，計測判定裝置3在S106判定為機器人30發生異常。 　　另外，上限波形61a係如後述般，為對於標準波形61加上標準公差的波形。此外，下限波形61b係如後述般，為對於標準波形61減去標準公差的波形。標準公差係正的值。 　　此等上限波形、下限波形係如後述般，以管理裝置5作成，經由主機裝置4交給計測判定裝置3。上限波形61a的各時點的值、下限波形61b的各時點的值及既定個數係閾值並為判定參數。 　　計測判定裝置3係將在各機械動作循環中以在對應的機械動作循環所執行的所有的判定配方而進行的判定的結果，以由複數個輸出位元所成的位串如此的形式，輸出至PLC2。 　　例如，於上述的碰撞能量判定配方，計測判定裝置3係將如以下的位串作為判定結果而輸出至PLC2。亦即，計測判定裝置3係判定為存在異常的情況下將與旗標A對應的位串輸出至PLC2，判定為警告狀態的情況下將與旗標B對應的位串輸出至PLC2。與旗標A對應的位串係例如使第1輸出位元與第2輸出位元雙方為ON的位串。與旗標B對應的位串係例如僅使第1輸出位元為ON、使第2輸出位元為OFF的位串。 　　旗標A、B等的複數個旗標係與彼此不同的內容的位串對應。此等複數個旗標與位串的對應關係以旗標資訊的方式記錄於計測判定裝置3的快閃記憶體。在上述之例，旗標A係緊急停止用的旗標，旗標B係警示用的旗標。此外，在各判定配方的複數個判定結果與旗標的對應關係以旗標資訊的方式記錄於計測判定裝置3的快閃記憶體。計測判定裝置3係後述般從主機裝置4取得旗標資訊。 　　PLC2係如此的位串從計測判定裝置3輸出時，進行與輸出的位串的內容對應的作動。例如，PLC2係取得與旗標A對應的位串的資訊時，使製造設備裝置1的致動器的作動即時停止從而使製造設備裝置1異常停止。此外例如PLC2係取得與旗標B對應的位串的資訊時，PLC2係在保持繼續致動器的控制之下，使製造設備裝置1的未圖示的警告燈亮燈。 　　如此，在PLC2係預先決定位串與製造設備裝置1的控制內容的對應關係。因此，亦可實現需要瞬時使作動停止的緊急性高的異常的情況下的瞬時停止、緊急性雖不高但需要暫時使設備停止而進行調查的異常的情況下的循環停止等與等級不同的異常判定對應的製造設備裝置1的作動。 　　此外，計測判定裝置3係每次1個機械動作循環結束，將與該機械動作循環對應的循環資料輸出至主機裝置4。於循環資料係包含對應的機械動作循環中的所有的動作區塊整個的標準波形61、檢測波形62。此外，於循環資料係包含在對應的機械動作循環中從PLC2取得的同步訊號。此外，於循環資料係作為彼此賦予關聯的1組的資料包含以對應的機械動作循環而執行的所有的判定配方的判定結果。判定配方的判定結果的資訊係顯示在何動作區塊使用何判定配方而獲得如何的判定結果。 　　主機裝置4皆具有未圖示的CPU、RAM、ROM、快閃記憶體等的電腦。CPU執行記憶於ROM、快閃記憶體的程式，該執行時使用RAM作為作業區域。透過如此的CPU的作動，使得主機裝置4實現記述於該程式的功能。RAM、ROM、快閃記憶體係非過渡性實體記憶媒體。 　　主機裝置4係從計測判定裝置3取得按1個機械動作循環而輸出的循環資料。此外主機裝置4係透過實現記述於上述的程式的功能從而基於該循環資料而執行示於圖17的資料儲存處理41、可視化處理42、動作條件變更處理43及編碼處理44。 　　在資料儲存處理41，主機裝置4係每次取得循環資料即將該循環資料逐次記錄於快閃記憶體。 　　此外，在該機械動作循環中成為加工對象的工件發生不良的情況下，作業員將特定該機械動作循環的資訊、該工件的不良的類別(例如，焊劑塗布不良，硬焊不良)，輸入至主機裝置4。輸入係作業員使用主機裝置4的輸入裝置(例如鍵盤)而進行。如此一來主機裝置4係於資料儲存處理41，基於輸入的資訊，以對於與發生不良的機械動作循環對應的循環資料將該工件的不良的類別賦予關聯的方式，將該工件的不良的類別記錄於快閃記憶體。如此般而記錄的不良的類別係良、不良資料。與未發生不良的機械動作循環對應的循環資料係記錄空的良、不良資料。亦即，良、不良資料為空係表示無不良。此外，於良、不良資料包含不良的類別係表示發生不良。亦即，根據基於儲存的資料而作成的標準波形及判定參數與檢測波形的比較，使得可進行品質保證。藉此，由分別具有感測器的複數個製造設備裝置所成的系統中，在個別的製造設備裝置的程序內，不需要在其他製造設備裝置內的程序，可實現自程序完結。自程序完結指以在某一個製造設備裝置的程序所得之物係品質在該一個製造設備裝置受到檢查及保證。 　　此外，在可視化處理42，主機裝置4係基於透過資料儲存處理41而儲存的循環資料，利用未圖示的影像顯示裝置，對於作業員進行資訊顯示。例如，主機裝置4係如示於圖18，使在同一個機械動作循環中的標準波形61、檢測波形62及同步訊號63，配合時間軸，同時顯示於影像顯示裝置的一畫面。藉此，影像顯示裝置可將檢測波形62的變化相對於同步訊號63的變化時點的偏差對作業員可視化。 　　此外例如，主機裝置4係如示於圖19，使在複數個機械動作循環中的檢測波形62a、62b、62c、及相同的複數個機械動作循環中的同步訊號63a、63b、63c，配合時間軸，同時顯示於影像顯示裝置的一畫面。藉此，作業員可掌握在複數個機械動作循環間的同步訊號63的變化時點的偏差隨時間的經過而逐漸增加、檢測波形62a、62b、62c的變動時點偏移。此外作業員係可藉此辨識載置於托板P的工件的質量存在差異。 　　在動作條件變更處理43，主機裝置4係基於透過資料儲存處理41而儲存的循環資料，變更動作條件。動作條件(例如加工條件)的變更方面，例如包括馬達27的旋轉速度的變更、馬達33的旋轉速度的變更等。並且主機裝置4係將加工條件的變更內容輸出至PLC2。PLC2，係在反映輸出的加工條件的變更內容之下控制致動器。另外，主機裝置4係於加工條件變更處理43變更加工條件的情況下，可於可視化處理42將加工條件被變更的事實顯示於影像顯示裝置。 　　此外，主機裝置4係將透過資料儲存處理41而儲存的循環資料的資料發送至管理裝置5。有關編碼處理44後述。 　　管理裝置5係皆具有未圖示的CPU、RAM、ROM、快閃記憶體等的電腦。CPU執行記憶於ROM、快閃記憶體的程式，該執行時使用RAM作為作業區域。透過如此的CPU的作動，使得管理裝置5實現記述於該程式的功能。RAM、ROM、快閃記憶體係非過渡性實體記憶媒體。 　　製造設備裝置1、PLC2、計測判定裝置3、主機裝置4係配置於相同的建物內。管理裝置5，可配置於配置製造設備裝置1、PLC2、計測判定裝置3、主機裝置4的建物內，亦可配置於該建物外的偏遠地區。主機裝置4與管理裝置5的連接方式可為有線連接，亦可為無線連接。 　　管理裝置5係實現記述於上述程式的功能，從而如示於圖1般執行監控碼作成處理51、模擬處理52及標準波形作成處理53。 　　監控碼作成處理51係作成區塊配方對應資訊的處理，該區塊配方對應資訊係顯示就複數個區塊中的各者使用何判定配方者。管理裝置5係執行監控碼作成處理51從而作用為作成部。 　　模擬處理52係如下的處理：對於製造設備裝置1的複數個機械動作循環中熱流感測器112輸出的複數個檢測波形62中的各者，適用依區塊配方對應資訊下的判定配方。管理裝置5係執行模擬處理52從而作用為模擬部。 　　標準波形作成處理53係如下的處理：基於在製造設備裝置1的複數個機械動作循環中熱流感測器112輸出的複數個檢測波形62，作成新的標準波形61、上限波形61a及下限波形61b。 　　在監控碼作成處理51，管理裝置5係從主機裝置4取得的循環資料之中利用未圖示的影像顯示裝置向作業員顯示1個或複數個。然後管理裝置5係在該作業員對未圖示的輸入裝置(例如鍵盤)進行監控碼作成操作的情況下，依該操作的內容作成監控碼。 　　作業員係基於在顯示的多數個機械動作循環中的各者的標準波形61、檢測波形62、同步訊號63、及按動作區塊的工件的不良的類別，按動作區塊判斷不良的類別與檢測波形62的動作的對應關係。然後作業員係基於該判斷結果，決定應在何動作區塊執行何種判定配方。再者作業員係就決定為應執行的判定配方，決定使用於判定的判定參數的值及判定結果的種類。如此的決定可僅基於來自1個熱流感測器112的輸出而決定即可，故比起基於複數個感測器的輸出而決定的情況，決定作業容易。 　　判定參數例如於上述的碰撞能量判定配方係第1閾值Va、第2閾值Vb。判定參數的值方面係例如標準波形61的峰值的0.9倍等。判定結果例如於上述的碰撞能量判定配方係正常、異常及警告狀態。 　　然後作業員係將決定的內容利用上述輸入裝置而輸入。藉此，管理裝置5係將輸入的資訊記錄於快閃記憶體。 　　另外，管理裝置5本身可於監控碼作成處理51，以標準波形61的峰值的0.9倍自動決定屬判定參數的第1閾值Va的值，將決定的值記錄於快閃記憶體。 　　如上述，計測判定裝置3係基於檢測波形62與此判定參數的比較結果，診斷複數個可動部的動作。如此，利用製造設備裝置1的在複數個機械動作循環的複數個檢測波形62而診斷複數個可動部的動作，使得可進行適應該製造設備裝置1的特性的診斷。 　　此外，使用的檢測波形62為來自熱流感測器112的檢測訊號的波形的全部，故比起利用來自複數個感測器的訊號而統計地作成判定參數的情況，可非常容易地決定判定參數。實際上可容易地從將在複數個機械動作循環的來自熱流感測器112的檢測波形62平均化的標準波形61作成判定參數至可自動化的程度。 　　如上述般記錄於管理裝置5的資訊係成為如示於圖20的構造。以下，將此資訊稱為監控碼90。監控碼90包含：1個區塊配方對應資訊91、複數個配方參數資訊92及複數個旗標資訊93。 　　區塊配方對應資訊91係就複數個動作區塊中的各者，記載在該動作區塊使用的判定配方、與在該動作區塊使用的判定配方對應的旗標。旗標係顯示在對應的判定配方所輸出的判定結果的類別。 　　複數個配方參數資訊92係1對1地與區塊配方對應資訊91中的複數個判定配方賦予對應。複數個配方參數資訊92中的各者係包含在對應的判定配方使用的判定參數的具體的值。 　　複數個旗標資訊93，係1對1地與區塊配方對應資訊91中的複數個旗標賦予對應。複數個旗標資訊93中的各者係包含與在對應的判定配方使用的旗標對應的位串的資訊。此外，複數個旗標資訊93中的各者亦包含與該複數個旗標資訊93對應的旗標與何判定配方的何種判定結果對應的資訊。 　　管理裝置5可於監控碼作成處理51將如此般記錄的監控碼發送至主機裝置4。或者，記錄於管理裝置5的監控碼90亦可在保存於可攜式記憶體的狀態下由人予以移動至主機裝置4，從可攜式記憶體轉送至主機裝置4。可攜式記憶體係非過渡性實體記憶媒體。 　　主機裝置4，係在上述的編碼處理44，基於如此般取得的監控碼90，進行監控碼90的編碼。編碼係指作成計測判定裝置3可實現記述於區塊配方對應資訊91的按動作區塊的判定配方的程式。如此般作成的監控碼90的程式亦反映配方參數資訊92、複數個旗標資訊93的資訊。 　　主機裝置4，係將如此般作成的監控碼90的程式及旗標資訊93，輸出至計測判定裝置3。基於依上述的計測判定裝置3下的判定配方的作動，係計測判定裝置3的CPU執行此監控碼90的程式，在該情況下參照旗標資訊93從而實現。 　　另外，亦可管理裝置5自動執行作業員於監控碼作成處理51如此般而進行的決定。 　　在模擬處理52，管理裝置5係利用從主機裝置4取得的複數個循環資料中的標準波形61、檢測波形62、同步訊號63，進行透過監控碼作成處理51而作成的監控碼90的模擬。 　　具體而言，管理裝置5係基於同步訊號63，將檢測波形62分為與複數個動作區塊對應的複數個時間區間。然後管理裝置5係就該等複數個動作區塊中的各者，將以監控碼90的區塊配方對應資訊91賦予對應於該動作區塊的判定配方，以依配方參數資訊92、複數個旗標資訊93的方式而實現。藉此，標準波形61之中與各動作區塊對應的時間區間中的波形成為與該動作區塊對應的判定配方的判定對象。然後此情況下，檢測波形62亦使用以決定判定閾值的具體值。 　　然後管理裝置5，係作為如此般進行的模擬的結果，將在各循環資料的各動作區塊的判定配方的判定結果及各循環資料中的良、不良資料顯示的內容，輸出至影像顯示裝置。作業員可基於此等判定配方的判定結果與良、不良資料的內容，判斷監控碼90是否為適切者。 　　若監控碼90非適切，則作業員在修正監控碼90之下以修正後的監控碼90為對象使管理裝置5進行模擬處理52。然後作業員，係就透過模擬處理52而判斷為適切的監控碼90，進行供於交給主機裝置4用的操作。藉此，僅透過模擬處理52判明為適切的監控碼90被交給主機裝置4。 　　透過如此的模擬處理52，作業員可就以監控碼作成處理51而作成的區塊配方對應資訊91是否適切，在該區塊配方對應資訊91實際被在計測判定裝置3使用前進行判斷。 　　在標準波形作成處理53，管理裝置5係作成於計測判定裝置3的判定配方使用的標準波形61、上限波形61a、下限波形61b。具體而言，管理裝置5係首先抽出複數個循環資料中的檢測波形62。並且，就與抽出的檢測波形62的取樣點對應的複數個時點中的各者，算出平均值及標準差σ。 　　在各個時點的平均值及標準差σ的算出方法如下。管理裝置5係從抽出的複數個檢測波形62，如示於圖15，將在與該時點(例如時點t)相同的時點的複數個輸出等級62x抽出作為母體。 　　然後管理裝置5係如示於圖16，算出抽出作為母體的複數個輸出等級62x的平均值及標準差σ。於此，相同的時點係指從機械動作循環的開始時點的經過時間相同的時點。藉此，在各個時點的平均值及標準差σ的算出完畢。 　　然後，管理裝置5，係使在此等複數個時點中的各者的由平均值所成的波形為新的標準波形61。此外，管理裝置5係使對於新的標準波形61加上標準公差的波形為新的上限波形61a。此外，管理裝置5係使對於新的標準波形61減去該標準公差的波形為新的下限波形61b。 　　標準公差係以值在每個時點不同的方式，透過管理裝置5算出。具體而言，管理裝置5係使各時點的標準公差為對在該時點算出的標準差σ乘上係數k之值。係數k的值係未取決於時點而為固定。係數k的值，係可為3，亦可為1，亦可為2。如此，標準公差係用於標準波形61的作成的複數個循環資料的變異性越大則越大的統計量。 　　另外，從在標準波形作成處理53中用於標準波形61、上限波形61a、下限波形61b的作成的複數個循環資料，係與發生不良的機械動作循環對應的循環資料被除外，亦即記錄不良的類別的循環資料被除外。亦即，在標準波形作成處理53使用的複數個循環資料係與未發生不良的機械動作循環對應的循環資料。 　　管理裝置5亦可於標準波形作成處理53將如此般而作成的新的標準波形61、上限波形61a、下限波形61b發送至主機裝置4。或者，如此般作成的新的標準波形61、上限波形61a、下限波形61b亦可在保存於可攜式記憶體的狀態下由人予以移動至主機裝置4，從可攜式記憶體轉送至主機裝置4。可攜式記憶體係非過渡性實體記憶媒體。 　　主機裝置4係將如此般而取得的標準波形61、上限波形61a、下限波形61b輸出至計測判定裝置3。計測判定裝置3係將如此般而取得的標準波形61、上限波形61a、下限波形61b，如上述般在基於判定配方下的作動中使用。 　　如以上說明，檢測部11的熱流感測器112係輸出與因複數個可動部中的各者被驅動而發生的搖動對應的檢測波形。 　　檢討利用熱流感測器112就製造設備裝置等的設備裝置的動作進行診斷的情形。此情況下，發明人係著眼於：在設備裝置設置複數個可動部的情形多。在此等複數個可動部分別配置感測器的情況下，恐感測器的數量會很多。 　　此外，在此等複數個可動部分別配置感測器的情況下，為了統合該等之種類不同的複數個感測器的訊號，進行總計、處理、判定的系統會變複雜。進行總計、處理、判定的系統會變複雜時，需要高速的演算功能及大量的記憶體。 　　此外，未與各可動部直接相關，可動部未動作時仍可能產生的某因素的異常，係難以利用為了個別的可動部而設的感測器而檢測出。此等事項，係即便使用熱流感測器以外的檢測部的情況下仍相同。 　　相對於此，本實施方式的熱流感測器112，係就因複數個可動部中的各者被驅動而發生的各可動部共通的支撐部(亦即機器人基底部32)的搖動進行計測。因此，使得不需要按可動部設置感測器。此外，亦使得不需要複數個訊號統合，故減低總計、處理及判定的系統變複雜的可能性。亦即，使得能以低規格的構成實現診斷系統。此外，機器人基底部32亦因來自製造設備裝置1的外部的外力而搖動，故使得熱流感測器112亦可檢測出外力的異常。 (第2實施方式) 　　接著說明有關第2實施方式。本實施方式的製造設備系統係對於第1實施方式的製造設備系統將示於圖2、圖3、圖4的製造設備裝置1置換為示於圖21、圖22、圖23的製造設備裝置1者。 　　本實施方式的製造設備裝置1具有：檢測部81、進料輸送器20A、排出輸送器20B、P＆P裝置70及設備基底部40。此外，製造設備裝置1具有螺栓12a、12b、12c、12d、15a、15b、16a、16c。 　　本實施方式的診斷系統具有：檢測部81、PLC2、計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5。 　　檢測部81係供於就檢測部81以外的製造設備裝置1的舉動進行檢測用的感測器。進料輸送器20A係供於使供應至製造設備裝置1的托板P接近於P＆P裝置70用的裝置。排出輸送器20B係使托板P遠離P＆P裝置70而供應至製造設備裝置1的外部的裝置。於托板P係載置加工對象的工件。此工件在加工後成為產品。進料輸送器20A、排出輸送器20B的構成及作動係與第1實施方式相同。 　　P＆P裝置70係從進料輸送器20A取得托板P而予以移動至排出輸送器20B的裝置。 　　設備基底部40係載置進料輸送器20A、排出輸送器20B、P＆P裝置70、檢測部81的基底。例如，設備基底部40可置於地板之上。或者，設備基底部40亦可固定在置於地板的其他構材。 　　P＆P裝置70具有：腳部71、搬送缸72、搬送可動部73、導軌74、上下缸75、夾頭缸76、夾具77、固定臂78、托板制動器79。 　　腳部71的下端如示於圖23具有腳部主體711、腳部固定部712a、腳部固定部712b。腳部主體711係延伸於上下方向的棒狀的構材。如示於圖21，腳部主體711之上端係透過螺固等的安裝媒介而固定於搬送缸72及搬送缸72。此外如示於圖21，固定臂78被固定於腳部主體711之上部。 　　腳部固定部712a係如示於圖23，經由螺栓15a而固定地緊固於設備基底部40從而連接，並經由螺栓16a固定地緊固於腳部主體711的下端部從而連接。腳部固定部712b係如示於圖23，經由螺栓15b而固定地緊固於設備基底部40從而連接，並經由螺栓16b固定地緊固於腳部主體711的下端部從而連接。如此，腳部71係經由螺栓15a、15b而固定於設備基底部40。螺栓15a、15b、16a、16b係安裝媒介。此外，腳部71的腳部固定部712b係對應於就P＆P裝置70的可動部進行支撐的支撐構材。 　　搬送缸72係固定於腳部71之上端部，為透過氣壓驅動搬送可動部73的周知的汽缸。搬送缸72係致動器。 　　搬送可動部73被透過搬送缸72而驅動，從而在被導軌74支撐的情況下沿著導軌74移動於水平方向(亦即圖22中的紙面上下方向)。導軌74係固定於腳部71之上端部，可滑動地支撐搬送可動部73。 　　上下缸75係固定於搬送可動部73，為透過氣壓驅動夾頭缸76的周知的汽缸。上下缸75係致動器。 　　夾頭缸76，係透過夾頭缸76驅動於上下方向(亦即圖21的紙面上下方向)。此外，夾頭缸76為透過氣壓將夾具77開閉驅動的周知的汽缸。夾頭缸76係致動器。 　　夾具77係被透過夾頭缸76驅動從而開閉的構材。夾具77關閉使得物品被把持於夾具77。夾具77打開使得物品被開放。 　　固定臂78，係固定於腳部71，為從腳部71之上端部附近朝進料輸送器20A側延伸的棒狀的構材。托板制動器79如示於圖21、圖22，安裝於固定臂78的進料輸送器20A側的頂端。此托板制動器79係供接觸於被透過進料輸送器20A而移動的托板P從而使托板P的移動停止用的構材。 　　P＆P裝置70之中，腳部71、搬送缸72、導軌74、固定臂78、托板制動器79為非可動部的構材。此外，搬送可動部73、上下缸75、夾頭缸76、夾具77該當於可動部。 　　此等可動部被透過不同的致動器而驅動。例如，搬送可動部73被透過搬送缸72而驅動，夾頭缸76亦被透過上下缸75而驅動，不僅搬送缸72。 　　檢測部81係如示於圖23具有：感測器固定構材810、彈性變形構材111、熱流感測器112。 　　感測器固定構材810，係被夾在腳部固定部712b與熱流感測器112之間而配置，並被配置於彈性變形構材111及熱流感測器112與螺栓15b之間。感測器固定構材810供於合理決定彈性變形構材111的初始壓縮尺寸且使熱流感測器112的位置固定用的構材。感測器固定構材810實現與第1實施方式之間隔物110類似的功能。 　　彈性變形構材111，係從感測器固定構材810或設備基底部40受力而彈性變形的薄片狀的構材。彈性變形構材111係與熱流感測器112及感測器固定構材810在上下方向重疊。此外，彈性變形構材111被夾於熱流感測器112與感測器固定構材810之間。彈性變形構材111的形狀及材質係與第1實施方式同等。 　　彈性變形構材111係楊氏模量比腳部固定部712b、比設備基底部40、比感測器固定構材810、比熱流感測器112低(亦即容易變形)。 　　此彈性變形構材111，在P＆P裝置70未作動的狀態(以下稱為基本狀態)下，成為被感測器固定構材810與熱流感測器112夾住而壓縮於上下方向的狀態。 　　P＆P裝置70的搖動，會使得腳部固定部712b與設備基底部40之間之間隔產生變化，彈性變形構材111伸縮變形。彈性變形構材111從此基本狀態被壓縮於上下方向DR時，彈性變形構材111會發熱。此外，彈性變形構材111從此基本狀態伸長於上下方向時，彈性變形構材111會吸熱。 　　熱流感測器112係夾於彈性變形構材111與設備基底部40之間。熱流感測器112，係與彈性變形構材111接觸且與彈性變形構材111於上下方向重疊，從而可檢測彈性變形構材111的熱的流動。熱流感測器112的構成係與第1實施方式相同。 　　如此，彈性變形構材111及熱流感測器112被夾於腳部固定部712b與設備基底部40之間。更具體而言，彈性變形構材111及熱流感測器112被收容於在腳部固定部712b與設備基底部40之間的感測器固定構材810的凹部。藉此，可比未作成如此的情況更加確實地進行：使P＆P裝置70的複數個可動部被驅動所致的搖動反映於彈性變形構材111的變形。 　　此外，感測器固定構材810的凹部設定腳部固定部712b與設備基底部40之間的彈性變形構材111與熱流感測器112的空間。感測器固定構材810之上下方向的凹部的深度增加時，在腳部固定部712b與設備基底部40之間的彈性變形構材111及熱流感測器112的空間之上下方向的寬度增加。因此，感測器固定構材810的凹部之上下方向的高度增加時，彈性變形構材111之上下方向的安裝厚度增加。 　　因此，可透過調整感測器固定構材810的凹部之上下方向的深度，從而調整彈性變形構材111的彈性變形量。在此例，感測器固定構材810對應於彈性變形調整構材。 　　另外，感測器固定構材810與腳部固定部712b的固定、感測器固定構材810與彈性變形構材111的固定、彈性變形構材111與熱流感測器112的固定皆以接著劑或黏著帶實現。 　　在本實施方式中，PLC2控制製造設備裝置1的致動器(亦即，進料輸送器20A的馬達27、排出輸送器20B的馬達27、搬送缸72、上下缸75、夾頭缸76)。 　　更具體而言，PLC2係從主機裝置4接收動作開始訊號時，為了反覆多數次實現既定的機械動作循環，將控制訊號向上述致動器輸出。此外PLC2係從主機裝置4接收動作停止訊號時，使上述致動器的作動停止。 　　1個機械動作循環係例如如示於圖8包含：首先使進料輸送器20A作動的行程、接著使P＆P裝置70作動的行程、最後使排出輸送器20B作動的行程。 　　在使進料輸送器20A作動的行程，PLC2實現托板搬送區塊。在此托板搬送區塊，PLC2使進料輸送器20A進行搬送托板P而接近P＆P裝置70的動作。此時，透過PLC2而進行的進料輸送器20A的馬達27的控制內容，係與在第1實施方式的作動中將托板制動器371置換為托板制動器79者相同。 　　在使P＆P裝置70作動的行程，PLC2係如同第1實施方式的使機器人30作動的行程，將動作開始、夾持、上升、搬送進給、下降、鬆開、上升、搬送送回、下降如此的8個動作區塊依此順序不中斷地依序實現。 　　在動作開始區塊，PLC2執行供於開始P＆P裝置70的動作用的各種初始化處理。於動作開始區塊係不使任何致動器作動，P＆P裝置70的可動部不被驅動。 　　在夾持區塊，PLC2向夾頭缸76輸出夾持用的控制訊號。藉此，夾頭缸76實現夾持驅動。亦即，夾頭缸76使夾具77移動於關閉的方向。此結果，夾具77把持托板P之上端部。夾持區塊持續預先設定的時間。 　　在緊接著夾持區塊後之上升區塊，PLC2向上下缸75輸出上升用的控制訊號。藉此，上下缸75實現上升驅動。亦即，上下缸75使夾頭缸76上升既定距離。此結果，夾頭缸76及夾具77上升，且被夾具77把持的托板P亦上升而從進料輸送器20A的主帶24分離。上下缸75持續上升驅動上述既定距離時，上下缸75之上升驅動結束，上升區塊結束。 　　在搬送進給區塊，PLC2向搬送缸72輸出進給用的控制訊號。藉此，搬送缸72實現進給驅動。藉此，搬送可動部73、上下缸75、夾頭缸76、夾具77沿著導軌74而移動於圖22中上方向。此結果，被夾具77把持的托板P從進料輸送器20A的主帶24之上方，朝排出輸送器20B的主帶24之上方，直線地移動。夾具77到達於排出輸送器20B的主帶24之上方時，搬送缸72的進給驅動結束，搬送進給區塊結束。 　　在緊接著搬送進給區塊後的下降區塊，PLC2向上下缸75輸出下降用的控制訊號。藉此，上下缸75實現下降驅動。亦即，上下缸75使夾頭缸76下降既定距離。此結果，夾頭缸76及夾具77下降，且被夾具77把持的托板P亦下降而抵接於排出輸送器20B的主帶24。上下缸75進行下降驅動上述既定距離時，上下缸75的下降驅動結束。從下降區塊的開始經過既定期間後，下降區塊結束。 　　在鬆開區塊，PLC2向夾頭缸76輸出鬆開用的控制訊號。藉此，夾頭缸76實現鬆開驅動。亦即，夾頭缸76使夾具77移動於打開的方向。此結果，夾具77將托板P開放。鬆開區塊持續預先設定的時間。 　　在緊接著鬆開區塊後之上升區塊，PLC2向上下缸75輸出上升用的控制訊號。藉此，上下缸75實現上升驅動。亦即，上下缸75使夾頭缸76上升既定距離。此結果，夾頭缸76及夾具77上升。此時，夾具77未把持托板P。上下缸75持續上升驅動上述既定距離時，上下缸75之上升驅動結束，上升區塊結束。 　　在搬送送回區塊，PLC2向搬送缸72輸出送回用的控制訊號。藉此，搬送缸72實現送回驅動。藉此，搬送可動部73、上下缸75、夾頭缸76、夾具77沿著導軌74而與搬送進給區塊時逆向地移動。此結果，夾具77從排出輸送器20B的主帶24之上方，朝進料輸送器20A的主帶24之上方，直線地移動。夾具77到達於進料輸送器20A的主帶24之上方時，搬送缸72的進給驅動結束，搬送送回區塊結束。 　　在緊接著搬送送回區塊後的下降區塊，PLC2向上下缸75輸出下降用的控制訊號。藉此，上下缸75實現下降驅動。亦即，上下缸75使夾頭缸76下降既定距離。此結果，夾頭缸76及夾具77下降，且夾具77亦下降而到達於進料輸送器20A的主帶24的正上方。上下缸75持續下降驅動上述既定距離時，上下缸75之下降驅動結束，下降區塊結束。在下降區塊結束的階段，托板P係成為載置於排出輸送器20B的主帶24上的狀態。 　　在使排出輸送器20B作動的行程，PLC2實現托板搬送區塊。在此托板搬送區塊，PLC2使排出輸送器20B進行將托板P搬送而遠離P＆P裝置70的動作。此時，透過PLC2而進行的排出輸送器20B的馬達27的控制內容係與第1實施方式的作動同等。 　　此外，PLC2係如同第1實施方式，將顯示上述的各種動作區塊的切換時點的同步訊號，輸出至計測判定裝置3。 　　如上述的機械動作循環的結果，進料輸送器20A、排出輸送器20B、P＆P裝置70的可動部中的各者被驅動而移動時，該可動部的重心會靜態及動態地變動。進料輸送器20A、排出輸送器20B的可動部的重心的變動係經由設備基底部40傳至檢測部11。此外，在P＆P裝置70的可動部的重心的變動係經由腳部主體711及腳部固定部712b而傳至檢測部81。 　　例如，由於P＆P裝置70的可動部的重心的變動，腳部固定部712b因本身的彈性變形及螺栓15b的彈性變形而相對於設備基底部40搖動。檢測部81被夾於腳部固定部712b與設備基底部40之間而安裝，就腳部固定部712b的搖動進行檢測。因此，透過檢測部81使得可進行在P＆P裝置70的前端的複數個可動部的動作、施加的力的狀態監視。進料輸送器20A、排出輸送器20B方面亦同。 　　更具體而言，依可動部的重心的變動，因應腳部固定部712b的彈性變形量及螺栓15b的彈性變形量發生時間變化，檢測部81的彈性變形構材111會收縮及伸長。熱流感測器112因應彈性變形構材111的收縮及伸長而輸出的訊號係與第1實施方式同樣。 　　於第1實施方式中實現的動作區塊的順序及內容係與在本實施方式中實現的動作區塊的順序及內容大致上相同的。因此，熱流感測器112在本實施方式中的1個機械動作循環所輸出的檢測波形62係與第1實施方式相同。因此，PLC2、計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5的其他作動係與第1實施方式相同。 (其他實施方式) 　　另外，本揭示非限定於上述之實施方式者，可酌情變更。此外，上述各實施方式非彼此無關係者，除顯然不可組合的情況以外，可酌情進行組合。此外，上述各實施方式中，構成實施方式的要素，係除特別明示應為必須的情況及原理上顯然應為必須的情況等以外，非一定必須者。此外，上述各實施方式中，言及實施方式的構成要素的個數、數值、量、範圍等的數值的情況下，除特別明示為必須的情況及原理上顯然限定於特定的數量的情況等以外，非限定於該特定的數量者。尤其，就某量例示複數個值的情況下，除特別附記的情況及原理上顯然不可能的情況以外，亦可採用該等複數個值之間的值。此外，上述各實施方式中，言及構成要素等的形狀、位置關係等時，除特別明示的情況及原理上限定於特定的形狀、位置關係等的情況等以外，非限定於該形狀、位置關係等者。此外，本揭示，係容許對於上述各實施方式之如以下的變形例及均等範圍的變形例。另外，以下的變形例可分別獨立地選擇適用及不適用於上述實施方式。亦即，可將以下的變形例之中任意的組合適用於上述實施方式。 (變形例1) 　　於上述實施方式，亦可PLC2在各機械動作循環，就成為加工對象的工件中的各者，檢測良、不良，將顯示該檢測結果的良、不良資料輸出至計測判定裝置3。並且，計測判定裝置3亦可使此良、不良資料包含於該機械動作循環的循環資料。 (變形例2) 　　於上述第1實施方式，亦可廢棄間隔物110，代替之而於機器人基底部32設置凹部。該情況下，於該凹部配置彈性變形構材111與熱流感測器112。 　　作成如此時，機器人基底部32之中形成凹部的部分設定在安裝基底部31與機器人基底部32之間的彈性變形構材111與熱流感測器112的空間。此凹部之上下方向DR的深度增加時，在安裝基底部31與機器人基底部32之間的彈性變形構材111及熱流感測器112的空間之上下方向DR的寬度增加。因此，此凹部之上下方向DR的深度增加時，彈性變形構材111之上下方向DR的安裝厚度增加。 　　因此，可透過調整此凹部之上下方向DR的深度從而調整彈性變形構材111的彈性變形量。在此例，係機器人基底部32之中形成凹部的部分對應於彈性變形調整構材。 (變形例3) 　　於上述實施方式，安裝媒介方面採用螺栓(亦即緊固構材)。然而，安裝媒介係不限於螺栓，可為用於焊接的焊珠，亦可為接著劑。 (變形例4) 　　在上述實施方式，彈性變形構材111雖為橡膠製，惟不限於橡膠製，只要為樹脂、金屬等會彈性變形者則可為任意者。 (變形例5) 　　在上述實施方式，計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5成為個別的裝置。然而，亦可計測判定裝置3與主機裝置4為相同的裝置。此外，亦可主機裝置4與管理裝置5為相同的裝置。此外，亦可計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5為相同的裝置。 (變形例6) 　　於上述第2實施方式，腳部固定部712b及檢測部81可被與製造設備裝置1個別製造、販賣。此情況下，由腳部固定部712b及檢測部81所成的裝置該當於製造設備系統的一例。 (變形例7) 　　在上述實施方式，記載製造設備裝置1作為設備裝置之例，惟設備裝置可為加工設備裝置，亦可為搬送設備裝置。 (變形例8) 　　在上述實施方式，於1個診斷系統僅使用1個熱流感測器112。然而，亦可必定成為如此。亦可1個診斷系統具有複數個熱流感測器。此情況下，該複數個熱流感測器中的各者，亦只要可檢測出因複數個可動部中的各者被驅動而搖動使得變形的彈性變形構材的熱的流動，各熱流感測器即具有與上述實施方式同樣的效果。 (變形例9) 　　在上述第1實施方式，彈性變形構材111係不僅機器人30的動作，亦因機器人30的外部的影響所致的搖動而變形。因此，熱流感測器112亦輸出與因機器人30的外部的影響所致的搖動對應的檢測訊號。 　　例如，以排出輸送器20B搬送的托板P在排出輸送器20B的出口觸及未圖示的止動器時，該衝撃通過排出輸送器20B而搖動設備基底部40。因此，機器人30亦搖動，熱流感測器112亦輸出檢測訊號。作成如此而從熱流感測器112輸出的訊號亦為於1個機械動作循環通常生成者，故為正常的訊號。 　　此外，物碰撞於製造設備裝置1的整體等的情況下，彈性變形構材111亦發生彈性變形且熱流感測器112亦輸出與該彈性變形對應的檢測訊號。在此例，係可判定異常為某些異常的外力施加於製造設備裝置1。如此般對於如從檢測對象單元(亦即，第1實施方式中的機器人30)的外部搖動檢測對象單元的外力，計測判定裝置3亦可進行正常異常狀態的監視。 (變形例10) 　　在上述第1實施方式，檢測部11的構成要素方面例示彈性變形構材111及熱流感測器112。然而，檢測部11的構成要素方面，亦可置換彈性變形構材111及熱流感測器112，使用如示於圖24、圖25的壓電元件膜115。 　　壓電元件膜115，係夾在安裝基底部31與機器人基底部32之間，接觸於安裝基底部31與機器人基底部32。壓電元件膜115具有由聚偏二氟乙烯所成的PVDF (polyvinylidence fluoride)膜、訊號電極、接地電極。PVDF被訊號電極及接地電極夾住。 　　藉此，壓電元件膜115作用為壓電元件。具體而言，因應於因機器人基底部32的搖動而施加於壓電元件膜115的壓力變動，在訊號電極與接地電極之間產生電位差。此結果，訊號電極將與壓電元件膜115的振動及變形對應的檢測波形輸出至計測判定裝置3。 　　作成如此使得壓電元件膜115可檢測與因機器人30的複數個可動部被驅動而搖動對應的壓力變動。 　　更具體而言，依可動部的重心的變動，因應機器人基底部32的彈性變形量及螺栓13a、13b的彈性變形量發生時間變化，施加於壓電元件膜115的壓力產生變動。並且，壓電元件膜115輸出與此壓力變動對應的檢測波形。因此，變得可基於壓電元件膜115的輸出而進行複數個可動部的動作的診斷。 　　另外，使用壓電元件膜115的情況下，可將間隔物110以與第1實施方式同樣的方式配置，亦可廢棄。 　　在第2實施方式亦同樣地，可將彈性變形構材111及熱流感測器112以壓電元件膜115置換。藉此，壓電元件膜115可檢測與因P＆P裝置70的複數個可動部被驅動而搖動對應的壓力變動。因此，變得可基於壓電元件膜115的輸出而進行複數個可動部的動作的診斷。 　　另外，將熱流感測器112、113置換為壓電元件膜115的情況下，計測判定裝置3、主機裝置4、管理裝置5的作動內容亦與第1、第2實施方式相同。 (總結) 　　依以上述各實施方式的一部分或全部揭示的第1觀點時，診斷系統就具備透過不同的致動器而驅動的複數個可動部的設備裝置進行診斷。診斷系統具備檢測部及取得部，該檢測部係輸出與因前述複數個可動部中的各者被驅動而搖動對應的檢測波形者，該取得部係取得前述檢測部輸出的前述檢測波形者。 　　此外，依第2觀點時，支撐複數個可動部的支撐部係透過安裝媒介而連接於作為支撐部被安裝的目標的基底部。檢測部係因應於支撐部或安裝媒介的彈性變形量時間變化而輸出檢測波形，該彈性變形量時間變化係因複數個可動部中的各者被驅動而移動時的該可動部的重心的變動而產生者。透過作成如此，使得可確實檢測因複數個可動部被驅動所致的搖動。 　　此外，依第3觀點時，前述檢測部具備彈性變形構材及熱流感測器，該彈性變形構材係由於因前述複數個可動部中的各者被驅動而發生的搖動使得變形者，該熱流感測器係可就前述彈性變形構材的熱的流動進行檢測者。作成如此使得可基於1個熱流感測器的輸出而進行複數個可動部的動作的診斷。 　　此外，依第4觀點時，支撐前述複數個可動部的支撐部係透過安裝媒介而連接於作為前述支撐部被安裝的目標的基底部。前述彈性變形構材係夾於前述支撐部與前述基底部之間，前述檢測部係具有在前述支撐部與前述基底部之間設定前述彈性變形構材的空間的彈性變形調整構材。 　　作成如此使得可更確實進行使因複數個可動部被驅動所致的搖動反映於彈性變形構材的變形。 　　此外，依第5觀點時，前述檢測部具有壓電元件膜，該壓電元件膜係可檢測與因前述複數個可動部中的各者被驅動而搖動對應的壓力變動者。作成如此使得壓電元件膜可檢測與因複數個可動部被驅動而搖動對應的壓力變動。 　　此外，依第6觀點時，於前述設備裝置的1個機械動作循環依序執行複數個動作區塊。前述複數個可動部的動作態樣在前述複數個動作區塊間不同。前述取得部，係就前述複數個動作區塊中的各者，就在前述1個機械動作循環中輸出的前述檢測波形之中在該動作區塊所輸出的時間區間，依與該動作區塊對應的演算法進行診斷。 　　如此，取得部係將1個檢測波形分為與複數個動作區塊對應的複數個時間區間。並且取得部可對於該等時間區間中的各者，以對應於與該時間區間對應的動作區塊下的演算法進行診斷。透過作成如此，使得可基於在1個機械動作循環中的檢測波形，容易地進行適於複數個可動部的動作態樣的診斷。 　　此外，依第7觀點時，前述取得部具備計測判定裝置及管理裝置，該計測判定裝置係基於前述檢測波形就前述複數個可動部的動作進行診斷者。前述計測判定裝置係就前述複數個動作區塊中的各者，就在前述1個機械動作循環中輸出的前述檢測波形之中在該動作區塊所輸出的時間區間，依與該動作區塊對應的演算法進行診斷。前述管理裝置具備作成部，該作成部係作成顯示就前述複數個區塊中的各者使用何種演算法的對應資訊者。前述管理裝置具有模擬部，該模擬部係對前述檢測部於前述設備裝置的複數個機械動作循環所輸出的複數個檢測波形中的各者，適用依前述對應資訊下的演算法者。 　　藉此，就以作成部作成的對應資訊是否適切，作業員可在實際在計測判定裝置使用該對應資訊之前進行判斷。 　　此外，依第8觀點時，前述取得部具備計測判定裝置及主機裝置，該計測判定裝置係基於前述檢測波形就前述複數個可動部的動作進行診斷者，該主機裝置係使前述檢測波形顯示於影像顯示裝置者。前述計測判定裝置不與前述主機裝置共用演算裝置。 　　如此，基於檢測波形進行診斷的計測判定裝置，係予以顯示檢測波形的主機裝置不與前述主機裝置共用演算裝置，使得可提高診斷功能的實時性能。 　　此外，依第9觀點時，診斷系統係前述取得部基於前述檢測部於前述設備裝置的複數個機械動作循環所輸出的複數個檢測波形，決定判定參數。前述取得部，係基於前述檢測波形與判定參數的比較結果，診斷前述複數個可動部的動作從而進行品質保證，使自程序完結為可能。 　　如此，利用設備裝置的在複數個機械動作循環的複數個檢測波形而診斷複數個可動部的動作，使得可進行適應該設備裝置的特性的診斷。

1‧‧‧製造設備裝置2‧‧‧可程式化邏輯控制器3‧‧‧計測判定裝置4‧‧‧主機裝置5‧‧‧管理裝置11‧‧‧檢測部12a‧‧‧螺栓12b‧‧‧螺栓12c‧‧‧螺栓12d‧‧‧螺栓13a‧‧‧螺栓13b‧‧‧螺栓14a‧‧‧螺栓14b‧‧‧螺栓15a‧‧‧螺栓15b‧‧‧螺栓16a‧‧‧螺栓16b‧‧‧螺栓20A‧‧‧進料輸送器20B‧‧‧排出輸送器21a‧‧‧腳部21b‧‧‧腳部23a‧‧‧第1滑輪23b‧‧‧第2滑輪25a‧‧‧第3滑輪25b‧‧‧第4滑輪22‧‧‧機台24‧‧‧主帶26‧‧‧副帶27‧‧‧馬達28‧‧‧外殼30‧‧‧機器人31‧‧‧安裝基底部32‧‧‧機器人基底部33‧‧‧馬達34‧‧‧可動殼35‧‧‧桿體36‧‧‧線性致動器37‧‧‧手指部40‧‧‧設備基底部41‧‧‧資料儲存處理42‧‧‧可視化處理43‧‧‧加工條件變更處理44‧‧‧編碼處理51‧‧‧監控碼作成處理52‧‧‧模擬處理53‧‧‧標準波形作成處理61‧‧‧標準波形61a‧‧‧上限波形61b‧‧‧下限波形62‧‧‧檢測波形62a‧‧‧檢測波形62b‧‧‧檢測波形62c‧‧‧檢測波形62x‧‧‧輸出等級63‧‧‧同步訊號63a‧‧‧同步訊號63b‧‧‧同步訊號63c‧‧‧同步訊號66‧‧‧波形67‧‧‧波形70‧‧‧P＆P裝置71‧‧‧腳部72‧‧‧搬送缸73‧‧‧搬送可動部74‧‧‧導軌75‧‧‧上下缸76‧‧‧夾頭缸77‧‧‧夾具78‧‧‧固定臂79‧‧‧托板制動器81‧‧‧檢測部90‧‧‧監控碼91‧‧‧區塊配方對應資訊92‧‧‧配方參數資訊93‧‧‧複數個旗標資訊110‧‧‧間隔物111‧‧‧彈性變形構材112‧‧‧熱流感測器115‧‧‧壓電元件膜371‧‧‧托板制動器372‧‧‧臂件373‧‧‧夾具致動器374‧‧‧夾具711‧‧‧腳部主體712a‧‧‧腳部固定部712b‧‧‧腳部固定部810‧‧‧感測器固定構材A100‧‧‧絕緣基材A100a‧‧‧表面A100b‧‧‧背面A101‧‧‧第1導孔A102‧‧‧第2導孔A110‧‧‧表面保護構材A111‧‧‧表面導體圖案A120‧‧‧背面保護構材A121‧‧‧背面導體圖案A130‧‧‧第1層間連接構材A140‧‧‧第2層間連接構材DP1‧‧‧峰寬DP2‧‧‧峰寬DR‧‧‧上下方向P‧‧‧托板Tz‧‧‧期間X‧‧‧軸

有關本揭示的上述目的及其他目的、特徵、優點等，在參照附圖之下因下述的詳細記述而變得更加明確。 　　[圖1]第1實施方式相關的製造設備系統的構成圖。 　　[圖2]製造設備裝置的正面圖。 　　[圖3]製造設備裝置的平面圖。 　　[圖4]感測部及其周邊的放大剖面圖。 　　[圖5]機器人的平面圖。 　　[圖6]熱流感測器的平面圖。 　　[圖7]沿著圖6中的VII-VII線的剖面圖。 　　[圖8]就PLC實現的機械動作進行繪示的圖。 　　[圖9]就從熱流感測器輸出的訊號之例進行繪示的圖形。 　　[圖10]就判定配方的處理內容進行繪示的流程圖。 　　[圖11]就在進料輸送器的搬送區塊方面的標準波形及檢測波形進行繪示的圖形。 　　[圖12]就在進料輸送器的搬送區塊方面的標準波形及檢測波形的絕對值的移動平均進行繪示的圖。 　　[圖13]就在上升區塊方面的標準波形及檢測波形進行繪示的圖形。 　　[圖14]就標準波形之上限波形與下限波形進行繪示的圖形。 　　[圖15]就在相同的時點抽出的母體進行繪示的圖。 　　[圖16]就基於母體的平均值及標準差進行繪示的圖。 　　[圖17]就主機裝置執行的處理進行繪示的圖。 　　[圖18]透過主機裝置的可視化處理而顯示的資訊的一例。 　　[圖19]透過主機裝置的可視化處理而顯示的資訊的一例。 　　[圖20]就監控碼的構成進行繪示的圖。 　　[圖21]第2實施方式中的製造設備裝置的正面圖。 　　[圖22]製造設備裝置的平面圖。 　　[圖23]感測部及其周邊的放大剖面圖。 　　[圖24]利用壓電元件膜下的製造設備系統的構成圖。 　　[圖25]壓電元件膜及其周邊的放大剖面圖。

1‧‧‧製造設備裝置

11‧‧‧檢測部

12a‧‧‧螺栓

12b‧‧‧螺栓

12c‧‧‧螺栓

12d‧‧‧螺栓

13a‧‧‧螺栓

13b‧‧‧螺栓

14a‧‧‧螺栓

14b‧‧‧螺栓

20A‧‧‧進料輸送器

21a‧‧‧腳部

21b‧‧‧腳部

22‧‧‧機台

23a‧‧‧第1滑輪

23b‧‧‧第2滑輪

25a‧‧‧第3滑輪

25b‧‧‧第4滑輪

24‧‧‧主帶

26‧‧‧副帶

27‧‧‧馬達

28‧‧‧外殼

30‧‧‧機器人

31‧‧‧安裝基底部

32‧‧‧機器人基底部

33‧‧‧馬達

34‧‧‧可動殼

35‧‧‧桿體

36‧‧‧線性致動器

37‧‧‧手指部

40‧‧‧設備基底部

371‧‧‧托板制動器

372‧‧‧臂件

373‧‧‧夾具致動器

374‧‧‧夾具

DR‧‧‧上下方向

P‧‧‧托板

X‧‧‧軸

Claims (6)

1. 一種診斷系統，就具備複數個可動部(23a、23b、24、25a、25b、26、34、35、36、37、73、75、76、77)的設備裝置(1)進行診斷，該複數個可動部係透過不同的致動器(27、33、36、373、72、75、76)驅動者，該診斷系統具備檢測部(11、81)及取得部(3、4、5)，該檢測部係輸出與因前述複數個可動部中的各者被驅動而發生的搖動對應的檢測波形者，該取得部係取得前述檢測部輸出的前述檢測波形者，前述檢測部具有彈性變形構材(111)與熱流感測器(112)，該彈性變形構材係因前述複數個可動部中的各者被驅動而發生的搖動使得變形者，該熱流感測器係可就前述彈性變形構材的熱的流動進行檢測者，就前述複數個可動部進行支撐的支撐部(32、71)係透過安裝媒介(13a、13b、15b)連接於作為前述支撐部被安裝的目標的基底部(31、40)，前述彈性變形構材係夾於前述支撐部(32、71)與前述基底部(40)之間，前述檢測部係在前述支撐部與前述基底部之間具有設定前述彈性變形構材的空間的彈性變形調整構材(110、810)。
2. 如申請專利範圍第1項的診斷系統，其中，前述檢測部係因應於前述支撐部或前述安裝媒介的彈性變形量時間變化而輸出前述檢測波形，該彈性變形量時間變化係因前述複數個可動部中的各者被驅動而移動時的該可動部的重心的變動而產生者。
3. 如申請專利範圍第1或2項的診斷系統，其中，於前述設備裝置的1個機械動作循環依序執行複數個動作區塊，前述複數個可動部的動作態樣在前述複數個動作區塊間不同，前述取得部係就前述複數個動作區塊中的各者，就在前述1個機械動作循環中輸出的前述檢測波形之中在該動作區塊所輸出的時間區間，依與該動作區塊對應的演算法進行診斷。
4. 如申請專利範圍第1或2項的診斷系統，其中，前述取得部具備計測判定裝置(3)及管理裝置(5)，該計測判定裝置係基於前述檢測波形就前述複數個可動部的動作進行診斷者，前述計測判定裝置係就前述複數個動作區塊中的各者，就在前述1個機械動作循環中輸出的前述檢測波形之中在該動作區塊所輸出的時間區間，依與該動作區塊對應 的演算法進行診斷，前述管理裝置具有作成部(51)及模擬部(52)，該作成部係就前述複數個區塊中的各者作成顯示使用何種演算法的對應資訊(91)者，該模擬部係對前述檢測部於前述設備裝置的複數個機械動作循環所輸出的複數個檢測波形中的各者，適用依前述對應資訊下的演算法者。
5. 如申請專利範圍第1或2項的診斷系統，其中，前述取得部具備計測判定裝置(3)及主機裝置(4)，該計測判定裝置係基於前述檢測波形就前述複數個可動部的動作進行診斷者，該主機裝置係使前述檢測波形顯示於影像顯示裝置者，前述計測判定裝置不與前述主機裝置共用演算裝置。
6. 如申請專利範圍第1或2項的診斷系統，其中，前述取得部係基於前述檢測部於前述設備裝置的複數個機械動作循環所輸出的複數個檢測波形，決定判定參數(Va、Vb、Ta、Tb、DPx)，基於前述檢測波形與判定參數的比較結果，診斷前述複數個可動部的動作從而進行品質保證，使自程序完結為可能。

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