JP4444812B2 - リソグラフィ処理におけるウェハの熱変形に対する最適補正 - Google Patents
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Description
で使用することができる。
図2Aは、本発明の具体的な一実施例に従って構築され動作する熱補正処理200の概括的な発明概念を概略的に表している。図2Aに示したように、補正処理200は初期露光レシピを提供する手順タスクP202で開始される。露光レシピは、露光パターンに関する製造者の指定したフィーチャ及びプロフィールに一致するように、ウェハ基板Wの標的フィールドCi−CNの各々の上に投影ビームPBによって集束させるエネルギー量を指定する。幾つかの実施例に関しては、ウェハ基板Wの標的フィールドCi−CNが受け取る総エネルギー付与量を一定に保つことが望ましいことを理解されたい。しかし、これらの実施例の場合であっても、その露光時間(すなわち、走査速度)及び露光エネルギー(例えば、レーザーのパワー)は、熱効果を低減させるために総エネルギー付与量が一定に保たれる限りにおいて、露光レシピの調節可能なパラメータとして構成することができる。
図2Bは、本発明の具体的な一実施例に従って構築され動作する熱補正処理250の概括的な発明概念を概略的に表している。図2Bに示したように、補正処理250は初期露光レシピを提供する手順タスクP252で開始される。上で検討したように、この露光レシピは、露光時間、露光エネルギー、露光座標位置決め、及び露光順序付け情報を含むことがある。
図3は、本発明の具体的な一実施例に従って構築され動作する熱補正処理300の概括的な発明概念を概略的に表している。図3に示したように、補正処理300は初期露光レシピを提供する手順タスクP302で開始される。別の実施例に関して上で検討したように、この露光レシピは、露光時間、露光エネルギー、露光座標位置決め、及び露光順序付け情報を含むことがある。
図4Aは、本発明の具体的な一実施例に従って構築され動作する熱補正処理400の概括的な発明概念を概略的に表している。図4Aに示したように、補正処理400は初期露光レシピを提供する手順タスクP402で開始される。開示した別の実施例に関して上で検討したように、この露光レシピは、露光時間、露光エネルギー、露光座標位置決め、及び露光順序付け情報を含むことがある。
図5Aは、本発明の具体的な一実施例に従って構築され動作する熱補正処理500の概括的な発明概念を概略的に表している。図4Aに示したように、補正処理500は初期露光レシピを提供する手順タスクP502で開始される。開示した別の実施例に関して上で検討したように、露光レシピは、露光パターンに関する製造者の指定したフィーチャ及びプロフィールに一致するようにウェハ基板Wの標的フィールドCi−CNの各々の上に投影ビームPBによって集束させるエネルギー量を指定する。この露光レシピはさらに、各標的フィールドCi−CNに関して投影ビームPBを集束させる箇所である事前指定の座標を特定する関連する露光位置情報と、投影ビームPBによって標的フィールドCi−CNのそれぞれを露光する際の事前指定の順序付けを特定する関連する露光順序付け情報とを含む。
図6は、本発明の具体的な一実施例に従って構築され動作する熱補正処理600の概括的な発明概念を概略的に表している。図6に示したように、補正処理600は初期露光レシピを提供する手順タスクP602で開始される。開示した別の実施例に関して上で検討したように、この露光レシピは、露光時間、露光エネルギー、露光座標位置決め、及び露光順序付け情報を含むことがある。
150 透過性構成のリソグラフィ装置
200 熱補正処理
250 熱補正処理
300 熱補正処理
400 熱補正処理
500 熱補正処理
600 熱補正処理
BD ビーム伝達システム
C 標的フィールド
CO コンデンサ
IF 位置センサ
IL 照射器
IN 積算器
M1 マスクアライメント・マーク
M2 マスクアライメント・マーク
MA パターン形成機器、マスク
MT マスクテーブル、マスクホルダ
P1 基板アライメント・マーク
P2 基板アライメント・マーク
PB 投影ビーム
PL レンズ
PM 第1の位置決め機構
PW 第2の位置決め機構
SO 放射線源
W 基板、ウェハ
WT ウェハテーブル、ウェハホルダ、基板テーブル
Claims (31)
- リソグラフによって露光された基板に対する熱誘導性のフィールド変形を補正する方法であって、
事前指定の露光情報に従って基板の複数のフィールド上に1つのパターンを露光する段階と、
前記フィールドの属性を測定し、前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価する段階と、
前記測定された属性に基づいて補正情報を決定する段階と、
前記補正情報に基づいて前記事前指定の露光情報を調整し熱誘導性のフィールド変形を補償する段階と、
熱誘導性のフィールド変形情報を予測するためのモデルを提供する段階と、
露光の前に前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて前記事前指定の露光情報を修正する段階と、を含み、
前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報は、前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を全域膨張モデルに基づいて予測することを含み、
前記予測モデルは、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
dx max が最終の標的フィールドが露光され終わった後におけるウェハ基板Wのx方向で予測される総変形を表し、
xがウェハ基板W上の1つの点のx座標を表し、
r w がウェハ基板Wの半径を表し、
N i が現在の標的フィールドの指標番号を表し、
N tot が標的フィールドの総数を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表し、
dy max が最終の標的フィールドが露光され終わった後におけるウェハ基板Wのy方向で予測される総変形を表し、
yがウェハ基板W上の1つの点のy座標を表す、方法。 - 前記露光情報は、露光エネルギー情報、露光時間情報、露光フィールド位置情報、露光フィールド順序付け情報、及び露光フィールド変形情報のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記補正情報によって決定される位置オフセット情報に基づいて前記事前指定の露光フィールド位置情報を調整する段階を含む、請求項2に記載の方法。
- 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記露光の後で前記補正情報によって決定される予測オフセット情報に基づいて前記修正された事前指定の露光情報を調整する段階を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報に基づいて前記露光フィールド順序付け情報を調整する段階を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記熱誘導性のフィールド変形情報は、前記ウェハ全体にエネルギーが移送される際の時間−減衰特性に基づいて前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を予測する段階を含む、請求項1に記載の方法。
- リソグラフによって露光された基板に対する熱誘導性のフィールド変形を補正する方法であって、
事前指定の露光情報に従って基板の複数のフィールド上に1つのパターンを露光する段階と、
前記フィールドの属性を測定し、前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価する段階と、
前記測定された属性に基づいて補正情報を決定する段階と、
前記補正情報に基づいて前記事前指定の露光情報を調整し熱誘導性のフィールド変形を補償する段階と、
熱誘導性のフィールド変形情報を予測するためのモデルを提供する段階と、
露光の前に前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて前記事前指定の露光情報を修正する段階と、を含み、
前記熱誘導性のフィールド変形情報は、前記ウェハ全体にエネルギーが移送される際の時間−減衰特性に基づいて前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を予測する段階を含み、
前記予測モデルは、
τがリソグラフィ露光構成要素の温度特性に依存する時間感度定数を表し、
χがリソグラフィ露光構成要素の空間温度特性を表し、
kがリソグラフィ露光構成要素の温度特性に依存する比例定数を表し、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表す、方法。 - 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報に基づいて前記露光フィールド順序付け情報を調整する段階を含む、請求項7に記載の方法。
- 露光の前に前記基板の表面上の温度変動を測定する段階と、
前記測定された基板温度変動に基づいて変形マップを作成する段階とをさらに含む、請求項2に記載の方法。 - 露光の前に前記変形マップに基づいて前記事前指定の露光情報を修正する段階をさらに含む、請求項9に記載の方法。
- 前記温度変動測定はサーモグラフィック・イメージングを含む、請求項10に記載の方法。
- リソグラフによって露光された基板に対する熱誘導性のフィールド変形を補正する方法であって、
事前指定の露光情報に従って基板の複数のフィールド上に1つのパターンを露光する段階と、
前記フィールドの属性を測定し、前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価する段階と、
前記測定された属性に基づいて補正情報を決定する段階と、
前記補正情報に基づいて前記事前指定の露光情報を調整し熱誘導性のフィールド変形を補償する段階と、
熱誘導性のフィールド変形情報を予測するためのモデルを提供する段階と、
露光の前に前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて前記事前指定の露光情報を修正する段階と、を含み、
前記露光情報は、露光エネルギー情報、露光時間情報、露光フィールド位置情報、露光フィールド順序付け情報、及び露光フィールド変形情報のうちの少なくとも1つを含み、
露光の前に前記基板の表面上の温度変動を測定する段階と、
前記測定された基板温度変動に基づいて変形マップを作成する段階とをさらに含み、
前記変形マップは、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
x i がフィールドiのx座標を表し、
cが比例定数(熱膨張係数)を表し、
N i が加算において考慮するフィールドの数を表し、
kがウェハ中心とフィールドiの間の接続線に沿って関連するフィールド全体にわたって加算することであり、
T k が測定したフィールドkの測定温度を表し、
T nom がその装置をセットアップする際の目標とする公称温度を表し、
y i がフィールドiのy座標を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表す、方法。 - 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記露光の後で前記補正情報によって決定される変形オフセット情報に基づいて前記修正された事前指定の露光情報を調整する段階を含む、請求項10に記載の方法。
- リソグラフによって露光された基板に対する熱誘導性のフィールド変形を補正する方法であって、
露光の熱効果によって誘導される基板の複数のフィールドの変形を予測するためのモデルを提供する段階と、
前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて前記基板のフィールドの露光を構成するために使用される露光情報を修正する段階と、
前記修正された露光情報に従って前記基板のフィールド上に1つのパターンを露光する段階と、
前記フィールドの属性を測定し、前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価する段階と、
前記測定された属性に基づいて補正情報を決定する段階と、
前記補正情報に基づいて前記修正された露光情報を調整し熱誘導性のフィールド変形を補償する段階と、
を含み、
前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報は、前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を全域膨張モデルに基づいて予測する段階を含み、
前記予測モデルは、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
dx max が最終の標的フィールドが露光され終わった後におけるウェハ基板Wのx方向で予測される総変形を表し、
xがウェハ基板W上の1つの点のx座標を表し、
r w がウェハ基板Wの半径を表し、
N i が現在の標的フィールドの指標番号を表し、
N tot が標的フィールドの総数を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表し、
dy max が最終の標的フィールドが露光され終わった後におけるウェハ基板Wのy方向で予測される総変形を表し、
yがウェハ基板W上の1つの点のy座標を表す、方法。 - 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報に基づいて前記露光フィールド順序付け情報を調整する段階を含む、請求項14に記載の方法。
- 前記熱誘導性のフィールド変形情報は、前記ウェハ全体にエネルギーが移送される際の時間−減衰特性に基づいて前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を予測する段階を含む、請求項14に記載の方法。
- リソグラフによって露光された基板に対する熱誘導性のフィールド変形を補正する方法であって、
露光の熱効果によって誘導される基板の複数のフィールドの変形を予測するためのモデルを提供する段階と、
前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて前記基板のフィールドの露光を構成するために使用される露光情報を修正する段階と、
前記修正された露光情報に従って前記基板のフィールド上に1つのパターンを露光する段階と、
前記フィールドの属性を測定し、前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価する段階と、
前記測定された属性に基づいて補正情報を決定する段階と、
前記補正情報に基づいて前記修正された露光情報を調整し熱誘導性のフィールド変形を補償する段階と、
を含み、
前記熱誘導性のフィールド変形情報は、前記ウェハ全体にエネルギーが移送される際の時間−減衰特性に基づいて前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を予測する段階を含み、
前記予測モデルは、
τがリソグラフィ露光構成要素の温度特性に依存する時間感度定数を表し、
χがリソグラフィ露光構成要素の空間温度特性を表し、
kがリソグラフィ露光構成要素の温度特性に依存する比例定数を表し、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表す、方法。 - 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報に基づいて前記露光フィールド順序付け情報を調整する段階を含む、請求項17に記載の方法。
- 放射ビームを提供するように構成された照射システムと、
その断面に1つのパターンを有する前記放射ビームを与える働きをするパターン形成機器を支持するように構成された支持構造と、
複数の標的フィールドを含む基板を保持するように構成された基板ホルダと、
基板の前記標的フィールドのうちの少なくとも1つの上に前記パターン形成したビームを露光するように構成された投影システムと、
前記露光済みの標的フィールドの属性を測定するように構成された測定ステーションと、を備えるリソグラフィ・システムであって、
前記露光済みの標的フィールドは事前指定の露光情報に従って露光され、前記フィールドは前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価するために前記測定ステーションによって測定されており、
補正情報は、前記測定されたフィールド変形に基づいて決定されており、前記事前指定の露光情報は、熱誘導性のフィールド変形を補償するために前記補正情報に基づいて調整され、
熱誘導性のフィールド変形情報を予測するためのモデルを提供し、露光の前に前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて、前記事前指定の露光情報を修正し、
前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報は、前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を全域膨張モデルに基づいて予測する段階を含み、
前記予測モデルは、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
dx max が最終の標的フィールドが露光され終わった後におけるウェハ基板Wのx方向で予測される総変形を表し、
xがウェハ基板W上の1つの点のx座標を表し、
r w がウェハ基板Wの半径を表し、
N i が現在の標的フィールドの指標番号を表し、
N tot が標的フィールドの総数を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表し、
dy max が最終の標的フィールドが露光され終わった後におけるウェハ基板Wのy方向で予測される総変形を表し、
yがウェハ基板W上の1つの点のy座標を表す、リソグラフィ・システム。 - 前記露光情報は、露光エネルギー情報、露光時間情報、露光フィールド位置情報、露光フィールド順序付け情報、及び露光フィールド変形情報のうちの少なくとも1つを含む、請求項19に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記補正情報によって決定される位置オフセット情報に基づいて前記事前指定の露光フィールド位置情報を調整する段階を含む、請求項20に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記露光の後で前記補正情報によって決定される予測オフセット情報に基づいて前記修正された事前指定の露光情報を調整する段階を含む、請求項19に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報に基づいて前記露光フィールド順序付け情報を調整する段階を含む、請求項19に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記熱誘導性のフィールド変形情報は、前記ウェハ全体にエネルギーが移送される際の時間−減衰特性に基づいて前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を予測する段階を含む、請求項19に記載のリソグラフィ・システム。
- 放射ビームを提供するように構成された照射システムと、
その断面に1つのパターンを有する前記放射ビームを与える働きをするパターン形成機器を支持するように構成された支持構造と、
複数の標的フィールドを含む基板を保持するように構成された基板ホルダと、
基板の前記標的フィールドのうちの少なくとも1つの上に前記パターン形成したビームを露光するように構成された投影システムと、
前記露光済みの標的フィールドの属性を測定するように構成された測定ステーションと、を備えるリソグラフィ・システムであって、
前記露光済みの標的フィールドは事前指定の露光情報に従って露光され、前記フィールドは前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価するために前記測定ステーションによって測定されており、
補正情報は、前記測定されたフィールド変形に基づいて決定されており、前記事前指定の露光情報は、熱誘導性のフィールド変形を補償するために前記補正情報に基づいて調整され、
熱誘導性のフィールド変形情報を予測するためのモデルを提供し、露光の前に前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて、前記事前指定の露光情報を修正し、
前記熱誘導性のフィールド変形情報は、前記ウェハ全体にエネルギーが移送される際の時間−減衰特性に基づいて前記フィールドのそれぞれの中で選択された点の変形の影響を予測する段階を含み、
前記予測モデルは、
τが、リソグラフィ露光構成要素の温度特性に依存する時間感度定数を表し、
χがリソグラフィ露光構成要素の空間温度特性を表し、
kがリソグラフィ露光構成要素の温度特性に依存する比例定数を表し、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表す、リソグラフィ・システム。 - 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記予測される熱誘導性のフィールド変形情報に基づいて前記露光フィールド順序付け情報を調整する段階を含む、請求項25に記載のリソグラフィ・システム。
- 露光の前に前記基板の表面上の温度変動を測定する段階と、
前記測定された基板温度変動に基づいて変形マップを作成する段階と、
をさらに含む、請求項20に記載のリソグラフィ・システム。 - 露光の前に前記変形マップに基づいて前記事前指定の露光情報を修正する段階をさらに含む、請求項27に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記温度変動測定はサーモグラフィック・イメージングを含む、請求項27に記載のリソグラフィ・システム。
- 放射ビームを提供するように構成された照射システムと、
その断面に1つのパターンを有する前記放射ビームを与える働きをするパターン形成機器を支持するように構成された支持構造と、
複数の標的フィールドを含む基板を保持するように構成された基板ホルダと、
基板の前記標的フィールドのうちの少なくとも1つの上に前記パターン形成したビームを露光するように構成された投影システムと、
前記露光済みの標的フィールドの属性を測定するように構成された測定ステーションと、を備えるリソグラフィ・システムであって、
前記露光済みの標的フィールドは事前指定の露光情報に従って露光され、前記フィールドは前記露光の熱効果によって誘導される前記フィールドの変形を評価するために前記測定ステーションによって測定されており、
補正情報は、前記測定されたフィールド変形に基づいて決定されており、前記事前指定の露光情報は、熱誘導性のフィールド変形を補償するために前記補正情報に基づいて調整され、
熱誘導性のフィールド変形情報を予測するためのモデルを提供し、露光の前に前記予測される熱誘導性の変形情報に基づいて、前記事前指定の露光情報を修正し、
前記露光情報は、露光エネルギー情報、露光時間情報、露光フィールド位置情報、露光フィールド順序付け情報、及び露光フィールド変形情報のうちの少なくとも1つを含み、
露光の前に前記基板の表面上の温度変動を測定する段階と、
前記測定された基板温度変動に基づいて変形マップを作成する段階と、
を更に含み、
前記変形マップは、
dx p がx軸に沿った予測される変形を表し、
x i がフィールドiのx座標を表し、
cが比例定数(熱膨張係数)を表し、
N i が加算において考慮するフィールドの数を表し、
kがウェハ中心とフィールドiの間の接続線に沿って関連するフィールド全体にわたって加算することであり、
T k が測定したフィールドkの測定温度を表し、
T nom がその装置をセットアップする際の目標とする公称温度を表し、
y i がフィールドiのy座標を表し、
dy p がy軸に沿った予測される変形を表す、リソグラフィ・システム。 - 前記事前指定の露光情報を調整する段階は、前記露光の後で前記補正情報によって決定される変形オフセット情報に基づいて前記修正された事前指定の露光情報を調整する段階を含む、請求項28に記載のリソグラフィ・システム。
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