JP2006332659A - リソグラフィ特性向上 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施例によれば、改善方法は、リソグラフィ露光装置によって処理される基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算するステップであって、この修正データが、基板を加熱または冷却するために使用されるサーマル・プレートの区域によって生成される温度を制御することによって、基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されているステップと、修正データをサーマル・プレートが利用できるようにするステップとを含む。
【選択図】図4
Description
リソグラフィ露光装置によって処理される基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算するステップであって、修正データが、基板を加熱または冷却するために使用されるサーマル・プレートの区域によって生成される温度を制御することによって、基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されているステップと、
修正データをサーマル・プレートが利用できるようにするステップと
を含む方法が提供される。
リソグラフィ露光装置によって処理される基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算するステップであって、修正データが、基板を加熱または冷却するために使用されるサーマル・プレートの区域によって生成される温度を制御することによって、基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されているステップと、
修正データをサーマル・プレートが利用できるようにするステップと
を含んでいるコンピュータ可読プログラム製品が提供される。
基板を加熱または冷却するように構成された、複数の区域を有するサーマル・プレートと、
基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算し、この修正データに基づいて複数の区域の1つの区域によって生成される温度を制御するように構成された制御装置であって、修正データが、基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されている制御装置と
を有するサーマル・プレート・システムが提供される。
パターン形成された放射線のビームを基板上に投影するように構成された投影システムと、
基板を保持するように構成された基板ホルダと、
基板を加熱または冷却するように構成された、複数の区域を有するサーマル・プレートと、
基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算し、この修正データに基づいて複数の区域の1つの区域によって生成される温度を制御するように構成された制御装置であって、修正データが、基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されている制御装置と
を有するリソグラフィ装置が提供される。
放射線(例えばUV放射線)のビームPBを調整するようになされた照明システム(照明器)ILと、
パターン形成デバイス(例えばマスク)MAを保持するように構築された支持構造であって、要素PLに対してパターン形成デバイスを正確に位置決めするように構成された第1の位置決めデバイスPMに接続された支持構造(例えばマスク・テーブル)MTと、
基板(例えばレジスト被覆ウェハ)Wを保持するように構築された基板テーブルであって、要素PLに対して基板を正確に位置決めするように構成された第2の位置決め手段PWに接続された基板テーブル(例えばウェハ・テーブル)WTと、
パターン形成デバイスMAによってビームPBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば、1つまたは複数のダイを備える)に結像するようになされた投影システム(例えば屈折投影レンズ)PLと
を有している。
102 リソグラフィ露光装置
104 基板トラック
106 事前処理装置
108 事後処理装置
IL 照明システム、照明器
MA パターン形成デバイス、マスク
MT 支持構造、マスク・テーブル
PB 投影ビーム
PL 投影システム
W 基板
WT 基板テーブル、ウェハ・テーブル
Claims (24)
- 基板の特性均一性を改善する方法であって、
リソグラフィ露光装置によって処理される基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算するステップであって、前記修正データが、前記基板を加熱または冷却するために使用されるサーマル・プレートの区域によって生成される温度を制御することによって、前記基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されているステップと、
前記修正データを前記サーマル・プレートに利用可能にするステップと
を含む方法。 - 前記特性が前記露光基板上のフィーチャの限界寸法である請求項1に記載の方法。
- 前記特性が、前記露光基板上のフィーチャの(1)側壁角度、(2)ライン・エッジ・ラフネス、(3)ポスト直径、(4)コンタクト・サイズ、(5)ライン幅、(6)スペース幅、(7)アラインメント位置、または(8)(1)から(7)までの任意の組み合せ、である請求項1に記載の方法。
- 前記修正データに従って前記基板を加熱するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記サーマル・プレートが、前記リソグラフィ露光装置による前記基板の露光後に前記基板を加熱するように構成された露光後ベーキング・プレートを有している請求項1に記載の方法。
- リソグラフィ露光装置によって処理される前記基板の前記特性の値を測定するステップと、
基板プロファイル情報に基づいて、前記基板特性の前記測定値が十分に均一であるかどうか評価するステップと、
前記基板特性の前記測定値が均一でないと決定した場合に、前記修正データを計算するステップと
をさらに含む請求項1に記載の方法。 - 前記修正データを計算する際に使用される区域オフセット応答を決定するステップであって、該区域オフセット応答が、区域オフセット変化の単位当たりの基板特性値の変化の度合を有しているステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記特性の前記測定値に基づいて、前記修正データを計算する際に使用される区域オフセット応答を更新するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記修正データを計算するステップが、基板処理および構成情報を使用するステップを含み、該基板処理および構成情報は、1つまたは複数の処理装置を通る前記基板の処理経路に関連付けられたデータを含む請求項1に記載の方法。
- コンピュータによって実行されると基板の特性均一性を改善する方法を実施させる命令が符号化されたコンピュータ可読プログラム製品であって、前記方法が、
リソグラフィ露光装置によって処理される基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算するステップであって、前記修正データが、前記基板を加熱または冷却するために使用されるサーマル・プレートの区域によって生成される温度を制御することによって、前記基板特性の値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されているステップと、
前記修正データを前記サーマル・プレートに利用可能にするステップと
を含むことを特徴とするコンピュータ可読プログラム製品。 - 前記特性が前記露光基板上のフィーチャの限界寸法である請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記特性が、前記露光基板上のフィーチャの(1)側壁角度、(2)ライン・エッジ・ラフネス、(3)ポスト直径、(4)コンタクト・サイズ、(5)ライン幅、(6)スペース幅、(7)アラインメント位置、または(8)(1)から(7)までの任意の組み合せである請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記サーマル・プレートが、前記リソグラフィ露光装置による前記基板の露光後に前記基板を加熱するように構成された露光後ベーキング・プレートを有している請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記方法が、
リソグラフィ露光装置によって処理される前記基板の前記特性の値を測定するステップと、
基板プロファイル情報に基づいて、前記基板特性の前記測定値が十分に均一であるかどうか評価するステップと、
前記基板特性の前記測定値が均一でないと決定した場合に、前記修正データを計算するステップと
をさらに含む請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。 - 前記方法が、前記修正データを計算する際に使用される区域オフセット応答を決定するステップであって、該区域オフセット応答が、区域オフセット変化の単位当たりの基板特性値の変化の度合を有しているステップをさらに含む請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記方法が、前記特性の前記測定値に基づいて、前記修正データを計算する際に使用される区域オフセット応答を更新するステップをさらに含む請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記修正データを計算するステップが、基板処理および構成情報を使用するステップを含み、該基板処理および構成情報は、1つまたは複数の処理装置を通る前記基板の処理経路に関連付けられたデータを含む請求項10に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 基板を加熱または冷却するように構成された、複数の区域を有するサーマル・プレートと、
基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算し、該修正データに基づいて前記複数の区域の1つの区域によって生成される温度を制御するように構成された制御装置であって、前記修正データが、前記基板特性の前記値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されている制御装置と
を有するサーマル・プレート・システム。 - 前記サーマル・プレートが、前記リソグラフィ露光装置による前記基板の露光後に前記基板を加熱するように構成された露光後ベーキング・プレートを有している請求項18に記載のサーマル・プレート・システム。
- 前記特性が前記露光基板上のフィーチャの限界寸法である請求項18に記載のサーマル・プレート・システム。
- 前記特性が、前記露光基板上のフィーチャの(1)側壁角度、(2)ライン・エッジ・ラフネス、(3)ポスト直径、(4)コンタクト・サイズ、(5)ライン幅、(6)スペース幅、(7)アラインメント位置、または(8)(1)から(7)までの任意の組み合せである請求項18に記載のサーマル・プレート・システム。
- パターン形成された放射線のビームを基板上に投影するように構成された投影システムと、
前記基板を保持するように構成された基板ホルダと、
基板を加熱または冷却するように構成された、複数の区域を有するサーマル・プレートと、
基板の特性の測定値に基づいて修正データを計算し、該修正データに基づいて前記複数の区域の1つの区域によって生成される温度を制御するように構成された制御装置であって、前記修正データが、前記基板特性の前記値の不均一性を少なくとも部分的に修正するように構成されている制御装置と
を有するリソグラフィ装置。 - 前記基板の前記特性を測定するように構成された測定デバイスをさらに有する請求項22に記載の装置。
- 前記特性が、前記露光基板上のフィーチャの(1)限界寸法、(2)側壁角度、(3)ライン・エッジ・ラフネス、(4)ポスト直径、(5)コンタクト・サイズ、(6)ライン幅、(7)スペース幅、(8)アラインメント位置、または(9)(1)から(8)までの任意の組み合せである請求項22に記載の装置。
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