JP4486890B2 - 電気的プローブシステム - Google Patents
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Description
しかしながら、基板サイズの拡大化に伴って、変形防止に手間取り、その分、検査の円滑性が損なわれていた。
本発明の第1の側面によれば、個別のプローブに固有な測定の精度のための上下限圧に より定義される圧閾幅が重なりをもち、その圧閾幅の重なり内で、測定の精度がそれぞれ 接触圧の絶対値に連続的に依存するプローブを用いているので、その圧閾幅の重なり内の 接触圧でプローブを作動させても、測定精度を所望な精度に維持することが可能な電気的 プローブシステムが得られる。
本発明の第2の側面に係る基板検査用プローブユニットは、頂部包絡面が平らなパッド を有する被検基板を、そのプローブ検査の間、該被検基板が受けるプローブ接触圧及び自 重により元の形から撓み変形したまま保持する基板保持機構と、前記基板保持機構に三次 元的に位置決め可能な、プローブ植設面を有するプローブホルダが設けられたプローブユ ニットとを備える電気的プローブシステムのための基板検査用プローブユニットであって 、前記プローブ植設面に植設され、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記被検基板の 第1の領域のパッド群の頂部にそれぞれ第1のフリーストローク位置からのフルストローク より短い第1の圧縮量に応じた第1の接触圧で弾接可能な第1のプローブ群と、前記プロー ブ植設面に植設され、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記被検基板の第1の領域に 連続する第2の領域のパッド群の頂部にそれぞれ第2のフリーストローク位置からのフル ストロークより短い第2の圧縮量に応じた第2の接触圧で弾接可能な第2のプローブ群とを 備え、前記第1及び第2のプローブ群それぞれのプローブは、個別のプローブに固有な測定 の精度のための上下限圧により定義される圧閾幅が重なりをもち、その圧閾幅の重なり内 で、測定の精度がそれぞれ前記第1及び第2の接触圧の絶対値に連続的に依存し、前記第1 及び第2のプローブ群は、それぞれ前記第1及び第2の圧縮量を包含する前記第1及び第 2のプローブ群に共通なストローク変域を有していて、該ストローク変域の中点に対応す る所定の検査精度を得るための第1及び第2の局所的な検査基準面を持ち、前記第1及び 第2の局所的な検査基準面が共に平たくて、互いに段差があり、前記第1及び第2のプロー ブ群それぞれのプローブの圧閾幅の重なり内で被検基板の撓み変形を反力矯正せずに、前 記所定の検査精度の近傍で前記被検基板のプローブ検査を行えることを特徴とする。
本発明の第2の側面によれば、個別のプローブに固有な測定の精度のための上下限圧に より定義される圧閾幅が重なりをもち、その圧閾幅の重なり内で、測定の精度がそれぞれ 接触圧の絶対値に連続的に依存するプローブを用いているので、その圧閾幅の重なり内の 接触圧でプローブを作動させても、測定精度を所望な精度に維持することが可能な基板検 査用プローブユニットが得られる。
本発明の第3の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第2の側面に係る基板 検査用プローブユニットであって、前記プローブホルダのプローブ植設面の外縁に前記被 検基板の撓み変形を許容する段差部を設けたことを特徴とする。
本発明の第4の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第2又は3の側面に係 る基板検査用プローブユニットであって、それぞれ前記第1及び第2のプローブ群が植設さ れたプローブ植設面の第1及び第2の領域間に前記被検基板の撓み変形を許容する段差を 設けたことを特徴とする。
本発明の第5の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第4の側面に係る基板 検査用プローブユニットであって、前記第1及び第2のプローブ群のフルストロークが同 じであることを特徴とする。
本発明の第6の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第4の側面に係る基板 検査用プローブユニットであって、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記第1のプロ ーブ群のプローブの第1の圧縮量が前記第2のプローブ群のプローブの第2の圧縮量より 大きくなることを特徴とする。
本発明の第7の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第4の側面に係る基板 検査用プローブユニットであって、前記段差は前記第1のプローブ群のフルストロークの 15%以上になっていることを特徴とする。
本発明の第9の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第8の側面に係る基板 検査用プローブユニットであって、前記第1のプローブ群のフルストロークが前記第2の プローブ群のフルストロークより大きいことを特徴とする。
本発明の第10の側面に係る基板検査用プローブユニットは、前記第9の側面に係る基 板検査用プローブユニットであって、前記第1のプローブ群のフルストロークと前記第2 のプローブ群のフルストロークとの差が前記第1のプローブ群のフルストロークの20% 以上になっていることを特徴とする。
本発明の第3乃至第10の各側面のいずれによっても、所望な測定精度を効果的に維持し つつ、圧閾幅の重なり内の接触圧でプローブを作動させることが可能な基板検査用プロー ブユニットが得られる。
本発明の一側面によれば、第1のプローブ群が所定範囲の接触圧により第1のパッド群に弾接可能な第1のストローク変域と、第2のプローブ群が同じ範囲の接触圧により第2のパッド群に弾接可能な第2のストローク変域とが異なる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る電気的プローブシステムの斜視図;
図2は、図1の電気的プローブシステムのプローブの断面図;
図3は、図2のプローブの変更例を示す断面図;
図4は、図2のプローブの別の変更例を示す断面図;
図5は、図1の電気的プローブシステムの検査対象となる基板の平面図;
図6は、図5の基板を保持する基板保持機構の平面図;
図7は、図6の基板保持機構の変更例を示す平面図;
図8は、図6の基板保持機構に従来の変形防止方式を適用した比較例の説明図;
図9は、図6の基板保持機構で保持された基板の変形を予測する説明図;
図10は、本発明の原理説明図;
図11は、本発明の第2の実施の形態に係る電気的プローブシステムの側面図;
図12は、図11の電気的プローブシステムのプローブユニットの底面図;
図13は、図12のプローブユニットのXIII-XIII線断面図;
図14は、本発明の第3の実施の形態に係る電気的プローブシステムのプローブユニットの底面図;
図15は、図14のプローブユニットのXV-XV線断面;
図16は、本発明の第4の実施の形態に係る電気的プローブシステムの側面図;
図17は、図16の電気的プローブシステムの下側プローブユニットの斜視図;
図18は、本発明の第5の実施の形態に係る電気的プローブシステムの要部断面図;
図19は、本発明の第6の実施の形態に係る電気的プローブシステムの要部断面図;そして
図20は、本発明の第7の実施の形態に係る電気的プローブシステムの要部断面図である。
先ず、図1〜図7を参照して、本発明の第1の実施の形態及びその変更例を説明する。
各プローブ5n,mは、導電性の針状部材である上下のプランジャPL1,PL2とその間に介装された導電性のコイルばねSP1とを有する弾発式の導電性接触子CP1として構成される。
次に、図11〜図13を参照して、本発明の第2の実施の形態およびその変更例に相当する第3の実施の形態を説明する。なお、以下の実施の態様において、第1の実施の態様と同様な要素は、その参照番号の前に実施態様の番号を付して示す。
次に、図16〜図17を参照して、本発明の第4の実施の形態を説明する。
次に、図18〜図19を参照して、本発明の第5の実施の形態およびその変更例に相当する第6の実施の形態を説明する。
次に、図20を参照して、本発明の第5及び第6の実施の形態の変更例である第7の実施の形態を説明する。
Claims (10)
- 頂部包絡面が平らなパッドを有する被検基板を、そのプローブ検査の間、該被検基板が受けるプローブ接触圧及び自重により元の形から撓み変形したまま保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構に三次元的に位置決め可能な、プローブ植設面を有するプローブホルダが設けられたプローブユニットと
を備え、
前記プローブユニットは、
前記プローブ植設面に植設され、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記被検基板の第1の領域のパッド群の頂部にそれぞれ第1のフリーストローク位置からのフルストロークより短い第1の圧縮量に応じた第1の接触圧で弾接可能な第1のプローブ群と、
前記プローブ植設面に植設され、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記被検基板の第1の領域に連続する第2の領域のパッド群の頂部にそれぞれ第2のフリーストローク位置からのフルストロークより短い第2の圧縮量に応じた第2の接触圧で弾接可能な第2のプローブ群と
を備え、
前記第1及び第2のプローブ群それぞれのプローブは、個別のプローブに固有な測定の精度のための上下限圧により定義される圧閾幅が重なりをもち、その圧閾幅の重なり内で、測定の精度がそれぞれ前記第1及び第2の接触圧の絶対値に連続的に依存し、
前記第1及び第2のプローブ群は、それぞれ前記第1及び第2の圧縮量を包含する前記第1及び第2のプローブ群に共通なストローク変域を有していて、該ストローク変域の中点に対応する所定の検査精度を得るための第1及び第2の局所的な検査基準面を持ち、
前記第1及び第2の局所的な検査基準面が共に平たくて、互いに段差があり、
前記第1及び第2のプローブ群それぞれのプローブの圧閾幅の重なり内で被検基板の撓み変形を反力矯正せずに、前記所定の検査精度の近傍で前記被検基板のプローブ検査を行えることを特徴とする電気的プローブシステム。 - 頂部包絡面が平らなパッドを有する被検基板を、そのプローブ検査の間、該被検基板が受けるプローブ接触圧及び自重により元の形から撓み変形したまま保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構に三次元的に位置決め可能な、プローブ植設面を有するプローブホルダが設けられたプローブユニットとを備える
電気的プローブシステムのための基板検査用プローブユニットであって、
前記プローブ植設面に植設され、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記被検基板の第1の領域のパッド群の頂部にそれぞれ第1のフリーストローク位置からのフルストロークより短い第1の圧縮量に応じた第1の接触圧で弾接可能な第1のプローブ群と、
前記プローブ植設面に植設され、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記被検基板の第1の領域に連続する第2の領域のパッド群の頂部にそれぞれ第2のフリーストローク位置からのフルストロークより短い第2の圧縮量に応じた第2の接触圧で弾接可能な第2のプローブ群と
を備え、
前記第1及び第2のプローブ群それぞれのプローブは、個別のプローブに固有な測定の精度のための上下限圧により定義される圧閾幅が重なりをもち、その圧閾幅の重なり内で、測定の精度がそれぞれ前記第1及び第2の接触圧の絶対値に連続的に依存し、
前記第1及び第2のプローブ群は、それぞれ前記第1及び第2の圧縮量を包含する前記第1及び第2のプローブ群に共通なストローク変域を有していて、該ストローク変域の中点に対応する所定の検査精度を得るための第1及び第2の局所的な検査基準面を持ち、
前記第1及び第2の局所的な検査基準面が共に平たくて、互いに段差があり、
前記第1及び第2のプローブ群それぞれのプローブの圧閾幅の重なり内で被検基板の撓み変形を反力矯正せずに、前記所定の検査精度の近傍で前記被検基板のプローブ検査を行えることを特徴とする基板検査用プローブユニット。 - 請求項2に記載の基板検査用プローブユニットであって、前記プローブホルダのプローブ植設面の外縁に前記被検基板の撓み変形を許容する段差部を設けたことを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項2又は3に記載の基板検査用プローブユニットであって、それぞれ前記第1及び第2のプローブ群が植設されたプローブ植設面の第1及び第2の領域間に前記被検基板の撓み変形を許容する段差を設けたことを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項4に記載の基板検査用プローブユニットであって、前記第1及び第2のプローブ群のフルストロークが同じであることを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項4に記載の基板検査用プローブユニットであって、前記被検基板のプローブ検査に際し、前記第1のプローブ群のプローブの第1の圧縮量が前記第2のプローブ群のプローブの第2の圧縮量より大きくなることを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項4に記載の基板検査用プローブユニットであって、前記段差は前記第1のプローブ群のフルストロークの15%以上になっていることを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項2又は3に記載の基板検査用プローブユニットであって、それぞれ前記第1及び第2のプローブ群が植設されたプローブ植設面の第1及び第2の領域間に段差がないことを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項8に記載の基板検査用プローブユニットであって、前記第1のプローブ群のフルストロークが前記第2のプローブ群のフルストロークより大きいことを特徴とする基板検査用プローブユニット。
- 請求項9に記載の基板検査用プローブユニットであって、前記第1のプローブ群のフルストロークと前記第2のプローブ群のフルストロークとの差が前記第1のプローブ群のフルストロークの20%以上になっていることを特徴とする基板検査用プローブユニット。
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