JP4465887B2 - 成形金型の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、スラスト軸受の一部を構成するヘリングボーン溝等の微細パターンを有する金型の入れ子を製造する成形金型の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、幅・深さ・ピッチがミクロンオーダーのパターンを有する樹脂や金属の成形品を成形する際に用いられる金型では、この金型を構成する1部品である入れ子と呼ばれる部品にそのパターンを付与する。そして、このパターンが付与された入れ子を取り付けた金型を用いて所望の成形品を、例えば、大量に作製するものである。
【0003】
ところで、成形品を大量に作製するに際しては、製造工程中に何等かの原因によりパターン形状が破壊したり摩耗したりする場合があり、その場合には、この入れ子を交換することにより対応している。そして、パターンの形成は、その微細さゆえに機械加工よりはフォトリソグラフィ(電子線描画装置)技術を応用した方法が使われることが多い。
【0004】
例えば、その一例として、特開平8−238361号公報や特開平9−311460公報記載の技術を挙げることが出来る。以下、この特開平8−238361号公報における入れ子の製造方法について、図3を参照して説明する。なお、この特開平8−238361号公報記載の技術は、例えば、光ピックアップヘッド等に用いられるグレーティングなどの微細な構造を持つ金型の製造方法に関するものである。
【0005】
すなわち、まず、基板1上に塗布されたポリマ2上にシリコン含有レジスト3を塗布する(図3(a))。しかる後、このレジスト3を、例えば、レーザビーム、電子ビーム等の露光光4により露光現像(図3(b))し、パターニングする(図3(c))。このレジストパターンをマスクとして、ポリマ2を酸素ガスの反応性イオンエッチング(酸素プラズマ5)によりエッチングし(図3(d))、その後レジスト3を剥離し、マスクパターン7を作製する(図3(e))。しかる後、このマスクパターン7上にニッケルなどの金属を真空蒸着し、この蒸着膜を核としてニッケルなどの金属をメッキしたメッキ層6を形成する(図3(f))。次に、このメッキ層6をマスクパターン7より剥離して金型(入れ子)8を作製する(図3(g))。
【0006】
ここでポリマ2としては、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、ポリイミドなど塗布性に優れ、酸素ガスの反応性イオンエッチングによりエッチングできるポリマであれば良い。また、基板1上に塗布されたポリマ2の代わりに、アクリル板などの適当な厚みのポリマ基板を使っても良い。また、図3(b)のレジストの露光過程は、フォトマスクとアライナを用いて一括露光しても良いし、電子線描画装置を用いて行っても良いし、レーザビーム直接描画装置を用いて行っても良い。
【0007】
シリコン含有レジスト3は、酸素ガスに対して極めて高いエッチング耐性を有するので、1μm程度の薄いレジスト膜を用いても、深さ数十μmのパターンをエッチングすることができる。そのため、厚膜レジストを露光現像して作製した場合に比べ、壁面のダレが小さく、深さの深い矩形パターンを作製することができる。
【0008】
レーザビーム直接描画リソグラフィのように(平行光でない)ビームを用いて露光過程を行う場合、露光ビーム4はレジスト3面上にレンズにより集光されるため、レジスト3の上面と下面では露光ビーム4のビーム径は異なる。1μm程度の薄いレジスト膜を用いた場合、このビーム径の差はあまり問題にはならないが、数μm以上の厚膜レジストを露光する場合、このビーム径の差は壁面のダレの要因となる。そのため、厚膜レジストを用いる必要がないことによる効果は、レーザビーム直接描画リソグラフィのようにビームを用いて露光過程を行う場合特に重要になる。
【0009】
レーザビーム直接描画リソグラフィは、コンピュータ上でデータを入力することにより作製したい金型のマスクパターンの露光が行えるので、パターンの異なるマスクパターンを作製する場合などいちいち高価なマスクを発注する必要がなく、自在性、経済性に優れた方法である。また、電子線露光と比べても、露光装置が安価である、大気中で露光が行える(真空にする必要がない)、帯電防止層が必要ない、などの利点もある。
【0010】
しかしながら、この特開平8−238361号公報記載の技術によれば、形状、寸法精度、平滑性などにおいて良好な金型が得られるものであるが、転写の際にパターンの欠けや抜けが起き易いという欠点があった。
【0011】
そこで、かかる欠点を解消するために特開平9−311460公報記載の技術が提案された。以下に、その技術について図4を用いて説明する。なお、この特開平9−311460公報記載の技術は、例えば、微細で複雑な形状であるプリンタヘッド等のレジストパターン及び成形金型の製造方法に関するものである。
【0012】
まず、シリコンウェハ上に、後述の反応性イオンエッチングに対するエッチングレートが小さい金属膜(例えば、ニッケル膜)を形成した基板1を用意し、この基板1上にレジスト層2を形成し、さらにその表面にパターン状にエッチンマスク3を形成する(図4a)。次に、レジスト層2に反応性イオンエッチングを施して、レジストパターン2aを得る(図4b、c)。このとき、反応ガスには酸素にフッ素を添加した混合ガスを用いる。反応ガスにフッ素を添加することで、非矩形のパターン断面形状(側壁が傾斜したテーパ形状)を有するレジストパターン層2aが得られる。
【0013】
なお、レジストパターン層2a上のエッチングマスク3は除去してもよい。以上の工程により、例えば、インクジェットプリンタのプリンタヘッドを構成するインク流路の形状を有するレジストパターン2aが得られる。次に、このレジストパターン層2aが形成された基板1からプリンタヘッドの成形金型を製造する工程を以下に説明する。
【0014】
まず、非矩形のパターン断面形状を有するレジストパターン層2aが形成された基板1上に、メッキ法によりメッキ膜を成長させて、前記レジストパターン層2aの反転パターンを有するメッキ層4を形成する(図4d)。次に、このメッキ層4からレジストパターン層2aと基板1をウエットエッチング等により除去することで、レジストパターン層2aの反転パターンを有するメッキ層4からなる成形金型(入れ子)4aが得られる(図4e)。
【0015】
しかしながら、この特開平9−311460公報記載の技術によれば、微細なテーパ状のパターン断面形状を有する成形金型(入れ子)4aを得ることができるものではあるが、反転パターンを有するメッキ層4を形成するに際し、前記した特開平8−238361号公報と同様、かなりの厚さのメッキ膜を成長させるという方法を採らざるを得ないため、成形金型を得るのに時間を要する欠点や、特に、成形品として精度を必要とする場合には、残留応力が残らないような工夫も施さなければならないという欠点があった。
【0016】
また、メッキ後に金型部材や入れ子の形に加工するにも工数が掛かる欠点がある。更に、前記した従来の方法では、レジスト面が金型の谷底面となるので鏡面が得にくいという欠点もあった。従って、かかる従来の成形金型の製造方法によれば、本発明が適用される精密電気機器等の高精度の光学部品にあって必要とされる、パターンの山・谷底面ともに鏡面としたいという要請に対して応えることは出来ないものであった。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、前記した従来の方法によれば、そのまま微細パターンを有する成形金型の入れ子として使用するには、転写型を取る際にメッキをかなり厚く着ける必要があり実用的でなく、また、精密電気機器等に用いられる光学部品は、かなりの高精度が必要とされるため、メッキ後の加工工程も金型の入れ子の精度を出すためにはかなりの工数を必要とするので、これまた実用的でない。更に、転写の際にパターンの抜けや欠けが起き易いという問題点もある。
【0018】
本発明は、かかる点に鑑みなされたものであり、微細パターンを有する金型の入れ子を作製する際に、パターンの抜け・欠けがなく、また、メッキ後の加工が極力簡単になるとともに、精度の良い金型の入れ子を作製できるようにした成形金型の製造方法を提供するものである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は次の成形金型の製造方法を提供する。
1)互いに対向する第1の面及び第2の面を有する金型部材の前記第1の面及び前記第2の面を鏡面処理すると共に、前記第1の面及び前記第2の面をそれぞれ所定の平行度及び平面度にする鏡面平坦化ステップと、前記鏡面平坦化ステップの後に、前記第1の面上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成ステップと、前記レジスト膜形成ステップの後に、前記レジスト膜を部分的に除去して前記金型部材を露出させる露出ステップと、前記露出ステップの後に、前記金型部材が露出している領域にめっきを行って、前記第1の面から突出するめっきパターン部を形成するめっきステップと、前記めっきステップの後に、前記レジスト膜を全て除去する除去ステップと、前記除去ステップの後に、前記第2の面を基準面として前記めっきパターン部の突出先端部を機械加工し、鏡面処理された先端面を有すると共に所定の高さを有する凸部と鏡面処理された底面を有する凹部とを備えた成形金型を作製する機械加工ステップと、を含むことを特徴とする成形金型の製造方法。
2)前記露出ステップと前記めっきステップとの間に、前記金型部材が露出している領域を粗面化する粗面化ステップをさらに含むことを特徴とする1)記載の成形金型の製造方法。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施例を添付図面に基づいて説明する。なお、以下に述べる実施例は本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【0022】
図1は、本実施例に係る成形金型の製造方法の工程図、図2は、同、成形金型の製造方法の他の工程図である。
【0023】
ここで、本実施例になる成形金型の製造方法を説明するに際し、この成形金型を用いて作製される作製対象である流体スラスト軸受について、概略説明する。
【0024】
流体スラスト軸受けは、円盤形状のフランジに動圧発生用の溝(ヘリングボーン)を施したものである。実際の仕様としてスラストプレートは、モータの主軸に組み込み、支持プレートとスラストプレートとの隙間に流体を満たし、軸が回転することで流体に発生する圧力を利用して軸が浮上する軸受である。このため、スラストプレートには、平面度、表面粗さ、溝深さなどを高精度に仕上げることが必要とされている。以下、図1を参照して本実施例について説明する。
【0025】
(実施例1)
まず、高速度工具鋼(SKH)などよりなる金型部材10を、前記した理由により、その表面10a、10bを高精度(例えば、平行度、平面度をそれぞれ1μm以下)に鏡面仕上げしておき(図1(a))、この金型部材10の上面10aに、レジストもしくはレジストシート11を塗布、もしくは貼り付ける(図1(b))。例えば、塗布されるレジスト11等の厚さは、パターンの深さとほぼ同じ厚さにすることが望ましい。例えば、パターン溝が15μm程度であれば、研磨仕上げ代10μmを考慮して25μmのように、着けたいメッキの厚さと同じレジスト厚を選定する。しかる後、金型部材10の外周などを基準として位置出しを行なった後、例えば、電子ビームによりパターンを露光・現像し、レジスト11にパターニングして、所定のレジストパターン12a〜12nを得る(図1(c))。
【0026】
しかる後、図示しないメッキ槽でメッキすることにより、前記したパターニングされることにより得られた所定のレジストパターン12a〜12n間(レジストの抜けている部分)に、所定の厚みのメッキ13a〜13d(後述する予備マスクパターンとなる)が施された複合基板14が得られる(図1(d))。メッキは硬質Cr等で行ない、樹脂成形用金型であればNi等を使用する。
【0027】
メッキ工程終了後、前記した複合基板14の内のレジストパターン12a〜12nのみを、例えば、剥離剤やアッシング等により剥離(除去)して、所定の厚みLを有する予備マスクパターン13a〜13dを有する金型15を得る(図1(e))。次に、この金型15の一部を構成する金型部材10の裏面10bを基準として、所定の厚みLを有するメッキ部先端13a1〜13d1部分を機械加工(研磨等)することにより、所定の高さ(溝深さ)Hを有する最終パターン16a〜16dが精度よく仕上げられた所望の成形金型(入れ子)20を得ることができる(図1(f))。この際、所望の最終パターン16a〜16dを得るための加工基準を、前記した如く、高精度に仕上げられた金型部材10の裏面10bにおいているので、最終的な仕上げは容易に行なうことができるものである。
【0028】
このように、転写を行わずに成形金型(入れ子)を得ることができるので、パターンの抜け・欠けの無い微細パターンの成形金型を確実に作製することが出来る。また、メッキ後の加工基準面が予め形成してあるので、山先端の平面度と基準面との平行度が得やすく、パターンの山・谷面ともに鏡面が得られるものである。
【0029】
また、前記した如く、金型部材10の裏面10bの平行度、平面度は、それぞれ1μm以下の高精度に仕上げているので、機械加工後の最終パターン16a〜16dの上面部16a1〜16d1は、所望の平面度(例えば、1μm以下)が容易に得られるものである。従って、この最終パターン16a〜16dを所定の溝形状としておくことにより、この成形金型(入れ子)20を用いて、被加工物に、例えば、プレス成形すれば、所定の精度の動圧発生用の溝(ヘリングボーン)が得られるものである。
【0030】
(実施例2)
次に、金型部材10の上面10a上のレジストパターン12a〜12n間(レジストの抜けている部分)にメッキされる前記したメッキ部13a〜13dの金型部材10との密着性を上げた例につき、図2を参照して説明する。なお、前記した部分と同一部分は同一符号を用い、その詳細な説明は省略する。
【0031】
まず、前記した実施例1と同様、高速度工具鋼(SKH)などよりなる金型部材10を、前記した理由により、その表面10a、10bを高精度(例えば、平行度、平面度をそれぞれ1μm以下)に鏡面仕上げしておき(図1(a))、この金型部材10の上面10aに、レジストもしくはレジストシート11を塗布、もしくは貼り付ける(図1(b))。この場合も、例えば、塗布されるレジスト11等の厚さは、パターンの深さとほぼ同じ厚さにすることが望ましい。例えば、パターン溝が15μm程度であれば、研磨仕上げ代10μmを考慮して25μmのように、着けたいメッキの厚さと同じレジスト厚を選定する。
【0032】
しかる後、金型部材10の外周などを基準として位置出しを行なった後、例えば、電子ビームによりパターンを露光・現像し、レジスト11にパターニングして、所定のレジストパターン12a〜12nを得ると共に、このレジストパターン12a〜12n間の金型部材10の上面10a部分を、ドライもしくはウェットエッチングや、マイクロブラスト加工などにより加工して、粗面10cを形成する(図1(c))。
【0033】
しかる後、図示しないメッキ槽でメッキすることにより、前記したパターニングされることにより得られた所定のレジストパターン12a〜12n間(レジストの抜けている部分)の粗面10c上に、密着性が向上した所定の厚みのメッキ13a〜13d(後述する予備マスクパターンとなる)が施された複合基板17が得られる(図1(d))。メッキは硬質Cr等で行ない、樹脂成形用金型であればNi等を使用する。
【0034】
メッキ工程終了後、前記した複合基板17の内のレジストパターン12a〜12nのみを、例えば、剥離剤やアッシング等により剥離(除去)して、所定の厚みLを有する予備マスクパターン13a〜13dを有する金型18を得る(図1(e))。次に、この金型18の一部を構成する金型部材10の裏面10bを基準として、所定の厚みLを有するメッキ部先端13a1〜13d1部分を機械加工(研磨等)することにより、所定の高さ(溝深さ)Hを有する最終パターン19a〜19dが精度よく仕上げられた所望の成形金型(入れ子)30を得ることができる(図1(f))。この際、所望の最終パターン19a〜19dを得るための加工基準を、前記した如く、高精度に仕上げられた金型部材10の裏面10bにおいているので、最終的な仕上げは容易に行なうことができるものである。
【0035】
このように、転写を行わずに成形金型(入れ子)を得ることができるので、パターンの抜け・欠けの無い微細パターンの成形金型を確実に作製することが出来る。また、メッキ後の加工基準面が予め形成してあるので、山先端の平面度と基準面との平行度が得やすく、パターンの山・谷面ともに鏡面が得られるものである。
【0036】
また、前記した如く、金型部材10の裏面10bの平行度、平面度は、それぞれ1μm以下の高精度に仕上げているので、機械加工後の最終パターン19a〜19dの上面部19a1〜19d1は、所望の平面度(例えば、1μm以下)が容易に得られるものである。従って、この最終パターン19a〜19dを所定の溝形状としておくことにより、この成形金型(入れ子)30を用いて、被加工物に、例えば、プレス成形すれば、所定の精度の動圧発生用の溝(ヘリングボーン)が得られるものである。
【0037】
【発明の効果】
本発明によれば、所定の高さHを有する最終パターン16a〜16dを形成する、すなわち、転写を行わずに成形金型(入れ子)を得ることができるので、パターンの抜け・欠けの無い微細パターンの成形金型を確実に作製することが出来る。また、メッキ後の加工基準面が予め形成してあるので、山先端の平面度と基準面との平行度が得やすく、パターンの山・谷面ともに鏡面が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る成形金型の製造方法の一実施例を説明するための工程図である。
【図2】本発明に係る成形金型の製造方法の他の実施例を説明するための工程図である。
【図3】従来の成形金型の製造方法を説明するための工程図である。
【図4】従来の成形金型の製造方法を説明するための工程図である。
【符号の説明】
10 基板
10a、10b 基板表面
11 レジスト
12a〜12n レジストパターン
13a〜13d メッキ部
14、17 複合基板
15、18 金型
16a〜16d 最終パターン
19a〜19d 最終パターン
20、30 成形金型(入れ子)
Claims (2)
- 互いに対向する第1の面及び第2の面を有する金型部材の前記第1の面及び前記第2の面を鏡面処理すると共に、前記第1の面及び前記第2の面をそれぞれ所定の平行度及び平面度にする鏡面平坦化ステップと、
前記鏡面平坦化ステップの後に、前記第1の面上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成ステップと、
前記レジスト膜形成ステップの後に、前記レジスト膜を部分的に除去して前記金型部材を露出させる露出ステップと、
前記露出ステップの後に、前記金型部材が露出している領域にめっきを行って、前記第1の面から突出するめっきパターン部を形成するめっきステップと、
前記めっきステップの後に、前記レジスト膜を全て除去する除去ステップと、
前記除去ステップの後に、前記第2の面を基準面として前記めっきパターン部の突出先端部を機械加工し、鏡面処理された先端面を有すると共に所定の高さを有する凸部と鏡面処理された底面を有する凹部とを備えた成形金型を作製する機械加工ステップと、
を含むことを特徴とする成形金型の製造方法。 - 前記露出ステップと前記めっきステップとの間に、前記金型部材が露出している領域を粗面化する粗面化ステップをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の成形金型の製造方法。
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