JP4486872B2 - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
10A 導体パターン形成面
11 絶縁層
12 導体
13 永久レジスト層
13a 裾引き傾斜部
14 マスクフィルム
15 光拡散シート
16 光学レンズシート
21 光源
A 露光部
B 非露光部
L 光軸
M 垂直軸線
a 裾引き状に拡大露光された部分
k 斜光
f 露光面
Claims (6)
- 永久レジストを用いたプリント配線板の製造方法であって、
導体パターンが形成された基板の導体パターン形成面に、ネガティブタイプの感光性レジストで感光性レジスト層を形成する工程と、
前記感光性レジスト層上に、永久レジストパターンを光透過部と非光透過部とにより形成したマスクフィルムを配置する工程と、
前記マスクフィルムの光透過部を含む位置に、光透過性の光拡散シートを配置する工程と、
前記光拡散シートを通して平行光露光を行って露光部分の感光性レジストを硬化した後、非露光部分の感光性レジストを除去し、電子部品を実装する開口部を含む永久レジスト層を形成する工程と、
前記永久レジスト層が形成された基板にニッケルめっきする工程と、
を備え、
前記マスクフィルムの光透過部と非光透過部との境界面は、前記マスクフィルムの厚み方向に沿って一方の面から他方の面まで形成され、
前記開口部におけるニッケルめっきの前記永久レジスト層と前記導体パターンとの間への潜り込みを防止するとともに前記開口部の寸法精度を向上させるために、前記光拡散シートのヘイズXを45%≦X≦60%とし、前記永久レジスト層の厚さtと、前記永久レジスト層の開口部における側壁に形成される裾引き傾斜部の突出長sとの比(s/t)を0.10≦(s/t)≦0.20とすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 永久レジストを用いたプリント配線板の製造方法であって、
導体パターンが形成された基板の導体パターン形成面に、ネガティブタイプの感光性レジストで感光性レジスト層を形成する工程と、
前記感光性レジスト層上に、永久レジストパターンを光透過部と非光透過部とにより形成したマスクフィルムを配置する工程と、
前記マスクフィルムの光透過部を含む位置に、レンチキュラレンズ、複数の球面レンズあるいは複数の非球面レンズを備えた拡散系の光学レンズシートを配置する工程と、
前記光学レンズシートを通して平行光露光を行って露光部分の感光性レジストを硬化した後、非露光部分の感光性レジストを除去し、電子部品を実装する開口部を含む永久レジスト層を形成する工程と、
前記永久レジスト層が形成された基板にニッケルめっきする工程と、
を備え、
前記マスクフィルムの光透過部と非光透過部との境界面は、前記マスクフィルムの厚み方向に沿って一方の面から他方の面まで形成され、
前記開口部におけるニッケルめっきの前記永久レジスト層と前記導体パターンとの間への潜り込みを防止するとともに前記開口部の寸法精度を向上させるために、前記光学レンズシートは、前記光学レンズシートに入射した平行光を前記感光レジスト層の露光面に対して傾斜した斜光として出射し、前記永久レジスト層の厚さtと、前記永久レジスト層の開口部における側壁に形成される裾引き傾斜部の突出長sとの比(s/t)を0.10≦(s/t)≦0.20とすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記マスクフィルムの特定部分にのみ、前記光拡散シートあるいは前記光学レンズシートを配置することを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 永久レジストを用いたプリント配線板の製造方法であって、
導体パターンが形成された基板の導体パターン形成面に、ネガティブタイプの感光性レジストで感光性レジスト層を形成する工程と、
前記感光性レジスト層上に、永久レジストパターンを光透過部と非光透過部とにより形成したマスクフィルムを配置する工程と、
光源から前記マスクフィルムを通して平行光露光を行って露光部分の感光性レジストを硬化した後、非露光部分の感光性レジストを除去し、電子部品を実装する開口部を含む永久レジスト層を形成する工程と、
前記永久レジスト層が形成された基板にニッケルめっきする工程と、
を備え、
前記マスクフィルムの光透過部と非光透過部との境界面は、前記マスクフィルムの厚み方向に沿って一方の面から他方の面まで形成され、
前記開口部におけるニッケルめっきの前記永久レジスト層と前記導体パターンとの間への潜り込みを防止するとともに前記開口部の寸法精度を向上させるために、前記感光レジスト層の露光面に対して光軸を所定角度傾斜させた状態で、前記露光面に垂直な軸線周りに前記露光面あるいは前記光源を回転させながら平行光露光を行って、前記永久レジスト層の厚さtと、前記永久レジスト層の開口部における側壁に形成される裾引き傾斜部の突出長sとの比(s/t)を0.10≦(s/t)≦0.20とすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか1つに記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記ニッケルめっきは、無電解ニッケルめっきであることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 請求項1から5のいずれか1つに記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記基板は、フレキシブル基板であることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
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