JP4500061B2 - 硬質皮膜の成膜方法 - Google Patents
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Description
ここで、図1、2に示す成膜装置は、共通して、上記アーク蒸発源5 、6 及びスパッタリング蒸発源2 、3 ともに、これらの蒸発源が各々具備する永久磁石等の磁場印加機構4により発生および制御される磁場10を利用している。
図1、2に示した成膜装置を用いて、基板1に流れるイオン電流を測定した。図1の本発明成膜装置では、基板1に流れる約14mA/cm2 のイオン電流が得られ、基板1に流れるイオン電流は明らかに増加していた。これに対して、図2の比較例成膜装置の場合、基板1に流れるイオン電流は、その半分の約7mA/cm2 程度でしかなく、基板1に流れるイオン電流は増加していなかった。この結果からも、本発明成膜装置では、基板へのイオン照射を増加させ、より特性に優れた皮膜を形成することが可能となることが裏付けられる。
次に、図3を用いて、本発明成膜装置の別の実施態様を説明する。図3に示す成膜装置では、図1のように、スパッタリング蒸発源2 、3 とアーク蒸発源5 、6 とを、チャンバ8 内に、円周状には配置せず、直列的に交互に配列した例を示している。各蒸発源の配列の仕方は、必ずしも直線的でなくても、曲線的などでも良く、各蒸発源の配列数も自由に選択できる。
以上説明した図1、3などの本発明成膜装置において、前記アーク蒸発源とスパッタリング蒸発源とを同時に作動させて、窒素を含有する硬質皮膜を形成するに際しては、スパッタリングガス中に窒素を混合させるとともに、混合した窒素の分圧を0.5Pa以上とする。
ただ、上記した窒素分圧を0.5Pa以上とする成膜において、同一成膜チャンバ内においてアーク成膜とスパッタリング成膜とを同時に行なう場合、スパッタリング蒸発源に用いる材料によっては別の問題を生じることがある。即ち、スパッタリングターゲット材が反応ガスと反応して、ターゲット材表面に絶縁体(絶縁物)を生じ、この絶縁体によって、スパッタリング蒸発源で異常放電(アーキング)が生じる可能性がある。例えば、ターゲット材としてSiを用い、これを窒素中でスパッタリングする場合に、Siが窒素と反応してSiNの絶縁体をターゲット材表面に形成しやすく、この異常放電の問題が特に生じやすい。
この問題に対しては、成膜中に、スパッタリングガスを前記スパッタリング蒸発源近傍よりチャンバ内に導入し、反応ガスを前記アーク蒸発源近傍よりチャンバ内に導入することで対応できる。この態様を図4に示す。図4の本発明成膜装置の基本的な構成は、前記した図1と同じであるが、成膜中に、スパッタリングガスを前記スパッタリング蒸発源近傍より導入し、反応ガスを前記アーク蒸発源近傍より導入する点が特徴的である。
なお、スパッタリングターゲットにおける異常放電は、上記した窒素などの反応ガスによるターゲット材表面の絶縁体形成では無い、他の原因によって生じる場合がある。
この問題に対しては、成膜中に、スパッタリング蒸発源の非エロージョンエリア22に電圧がかからないようにすることが好ましい。
以上のような構成の本発明成膜装置を用い、同一チャンバ内において、アーク蒸発源とスパッタリング蒸発源とを同時に作動させて、硬質皮膜を成膜する際の皮膜組成や、皮膜材料と蒸発源との関係を以下に説明する。
2 元系では、TiAl(C1-x N x ) 、TiSi(C1-x N x ) 、TiCr(C1-x N x ) 、TiV(C1-xN x ) 、TiB(C1-xN x ) 、CrAl(C1-x N x ) 、CrSi(C1-x N x ) 、CrV(C1-xN x ) 、CrB(C1-xN x ) 、VAl(C1-xN x ) 、VSi(C1-xN x ) 、VB(C1-x N x ) などで表せる。
3 元系では、TiAlSi(C1-x N x ) 、TiAlCr(C1-x N x ) 、TiAlV(C1-xN x ) 、TiAlB(C1-xN x ) 、TiCrSi(C1-x N x ) 、TiCrV(C1-x N x )、TiCrB(C1-x N x )、TiVSi(C1-x N x )、TiVB(C1-x N x ) 、CrAlSi(C1-x N x ) 、CrAlV(C1-x N x )、CrAlB(C1-x N x )、CrSiV(C1-x N x )、CrSiB(C1-x N x )、CrVB(C1-x N x ) 、VAlSi(C1-x N x )、VAlB(C1-x N x ) 、などで表せる。
4 元系では、TiAlSiCr(C1-x N x ) 、TiAlSiV(C1-x N x )、TiAlSiB(C1-x N x )、TiAlCrV(C1-x N x )、TiAlCrB(C1-x N x )、TiAlVB(C1-x N x ) 、TiCrSiV(C1-x N x )、TiCrSiB(C1-x N x )、TiCrVB(C1-x N x ) 、CrAlSiV(C1-x N x )、CrAlSiB(C1-x N x )、CrAlVB(C1-x N x ) 、CrSiVB(C1-x N x ) 、VAlSiB(C1-x N x ) などで表せる。
これ以外に、スパッタ蒸発源で形成する化合物としては、BN、BCN 、SiN 、SiCN、CuN 、CuCNのいずれか、または金属Cuが推奨される。
以上説明したように、本発明成膜装置は、同一チャンバ内において、アーク蒸発源とスパッタリング蒸発源とを同時に作動させて、効率よく硬質皮膜を成膜することができるので、硬質皮膜の中でも、特に、複合硬質皮膜の成膜に好適である。ここで言う複合硬質皮膜とは、立方晶岩塩型構造を有する硬質皮膜層A と、立方晶岩塩型構造以外の結晶構造を有する硬質皮膜層B とが交互に積層された皮膜構造を有し、硬質皮膜層A の厚みを硬質皮膜層B の厚みよりも厚くした微細結晶硬質皮膜である。
5 、6 :電子ビーム蒸発源、8:チャンバ、9:回転盤、10: 磁場、
11、12: 導管、13: シールド、14: バッキングプレート、15: グランドアース、16: スパッタ電源、17: 治具、20: ターゲット材、21: エロージョンエリア、
22、24、25: 非エロージョンエリア
Claims (4)
- 同一成膜チャンバ内に、磁場印加機構を有するアーク蒸発源とスパッタリング蒸発源とを各々1台以上配置し、成膜する基板を、前記アーク蒸発源とスパッタリング蒸発源との間で、順次相対的に移動させる手段を有し、成膜中に、隣り合う前記蒸発源同士の磁力線が互いにつながるように前記磁場印加機構が構成されている複合成膜装置を用い、前記アーク蒸発源とスパッタリング蒸発源とを同時に作動させて硬質皮膜を形成するに際し、不活性ガスであるスパッタリングガス中に窒素を混合させるとともに、このスパッタリングガスと窒素の全圧を2〜4Paとし、混合した窒素の分圧を0.5〜2.65Paとし、且つアーク蒸発源からTiAl合金を蒸発させることを特徴とする硬質皮膜の成膜方法。
- 前記成膜中に、第1の管によって前記スパッタリングガスを前記スパッタリング蒸発源近傍より前記成膜チャンバ内に導入するとともに、前記第1の管とは別の第2の管によって前記窒素ガスを前記アーク蒸発源近傍より前記成膜チャンバ内に導入する請求項1に記載の硬質皮膜の成膜方法。
- 前記スパッタリング蒸発源として、エロージョンエリア以外の部分に、電気的に絶縁体である材料を使用する請求項1または2に記載の硬質皮膜の成膜方法。
- 前記スパッタリング蒸発源として、エロージョンエリア以外の部分に、スパッタリングターゲットの電位に対して、フローティング電位あるいはグラウンド電位となるシールドを設けたものを使用する請求項1または2に記載の硬質皮膜の成膜方法。
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