JP4519823B2 - 基板の熱的に引き起こされる変形を予測する方法 - Google Patents
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Description
− 所定の露光情報を設けるステップと;
− 基板の選択された点において熱的に引き起こされるフィールド変形を、その所定露光情報に基づいてモデルを用いて予測するステップとを含み;
そのモデルは
− エネルギーが前記基板を横断して運ばれるときの時間減衰特性と;
− 選択された点と前記基板のエッジとの間の距離と、に基づいている。
− 所定の露光情報を受け取るように構成された入力ポートと;
− この入力ポートに接続されて露光される基板の選択された点における熱的に引き起こされるフィールド変形を、受け取られた所定露光情報に基づいて、モデルを使用して予測するプロセッサ・ユニットとを有し、このモデルは、
− エネルギーが前記基板を横断して運ばれるとき、前記の予測された熱的に引き起こされるフィールド変形に基づいて、改善された露光情報を決定する時間減衰特性と;
− 前記の選択された点と前記基板のエッジとの間の距離と;
に基づいていることを特徴とする。
− 放射線ビームB(例えば紫外線放射又は極紫外線放射)を調整するように構成された照明システムILと;
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成されて、特定のパラメータに従って該パターニングデバイスを正確に位置決めするように構成されている第1位置決め装置PMに結合された支持構造(例えばマスク・テーブル)MTと;
− 基板(例えばレジストで被覆されたウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成されている第2位置決め装置PWに結合された基板テーブル(例えばウェーハ・テーブル)WTと;
− パターニングデバイスMAによって放射線ビームBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば、屈折式投影レンズ)と;
を含む。
Δrは予測時間依存変形効果を表し;
Tiは点iにおけるタイミング効果を表し;
Diは点iの空間的効果を表す。
Ti xはx方向における、ターゲット・フィールドCiを露光することのタイミング効果を表し;
Ti yはy方向における、ターゲット・フィールドCiを露光することのタイミング効果を表し;
Di xは露光されたターゲット・フィールドCi内の点と、現在露光されるべきターゲット・フィールドの中の点との間の距離によって引き起こされるx方向における空間的効果を表し;
Di yは露光されたターゲット・フィールドCi内の点と、現在露光されるべきターゲット・フィールドの中の点との間の距離によって引き起こされるy方向における空間的効果を表す。
この場合、熱的に引き起こされる変形の情報の予測は、前に露光されたダイに加えられたエネルギーに起因する局所的変形から顕著な影響を受ける。従って、リソグラフィ露光の結果としてのターゲット・フィールドCi(すなわちダイ)の加熱により引き起こされる変形の場合には、Ti及びDiは下記のように表示され得る:
tは絶対時間を表し;
tiはターゲット・フィールドCiが露光される時間を表す。そして
riは、オーバーレイが推定されるターゲット・フィールドCi上の点を表し、この点は、液体11で満たされたリザーバ10がたどる露光経路上に存在する点であり;
rは、現在露光されている基板W上の点を表し;
χは、リソグラフィ露光コンポーネント(例えば、露光チャック、基板処理など)の空間的熱特性を表し;
kは、リソグラフィ露光コンポーネントの熱特性に依存するが一般的には所与のコンポーネントのセットについて一定である比例定数を表す。
この場合、熱的に引き起こされる変形の情報の予測は、前のダイを露光している間に基板Wに加えられたエネルギーから顕著な影響を受ける。従って、熱的効果Tiは、露光加熱の場合と同様にモデル化される。しかし、空間的効果は、別様にモデル化される。露光加熱と比較して、熱変形は特定の期間中に露光されるフィールドCiに限定されない。液体11は割合に大きな領域を覆い、液体11の蒸発は、例えばリザーバ10の周辺などで、該フィールドから離れていても生じ得るであろう。この冷却現象に起因する点
Nは、積分推定に必要とされる最大数である。
riは、ターゲット・フィールドCi上の点を表し;
rは、シャワーヘッドが現在たどっている基板W上の点を表し;
χは、リソグラフィ露光コンポーネントの空間熱特性を表し;
Nは、積分推定に必要な最大数であり、
Wは、基板である。
xeは,x方向における基板Wのエッジまでの距離を表し;
yeは、y方向における基板Wのエッジまでの距離を表し;
xiは、riのx座標を表し;
yiは、riのy座標を表し;
Rは、基板Wの半径を表す。
fiは、露光の経路に従って露出される点のインデックスを表し、
Mは、点の総数を表す。
dxi total及びdyi totalは、点riにおけるそれぞれx方向及びy方向の総オーバーレイ補正を表し;
τx及びτyは、それぞれx方向及びy方向についてのリソグラフィィック露光コンポーネントの熱的特性に依存する時間感度定数を表し;
χx及びχyは、それぞれx方向及びy方向におけるリソグラフィィック露光コンポーネント(例えば、露光チャック、基板処理など)の空間的熱特性を表し;
C 基板のターゲット部分
CO コンデンサー
IF 位置センサー
IL 照明装置
IN インテグレータ
M1,M2 マスクアライメントマーク
MA パターニングデバイス
MT 支持構造
P1,P2 基板アライメントマーク
PB 投影ビーム
PL 投影システム
PM 第1位置決め装置
PW 第2位置決め装置
SO 放射光源
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (11)
- リソグラフィにより露光される基板の熱的に引き起こされるフィールド変形を予測する方法であって、
所定の露光情報を設けるステップと、
前記基板の選択された点において熱的に引き起こされるフィールド変形を、前記所定の露光情報に基づいてモデルを用いて予測するステップと、を含み、
前記モデルは、
前記選択された点と前記基板のエッジとの間の距離、
に基づいている方法。 - 前記モデルは、更に、前記選択された点とエネルギー源との間の距離に基づいている請求項1に記載の方法。
- 前記予測された熱的に引き起こされるフィールド変形に基づいて、改良された露光情報を決定するステップを含む請求項1又は2に記載の方法。
- 前記改良された露光情報を決定するステップは、露光フィールド順序付け情報を調整することを含む請求項3に記載の方法。
- 前記改良された露光情報を用いて複数のフィールドを露光するステップを更に含む、請求項3又は4のうちのいずれか1つに記載の方法。
- 前記複数のフィールドのうちの各フィールドは、前記選択された点のうちの1つ以上の点を有する請求項5に記載の方法。
- 前記方法は、前記露光ステップ後において更に、
前記複数のフィールドのうちの第1フィールドの属性に関する測定値を集めるステップと、
前記露光の熱的効果によって引き起こされた前記第1フィールドの変形を前記測定値を用いて評価するステップと、
その評価された変形に基づいて補正情報を決定するステップと、
前記補正情報に基づいて前記改良された露光情報を補正するステップと、
を含む請求項5又は6に記載の方法。 - 前記所定露光情報は、露光エネルギー情報、露光時間情報、露光フィールド位置情報、露光フィールド順序付け情報及び露光フィールド変形情報のうちの少なくとも1つを含む請求項1から請求項7のうちのいずれか1つに記載の方法。
- 前記モデルは、第1期間中に前記基板と接触している第1材料へ前記基板から移されるエネルギーの量に更に基づいている請求項1から請求項8のうちのいずれか1つに記載の方法。
- 前記エネルギーの量は、前記期間の対数に比例するようにモデル化される請求項9に記載の方法。
- 前記材料は浸液であり、前記熱的に引き起こされるフィールド変形は前記浸液の蒸発による前記基板の冷却に起因する請求項9又は10に記載の方法。
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