JP4424971B2 - 制電性樹脂容器作製用キット - Google Patents
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Description
本発明の制電性樹脂容器を形成する制電性樹脂組成物は、(a)ポリアクリロニトリル系樹脂88〜95重量%と、(b)親水性ポリマー5〜12重量%とからなる。
制電性樹脂組成物の主たる樹脂成分としてのポリアクリロニトリル系樹脂(a)は、比較的少量成分としての親水性ポリマーとの組合せにより、必要な制電性を維持しつつ、剛性、耐摩耗性等の機械的強度の向上した制電性樹脂成形体を与えるために用いられる。
ポリアクリロニトリル系樹脂(a)とともに本発明の制電性樹脂容器形成用制電性樹脂組成物を構成する親水性ポリマー(b)としては、本出願人が開発した前記特公昭54−2462号公報(特許文献1)に記載のものと基本的に同様の、下記の組成を有するグラフト共重合体が好ましく用いられる。すなわち、
(i)共役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた1種以上の単量体50〜95重量%、
(ii)4〜500個のアルキレンオキサイド基を有し且つ好ましくは4個以上のエチレンオキサイドブロックを有しエチレン系不飽和結合を有する1種以上の単量体5〜50重量%、及び
(iii)共役ジエン及びアクリル酸エステルと共重合可能な1種以上のエチレン系不飽和単量体0〜40重量%
からなるゴム状幹重合体5〜95重量部、に
(iv)1種以上のエチレン系不飽和単量体5〜95重量部(ゴム状幹重合体との合計量が100重量部)、
をグラフト共重合したグラフト共重合体、である。
(イ)ゴム状幹重合体形成用組成物
アクリル酸ブチル 39.0 部
スチレン 20.3 部
メタクリル酸アリル 0.7 部
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート 10.0 部
(エチレンオキサイド基の数が平均 23個)
ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレート 0.08 部
t−ブチルハイドロパーオキサイド 0.1 部
エチレンジアミンテトラ酢酸鉄(III)塩 0.005部
ピロリン酸2水素2ナトリウム 0.05 部
ピロリン酸4ナトリウム 0.05 部
ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム 0.5 部
脱イオン水 290 部
攪拌機、温度計、圧力計を付した反応容器に仕込み、50℃で4時間攪拌した。収率99%以上で平均粒子形80nmのゴム状重合体ラテックスが得られた。
メタクリル酸メチル 24.0 部
スチレン 3.7 部
アクリロニトリル 2.0 部
ノルマルオクチルメルカプタン 0.3 部
ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレート 0.08部
t−ブチルハイドロパーオキサイド 0.1 部
脱イオン水 70 部
を添加して、窒素置換し、50℃で4時間グラフト共重合した。
上記ポリアクリロニトリル系樹脂(a)を100〜40部、親水性ポリマー(b)を0〜60部、さらにアニオン系界面活性剤としてノナフルオロブタンスルホン酸カリウム(KNFBS)0〜0.3部を配合することにより6種の組成物を得た。
各組成物について、平面寸法50mm×50mm×厚さ5mmの制電性樹脂板試料を形成し、JIS K6911に準拠して、温度23℃、湿度23%RHで3日間調湿した後、極超絶縁計(東亜電波工業社製「SM−10E」)を用いて、体積固有抵抗測定を測定した。
各組成物について、JIS K6850の図2に示された試験片(接着板)の形状および寸法(2)に準拠して、平面寸法100mm×25mm×厚さ5mmの制電性樹脂板試料2枚を形成し、平面寸法12.5mm×25mm(面積312.5mm)に50mgの溶剤接着剤アセトニトリルを塗布した後、接着体を押圧力5Paで1分間保持し、その後、温度23℃、湿度50%RHで3日間経過させた後、引っ張り試験機(島津製作所社製「オートグラフAG―200E」)を用いて、つかみ部分の平面寸法が37.5mm×25mmとなるように試験片両端をつかんで固定し、引張速度5mm/分の条件で試料が破壊するまで引っ張り、接着強度を測定した。
上記実施例3の制電性樹脂組成物を形成して得た平面寸法250mm×250mm×厚さ5mmの制電性樹脂板から、以下のようにして、図1((a)は上平面図、(b)および(c)はそれぞれ(a)B−B線およびC−C線矢視方向側面図)に示すような内寸法が230mm×230mm×深さ50mmの6インチフォトマスク用容器の本体外周部を形成した。
平面寸法240mm×240mm×厚さ5mmの底板1を1枚、
平面寸法240mm× 50mm×厚さ5mmの側板2を2枚、
平面寸法230mm× 50mm×厚さ5mmの側板3を2枚
を容器作製用部分体として切り出し、側板2および3を、各接着面に160g/m2の割合でアセトニトリルを塗布した後、それぞれ図1(a)〜(c)に示すように配置し(接着部を点線で示す)、押圧力5Paで1分間保持し、その後温度230℃、湿度50%RHで3日間経過させて、フォトマスク用容器の本体外周部を形成した。
2,3 側板用部材
Claims (2)
- (1)(a)ポリアクリロニトリル系樹脂88〜95重量%と(b)親水性ポリマー5〜12重量%とからなる制電性樹脂板と、(2)溶剤アセトニトリルとを含み、前記制電性樹脂板(1)から切り出した複数の樹脂製部分体を前記溶剤アセトニトリル(2)により互いに溶剤接着した構造を有する精密(半)製品用制電性樹脂容器を形成するためのキットであって、前記親水性ポリマー(b)が、(i)共役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた1種以上の単量体50〜95重量%、(ii)4〜500個のアルキレンオキサイド基を有しエチレン系不飽和結合を有する1種以上の単量体5〜50重量%、及び(iii)共役ジエン及びアクリル酸エステルと共重合可能な1種以上のエチレン系不飽和単量体0〜40重量%からなるゴム状幹重合体5〜95重量部、に(iv)1種以上のエチレン系不飽和単量体5〜95重量部(ゴム状幹重合体との合計量が100重量部)、をグラフト共重合したグラフト共重合体であることを特徴とする制電性樹脂容器作製用キット。
- 前記精密(半)製品がフォトマスク製品である請求項1に記載の制電性樹脂容器作製用キット。
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