JP2006334987A - 金型の製造方法及びそれにより得られた成型品 - Google Patents
金型の製造方法及びそれにより得られた成型品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006334987A JP2006334987A JP2005164283A JP2005164283A JP2006334987A JP 2006334987 A JP2006334987 A JP 2006334987A JP 2005164283 A JP2005164283 A JP 2005164283A JP 2005164283 A JP2005164283 A JP 2005164283A JP 2006334987 A JP2006334987 A JP 2006334987A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- original plate
- mold
- pattern
- machining
- original
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
- B29C33/3842—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
- B29C33/3857—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining by making impressions of one or more parts of models, e.g. shaped articles and including possible subsequent assembly of the parts
- B29C33/3878—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining by making impressions of one or more parts of models, e.g. shaped articles and including possible subsequent assembly of the parts used as masters for making successive impressions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/42—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/42—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
- B29C33/424—Moulding surfaces provided with means for marking or patterning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2011/00—Optical elements, e.g. lenses, prisms
Abstract
【解決手段】基体11に対してフォトリソグラフィによりパターン形成を行って第1原版を作製する。次いで、第1原版のパターン11aを転写して第2原版12を作製する。次いで、第2原版12に対して機械加工を施して金型を作製する。さらに、第2原版12のパターン12bを転写して第3原版13を作製し、その第3原版13を金型とする。
【選択図】図4
Description
2,11 基体(第1原版)
3,4 凹部
3a,5b,13b,22c テーパ面
3b,13c,22b 底面
5,12 第2原版
5a 凸部
5c 頂面
11a,12b,13a パターン
13 第3原版
21 基板
22 微小流路
22a 突出部
Claims (6)
- 基体に対してフォトリソグラフィによりパターン形成を行って第1原版を作製する工程と、前記第1原版のパターンを転写して第2原版を作製する工程と、前記第2原版に対して機械加工を施して金型を作製する工程と、を具備することを特徴とする金型の製造方法。
- 基体に凹部を形成して第1原版を作製する工程と、前記第1原版のパターンを転写して前記凹部に対応する凸部を有する第2原版を作製する工程と、前記第2原版の凸部に機械加工を施して金型を作製する工程と、を具備することを特徴とする金型の製造方法。
- 前記金型が有するパターンを転写して第3原版を作製する工程を具備し、この第3原版を金型又は金型の母型とすることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の金型の製造方法。
- 請求項1若しくは請求項2記載の金型又は請求項3記載の母型から得られた金型を用いて成型されてなることを特徴とする成型品。
- 相対的に高いアスペクト比である部分を含むことを特徴とする請求項4記載の成型品。
- 前記成型品が微小流路、微小レンズアレイ、レンズ、フレネルレンズ、反射ミラー、及び光ファイバ用溝からなる群より選ばれた少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項4又は請求項5記載の成型品。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005164283A JP4646705B2 (ja) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | 金型の製造方法及び成型品の製造方法 |
TW095117335A TWI290091B (en) | 2005-06-03 | 2006-05-16 | Method for manufacturing molding die and molded article obtained by this die |
KR1020077028193A KR100911908B1 (ko) | 2005-06-03 | 2006-05-30 | 금형의 제조방법 및 그것에 의하여 얻어진 성형품 |
CN2006800196330A CN101189110B (zh) | 2005-06-03 | 2006-05-30 | 模具的制造方法及利用该模具得到的成型品 |
EP20060756722 EP1886785A4 (en) | 2005-06-03 | 2006-05-30 | METHOD FOR PRODUCING A FORM AND THEREFORE RECEIVED MOLDING |
PCT/JP2006/310726 WO2006129633A1 (ja) | 2005-06-03 | 2006-05-30 | 金型の製造方法及びそれにより得られた成型品 |
US11/946,787 US20080072708A1 (en) | 2005-06-03 | 2007-11-28 | Method for manufacturing die and molding obtained therewith |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005164283A JP4646705B2 (ja) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | 金型の製造方法及び成型品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006334987A true JP2006334987A (ja) | 2006-12-14 |
JP4646705B2 JP4646705B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=37481562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005164283A Active JP4646705B2 (ja) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | 金型の製造方法及び成型品の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080072708A1 (ja) |
EP (1) | EP1886785A4 (ja) |
JP (1) | JP4646705B2 (ja) |
KR (1) | KR100911908B1 (ja) |
CN (1) | CN101189110B (ja) |
TW (1) | TWI290091B (ja) |
WO (1) | WO2006129633A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008090945A1 (ja) * | 2007-01-25 | 2008-07-31 | Sumitomo Electric Fine Polymer, Inc. | 光学シートならびにそれを用いた実装方法および光学モジュール |
WO2008117719A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Kimoto Co., Ltd. | 表面凹凸の作製方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100927457B1 (ko) * | 2008-03-13 | 2009-11-19 | 주식회사 에이앤피 테크 | 금형의 제조 방법과 금형을 이용한 플라스틱 필름의 제조방법 |
CN108897080B (zh) * | 2018-07-11 | 2021-03-26 | Oppo广东移动通信有限公司 | 电子装置及用于电子装置的闪光灯镜片的加工方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5928257A (ja) * | 1982-08-06 | 1984-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | デイスク原盤の製造方法 |
JP2002225037A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Victor Co Of Japan Ltd | 成形金型の製造方法 |
JP2002326231A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-11-12 | Konica Corp | 光学素子用金型、光学素子及びマスター型 |
JP2006082476A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Instruments Inc | 型の製造方法とその型を用いて製造された部品 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4478769A (en) * | 1982-09-30 | 1984-10-23 | Amerace Corporation | Method for forming an embossing tool with an optically precise pattern |
JPH03156747A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-04 | Canon Inc | 光情報記録媒体用スタンパーの製造方法 |
JP3023440B2 (ja) * | 1993-11-10 | 2000-03-21 | 日本航空電子工業株式会社 | 補強材入り軽量真空注型品及びその製造方法 |
US5641437A (en) * | 1995-09-29 | 1997-06-24 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Marking of mold inserts to produce marked contact lenses |
US5932315A (en) * | 1997-04-30 | 1999-08-03 | Hewlett-Packard Company | Microfluidic structure assembly with mating microfeatures |
JPH10312585A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Sony Corp | 光学記録媒体作製用スタンパ、スタンパ用原盤、および光学記録媒体の製造方法 |
US6393685B1 (en) * | 1997-06-10 | 2002-05-28 | The Regents Of The University Of California | Microjoinery methods and devices |
NL1009106C2 (nl) * | 1998-05-08 | 1999-11-09 | Od & Me Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een stamper, stamper verkregen volgens een dergelijke werkwijze alsmede optische schijf verkregen onder toepassing van een dergelijke stamper. |
US6503231B1 (en) * | 1998-06-10 | 2003-01-07 | Georgia Tech Research Corporation | Microneedle device for transport of molecules across tissue |
US6743211B1 (en) * | 1999-11-23 | 2004-06-01 | Georgia Tech Research Corporation | Devices and methods for enhanced microneedle penetration of biological barriers |
US6663820B2 (en) * | 2001-03-14 | 2003-12-16 | The Procter & Gamble Company | Method of manufacturing microneedle structures using soft lithography and photolithography |
JP4244527B2 (ja) * | 2001-04-06 | 2009-03-25 | ソニー株式会社 | 光ディスクの製造方法 |
CA2448736C (en) * | 2001-06-05 | 2010-08-10 | Mikro Systems, Inc. | Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby |
DE50209985D1 (de) * | 2002-11-25 | 2007-05-31 | Weidmann Plastics Tech Ag | Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugeinsatzes zum Spritzgiessen eines teils mit zweistufigen Mikrostrukturen |
US7615479B1 (en) * | 2004-11-08 | 2009-11-10 | Alien Technology Corporation | Assembly comprising functional block deposited therein |
-
2005
- 2005-06-03 JP JP2005164283A patent/JP4646705B2/ja active Active
-
2006
- 2006-05-16 TW TW095117335A patent/TWI290091B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-05-30 EP EP20060756722 patent/EP1886785A4/en not_active Ceased
- 2006-05-30 CN CN2006800196330A patent/CN101189110B/zh active Active
- 2006-05-30 WO PCT/JP2006/310726 patent/WO2006129633A1/ja active Application Filing
- 2006-05-30 KR KR1020077028193A patent/KR100911908B1/ko active IP Right Grant
-
2007
- 2007-11-28 US US11/946,787 patent/US20080072708A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5928257A (ja) * | 1982-08-06 | 1984-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | デイスク原盤の製造方法 |
JP2002225037A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Victor Co Of Japan Ltd | 成形金型の製造方法 |
JP2002326231A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-11-12 | Konica Corp | 光学素子用金型、光学素子及びマスター型 |
JP2006082476A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Instruments Inc | 型の製造方法とその型を用いて製造された部品 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008090945A1 (ja) * | 2007-01-25 | 2008-07-31 | Sumitomo Electric Fine Polymer, Inc. | 光学シートならびにそれを用いた実装方法および光学モジュール |
JPWO2008090945A1 (ja) * | 2007-01-25 | 2010-05-20 | 住友電工ファインポリマー株式会社 | 光学シートならびにそれを用いた実装方法および光学モジュール |
US8189262B2 (en) | 2007-01-25 | 2012-05-29 | Sumitomo Electric Fine Polymer, Inc. | Optical sheet, and mounting method and optical module using the optical sheet |
JP5261823B2 (ja) * | 2007-01-25 | 2013-08-14 | 住友電工ファインポリマー株式会社 | 光学モジュールおよびその製造方法 |
EP2107398A4 (en) * | 2007-01-25 | 2016-06-08 | Sumitomo Elec Fine Polymer Inc | OPTICAL FILM AND ASSEMBLY METHOD AND OPTICAL MODULE WITH OPTICAL FILM |
WO2008117719A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Kimoto Co., Ltd. | 表面凹凸の作製方法 |
JPWO2008117719A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2010-07-15 | 株式会社きもと | 表面凹凸の作製方法 |
KR101441721B1 (ko) * | 2007-03-26 | 2014-09-17 | 키모토 컴파니 리미티드 | 표면 요철의 제작방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200714440A (en) | 2007-04-16 |
CN101189110A (zh) | 2008-05-28 |
JP4646705B2 (ja) | 2011-03-09 |
EP1886785A4 (en) | 2010-12-15 |
TWI290091B (en) | 2007-11-21 |
KR20080013988A (ko) | 2008-02-13 |
EP1886785A1 (en) | 2008-02-13 |
KR100911908B1 (ko) | 2009-08-13 |
CN101189110B (zh) | 2012-07-04 |
US20080072708A1 (en) | 2008-03-27 |
WO2006129633A1 (ja) | 2006-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7547398B2 (en) | Self-aligned process for fabricating imprint templates containing variously etched features | |
TWI290125B (en) | Manufacturing structured elements | |
TWI464020B (zh) | A method for making a mold having a three-dimensional microstructure and a mold having a three-dimensional microstructure | |
US20050147925A1 (en) | System and method for analog replication of microdevices having a desired surface contour | |
JP6167609B2 (ja) | ナノインプリント用テンプレート、ナノインプリント用テンプレートを用いたパターン形成方法、およびナノインプリント用テンプレートの製造方法 | |
JP5002207B2 (ja) | パターンを有する構造体の製造方法 | |
JP6951226B2 (ja) | インプリント・テンプレート複製処理中の押出しを制御する方法 | |
JP2012035578A (ja) | ナノインプリント用モールド | |
JP4646705B2 (ja) | 金型の製造方法及び成型品の製造方法 | |
US20100109194A1 (en) | Master Template Replication | |
WO2017150628A1 (ja) | 微細立体構造形成方法、及び微細立体構造 | |
JP2005064324A5 (ja) | ||
JP5205407B2 (ja) | テンプレートとその製造方法、及び半導体装置の製造方法 | |
JP6661164B2 (ja) | 微細な溝を形成した金型、及びその製造方法 | |
JP2005508269A (ja) | グレースケールエッチングされたマスタモールドからマイクロ光学要素を製造する方法 | |
JP5595397B2 (ja) | 構造化された対象物の作製および構造化された対象物のための方法および装置 | |
JP2010014857A (ja) | マイクロレンズモールド製造方法、マイクロレンズモールド、マイクロレンズ | |
JPH11277543A (ja) | マイクロレンズアレイ成形用金型の作製方法 | |
JP2013193454A (ja) | マスターモールドの製造方法およびモールドの製造方法並びにそれらに使用される表面加工方法 | |
Tormen et al. | Three-dimensional micro-and nanostructuring by combination of nanoimprint and x-ray lithography | |
JP2005055731A (ja) | 成形型,その製造方法及び光学素子の製造方法 | |
JP4465887B2 (ja) | 成形金型の製造方法 | |
JP2005037868A (ja) | 反射防止面の形成方法、反射防止部材形成用金型の製造方法、金型、反射防止部材、金型製造用のマスター部材の製造方法 | |
JP2018046212A (ja) | 多段構造体を有するテンプレートの製造方法 | |
JP6802969B2 (ja) | テンプレートの製造方法、及び、テンプレート |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070926 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101207 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4646705 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |