JPWO2008117719A1 - 表面凹凸の作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
製版等の一定の膜厚の凹凸を形成することを目的とするフォトリソグラフィーでは、マスクパターンを正確に再現するために露光に用いる光は平行光線であることが条件となる。従来のグレースケールマスクを用いた表面凹凸形成方法でも平行光線であることを前提に、マスク側の光透過率を制御することにより露光部の露光量に分布を与えている。
最終的に、感光膜10に到達する光の分布(露光量の分布)は、光拡散部材30のヘーズH、マスク部材20の遮光面から感光膜10までの距離Tに依存して変化する。
ここでDpは、樹脂表面に照射された紫外線光の強度が1/eとなる深度(透過深度という)であり、感光性樹脂に固有の値である。
本発明の表面凹凸の作製方法の概要を図3に示す。本発明の表面凹凸の作製方法は、主として、露光することにより硬化或いは可溶化する感光性樹脂組成物からなる感光膜10を用意するステップ(a)と、感光膜10に光拡散部材30およびマスク部材20を介して露光する露光ステップ(b)と、露光後の感光膜10を現像し、露光部或いは非露光部を除去する現像ステップ(c)とからなる。
感光膜10は単一のフィルムとして作製したものでもよいが、基材(第1基材)11上に塗布・乾燥することによって形成したものか、基材11上に密着して設置したものを用いることが好ましい。基材11上に形成する場合、感光膜10は、固体でも液体でもよい。
厚み100μmのポリエステルフィルム(コスモシャインA4300:東洋紡績社、屈折率1.64)からなる基材11の上に、レジスト(EKIRESIN PER-800 RB-2203:互応化学工業社)を塗布、乾燥し、厚み100μmの感光膜10を形成した。
露光は、高圧水銀灯を光源とする露光器(ジェットライトJL-2300:オーク製作所社)を用い光を平行化して行った。露光量は、365nmを中心とした光を積算光量計(UIT-102(受光部:UVD-365PD):ウシオ電機社)により測定し、100mJ/cm2とした。露光後、現像液(炭酸ナトリウム1%水溶液)で現像し、その後、流水にて水洗、乾燥し基材表面に凹凸が形成された試料を得た。
感光膜10の基材11となるポリエステルフィルムの厚みおよび光拡散部材30の外部ヘーズを表1のように変更した以外は、実施例1と同様にして基材表面に凹凸が形成された試料を得た。なお、外部ヘーズ65%の光拡散部材を有するフィルムとしては、きもと社のライトアップSP6(製品名)を用い、外部ヘーズ86%の光拡散部材を有するフィルムとしては、きもと社のライトアップDP8(製品名)を用いた。
光拡散部材を有するフィルムとして、以下の実施例6のフィルムを用いた以外は、実施例1と同様にして基材表面に凹凸が形成された試料を得た。
厚み50μmのポリエステルフィルム(コスモシャインA4300:東洋紡績社)からなる基材の上に、下記処方の光拡散部材塗布液を乾燥後の厚みが5μmとなるように塗布、乾燥した後、光拡散部材上に同一のポリエステルフィルムをラミネートして、内部ヘーズ5%の光拡散部材30を形成し、光拡散部材を有するフィルム(実施例6のフィルム)を得た。
・アクリル樹脂 100部
(アクリディックA-807:大日本インキ化学工業社)
(固形分50%)
・球状微粒子(シリカ) 3部
(トスパール105:GE東芝シリコーン社)
(屈折率1.43、平均粒径0.5μm)
・硬化剤 19.5部
(タケネートD110N:三井化学ポリウレタン社)
(固形分60%)
・酢酸エチル 100部
・トルエン 100部
感光膜10の基材11となるポリエステルフィルムの厚みおよび光拡散部材30の内部ヘーズを表1のように変更した以外は、実施例6と同様にして基材表面に凹凸が形成された試料を得た。なお、実施例7〜10においてヘーズを17%、29%とする際は、実施例6の光拡散部材の厚みを5μmとしたまま、実施例6の光拡散部材塗布液中の球状微粒子の添加量を、10部、23部に変更した。
感光膜10の基材11(第1基材)を厚み100μmのポリエステルフィルム(商品名:ルミラーT60、東レ社、屈折率1.64)に変更した以外は、実施例1〜10と同様にして露光までを行った。露光終了後、ポリエステルフィルムを剥離し、剥離により露出した感光膜10の面を接着剤を介してアルミ板(第2基材)に貼り合わせた。さらにその後、実施例1〜10と同様に現像、水洗、乾燥してアルミ板表面に凹凸が形成された10種類の試料を得た。
実施例1〜10で作製した凹凸表面に、2液硬化型シリコーン樹脂(KE-108、硬化剤CAT-108、信越化学工業社)を流し込み、硬化後凹凸表面を剥離して表面凹凸が形成されたシリコーン樹脂を得た。
実施例1〜10で作製した凹凸表面に、図9に示すように、ニッケル薄膜51をスパッタリングにより形成し表面を導電化した。この表面に一般的なニッケル電鋳法によりニッケル層60を形成した。このニッケル層60の表面は元となった表面凹凸と逆の凹凸を有する形状であった。さらに、このニッケル層60を型とし、この型に光硬化性樹脂71を満たした後、透明なポリエステルフィルム72で覆い、ポリエステルフィルム72を通して光硬化性樹脂71を硬化させることにより、元となった表面凹凸と同じ凹凸を有する形状をポリエステルフィルム72上に形成することができた。
11・・・基材
20・・・マスク部材
30・・・光拡散部材
Claims (9)
- 材料の表面に微細な凹凸を作製する方法であって、感光性樹脂組成物からなる感光膜の一方の側に、光透過部と光不透過部とを有するマスク部材を前記感光膜に対し間隔を持って配置するステップ、前記マスク部材の前記感光膜とは反対側に光拡散部材を配置するステップ、前記光拡散部材のマスク部材とは反対側に配置された光源から光を照射し、前記光拡散部材と前記マスク部材の光透過部とを通して前記感光膜を露光するステップ、および前記感光膜の露光部或いは未露光部を現像により除去し、前記感光膜に露光部或いは未露光部の形状で決まる凹凸を作製するステップを含み、前記露光するステップにおいて、露光条件を制御し、前記露光部或いは未露光部の形状を制御することを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 請求項1記載の表面凹凸の作製方法であって、前記露光条件が、前記光拡散部材のヘーズ(JIS K7136:2000)を含むことを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 前記露光条件が、前記マスク部材の遮光面から前記感光膜までの距離を含むことを特徴とする請求項2記載の表面凹凸の作製方法。
- 請求項1から3いずれか1項記載の表面凹凸の作製方法であって、前記感光膜は、露光により不溶化するネガ型の感光性樹脂組成物からなることを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 請求項1から4いずれか1項記載の表面凹凸の作製方法であって、前記感光膜は、実質的に透明な第1基材上に形成され或いは密着して設置され、前記第1基材側から露光されることを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 請求項1から5いずれか1項記載の表面凹凸の作製方法であって、露光するステップの後、前記感光膜のマスク部材側の面を第2基材に貼り合わせた後、現像し、前記第2基材に凹凸表面を作製することを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 表面に微細な凹凸が形成された型を用いて、前記型に形成された表面凹凸と逆の凹凸を表面に有する部材を作製する方法であって、前記型として、請求項1から6いずれか1項記載の表面凹凸の作製方法により作製した型を用いることを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 表面に微細な凹凸が形成された型を用いて、前記型に形成された表面凹凸と逆の凹凸を表面に有する部材を作製する方法であって、前記型として、請求項1から6いずれか1項記載の表面凹凸の作製方法により作製した第1の型を用いて作製した第2の型を用い、前記第1の型と同じ凹凸を表面に有する部材を作製することを特徴とする表面凹凸の作製方法。
- 表面凹凸が形成された部材が光学部材であることを特徴とする請求項1ないし8いずれか1項記載の表面凹凸の作製方法。
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