JP4424971B2

JP4424971B2 - 制電性樹脂容器作製用キット

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Publication number: JP4424971B2
Application number: JP2003381681A
Authority: JP
Inventors: 至郎新井
Original assignee: Kureha Corp
Current assignee: Kureha Corp
Priority date: 2003-11-11
Filing date: 2003-11-11
Publication date: 2010-03-03
Anticipated expiration: 2023-11-11
Also published as: CN1616310A; JP2005145469A; US20050123700A1; TW200526695A; KR20050045922A

Description

本発明は、フォトマスク（レチクルを含む）あるいはその保護膜であるペリクル、半導体ウェハー関連試作品、液晶ディスプレイ関連試作品、ＩＣ製品試作品等の極めて少量生産であるが高い帯電防止特性を要求する精密製品あるいはその半製品を収容するのに適した制電性樹脂容器作製用キットに関する。

上述したフォトマスク等の精密製品は、微粒子の静電気付着を極度に嫌い、その輸送や保管には制電性樹脂容器が使用される。制電性樹脂容器としては、従来の帯電防止剤の塗布あるいは練り込みの方法では持続的な制電効果が得られないので、近年は永久的な制電性の樹脂を与えるために親水性ポリマーと他の熱可塑性樹脂からなる制電性樹脂組成物を用いることが研究されている。親水性ポリマーとしてポリエチレンオキシド、ポリエーテルエステルアミド、４級アンモニウム塩基含有共重合体等を、熱可塑性樹脂としてのポリスチレン、ＡＢＳ、ＰＭＭＡ等に配合する方法が紹介されている（非特許文献１）。ここで、「永久制電性」とは、帯電防止剤の塗布あるいは通常の熱可塑性樹脂に練り込まれた帯電防止剤の成形物表面へのブリードアウトにより得られるが、表面のフキ取りにより顕著に低減される、非持続性の制電性とは異なり、成形物を構成する熱可塑性樹脂の内部に安定に保持された帯電防止剤により発現され、成形物表面のフキ取りによっても本質的に低減されない、永久持続的に発現される制電性をいう。

このような永久制電性樹脂組成物の好ましい態様として、本出願人は、既に、アルキレンオキサイド基を有するゴム状幹重合体のグラフト共重合体を含む熱可塑性樹脂に、好ましくは更にアニオン系界面活性剤を配合することにより永久制電性を有し且つ透明性も良好な熱可塑性樹脂組成物を開発している（特許文献１）。

上記熱可塑性樹脂組成物が、永久制電性を発現する作用機構は未だに明確となっていないが、アルキレンオキサイド基を有する単量体を含む共役ジエン又はアクリル酸エステルを１成分とするゴム状幹重合体からなる親水性ポリマーが加工時にマトリックス成分であるグラフト成分樹脂又はグラフト成分樹脂と熱可塑性樹脂との混合物中に互いにブリッジ状（網目状）となって分散して電荷の移動経路を形成するとともに、好ましくは、添加した帯電防止剤としてのアニオン系界面活性剤が、更に主としてこのゴム状幹重合体に選択的に吸着し、帯電体が接触すると接触面に反対電荷が主として帯電防止剤を吸着したゴム状幹重合体相を通って速やかに蓄積されて帯電体の電荷を打消し中和するためと考えられる。

上述した親水性ポリマーと他の熱可塑性樹脂とからなる制電性樹脂組成物は、一般に射出成型あるいは真空成型等のシート成型（以下、「射出成型等」という）により容器に形成される。しかしながら、上述したフォトマスク（レチクルを含む）あるいはその保護膜であるペリクル、半導体ウェハー関連試作品、液晶ディスプレイ関連試作品、ＩＣ製品試作品等の極めて少量生産であるが高い帯電防止特性を要求する精密製品あるいはその半製品は、一般に極めて高価（例えば１品で数百万円以上）であるが、多品種で少量のみ生産されるという特徴を有している。したがってこれら精密（半）製品の容器形成のために高価な射出成型あるいはシート成型用金型をそれぞれ用意することは極めて不経済である。そのため、ある程度大き目の容器を形成しておいて、内部に設けるパッド等の精密（半）製品保持部材の位置を調整する等により複数寸法の精密（半）製品に対して容器を共用する方法も採られているが、不必要な容器内スペースの増大は、それだけ精密（半）製品への微粒子等の汚染物の付着可能性を増大する。
特公昭５９−２４６２号公報特開昭６０−５３５７９号公報特開昭６１−４４９６６号公報特公昭４６−２５００５号公報特公昭４９−３２７８９号公報「静電気学会誌」第２１巻、第５３行２１２−２１９頁

本発明は、極めて少量生産であるが高い制電性を要求される精密（半）製品用容器を、射出成型品あるいはシート成型品に匹敵する制電性を維持しつつより経済的に提供することを目的とする。

本発明によれば、（１）（ａ）ポリアクリロニトリル系樹脂８８〜９５重量％と（ｂ）親水性ポリマー５〜１２重量％とからなる制電性樹脂板と、（２）溶剤アセトニトリルとを含み、前記制電性樹脂板（１）から切り出した複数の樹脂製部分体を前記溶剤アセトニトリル（２）により互いに溶剤接着した構造を有する精密（半）製品用制電性樹脂容器を形成するためのキットであって、前記親水性ポリマー（ｂ）が、（ｉ）共役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた１種以上の単量体５０〜９５重量％、（ｉｉ）４〜５００個のアルキレンオキサイド基を有しエチレン系不飽和結合を有する１種以上の単量体５〜５０重量％、及び（ｉｉｉ）共役ジエン及びアクリル酸エステルと共重合可能な１種以上のエチレン系不飽和単量体０〜４０重量％からなるゴム状幹重合体５〜９５重量部、に（ｉｖ）１種以上のエチレン系不飽和単量体５〜９５重量部（ゴム状幹重合体との合計量が１００重量部）、をグラフト共重合したグラフト共重合体であることを特徴とする制電性樹脂容器作製用キットが提供される。

本発明においては、親水性ポリマー（ｂ）と組合わされる他の熱可塑性樹脂として、ポリアクリロニトリル系樹脂を主たる樹脂成分として含むことにより剛性および耐摩耗性等の機械的特性を高めて得られた制電性樹脂組成物の成形体（例えば板状体）を切削して得られる複数の部分体を、ポリアクリロニトリル系樹脂溶解性の溶剤を用いて溶剤接着することにより、射出成型あるいはシート成型によらずに優れた制電性の精密（半）製品用容器が形成される。ここで、ポリアクリロニトリル系樹脂用樹脂接着剤（例えば特許文献２、３等）を用いずに溶剤接着を採用するのは、これら非制電性樹脂接着剤の使用により接合部に絶縁層が形成され、容器全体の制電性が損なわれるのを防止するためである。

本発明のキットを用いることにより、制電性樹脂板を収容される精密（半）製品に適した寸法の部分体に切削し、これら部分体の溶剤接着を行うことにより、射出成型等を用いることなく、射出成型等に匹敵する制電性を有し、且つ収容される精密（半）製品に適合した寸法の制電性樹脂容器のオーダーメード製造が可能になる。

＜制電性樹脂組成物＞
本発明の制電性樹脂容器を形成する制電性樹脂組成物は、（ａ）ポリアクリロニトリル系樹脂８８〜９５重量％と、（ｂ）親水性ポリマー５〜１２重量％とからなる。

（ポリアクリロニトリル系樹脂）
制電性樹脂組成物の主たる樹脂成分としてのポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）は、比較的少量成分としての親水性ポリマーとの組合せにより、必要な制電性を維持しつつ、剛性、耐摩耗性等の機械的強度の向上した制電性樹脂成形体を与えるために用いられる。

本発明において、「ポリアクリロニトリル系樹脂」の語は、アクリロニトリルで代表される不飽和ニトリル（アクリロニトリル以外にも、メタクリロニトリル、α―クロルアクリロニトリル等が含まれる）の重合単位を主要成分（３０重量％以上、好ましくは５０重量％以上）として含む剛性樹脂を総称する意味で用いるものであり、その限りで、耐衝撃性改良のために含まれるゴム分（好ましくは不飽和ニトリルが共重合されているもの）を含めて不飽和ニトリル以外の重合単位を含み得る。代表的には、特公昭４６−２５００５号公報あるいは特公昭４９−３２７８９号公報（特許文献４あるいは５）で開示される製法で製造されるものが含まれ、市販品の例としてはＢＰＡｍｏｃｏ社から「ＢＡＲＥＸ２１０」の商品名で市販されているものがある。

ポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）は、曲げ剛性が２Ｇｐａ以上であることが好ましい。またポリアクリロニトリル系樹脂は、制電性樹脂組成物（の樹脂分）の８８〜９５重量％を占める量で用いられる。ポリアクリロニトリル系樹脂含量が少な過ぎると、望ましい機械的強度が得られず、また溶剤接着強度も損われる。

（制電性樹脂）
ポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）とともに本発明の制電性樹脂容器形成用制電性樹脂組成物を構成する親水性ポリマー（ｂ）としては、本出願人が開発した前記特公昭５４−２４６２号公報（特許文献１）に記載のものと基本的に同様の、下記の組成を有するグラフト共重合体が好ましく用いられる。すなわち、
（ｉ）共役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた１種以上の単量体５０〜９５重量％、
（ｉｉ）４〜５００個のアルキレンオキサイド基を有し且つ好ましくは４個以上のエチレンオキサイドブロックを有しエチレン系不飽和結合を有する１種以上の単量体５〜５０重量％、及び
（ｉｉｉ）共役ジエン及びアクリル酸エステルと共重合可能な１種以上のエチレン系不飽和単量体０〜４０重量％
からなるゴム状幹重合体５〜９５重量部、に
（ｉｖ）１種以上のエチレン系不飽和単量体５〜９５重量部（ゴム状幹重合体との合計量が１００重量部）、
をグラフト共重合したグラフト共重合体、である。

親水性ポリマー（ｂ）は、制電性樹脂組成物（の樹脂分）の５〜１２重量％を占める量で用いられる。５重量％未満では、所望の制電性効果が得られず、多過ぎると、ポリアクリロニトリル系樹脂が減少するために、剛性を含む機械的強度、ならびに溶剤接着強度が損われる。

上記ポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）および親水性ポリマー（ｂ）が、それぞれ上記割合となる範囲内において、本発明の制電性樹脂組成物に他の熱可塑性樹脂を含めることもできる。このような他の熱可塑性樹脂の例としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、芳香族ビニルポリマー、ニトリル樹脂、（メタ）アクリル酸エステルの単独または共重合体からなる（メタ）アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、アクリロニトリル−スチレン樹脂、ポリカーボネート、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、弗素系樹脂等が使用されるが、好ましくは親水性ポリマーと相溶性のよい樹脂が用いられる。但し、本発明の制電性樹脂の特徴とする制電性、機械的強度、溶剤接着特性を維持するため、このような他の熱可塑性樹脂は、制電性樹脂組成物樹脂分の２０重量％以下に抑えることが好ましい。

本発明の制電性樹脂容器表面の、酸性ガスや塩基性ガスによるくもりや変色、あるいは内容物表面のくもりを防止するために２価以上の金属塩（ｃ）を制電性樹脂組成物に含ませることも好ましい。このような２価以上の金属塩（ｃ）は、制電性樹脂組成物中の樹脂分の合計量１００重量部当り、０．００１〜０．５重量部、より好ましくは０．００１〜０．３重量部、更に好ましくは０．００１〜０．１重量部、の割合で用いることが好ましい。０．００１重量部未満では、くもり防止効果が乏しく、また０．５重量部を超えて用いると、それ自身がプリードアウトする問題が生じる。

２価以上の金属塩（ｃ）の添加は、重合時、混合時、成形時等のいずれでもよい。例えば、混合時や成形時に添加する場合、２価以上の金属塩（ｃ）を例えば１０重量％濃度で含有するマスターバッチを、樹脂の合計量１００重量部当り、０．０１〜５重量部の割合で添加すればよい。

２価以上、好ましくは２〜４価の金属塩（ｃ）の例としては、塩化マグネシウム、塩化カルシウム、オレイン酸マグネシウム、ステアリン酸カルシウム等のアルカリ土類金属塩類や、塩化アルミニウムやステアリン酸アルミニウム等のＩＩＩＡ族金属塩類や、酸化チタンや酸化亜鉛や酸化錫等の金属酸化物が挙げられる。これら金属塩が酸性ガスや塩基性ガスによるくもりの生成を防止する明確な機構は今だ明らかでないが、前述したようにこれら２価以上の金属塩は、酸性ガスや塩基性ガスを吸着した場合、錯体を形成することで成形物表面でのガス状物質の結晶成長を阻害する働きがあると推定している。

界面活性剤（ｄ）を更に添加することにより、親水性ポリマー（ｂ）に吸着させて、永久制電性を向上することもできる。これは、特に親水性ポリマー（ｂ）として、上記したポリエーテル型親水性ポリマーを用いる場合に効果的である。良好な耐熱性を与えるために、ＪＩＳ−Ｋ７１２０に定める熱重量減少開始温度（以下「Ｔｎｇ」と略記することがある）が２５０℃以上のアニオン系界面活性剤（ｄ）が好ましく用いられる。熱重量減少開始温度は、アニオン系界面活性剤の構造とある程度の相関性が認められており、熱重量減少開始温度が２５０℃以上であるアニオン系界面活性剤の例としては、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、脂肪酸塩、パーフルオロアルキルスルホン酸塩、トリフルオロメタンスルホン酸塩、パーフルオアルキルカルボン酸塩などが挙げられる。

アニオン系界面活性剤を構成する金属種の選択もアニオン系界面活性剤の帯電防止剤としての効果に関係があり、本発明の目的のためには、原子番号が１９（カリウム相当）以上であるアルカリ金属塩は、比較的少量の添加で必要な制電性が得られるので、親水性ポリマー（ａ）および熱可塑性樹脂（ｂ）とのブレンド時間の短縮、成形品物性（特に耐温水白化性）の向上等の点で好ましく用いられる。

界面活性剤（ｄ）は、制電性樹脂組成物中の樹脂分の合計量１００重量部当り、０．１〜５重量部の割合で用いることが好ましい。０．１重量部未満では、制電性改良効果が乏しく、また５重量部を超えて用いると成形体表面へのブリードアウトが顕著となり、成形体の特性上好ましくない。

本発明の制電性樹脂組成物には、上記成分以外にも、必要に応じて紫外線吸収剤、熱安定剤、酸化防止剤、滑剤、充填剤、染顔料などの添加剤を加えることができ、これらの添加は、重合時、混合時、成形時等の何れでもよい。

本発明の制電性樹脂容器は、上記した制電性樹脂からなる部分体の複数を互いに溶剤接着した構造を有する。部分体は、上記制電性樹脂の成形体あるいはその切削加工物として得られる。成形体形状は基本的には任意であるが、任意の形状および寸法を有する精密（半）製品を収容する形状の容器を使用者が任意の形状寸法の部分体として切り出す汎用性を考慮して、板状成形体であるのが好ましい一態様である。その厚さは０．５〜１００ｍｍ、特に１〜２０ｍｍ程度であるのが好ましい。板状成形体は、剛性が１．５ＧＰａ以上、特に２．０ＧＰａ以上であることが好ましく、またテーバー摩耗量（ＪＩＳＫ７２０４）が２００ｍｇ以下、特に１５０ｍｇ以下、で代表される耐摩耗性；ならびに体積抵抗率（ＪＩＳＫ６９１１、２３℃、２３％ＲＨ）が１０１１Ω・ｍ以下、特に１０１０Ω・ｍ以下程度の制電性を有することが好ましい。

上述した（例えば板状の）成形体は、上記制電性樹脂組成物を射出成形、押出成形、圧縮成形等の成形法に付すことにより得られる。必要に応じて、より薄いシートあるいはフィルム、管等に成形することもできる。

本発明の制電性樹脂容器は、上述したような、例えば板状の形成体を、所望の寸法であればそのまま、あるいは収容すべき精密（半）製品の寸法に応じて、必要に応じて所望の寸法に切削加工して得た、部分体の複数を溶剤接着することにより得られる。

溶剤接着に用いる溶剤としては、ポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）の良溶剤であり沸点が８１．６℃であるアセトニトリルが溶剤接着後の乾燥が容易である点から好ましく用いられる。但し、アセトニトリルは毒性があるので、溶剤接着作業は換気の良い環境で保護具を用いて行う必要がある。

そして、本発明の制電性樹脂容器作製用キットは、上記制電性樹脂組成物の板状成形体からなる制電性樹脂板（切削により任意の寸法の部分体を形成するために適した寸法、例えば一辺が２５０ｍｍ以上のものが好ましい）の一枚以上と、容器詰めにしたアセトニトリルとを、組み合わせたものであり、アセトニトリルの取扱い注意書も同封することが望ましい。

例えば、概ね矩形板または円形板状の精密（半）製品を収容する矩形の制電性樹脂容器を作製するのであれば、ほぼ容器形状の底板を形成する制電性樹脂板をキット中の制電性樹脂板から切り出し、その４辺の長さと、精密（半）製品厚さ相当あるいはそれより若干大きな幅を有する棒状部分体を切り出して上記底板の４辺上に溶剤接着することにより容器本体が形成され、同様に形成した蓋体で覆うことにより容器が完成する。

例えば上記の場合における溶剤接着の態様としては、前記棒状部分体の接合面に薄く（例えば１６０ｇ／ｍ２程度）にアセトニトリルを塗布し、底板の辺に沿って５Ｐａ程度の押圧力を１分間程度印加して保持し、必要に応じて４０℃程度に加温して溶剤アセトニトリルを蒸発させ、２４時間程度経過させれば必要な接着強度は得られる。接着強度（ＪＩＳＫ６８５０、２３℃、引張強度５ｍｍ／分）としては、７ＭＰａ以上、特に１０ＭＰａ以上が好ましい。

なお、本発明で部分体を接合して容器を形成するに際して、樹脂製の接着剤を用いずに溶剤接着を行うのは、制電性の良好な接着剤樹脂が少ないため、追加の接着剤を用いることによる局所的な制電性の低下を防止するためである。

かくして形成された本発明の制電性樹脂容器は、フォトマスク（レチクルを含む）あるいはその保護膜であるペリクル、半導体ウェハー関連試作品、液晶ディスプレイ関連試作品、ＩＣ製品試作品等の極めて少量生産であるが高い帯電防止特性を要求する精密製品あるいはその半製品を収容するのに最適である。

以下、実施例により、本発明を更に具体的に説明する。実施例中の「部」は「重量部」を意味する。

ポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）として、ＢＰＡｍｏｃｏ社製「Ｂａｒｅｘ２１０」（曲げ剛性３．３８ＧＰａ）を用いた。また親水性ポリマー（ｂ）としては、以下の例で製造したものを用いた。

＜親水性ポリマーの製造＞
（イ）ゴム状幹重合体形成用組成物
アクリル酸ブチル３９．０部
スチレン２０．３部
メタクリル酸アリル０．７部
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート１０．０部
（エチレンオキサイド基の数が平均２３個）
ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレート０．０８部
ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド０．１部
エチレンジアミンテトラ酢酸鉄（ＩＩＩ）塩０．００５部
ピロリン酸２水素２ナトリウム０．０５部
ピロリン酸４ナトリウム０．０５部
ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム０．５部
脱イオン水２９０部
攪拌機、温度計、圧力計を付した反応容器に仕込み、５０℃で４時間攪拌した。収率９９％以上で平均粒子形８０ｎｍのゴム状重合体ラテックスが得られた。

（ロ）上記ゴム状幹重合体（固形分として７０部）のラテックスにエチレン系不飽和単量体混合物として
メタクリル酸メチル２４．０部
スチレン３．７部
アクリロニトリル２．０部
ノルマルオクチルメルカプタン０．３部
ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレート０．０８部
ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド０．１部
脱イオン水７０部
を添加して、窒素置換し、５０℃で４時間グラフト共重合した。

このラテックスを取出し７０℃に加温後、７０℃の塩酸水（濃度１．５％）１０００部に添加し析出させた。その析出物を脱水洗浄乾燥することにより、白色粉末の親水性ポリマー（ｂ）が得られた。

＜制電性樹脂組成物および特性測定＞
上記ポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）を１００〜４０部、親水性ポリマー（ｂ）を０〜６０部、さらにアニオン系界面活性剤としてノナフルオロブタンスルホン酸カリウム（ＫＮＦＢＳ）０〜０．３部を配合することにより６種の組成物を得た。

次いで、それぞれの組成物を、８インチロール混練機（関西ロール社製）を用いて、温度１４０〜１８０℃で、平面寸法１０００ｍｍ×３００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍのシートに形成した。引き続き、これらシートの各１０枚を、プレス成型機（神藤金属工業所社製）で、温度１８０〜２００℃でプレスし、平面寸法２５０ｍｍ×２５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの制電性樹脂板を形成した。これら制電性樹脂板から切り出した試料について以下の測定を行った。

・体積固有抵抗測定の測定
各組成物について、平面寸法５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの制電性樹脂板試料を形成し、ＪＩＳＫ６９１１に準拠して、温度２３℃、湿度２３％ＲＨで３日間調湿した後、極超絶縁計（東亜電波工業社製「ＳＭ−１０Ｅ」）を用いて、体積固有抵抗測定を測定した。

・接着強度の測定
各組成物について、ＪＩＳＫ６８５０の図２に示された試験片（接着板）の形状および寸法（２）に準拠して、平面寸法１００ｍｍ×２５ｍｍ×厚さ５ｍｍの制電性樹脂板試料２枚を形成し、平面寸法１２．５ｍｍ×２５ｍｍ（面積３１２．５ｍｍ）に５０ｍｇの溶剤接着剤アセトニトリルを塗布した後、接着体を押圧力５Ｐａで１分間保持し、その後、温度２３℃、湿度５０％ＲＨで３日間経過させた後、引っ張り試験機（島津製作所社製「オートグラフＡＧ―２００Ｅ」）を用いて、つかみ部分の平面寸法が３７．５ｍｍ×２５ｍｍとなるように試験片両端をつかんで固定し、引張速度５ｍｍ／分の条件で試料が破壊するまで引っ張り、接着強度を測定した。

各組成物における成分の割合と、体積固有抵抗、接着強度の測定結果をまとめて下表１に示す。

上記表１を見るとポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）および親水性ポリマー（ｂ）に関し、本発明所定の組成範囲内において、制電性、および接着強度のともに良好な制電性樹脂組成物が得られていることが分る。

＜容器の製造＞
上記実施例３の制電性樹脂組成物を形成して得た平面寸法２５０ｍｍ×２５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの制電性樹脂板から、以下のようにして、図１（（ａ）は上平面図、（ｂ）および（ｃ）はそれぞれ（ａ）Ｂ−Ｂ線およびＣ−Ｃ線矢視方向側面図）に示すような内寸法が２３０ｍｍ×２３０ｍｍ×深さ５０ｍｍの６インチフォトマスク用容器の本体外周部を形成した。

すなわち、平面寸法２５０ｍｍ×２５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの制電性樹脂板から、
平面寸法２４０ｍｍ×２４０ｍｍ×厚さ５ｍｍの底板１を１枚、
平面寸法２４０ｍｍ× ５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの側板２を２枚、
平面寸法２３０ｍｍ× ５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの側板３を２枚
を容器作製用部分体として切り出し、側板２および３を、各接着面に１６０ｇ／ｍ２の割合でアセトニトリルを塗布した後、それぞれ図１（ａ）〜（ｃ）に示すように配置し（接着部を点線で示す）、押圧力５Ｐａで１分間保持し、その後温度２３０℃、湿度５０％ＲＨで３日間経過させて、フォトマスク用容器の本体外周部を形成した。

上記で形成した容器を、７５ｃｍの高さから、側壁部が下となるようにコンクリート製床面に落下させて見たが、接着面の破壊は認められなかった。

別途上記と同様にして形成した容器から、接着面を挟んで平面寸法５０ｍｍ×５ｍｍ×厚さ５ｍｍの短冊状の板を１０個切り出し、ＪＩＳＫ６９１１に準拠して、温度２３℃、湿度２３％ＲＨで３日間調湿した後、極超絶縁計（東亜電波工業社製「ＳＭ−１０Ｅ」）を用いて、体積固有抵抗測定を測定したところ、平均値として８×１０９Ω・ｍの値を示した。

上記結果より、良好な接着強度と、接着部を含めて良好な制電性を示す容器が得られていることがわかる

上述したように本発明によれば、それぞれ、適当な割合のポリアクリロニトリル系樹脂（ａ）と親水性ポリマー（ｂ）とからなる制電性樹脂組成物からなる複数の樹脂製部分体を、好ましくはアセトニトリルを用いて溶剤接着することにより、フォトマスク（レチクルを含む）あるいはその保護膜であるペリクル、半導体ウェハー関連試作品、液晶ディスプレイ関連試作品、ＩＣ製品試作品等の極めて少量生産であるが高い帯電防止特性を要求する精密製品あるいはその半製品を収容するのに適した制電性樹脂容器の作製用キットが提供される。

本発明の一実施例にかかるフォトマスク用容器の本体外周部の３方向図で、（ａ）は上平面図、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ（ａ）のＢ−Ｂ線およびＣ−Ｃ線矢視方向側面図。

１底板用部材
２，３側板用部材

Claims

（１）（ａ）ポリアクリロニトリル系樹脂８８〜９５重量％と（ｂ）親水性ポリマー５〜１２重量％とからなる制電性樹脂板と、（２）溶剤アセトニトリルとを含み、前記制電性樹脂板（１）から切り出した複数の樹脂製部分体を前記溶剤アセトニトリル（２）により互いに溶剤接着した構造を有する精密（半）製品用制電性樹脂容器を形成するためのキットであって、前記親水性ポリマー（ｂ）が、（ｉ）共役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた１種以上の単量体５０〜９５重量％、（ｉｉ）４〜５００個のアルキレンオキサイド基を有しエチレン系不飽和結合を有する１種以上の単量体５〜５０重量％、及び（ｉｉｉ）共役ジエン及びアクリル酸エステルと共重合可能な１種以上のエチレン系不飽和単量体０〜４０重量％からなるゴム状幹重合体５〜９５重量部、に（ｉｖ）１種以上のエチレン系不飽和単量体５〜９５重量部（ゴム状幹重合体との合計量が１００重量部）、をグラフト共重合したグラフト共重合体であることを特徴とする制電性樹脂容器作製用キット。
前記精密（半）製品がフォトマスク製品である請求項１に記載の制電性樹脂容器作製用キット。