JP4481028B2 - 有機半導体薄膜の製造方法 - Google Patents
有機半導体薄膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4481028B2 JP4481028B2 JP2004029701A JP2004029701A JP4481028B2 JP 4481028 B2 JP4481028 B2 JP 4481028B2 JP 2004029701 A JP2004029701 A JP 2004029701A JP 2004029701 A JP2004029701 A JP 2004029701A JP 4481028 B2 JP4481028 B2 JP 4481028B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical formula
- thin film
- organic semiconductor
- compound
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
有機半導体材料としては、ポリフェニレンビニレン,ポリピロール,ポリチオフェン等の共役系高分子化合物やそのオリゴマーとともに、アントラセン,テトラセン,ペンタセン等のポリアセン化合物を中心とする芳香族化合物が研究されている。特に、ポリアセン化合物は分子間凝集力が強いため高い結晶性を有していて、これによって高いキャリア移動度と、それによる優れた半導体デバイス特性とを発現することが報告されている。
また、蒸着法以外の方法でポリアセン化合物の薄膜を形成する方法として、ポリアセン化合物の一種であるペンタセンの前駆体の溶液を基板上に塗布し、加熱処理してペンタセン薄膜を形成する方法が報告されている(非特許文献4を参照)。この方法は、ポリアセン化合物は溶媒に対する溶解性が低いため、溶解性の高い前駆体の溶液を用いて薄膜を形成し、熱により前駆体をポリアセン化合物に変換するというものである。
なお、ペンタセンを超える移動度を有する有機半導体材料は、現在のところ知られていない。
「アドバンスド・マテリアルズ」,2002年,第14巻,p.99 ジミトラコポウラスら,「ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス」,1996年,第80巻,p.2501 クロークら,「IEEE・トランザクション・オン・エレクトロン・デバイシス」,1999年,第46巻,p.1258 ブラウンら,「ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス」,1996年,第79巻,p.2136 「ジャーナル・オブ・アメリカン・ケミカル・ソサエティー」,2000年,第122巻,p.12876 グラハムら,「ジャーナル・オブ・オーガニック・ケミストリー」,1995年,第60巻,p.5770 アンソニーら,「オーガニック・レターズ」,2000年,第2巻,p.85 ミラーら,「オーガニック・レターズ」,2000年,第2巻,p.3979
一方、前述の高橋らの報告等には、各種のポリアセン化合物に置換基を導入した誘導体が記載されているが、有機半導体材料としての特性や薄膜化に関しては記載されていない。
そこで、本発明は、前述のような従来技術が有する問題点を解決し、高い移動度を有する有機半導体薄膜の製造方法を提供することを課題とする。また、高い移動度を有する有機半導体薄膜、及び、電子特性の優れた有機半導体素子を提供することを併せて課題とする。
また、本発明に係るポリアセン化合物は、下記の化学式(II)で表されるような構造を有することを特徴とする。
さらに、本発明に係るキノン化合物は、下記の化学式(III )で表されるような構造を有することを特徴とする。
さらに、本発明に係るポリアセン化合物の合成方法は、化学式(II)のポリアセン化合物を合成する方法であって、下記の化学式(IV)で表される1,4−ジヒドロキシポリアセン化合物と、下記の化学式(V)で表される1,2−ジホルミルポリアセン化合物と、を環化縮合させて、前記キノン化合物を生成し、該キノン化合物を還元及び芳香化することを特徴とする。
さらに、本発明に係る有機半導体薄膜は、前記有機半導体薄膜において、基板上に形成された結晶性の有機半導体薄膜であって、前記ポリアセン化合物の分子の長軸が前記基板の表面に対して垂直方向に配向していることを特徴とする。
さらに、本発明に係るトランジスタは、ゲート電極,誘電体層,ソース電極,ドレイン電極,及び半導体層を備えるトランジスタにおいて、前記半導体層を、前記有機半導体薄膜で構成したことを特徴とする。
(1)フタルアルデヒド誘導体とシクロヘキサン−1,4−ジオンとを塩基性条件下で環化縮合して置換ペンタセン−6,13−キノンを合成し、このキノン化合物を還元及び芳香化する方法(アンゲバンテ・ヘミイ,第65巻,201ページ(1953年))。
(4)塩基性条件下において1,2−ジブロモベンゼン誘導体より発生させたベンザイン中間体と5,6,7,8−テトラキス(メチレン)ビシクロ[2.2.2]オクト−2−エンとのディールス・アルダー反応により環化付加体を得て、これを水素化した後に、熱分解によりエチレンを脱離させる方法(アドバンスト・マテリアル,第11巻,481ページ(1999年))。
(7)テトラハロゲン化ベンゼンとジルコノシクロペンタジエンとの環化反応を繰り返し適用する方法(ジャーナル・オブ・アメリカン・ケミカル・ソサエティ,第124巻,576ページ(2002年))。
(8)1,4−ジアルコキシメチルベンゼン誘導体の酸触媒重合による直線状の水素化ポリアセン誘導体の生成と、脱水素化反応とによる方法(シンセティク・メタル,第101巻,100ページ(1999年))
(9)フタルアルデヒド誘導体と1,4−ジヒドロキシナフタレンとを塩基性条件下でアルドール縮合して環化する方法(ブレタン・ド・ラ・ソサエテ・キミケ・ド・フランス,5−6巻パート2,539ページ(1977年))。
また、本発明のポリアセン化合物は上記のような方法で合成した後、昇華,再結晶等の通常の精製法により精製し、高純度化することができる。
また、本発明のポリアセン化合物は、無置換のポリアセンと同様に斜方晶系構造又は立方晶系構造を示す。ここで、結晶の格子定数a,b,cが決定でき、このc軸格子定数は細長い分子の分子長が配列した格子ユニット長さに対応し、a軸及びb軸格子定数は分子の共役面がスタックした分子カラム面内の格子ユニットの大きさに対応する。
本発明の有機半導体薄膜の形成方法としては、公知の方法を採用することが可能であり、例えば、真空蒸着,MBE法(Molecular Beam Epitaxy),スパッタリング法,レーザー蒸着法,気相輸送成長法等があげられる。そして、このような方法により、基板表面に薄膜を形成することができる。
また、本発明のポリアセン化合物は、薄膜成長速度が高い場合でも結晶性の良好な薄膜を形成しやすく、高速成膜が可能である。成長速度は、0.1nm/min以上1μm/sec以下の範囲とすることが好ましい。0.1nm/min未満では結晶性が低下しやすく、1μm/secを超えると薄膜の表面平滑性が低下する。
また、溶媒を気化させる際には、ベース付近の温度や雰囲気の溶媒蒸気圧により気液界面の溶媒気化速度を調節することによって、結晶成長を制御することができる。さらに、ポリアセン化合物の溶液にベースを接触させて、過飽和状態でベースの表面に有機半導体薄膜を形成させることも可能である。さらに、所望により、ポリアセン化合物の溶液とベースとの界面に、温度勾配,電場,磁場の少なくとも1つを印加して、結晶成長を制御することができる。これらの方法により高結晶性の有機半導体薄膜を製造することが可能であり、得られた有機半導体薄膜は高結晶性であることから半導体特性が優れている。
このように、ドライプロセス又はウェットプロセスによりポリアセン化合物からなる有機半導体薄膜が形成できる。
例えば、ガラス,石英,酸化アルミニウム,サファイア,チッ化珪素,炭化珪素等のセラミック、シリコン,ゲルマニウム,ガリウム砒素,ガリウム燐,ガリウム窒素等の半導体、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート,ポリエチレンナフタレート等),ポリエチレン,ポリプロピレン,ポリビニルアルコール,エチレンビニルアルコール共重合体,環状ポリオレフィン,ポリイミド,ポリアミド,ポリスチレン,ポリカーボネート,ポリエーテルスルフォン,ポリスルフォン,ポリメチルメタクリレート等の樹脂、紙、不織布などがあげられる。
本発明の有機半導体薄膜はキャリア移動度が高いことが特徴であり、0.1cm2 /V・s以上であることが好ましい。より好ましくは0.5cm2 /V・s以上であり、最も好ましくは1.0cm2 /V・s以上である。
このような有機半導体薄膜を用いることにより、エレクトロニクス,フォトニクス,バイオエレクトロニクス等の分野において有益な半導体素子を製造することができる。このような半導体素子の例としては、ダイオード,トランジスタ,薄膜トランジスタ,メモリ,フォトダイオード,発光ダイオード,発光トランジスタ,センサ等があげられる。
半導体素子における有機半導体薄膜内部又は有機半導体薄膜表面と電極との接合面の少なくとも一部は、ショットキー接合及び/又はトンネル接合とすることができる。このような接合構造を有する半導体素子は、単純な構成でダイオードやトランジスタを作製することができるので好ましい。さらに、このような接合構造を有する有機半導体素子を複数接合して、インバータ,オスシレータ,メモリ,センサ等の素子を形成することもできる。
また、本発明の有機半導体素子は、ICカード,スマートカード,及び電子タグにおける演算素子,記憶素子としても利用することができる。その場合、これらが接触型であっても非接触型であっても、問題なく適用可能である。このICカード,スマートカード,及び電子タグは、メモリ,パルスジェネレータ,信号分割器,コントローラ,キャパシタ等で構成されており、さらにアンテナ,バッテリを備えていてもよい。
〔ポリアセン化合物の合成方法について〕
シクロヘキサン−1,4−ジオン(1当量)及び4,5−ジメチルフタルアルデヒド(2当量)のエタノール溶液に、水酸化カリウムの5%エタノール溶液を攪拌下に滴下した。生成した褐色の沈殿を濾取し、これを真空乾燥することにより、下記の化学式に示すキノン化合物を得た。この反応における収率は92%であった。
1H−NMR(ppm):δ2.51(s,12H)、7.70(s,4H)、8.50(s,4H)、8.85(s,2H)
〔有機半導体薄膜の製造方法について〕
前述のようにして合成した2,3,9,10−テトラメチルペンタセンを真空蒸着することにより、膜厚80nmの2,3,9,10−テトラメチルペンタセン薄膜をシリコン基板上に形成した。なお、雰囲気圧力は2.66×10-5Pa、薄膜成長速度は0.1nm/sec、昇華セル温度は310℃、基板温度は30℃とした。
これらのことから、2,3,9,10−テトラメチルペンタセン薄膜の結晶構造は、やや立方晶的な斜方晶であり、分子間距離が無置換のペンタセンに比較してわずかに縮小していることが分かった。
n型ドーパントでヘビードープされたシリコン基板(厚さ200nmの熱酸化膜を表面に備えた基板)の表面に、ソース・ドレイン電極として金電極のパターンを形成した。この金電極のパターンは、短冊状のパターンが並行に形成されているものであり、パターン間(チャネル長)は20μm、パターン長さ(チャネル幅)は500μmである。
このような電極パターンが形成されたシリコン基板上に(基板温度は40℃)、上記と同様の真空蒸着法により膜厚80nmの2,3,9,10−テトラメチルペンタセン薄膜を形成し、トランジスタ構造とした。
該トランジスタのシリコン基板をゲートとして、ソース・ドレイン電極間の電流/電圧曲線を測定した。その際には、ゲート電圧を0Vから20Vまで、5Vステップで変化させた。その結果、ドレイン電圧の増加に伴ってドレイン電流の飽和が観測された(図4を参照)。この電流飽和領域のゲート電圧依存性から求めた移動度は、1.63cm2 /V・sであった。
〔ポリアセン化合物の合成方法について〕
1,4−ジヒドロキシアントラセン1.14gと4,5−ジメチルフタルアルデヒド880mgとを、ピリジン12mlに溶解し、窒素雰囲気下で13時間還流させた。生成した深緑色の沈澱を濾取し、水とエタノールで洗浄した後、真空乾燥して2,3−ジメチルペンタセンキノン1.46gを得た。この反応における収率は80%であった。
得られた2,3−ジメチルペンタセンキノンについて、重水素化クロロホルムを溶媒として用いて、核磁気共鳴(NMR)スペクトル測定を行った。結果は以下の通りである。 1H−NMR(ppm):δ2.49(s,6H)、7.69(dd,2H)、7.85(s,2H)、8.11(dd,2H)、8.82(s,2H)、8.92(s,2H)
1H−NMR(ppm):δ2.51(s,6H)、7.33(dd,2H)、7.72(s,2H)、7.94(dd,2H)、8.53(s,2H)、8.64(s,2H)、8.89(s,2H)
前述のようにして合成した2,3−ジメチルペンタセンを真空蒸着することにより、膜厚80nmの2,3−ジメチルペンタセン薄膜をシリコン基板上に形成した。なお、雰囲気圧力は2.66×10-5Pa、薄膜成長速度は0.1nm/sec、昇華セル温度は310℃、基板温度は30℃とした。
得られた2,3−ジメチルペンタセン薄膜のX線回折パターン測定(図6に示すチャートを参照)によって、(00n)面に相当する回折線(n=1,2,3,4)が観測され、c軸の格子定数は17.0Åであった。このc軸格子定数は、2,3−ジメチルペンタセン分子の長軸方向の長さとファンデルワールス半径との和(16.3Å)にほぼ一致することから、ペンタセン誘導体分子は薄膜内において、分子の長軸を基板の表面に対して垂直方向に配向させて結晶を形成していることが分かった。
n型ドーパントでヘビードープされたシリコン基板(厚さ200nmの熱酸化膜を表面に備えた基板)の表面に、ソース・ドレイン電極として金電極のパターンを形成した。この金電極のパターンは、短冊状のパターンが並行に形成されているものであり、パターン間(チャネル長)は20μm、パターン長さ(チャネル幅)は500μmである。
このトランジスタのシリコン基板をゲートとして、ソース・ドレイン電極間の電流/電圧曲線を測定した。その際には、ゲート電圧を0Vから20Vまで、5Vステップで変化させた。その結果、ドレイン電圧の増加に伴ってドレイン電流の飽和が観測された。この電流飽和領域のゲート電圧依存性から求めた移動度は、1.61cm2 /V・sであった。
次に、ウェットプロセスで形成したポリアセン化合物の有機半導体薄膜について説明する。
実施例1で合成した2,3,9,10−テトラメチルペンタセンの粉末20mgを、窒素雰囲気中でo−ジクロロベンゼン20mlに分散させ、120℃で加熱して均一な溶液を得た。該溶液を120℃に加熱したシリコン基板上に展開し、o−ジクロロベンゼンを蒸発させて、平均膜厚120nmの2,3,9,10−テトラメチルペンタセン薄膜をシリコン基板上に形成した。
n型ドーパントでヘビードープされたシリコン基板(厚さ200nmの熱酸化膜を表面に備えた基板)の表面に、ソース・ドレイン電極として金電極のパターンを形成した。この金電極のパターンは、短冊状のパターンが並行に形成されているものであり、パターン間(チャネル長)は20μm、パターン長さ(チャネル幅)は500μmである。
このような電極パターンが形成されたシリコン基板上に、上記と同様のウェットプロセスにより膜厚120nmの2,3,9,10−テトラメチルペンタセン薄膜を形成し、トランジスタ構造とした。
実施例2で合成した2,3−ジメチルペンタセンの粉末20mgを、窒素雰囲気中でo−ジクロロベンゼン20mlに分散させ、120℃で加熱して均一な溶液を得た。該溶液を120℃に加熱したシリコン基板上に展開し、o−ジクロロベンゼンを蒸発させて、平均膜厚120nmの2,3−ジメチルペンタセン薄膜をシリコン基板上に形成した。
n型ドーパントでヘビードープされたシリコン基板(厚さ200nmの熱酸化膜を表面に備えた基板)の表面に、ソース・ドレイン電極として金電極のパターンを形成した。この金電極のパターンは、短冊状のパターンが並行に形成されているものであり、パターン間(チャネル長)は20μm、パターン長さ(チャネル幅)は500μmである。
このような電極パターンが形成されたシリコン基板上に、上記と同様のウェットプロセスにより膜厚120nmの2,3−ジメチルペンタセン薄膜を形成し、トランジスタ構造とした。
ペンタセンを用いたことを除いては前述の実施例1,2と同様にして、真空蒸着法によりシリコン基板上に有機半導体薄膜を形成し、トランジスタ構造とした。
得られたペンタセン薄膜の構造をX線回折パターンで評価した結果、(00n)面に相当する回折線(n=1,2,3,4)が観測された。そして、この面間距離から求めた格子定数は15.4Åであった。また、斜め入射X線回折により求めた面内構造の(110)面,(020)面,及び(200)面の面間距離は、4.93Å,3.89Å,及び3.13Åであった。
また、トランジスタの電流/電圧曲線を測定した結果、移動度は0.53cm2 /V・sであった。
Claims (11)
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機半導体薄膜の製造方法によって前記基板上に形成された結晶性の有機半導体薄膜であって、前記ポリアセン化合物の分子の長軸が前記基板の表面に対して垂直方向に配向していることを特徴とする有機半導体薄膜。
- 請求項5に記載の有機半導体薄膜で少なくとも一部を構成したことを特徴とする有機半導体素子。
- ゲート電極,誘電体層,ソース電極,ドレイン電極,及び半導体層を備えるトランジスタにおいて、前記半導体層を請求項5に記載の有機半導体薄膜で構成したことを特徴とするトランジスタ。
- 下記の化学式(II)で表されるような構造を有するポリアセン化合物を合成する方法であって、下記の化学式(IV)で表される1,4−ジヒドロキシポリアセン化合物と、下記の化学式(V)で表される1,2−ジホルミルポリアセン化合物と、を環化縮合させて、請求項8に記載のキノン化合物を生成し、該キノン化合物を還元及び芳香化することを特徴とするポリアセン化合物の合成方法。
ただし、化学式(II)中の官能基R 1 及びR 2 の少なくとも一部は、炭素数1〜15個の脂肪族炭化水素基であり、他部は水素原子である。また、nは3〜7の整数である。また、化学式(IV)中の官能基R 1 及びR 2 の少なくとも一部は、炭素数1〜15個の脂肪族炭化水素基であり、他部は水素原子である。さらに、化学式(IV)及び(V)において、pは2以上の整数であり、p+qは3〜7の整数である。 - 下記の化学式(II)で表されるような構造を有するポリアセン化合物を合成する方法であって、下記の化学式(VI)で表される1,2−ジホルミルポリアセン化合物と、下記の化学式(VII )で表される1,4−ジヒドロキシポリアセン化合物と、を環化縮合させて、請求項8に記載のキノン化合物を生成し、該キノン化合物を還元及び芳香化することを特徴とするポリアセン化合物の合成方法。
ただし、化学式(II)中の官能基R 1 及びR 2 の少なくとも一部は、炭素数1〜15個の脂肪族炭化水素基であり、他部は水素原子である。また、nは3〜7の整数である。また、化学式(VI)中の官能基R 1 及びR 2 の少なくとも一部は、炭素数1〜15個の脂肪族炭化水素基であり、他部は水素原子である。さらに、化学式(VI)及び(VII )において、pは2以上の整数であり、p+qは3〜7の整数である。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029701A JP4481028B2 (ja) | 2003-02-05 | 2004-02-05 | 有機半導体薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003028704 | 2003-02-05 | ||
JP2004029701A JP4481028B2 (ja) | 2003-02-05 | 2004-02-05 | 有機半導体薄膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004256532A JP2004256532A (ja) | 2004-09-16 |
JP4481028B2 true JP4481028B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=33133694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004029701A Expired - Fee Related JP4481028B2 (ja) | 2003-02-05 | 2004-02-05 | 有機半導体薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4481028B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1811573A4 (en) | 2004-11-11 | 2010-03-24 | Mitsubishi Chem Corp | Field effect transistor |
JP2006165533A (ja) * | 2004-11-11 | 2006-06-22 | Mitsubishi Chemicals Corp | 電界効果トランジスタ |
WO2006090569A1 (ja) * | 2005-02-24 | 2006-08-31 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 有機半導体材料、有機半導体膜、有機半導体素子、有機薄膜トランジスタ、電界効果型トランジスタ及びスイッチング素子 |
JP2006303423A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Mitsubishi Chemicals Corp | 電界効果トランジスタ |
JP4534017B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2010-09-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 一次元配列1,2,4,5−テトラ置換ベンゼンあるいはベンゼン環が2〜5個縮環した直線的な形状の多核芳香族炭化水素分子集合体内包ゼオライトおよびその製造方法 |
EP1986247A1 (en) * | 2005-05-12 | 2008-10-29 | MERCK PATENT GmbH | Polyacene and semiconductor Formulation |
JP2007013097A (ja) | 2005-06-01 | 2007-01-18 | Sony Corp | 有機半導体材料、有機半導体薄膜及び有機半導体素子 |
JP4899504B2 (ja) | 2006-02-02 | 2012-03-21 | 株式会社日立製作所 | 有機薄膜トランジスタの製造方法および製造装置 |
JP2007243048A (ja) | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Sony Corp | 有機半導体素子及び有機半導体薄膜 |
JP2007266142A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | ルブレン系化合物単結晶の製造方法及び有機半導体素子の製造方法並びに有機半導体素子 |
JP2007294718A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機半導体膜及び有機薄膜トランジスタ |
JP5291303B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2013-09-18 | 旭化成株式会社 | ポリアセン化合物及び有機半導体薄膜 |
JP2007335772A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Sony Corp | 有機半導体材料および半導体装置 |
JP5219186B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2013-06-26 | 国立大学法人 岡山大学 | 溶解性の高いペンタセン化合物およびそれを用いた有機半導体素子 |
JP5117743B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2013-01-16 | Jnc株式会社 | 溶解性の高いアセン化合物およびそれを用いた電子素子 |
JP2009001784A (ja) * | 2007-05-18 | 2009-01-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機デバイス用材料および有機デバイス用材料を用いた発光素子、発光装置、電子機器、電界効果トランジスタ、半導体装置 |
JPWO2009028453A1 (ja) * | 2007-08-31 | 2010-12-02 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 薄膜トランジスタ |
JP5291321B2 (ja) * | 2007-10-24 | 2013-09-18 | 旭化成株式会社 | 有機半導体薄膜及び有機半導体素子 |
JP5334169B2 (ja) * | 2007-11-22 | 2013-11-06 | 学校法人日本大学 | ポリアセン類の合成方法 |
US8822731B2 (en) * | 2009-11-30 | 2014-09-02 | University Of New Hampshire | Soluble, persistent nonacene derivatives |
-
2004
- 2004-02-05 JP JP2004029701A patent/JP4481028B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004256532A (ja) | 2004-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4820287B2 (ja) | ポリアセン化合物及び有機半導体薄膜 | |
JP4481028B2 (ja) | 有機半導体薄膜の製造方法 | |
KR20060136434A (ko) | 폴리아센 화합물 및 유기 반도체 박막 | |
KR100552866B1 (ko) | 유기 반도체 소자 | |
JPWO2007125671A1 (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP6558777B2 (ja) | 有機化合物及びその用途 | |
JP4783282B2 (ja) | 縮合多環芳香族化合物薄膜及び縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法 | |
JPWO2014061745A1 (ja) | 新規縮合多環芳香族化合物及びその用途 | |
JP2005232136A (ja) | ポリアセン化合物前駆体及びポリアセン化合物の合成方法 | |
JP5291303B2 (ja) | ポリアセン化合物及び有機半導体薄膜 | |
JP4961660B2 (ja) | 銅ポルフィリン化合物を用いた電界効果トランジスタ | |
JP2006335719A (ja) | ポリアセン化合物及びその製造方法並びに有機半導体素子 | |
Hunziker et al. | Highly ordered thin films of a bis (dithienothiophene) derivative | |
JP2006335720A (ja) | ポリアセン化合物の製造方法及び有機半導体素子 | |
Kim et al. | Controlled polymer crystal/two-dimensional material heterostructures for high-performance photoelectronic applications | |
JP2004158719A (ja) | アセン化合物誘導体薄膜の製造方法 | |
JP5291321B2 (ja) | 有機半導体薄膜及び有機半導体素子 | |
JP5529416B2 (ja) | 有機半導体薄膜及び有機半導体素子 | |
JP6497560B2 (ja) | 新規縮合多環芳香族化合物及びその用途 | |
JP2007055939A (ja) | ポリアセン化合物及びその製造方法並びに有機半導体素子 | |
JP2005294737A (ja) | 縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法 | |
JP2005268450A (ja) | 有機半導体薄膜及びその製造方法並びに有機半導体素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041213 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100309 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100317 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140326 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |